JP4812014B2 - 圧電振動片及び圧電振動片の製造方法、圧電振動子、並びに、圧電振動子を備える発振器、電子機器、及び電波時計 - Google Patents
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Description
本発明は、所定の形状に形成された圧電材片上に、外部電極と接続される外部電極接続部と、前記圧電材片を所定の周波数で振動させる励振電極と、前記圧電材片を所定の共振周波数に設定するための微調部とが設けられた圧電振動片の製造方法であって、前記圧電材片の外形を形成する外形形成工程と、外形形成された該圧電材片の表面に導電性膜を成膜する導電性膜形成工程と、前記励振電極となる位置で前記導電性膜をパターニングするとともに、前記微調部となる位置で前記導電性膜を除去して、前記圧電材片の表面の一部分を露出させる導電性膜パターン形成工程と、該圧電材片の表面が露出して構成された前記微調部にイオンビームを照射して削り取ることで、該微調部の重量を調整して、前記圧電材片を所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えることを特徴としている。
さらに、上記の圧電振動片において、前記励振電極に形成された前記導電性膜上には、前記調整膜と同一膜材の電極保護膜が形成されていることがより好ましいとされている。
また、上記の圧電振動片の製造方法において、前記微調部は前記圧電材片の両面に設けられ、 前記周波数微調整工程は、前記圧電材片の両面の前記微調部に同時に前記イオンビームを照射して行うものとしても良い。
さらに、上記の圧電振動片において、前記微調部は、前記圧電材片の両面に設けられていることがより好ましいとされている。
また、本発明の圧電振動子は、上記の圧電振動片を備えることを特徴としている。
また、本発明の電子機器は、上記の圧電振動子を備えることを特徴としている。
また、本発明の電波時計は、上記の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴としている。
また、本発明の圧電振動片によれば、イオンビームを照射可能な微調部を備えることで、効果的な周波数調整を行うことができるとともに、調整後の状態でも、酸化などの影響を受けて共振周波数が変動してしまうこと、及び、調整した部分が剥離してしまうことを防ぐことができ、周波数精度及び信頼性を向上させることができる。
また、本発明の発振器、電子機器、及び、電波時計によれば、上記の圧電振動子を備えることで、精度及び信頼性の向上を図ることができる。
図1及び図8は、この発明に係る第1の実施形態を示している。図1は、本実施形態の圧電振動片の斜視図を示している。また、図2は、図1に示す切断線A−Aにおける断面図を、図3は、切断線B−Bにおける断面図を示している。
図11から図15は、この発明に係る第2の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図17は、この発明に係る第3の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図18は、この発明に係る第4の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
図19は、この発明に係る第5の実施形態を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
1a 水晶片(圧電材片)
2a、3a、4a 上側主面
2b、3b、4b 下側主面
5 励振電極
6 電極保護膜
7 マウントパッド(外部電極接続部)
8、34 金属膜
9、31 微調部
20 導電性膜
32 調整膜
100 圧電振動子
120 発振器
130 携帯情報機器(電子機器)
150 電波時計
S30 外形形成工程
S40 導電性膜形成工程
S50 導電性膜パターン形成工程
S70 電極保護膜形成工程
S130 周波数微調整工程
S210 調整膜形成工程
I イオンビーム
Claims (11)
- 所定の形状に形成された圧電材片上に、外部電極と接続される外部電極接続部と、前記圧電材片を所定の周波数で振動させる励振電極と、前記圧電材片を所定の共振周波数に設定するための微調部とが設けられた圧電振動片の製造方法であって、
前記圧電材片の外形を形成する外形形成工程と、
外形形成された該圧電材片の表面に導電性膜を成膜する導電性膜形成工程と、
前記励振電極となる位置に前記導電性膜をパターニングするとともに、前記微調部となる位置に前記導電性膜をパターニングする導電性膜パターン形成工程と、
前記微調部となる位置に形成された前記導電性膜上に、酸化物または窒化物からなる調整膜を成膜する調整膜形成工程と、
前記微調部の前記調整膜にイオンビームを照射して削り取ることで、該微調部の重量を調整して、前記圧電材片を所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記励振電極となる位置に形成された前記導電性膜上に、前記調整膜と同一膜材の電極保護膜を成膜する電極保護膜形成工程を備え、
前記調整膜形成工程は、前記電極保護膜形成工程と同時に、前記微調部となる位置で前記電極保護膜を前記調整膜として成膜することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記微調部は前記圧電材片の両面に設けられ、
前記周波数微調整工程は、少なくとも一方の前記微調部に前記イオンビームを照射して行い、所定の共振周波数に設定されなかった場合には、さらに他方の前記微調部に前記イオンビームを照射して行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記微調部は前記圧電材片の両面に設けられ、
前記周波数微調整工程は、前記圧電材片の両面の前記微調部に同時に前記イオンビームを照射して行うことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 所定の形状に形成された圧電材片と、
該圧電材片の表面に所定のパターンで形成された導電性膜の少なくとも一部分によって形成され、前記圧電材片を所定の周波数で振動させる励振電極と、
外部電極と接続される外部電極接続部と、
前記導電性膜の内の前記励振電極と異なる他の部分と、該導電性膜上に形成され、酸化物または窒化物からなる調整膜とで形成され、該調整膜にイオンビームを照射して削り取ることで重量の調整が行われる微調部とを備えることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項5に記載の圧電振動片において、
前記励振電極に形成された前記導電性膜上には、前記調整膜と同一膜材の電極保護膜が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項5または請求項6に記載の圧電振動片において、
前記微調部は、前記圧電材片の両面に設けられていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項5から請求項7のいずれかに記載の圧電振動片を備えることを特徴とする圧電振動子。
- 請求項8に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項8に記載の圧電振動子を備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項8に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
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