JP4811757B2 - メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー - Google Patents
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Description
また、従来の分析機器は、オンライン測定やフィードバック制御に適していない。このような現状を背景にして、高い検出性能と高信頼性を備えた汚染ガスと有害ガスセンサーの技術開発に大きな期待が寄せられている。既に本出願の発明者は、界面活性剤を鋳型としてMCM41(ヘキサゴナル)、MCM48(キュービック)とブロックコポリマーを鋳型として、メソポーラスシリカ(SiO2)薄膜の合成により、光電圧法NOxガスセンサーを開発し、これらのセンサーを用いて産業への応用が注目されている(特許文献1参照)。更に、近年、本出願の発明者により規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えている安定な結晶性メソポーラス金属酸化物の合成プロセスを開発した。また、本出願の発明者祁により、種々な光導波路センサーが研究と開発された。しかし、対象ガスが直接光導波の表面に吸着すると、その感度と選択性について、十分ではないという問題があった。
すなわち、本発明は、光導波路(Glass waveguiding layer)の表層に設置された光増幅層(The tapered film of high-index material)の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーである。
また、本発明は、メソポーラス金属酸化物が、金属アルコキシド(例えば:オルトケイ酸テトラエチルSi(OC2H5)4、テトラアルコキシチタンなど無機酸化物の前駆体)、金属塩化物(一般式MClx(X=1,2,3,4)、ここでMは、Ag, Zn, Ta, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)x の硝酸塩(ここでMは、Ag, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)から誘導されるメソポーラス金属酸化物とすることができる。
さらに、本発明は、メソポーラス金属酸化物薄膜が、規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えていることを特徴とすることができる。
また、本発明は、光増幅層がhigh-index materialテーパー(Taper)であり、この上にアモルファス、或いは結晶性メソポーラス金属酸化物が被覆されたことを特徴とすることができる。
さらに、本発明は、アモルファス、或いは結晶性メソポーラス金属酸化物が、六方体又は立方体構造を持つ、比表面積が50m2/g以上を有する、細孔の平均直径が2nm〜10nmであることを特徴とすることができる。
また、本発明は、光増幅層(The tapered film of high-index material)が、イオン交換法で作った(例えば:K+イオン交換法=350℃-400℃に設定した電気炉中で溶融した硝酸カリウムKNO3溶液の中に市販のスライドガラスを30分間浸積した)イオン交換光導波路薄膜であることを特徴とすることができる。
さらに、本発明は、光導波路(Glass waveguiding layer)が、錫ドープ層を有する光導波路であることを特徴とすることができる。
また、本発明は、これらのメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーを、光吸収、蛍光、屈折率、光の干渉による変化に基づいて、VOC, NOx, CO2, アンモニア、環境ホルモンから選ばれる1種以上の検出に用いることができる。
さらに、本発明は、界面活性剤を用いて、金属アルコキシド(例えば:オルトケイ酸テトラエチルSi(OC2H5)4、テトラアルコキシチタンなど無機酸化物の前駆体)、金属塩化物(一般式MClx(X=1,2,3,4)、ここでMは、Ag, Zn, Ta, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)x の硝酸塩(ここでMは、Ag, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)を水或いはアルコール中で混合し、pHを調整しながら加水分解を行うことによりゾル溶液とし、光導波路基板上の光増幅層(The tapered film of high-index material)の表面にゾル溶液を滴下し、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより形成した三次元構造を有する有機無機複合MXOy薄膜を得、次いで薄膜を燒結することにより得られた光導波路基板の光増幅層の表面にメソポーラス金属酸化物を設けたメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの製造方法でもある。
また、本発明は、界面活性剤が、アルキルアンモニウム又はブロックコポリマー(例えば:エチレンオキサイド−プロピレンオキサイド−エチレンオキサイドブロックコポリマー=[EO]n[PO]m[EO]h ここでn,hは15〜200、mは20〜200の整数である)であることができる。
さらに、本発明は、メソポーラス金属酸化物薄膜は、コーティング法或いはデップ法(光導波路基盤が縦の形で、溶液の中に入れ、一定の速度で引き上げると、基盤の両側に薄い薄膜がついている方法)により製膜することができる。
また、本発明は、安定なメソポーラス金属酸化物薄膜を得るために、金属アルコキシド、金属塩化物又は硝酸塩を水或いはアルコール中で混合する際に、塩化リン又はPO(OC2H5)3 を添加することができる。
また、本発明で用いられる溶剤は、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類が良い。
本発明で用いられる無機酸化物の前駆体は、金属アルコキシド(例えば:オルトケイ酸テトラエチルSi(OC2H5)4、テトラアルコキシチタンなど無機酸化物の前駆体)、金属塩化物(一般式MClx(X=1,2,3,4)、ここでMは、Ag, Zn, Ta, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)x の硝酸塩(ここでMは、Ag, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)である。
本発明では、界面活性剤を用いて、金属アルコキシド(例えば:オルトケイ酸テトラエチルSi(OC2H5)4、テトラアルコキシチタンなど無機酸化物の前駆体)、金属塩化物(一般式MClx(X=1,2,3,4)、ここでMは、Ag, Zn, Ta, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)x の硝酸塩(ここでMは、Ag, Sn, Mn, Ti, W, In, Nb,から選ばれる金属の1種である)を水或いはアルコール中で混合し、pHを調整しながら加水分解を行うことによりゾル溶液とすることができる。
pH調整剤としては、無機酸が用いられる。とくに塩酸が望ましい。
また、本発明において、スピンコーティングとは、光導波路基板に前記ゾル溶液を滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることを言う。このようにすることにより基板上に形成した三次元構造を有する有機無機複合MXOy薄膜を得、次いで薄膜を燒結することによりメソポーラス金属酸化物が得られる。
本発明で用いる光導波路基盤はイオン交換法で作った光導波路、或いは表面(片面)に既に錫ドープ層のある市販のスライドガラスの光導波路である。その上に、図6に示すように、スパタリングで導波層の表面に数十ナノのTiO2光増幅層(長1−2センチ、幅数センチ)を作り、TiO2の屈折率によって、光導波層に入って光の電波TEと磁波TMモードがTiO2光増幅層のところで、空間的に分離され、TiO2光増幅層が終わると、電波TEと磁波TMモードが再び光導波路の光導波層に入れ、電波TEと磁波TMモードの干渉が行われる。そこで、TiO2光増幅層の表面の僅かの対象ガス分子の吸着によって、TiO2光増幅層表面の屈折率が変わることによって、分離されたTEの伝搬に影響する、その結果は電波TEと磁波TMモードの干渉によって反映される。このコンセプトにより作った光導波路センサーは、実時間で対象ガスの吸・脱着を監視出来ることが大きな特徴である。
しかし、更なる高感度と高選択性について、光導波路センサーには、欠点がある。高感度と高選択性について、本発明は規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えている結晶性メソポーラス金属酸化物薄膜を光導波路基盤の表面にコーティングし、メソポーラス金属酸化物の高い比表面積を利用し、感度をアップさせる、また、触媒効果を有する金属酸化物を用いて、選択性を改善する。
本発明は、界面活性剤を用いて、無機酸化物の前駆体を、水或いはアルコール中で混合し、pHを調整しながら加水分解を行うことにより形成したゾル溶液を用いて、スピンコーティング法或いはデープ法によって、光導波路のTiO2光増幅層表面に高い比表面積を有するメソストラクチャ金属酸化物薄膜(厚さ=数百ナノ)をコーティングし、350℃-450℃で熱処理する。
H2WO4粉末を超純水に入れ、過酸化水素を加え、40℃で攪拌すると、H2WO4粉末が徐徐に溶解し、黄色溶液になる。残る過剰な過酸化水素と溶媒は40℃で減圧蒸発(evaporation)することによる除去される。黄色なポリタングステン酸(peroxopolytungstic acid=PWA)の粉末を得る。そのポリタングステン酸をエタノールと水の混合溶液に溶解させ、ポリタングステン酸の黄色溶液を得て、界面活性剤としてエチレンオキサイド−プロピレンオキサイド−エチレンオキサイドブロックコポリマー(P123=[EO]20[PO]70[EO]20)エタノール溶液を加え、P123とポリタングステン酸を含む安定な有機・有機メゾストラクチャを有する溶液を得る。それから、TiO2光増幅層の表面を露出した光導波路基盤を、このP123とPWAを含む安定な有機・有機メゾストラクチャ(P123-PWA)を有する溶液に含浸してから、一定のスピードで引き上げると、透明なP123-PWA薄膜が光導波路基盤のTiO2光増幅層表面にコーティングされる。200℃-400℃で熱処理すると、メゾストラクチャポリタングステン酸或いはメソポーラス酸化タングステン(WO3)が得られた。膜のキャラクタリゼーションはX線回折と分光器により行った。
塩化チタンTiCl4粉末をエタノールに入れ、攪拌しながら、(C2H5O)3POを加え、更に、界面活性剤としてエチレンオキサイド−プロピレンオキサイド−エチレンオキサイドブロックコポリマー(P123=[EO]20[PO]70[EO]20)のエタノール溶液を加え、加水分解と縮重合反応により、P123を含む安定な有機・有機メゾストラクチャを有する溶液を得る。それから、既にスパタリングで蒸着したTiO2光増幅層の表面を露出した光導波路基盤をこのP123と酸化チタンの複合体を含む安定な有機・有機メゾストラクチャを有する溶液に含浸してから、一定のスピードで引き上がると、透明なP123-TiO2薄膜が光導波路基盤のTiO2光増幅層表面にコーティングされる。200℃-400℃で数時間熱処理すると、規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えているメゾポーラス酸化チタン(TiO2)が得られた。膜のキャラクタリゼーションはX線回折と分光器により行った。
(薄膜の再焼成)
作成したメゾストラクチャ金属酸化物薄膜を高温(350℃〜450℃の範囲)で燒結することにより、金属酸化物薄膜中に複合構造を形成している界面活性剤であるブロックコポリマーが除去され、目的の三次元構造を有するメソポーラス金属酸化物をコーティングしたメソポーラス金属酸化物TiO2複合光導波路センサーが得られた。
(光導波路センサーのセットアップ)
図5に示しているように、プリズム結合法を用い、波長632.8nmのHe-Neレーザー光をメソポーラス金属酸化物複合光導波路基盤の導波層に導入した。光導波路とプリズムの密着には、屈折率1.74のヨウ化メチレンを使用した。感応層とするメソポーラス金属酸化物と対象ガスを接触させるために、図5に示しているようなセルを使っている。
(アンモニアガスの検出)
アンモニアガスは、純窒素ガスで10ppmまで希釈した混合ガスをもう一回マスフローでコントロールして、測定濃度へ希釈する。これで、100ppbから数ppmのアンモニアガスの用意が可能であった。
(NO或いはNO2ガスの検出)
NO或いはNO2ガスは、純窒素ガスで10ppmまで希釈した混合ガスをもう一回マスフローでコントロールして、測定濃度へ希釈する。これで、数十ppbから数ppmのNO或いはNO2ガスの検出が可能であった。
200℃で熱処理した後のメゾストラクチャポリタングステン酸をコーティングした光導波路基盤のX線回折(図2)はメゾストラクチャポリタングステン酸薄膜の三次元構造は六方であることを示唆している。200℃で熱処理する時間が長くなると、メゾストラクチャポリタングステン酸薄膜の周期の長さが徐徐に潰されて行くようである。その周期構造が表面までに反映されるSEM像が図3に示している。
メソポーラス金属酸化物TiO2をコーティングした光導波路基盤の350℃-450℃で熱処理する前とその後のX線回折(図4)はメソポーラス金属酸化物TiO2薄膜の三次元構造は六方であることを示唆している。
メゾストラクチャポリタングステン酸をコーティングしたメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの構造、測定装置のセットアップは図5に、測定原理は図6に示している。
148ppb濃度のアンモニアガスを導入した時の、TEとTMモードの干渉による強度の変化を図7に示す。アンモニアガス導入時(ON)と窒素のみ導入時(OFF)に、ONとOFFに従って強度の迅速な変化が観察された。
100ppb濃度のアンモニアガスを導入した時の、TEとTMモードの干渉による強度の変化を図8に示す。アンモニアガス導入時(ON)と窒素のみ導入時(OFF)に、ONとOFFに従って強度の迅速な変化が観察された。
200ppb濃度のNOとNO 2 ガスを導入した時の、TEとTMモードの干渉による強度の変化を図9に示す。NOとNO2ガス導入時(ON)と窒素のみ導入時(OFF)に、ONとOFFに従って強度の迅速な変化が観察された。
Claims (13)
- 光導波路の表層に設置された光増幅層の表面を、メソポーラス金属酸化物薄膜で被覆したことを特徴とするメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- メソポーラス金属酸化物が、金属アルコキシド、一般式MClxの金属塩化物(ここでMは、Ag,Zn,Ta,Sn,Mn,Ti,W,In,Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)xの硝酸塩(ここでMは、Ag,Sn,Mn,Ti,W,In,Nb,から選ばれる金属の1種である)から誘導されるメソポーラス金属酸化物である、請求項1に記載したメソポーラス金属酸化物コーティングしたメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- メソポーラス金属酸化物薄膜が、規則的に配列したメソ細孔を有する三次元構造を備えていることを特徴とする、請求項1又は2記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- 光増幅層がTiO2であり、この上にメソポーラス金属酸化物が被覆されたことを特徴とする、請求項3に記載したメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- メソポーラス金属酸化物が、規則正しい三次元構造を持つ、アモルファス或いは結晶性フレームワークを有し、比表面積が50m2/g以上を有する、細孔の平均直径が2nm〜10nmであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- 光導波路が、イオン交換法で作ったイオン交換光導波路薄膜であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- 光導波路が、錫ドープ層を有する光導波路であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーを、VOC,NOx,CO2,アンモニア、環境ホルモンから選ばれる1種以上の検出に用いる方法。
- 界面活性剤を用いて、金属アルコキシド、一般式MClxの金属塩化物(ここでMは、Ag,Zn,Ta,Sn,Mn,Ti,W, In,Nb,から選ばれる金属の1種である)又は一般式M(NO3)xの硝酸塩(ここでMは、Ag,Sn,Mn,Ti,W,In,Nb,から選ばれる金属の1種である)を水或いはアルコール中で混合し、pHを調整しながら加水分解を行うことによりゾル溶液とし、光導波路基板上の光増幅層の表面にゾル溶液を付与し、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより形成した三次元構造を有する有機無機複合MxOy薄膜を得、次いで薄膜を燒結することにより得られた光導波路基板の光増幅層の表面にメソポーラス金属酸化物を設けたメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの製造方法。
- 界面活性剤が、アルキルアンモニウム塩又はブロックコポリマーである、請求項9に記載したメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの製造方法。
- メソポーラス金属酸化物薄膜は、コーティング法或いはデップ法により製膜することを特徴とする、請求項9又は請求項10に記載したメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの製造方法。
- 安定なメソポーラス金属酸化物薄膜を得るために、金属アルコキシド、金属塩化物又は硝酸塩を水或いはアルコール中で混合する際に、塩化リン又はPO(OC2H5)3を添加することを特徴とする、請求項9〜11のいずれかに記載したメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーの製造方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載のメソポーラス金属酸化物複合光導波路センサーを、光吸収、蛍光、屈折率、光の干渉による変化に基づいて、VOC,NOx,CO2,アンモニア、環境ホルモンから選ばれる1種以上の検出に用いる方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004286306A JP4811757B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004286306A JP4811757B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006098284A JP2006098284A (ja) | 2006-04-13 |
JP4811757B2 true JP4811757B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=36238239
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004286306A Expired - Fee Related JP4811757B2 (ja) | 2004-09-30 | 2004-09-30 | メソポーラス金属酸化物複合光導波路センサー、その製造方法及びそれを用いたガスセンサー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4811757B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5889568B2 (ja) | 2011-08-11 | 2016-03-22 | メルク、パテント、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツングMerck Patent GmbH | 酸化タングステン膜形成用組成物およびそれを用いた酸化タングステン膜の製造法 |
US9315636B2 (en) | 2012-12-07 | 2016-04-19 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Stable metal compounds, their compositions and methods |
US9201305B2 (en) | 2013-06-28 | 2015-12-01 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Spin-on compositions of soluble metal oxide carboxylates and methods of their use |
US9296922B2 (en) | 2013-08-30 | 2016-03-29 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Stable metal compounds as hardmasks and filling materials, their compositions and methods of use |
JP6162010B2 (ja) * | 2013-09-19 | 2017-07-12 | 国立大学法人 新潟大学 | メソポーラス酸化タングステンの製造方法、光触媒の製造方法、及びメソポーラス酸化タングステン電極の製造方法 |
US9409793B2 (en) | 2014-01-14 | 2016-08-09 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Spin coatable metallic hard mask compositions and processes thereof |
JP6978594B2 (ja) | 2017-09-06 | 2021-12-08 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングMerck Patent Gesellschaft mit beschraenkter Haftung | 向上した熱安定性を有する、ハードマスク及び充填材料として有用なスピンオン無機酸化物含有組成物 |
JP7179549B2 (ja) * | 2018-09-19 | 2022-11-29 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 光導波路、光学式濃度測定装置、および製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2894829B2 (ja) * | 1990-08-11 | 1999-05-24 | ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト | 光学センサーとしてのポリイミド導波管 |
JP3157952B2 (ja) * | 1993-06-02 | 2001-04-23 | アヴェンティス・リサーチ・ウント・テクノロジーズ・ゲーエムベーハー・ウント・コー・カーゲー | 化学物質検出用光学センサー |
JPH0772081A (ja) * | 1993-09-01 | 1995-03-17 | Nakano Vinegar Co Ltd | Co2 濃度測定装置 |
JPH08313430A (ja) * | 1995-05-18 | 1996-11-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ガスセンサ |
JP3600856B2 (ja) * | 2001-02-23 | 2004-12-15 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | メソポーラスSiO2薄膜を用いたSPV型(表面光電圧法)NOXガスセンサー |
-
2004
- 2004-09-30 JP JP2004286306A patent/JP4811757B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006098284A (ja) | 2006-04-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110707 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110713 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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