JP4809183B2 - Vapor deposition material removal apparatus and vapor deposition material removal method - Google Patents

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Description

本発明は、蒸着材料除去装置および蒸着材料除去方法に関し、特に基板や光学レンズへの蒸着に用いられた蒸着用るつぼ内に固着して残存している蒸着材料を除去する蒸着材料除去装置およびこの装置を使用する蒸着材料除去方法に関するものである。   The present invention relates to a vapor deposition material removal apparatus and a vapor deposition material removal method, and more particularly to a vapor deposition material removal apparatus that removes a vapor deposition material that remains firmly attached to a vapor deposition crucible used for vapor deposition on a substrate or an optical lens. The present invention relates to a method for removing a vapor deposition material using an apparatus.

眼鏡用レンズ等の蒸着対象物に蒸着材料を蒸着する蒸着装置は、水冷銅ハース内に蒸着用るつぼを設置し、これに蒸着材料を装填し、真空雰囲気中で電子ビームを蒸着材料に照射して蒸着材料を溶融、蒸発させることにより、光学レンズ等の蒸着対象物の表面に蒸着材料を蒸着するようにしている（例えば、特許文献１参照）。   A vapor deposition apparatus that deposits a vapor deposition material on a vapor deposition object such as a lens for eyeglasses, installs a vapor deposition crucible in a water-cooled copper hearth, loads the vapor deposition material on the crucible, and irradiates the vapor deposition material with an electron beam in a vacuum atmosphere. By evaporating and evaporating the vapor deposition material, the vapor deposition material is vapor-deposited on the surface of the vapor deposition object such as an optical lens (see, for example, Patent Document 1).

蒸着材料としては、蒸着物質の粉末を加圧プレスで形成し、常圧中で電気炉により焼結処理した焼結ペレットが知られている。このような焼結ペレットを収容する蒸着用るつぼとしては、上方のみまたは上方および下方が開放している筒状体に形成され、内部に蒸着材料を収容する空洞部を備えている（例えば、特許文献２〜４参照）。   As vapor deposition materials, sintered pellets are known in which powder of a vapor deposition material is formed by a pressure press and sintered in an electric furnace at normal pressure. Such a vapor deposition crucible for containing a sintered pellet is formed in a cylindrical body that is open only at the top or at the top and bottom, and has a hollow portion for containing a vapor deposition material therein (for example, a patent) References 2-4).

蒸着が終了して電子ビームの照射を停止すると、焼結ペレットの溶融した部分は冷えて固まるが、その溶融部分がるつぼ内壁に接触した状態で固まると、その部分は蒸着用るつぼの内壁に固着する。この溶融固化部分とるつぼ内壁との接合強度は強固であるため、蒸着用るつぼを再利用するためには、溶融固化部分を破壊してるつぼ内に残存している蒸着材料を除去する必要がある。しかしながら、このような除去作業は通常作業者がハンマーや突き出し棒等の適宜な工具によりるつぼ内に残存している焼結ペレットを叩いて粉砕、除去しているため、その肉体的負担が大きく、また作業者によって熟練度に差があるため、ときにはるつぼを変形させたり破損させて再利用できなくなるという問題があった。特に、蒸着物質の熱伝導率が高い場合（例えば、酸化ニオブを含有する蒸着材料）は、電子線が当たった部分の周りに熱が伝わり易くるつぼ内壁付近での溶融量が増え、接合面積が大きくなり、より一層結合強度が増す。   When the irradiation of the electron beam is stopped after the deposition is completed, the melted portion of the sintered pellet cools and solidifies, but when the melted portion solidifies in contact with the inner wall of the crucible, the portion adheres to the inner wall of the deposition crucible. To do. Since the bonding strength between the melt-solidified portion and the inner wall of the crucible is strong, in order to reuse the vapor deposition crucible, it is necessary to destroy the melt-solidified portion and remove the vapor deposition material remaining in the crucible. . However, since such removal work is usually performed by an operator by pulverizing and removing the sintered pellet remaining in the crucible with an appropriate tool such as a hammer or a stick, the physical burden is large, In addition, since there is a difference in skill level depending on the operator, there is a problem that the crucible is sometimes deformed or damaged and cannot be reused. In particular, when the thermal conductivity of the vapor deposition material is high (for example, a vapor deposition material containing niobium oxide), the amount of melting near the inner wall of the crucible increases easily around the portion hit by the electron beam, and the bonding area increases. The bond strength is further increased.

そこで、例えば上記した特許文献４に記載されている発明は、蒸着用るつぼの焼結ペレットを収容する空洞部の内壁に段状部（段差部）を設けることにより、溶融固化した部分を容易に破壊し得るようにしている。すなわち、段状部の角部は、溶融固化部分に応力の集中箇所を形成するため、溶融固化部分を比較的容易に破壊、除去することができ、るつぼの変形、破損等の発生頻度を減少させることができる。   Therefore, for example, in the invention described in Patent Document 4 described above, a melted and solidified portion can be easily obtained by providing a stepped portion (stepped portion) on the inner wall of the hollow portion that accommodates the sintered pellet of the vapor deposition crucible. It can be destroyed. In other words, since the corners of the stepped portion form stress-concentrated portions in the melt-solidified portion, the melt-solidified portion can be destroyed and removed relatively easily, reducing the frequency of crucible deformation and breakage. Can be made.

実開平５−７２９６４号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-72964 実開平３−１８１６２号公報Japanese Utility Model Publication No. 3-18162 実公平６−９０１１号公報Japanese Utility Model Publication No. 6-9011 特開２００３−１４７５０９号公報JP 2003-147509 A

しかしながら、前記特許文献４に記載されている蒸着用るつぼを用いて破壊、除去が容易になったものの、ハンマーや突き出し棒等の工具を用いて破砕しなければならず、除去作業が困難で、作業者の負担が大きく、依然として蒸着用るつぼの変形や破損の頻度を低減することが難しいという問題があった。   However, although it was easy to destroy and remove using the crucible for vapor deposition described in Patent Document 4, it must be crushed using a tool such as a hammer or a stick, and the removal work is difficult. There is a problem that the burden on the operator is large and it is still difficult to reduce the frequency of deformation and breakage of the crucible for vapor deposition.

このため、蒸着用るつぼとの接合強度が大きい蒸着材料であっても、作業者の負担や熟練度が要求されず、るつぼを変形させたり破損させたりすることなく焼結ペレットを容易かつ確実に除去することができる装置および方法の開発が要請されていた。   For this reason, even if it is a vapor deposition material with high bonding strength with the crucible for vapor deposition, the burden and skill of the operator are not required, and the sintered pellet can be easily and reliably obtained without deforming or damaging the crucible. There has been a need to develop an apparatus and method that can be removed.

本発明は、上記した従来の問題および要請に応えるためになされたものであり、その目的とするところは、蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを蒸着用るつぼが変形させたり破損させたりすることなく容易かつ確実に除去することができる蒸着材料除去装置および蒸着材料除去方法を提供することにある。   The present invention has been made in order to meet the above-described conventional problems and requirements. The object of the present invention is to provide a sintered crucible made of a vapor deposition material fixed to the inner wall of the vapor deposition crucible. An object of the present invention is to provide a vapor deposition material removal apparatus and a vapor deposition material removal method that can be easily and reliably removed without being deformed or damaged.

上記目的を達成するために、第１の発明は、蒸着用るつぼの両端が開放した筒状部の内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットの表面を前記筒状部の軸線方向に高速で往復運動するたがねによって打撃することにより前記焼結ペレットを破壊して除去する蒸着材料除去装置であって、前記たがねに前記焼結ペレットの表面中央部を打撃する中央打撃部と、この中央打撃部の周囲を取り囲み前記焼結ペレットの表面外周部を打撃する外周打撃部とを設け、前記中央打撃部を外周打撃部より前方に突出させたものである。   In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, a surface of a sintered pellet made of a vapor deposition material fixed to an inner wall of a cylindrical portion whose both ends of a vapor deposition crucible are open is arranged in the axial direction of the cylindrical portion. A vapor deposition material removing device that destroys and removes the sintered pellet by striking with a reciprocating chisel at a high speed, and hitting the central portion of the surface of the sintered pellet with the chisel And an outer peripheral hitting portion that surrounds the periphery of the central hitting portion and hits the outer peripheral portion of the surface of the sintered pellet, and the central hitting portion protrudes forward from the outer peripheral hitting portion.

第２の発明は、上記第１の発明において、前記たがねを高速で往復運動させるたがね駆動機構と、このたがね駆動機構を前記たがねの往復運動方向に移動自在に保持するたがね駆動機構保持部と、前記蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持するるつぼ保持部とを備えているものである。   According to a second invention, in the first invention, a chisel drive mechanism for reciprocating the chisel at a high speed, and the chisel drive mechanism are held movably in the reciprocating direction of the chisel. A glass drive mechanism holding part and a crucible holding part for holding the vapor deposition crucible so that the axis of the cylindrical part substantially coincides with the axis of the glass.

第３の発明は、上記第１または第２の発明において、前記たがねの中央打撃部と外周打撃部を一体に形成し、前記中央打撃部を前記たがねの軸線方向に突出した突状体に形成し、前記外周打撃部を中央打撃部を取り囲む環状の突状体に形成したものである。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the central hitting portion and the outer peripheral hitting portion of the chisel are integrally formed, and the central hitting portion projects in the axial direction of the chisel. The outer peripheral hitting portion is formed into an annular protruding portion surrounding the central hitting portion.

第４の発明は、上記第１または第２の発明において、前記たがねの中央打撃部と外周打撃部を一体に形成し、前記中央打撃部を前記たがねの軸線方向に突出した突状体に形成し、前記外周打撃部を周方向に並設された複数個の突状体で構成したものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the central hitting portion and the outer peripheral hitting portion of the chisel are integrally formed, and the central hitting portion projects in the axial direction of the chisel. The outer percussion portion is formed by a plurality of projecting bodies arranged in parallel in the circumferential direction.

第５の発明は、上記第１または第２の発明において、前記たがねの中央打撃部を１本の棒たがねで構成し、外周打撃部を前記棒たがねの周囲に個々独立に進退自在に配置された複数本の針たがねで構成したものである。   According to a fifth aspect of the present invention, in the first or second aspect of the invention, the central hitting portion of the chisel is constituted by a single rod chisel, and the outer perimeter hitting portion is independently provided around the rod chisel. It is composed of a plurality of needles arranged so as to freely advance and retract.

第６の発明は、上記第１〜第５の発明のうちのいずれか１つにおいて、前記たがねを進退自在に収納する外筒体を有しているものである。   According to a sixth aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects of the present invention, an outer cylindrical body that houses the chisel so as to freely advance and retract is provided.

第７の発明は、上記第１〜第６の発明のうちのいずれか１つに記載の蒸着材料除去装置を用いて蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する蒸着材料除去方法であって、前記焼結ペレットが固着している蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持する工程と、前記たがねを高速で往復運動させながら前記蒸着用るつぼ内に挿入し焼結ペレットの表面の中央と周囲を打撃することにより焼結ペレットを破壊して蒸着用るつぼから除去する工程とを備え、前記焼結ペレットの表面の中央の打撃を表面周囲の打撃より優先させたものである。   7th invention removes the sintered pellet which consists of vapor deposition material adhering to the inner wall of the crucible for vapor deposition using the vapor deposition material removal apparatus as described in any one of the said 1st-6th invention. A method for removing the vapor deposition material, the step of holding the vapor deposition crucible to which the sintered pellet is fixed, with the axis of the cylindrical portion substantially matching the axis of the chisel, and the chisel Inserting into the vapor deposition crucible while reciprocating at a high speed and striking the center and periphery of the surface of the sintered pellet to break the sintered pellet and removing it from the vapor deposition crucible. The center hit on the surface of the surface is given priority over the hit around the surface.

第８の発明は、上記第６の発明に記載の蒸着材料除去装置を用いて蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する蒸着材料除去方法であって、蒸着用るつぼの筒状部の内壁には段差部が形成されており、前記焼結ペレットが固着している蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持する工程と、前記たがねを進退自在に収納する外筒体の先端部を前記蒸着用るつぼの径が大きい円筒部内に挿入し、前記たがねが径の大きい円筒部の内壁や段差部に向かって打撃しないように焼結ペレットの表面の中央と周囲を打撃することにより焼結ペレットを破壊して蒸着用るつぼから除去する工程とを備え、前記焼結ペレットの表面中央の打撃を表面周囲の打撃より優先させたものである。   An eighth invention is a vapor deposition material removal method for removing sintered pellets made of a vapor deposition material fixed to the inner wall of a vapor deposition crucible using the vapor deposition material removing apparatus according to the sixth invention, A step portion is formed on the inner wall of the cylindrical portion of the crucible for use, and the evaporation crucible to which the sintered pellet is fixed is held so that the axis of the cylindrical portion substantially coincides with the axis of the chisel And inserting the tip of the outer cylindrical body that stores the chisel so as to be able to move forward and backward into the cylindrical portion having a large diameter of the vapor deposition crucible, and the inner wall and the step portion of the cylindrical portion having the large chisel diameter. The center and the periphery of the surface of the sintered pellet so as not to hit the surface, and the sintered pellet is destroyed and removed from the crucible for vapor deposition. It gives priority to surrounding blows.

第９の発明は、上記第８の発明において、前記たがねを収納する外筒体の先端部の内径は、前記蒸着用るつぼの径が小さい方の円筒部の内径より僅かに小さく設定され、外径は前記蒸着用るつぼの径が大きい方の円筒部の内径より僅かに小さく設定されているものである。   In a ninth aspect based on the eighth aspect, the inner diameter of the distal end portion of the outer cylindrical body for storing the chisel is set slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion having the smaller diameter of the evaporation crucible. The outer diameter is set slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion having the larger diameter of the evaporation crucible.

本発明においては、たがねに中央打撃部と外周打撃部とを設け、中央打撃部を外周打撃部より前方に突出させているので、焼結ペレットを確実に破壊し除去することができる。すなわち、焼結ペレットは、溶融固化した上層部と、溶融されずに焼結ペレットのままの状態を留めている下層部とからなり、上層部の溶融固化部分が蒸着用るつぼの内壁に固着している。また、溶融固化部分は、通常表面が摺り鉢状に凹んでおり、中央部の強度が低く、外周部がるつぼ内壁と固着し強度が高くなっている。そこで、中央打撃部を溶融固化部分の表面形状と強度を考慮して外周打撃部よりも前方に突出させておくと、最初に中央打撃部が溶融固化部分の強度が最も弱い中央部を打撃して破壊する。中央部の破壊が進むと、他の溶融固化部分の強度が低下するため、外周部が壊れ易くなる。次いで、外周打撃部が溶融固化部分の壊れ易くなった外周部を打撃して破壊し、るつぼ内壁から取り除く。焼結ペレットの下層部分は、蒸着時に溶融されなかった部分であるため、焼結状態を留めている。このため、溶融固化部分に比べて強度が弱く、溶融固化部分の打撃、破壊にともなって破壊される。したがって、蒸着用るつぼを変形させたり破損させたりすることがなく、蒸着用るつぼに固着している焼結ペレットを確実に除去することができる。   In the present invention, the central hitting portion and the outer peripheral hitting portion are provided on the chisel, and the central hitting portion is protruded forward from the outer peripheral hitting portion, so that the sintered pellet can be reliably destroyed and removed. That is, the sintered pellet consists of a melted and solidified upper layer part and a lower layer part that remains in the sintered pellet state without being melted, and the melted and solidified part of the upper layer part is fixed to the inner wall of the evaporation crucible. ing. In addition, the melt-solidified portion has a generally concave surface in the shape of a bowl, the strength of the central portion is low, the outer peripheral portion is fixed to the inner wall of the crucible and the strength is high. Therefore, if the central hitting part is projected forward from the outer peripheral hitting part in consideration of the surface shape and strength of the melt-solidified part, the central hitting part first hits the central part where the strength of the melt-solidified part is the weakest. And destroy. When the destruction of the central portion proceeds, the strength of the other melt-solidified portion decreases, and the outer peripheral portion is easily broken. Next, the outer peripheral striking portion strikes and destroys the outer peripheral portion where the melted and solidified portion is easily broken, and is removed from the inner wall of the crucible. Since the lower layer portion of the sintered pellet is a portion that has not been melted during vapor deposition, the sintered state is kept. For this reason, the strength is weaker than that of the melt-solidified portion, and the melt-solidified portion is broken along with the impact and destruction. Therefore, the sintered pellet fixed to the vapor deposition crucible can be reliably removed without deforming or damaging the vapor deposition crucible.

また、前記たがねを高速で往復運動させるたがね駆動機構をたがねの往復運動方向に移動自在に保持するたがね駆動機構保持部を備えるとともに、前記蒸着用るつぼをその軸線方向が前記たがね駆動機構保持部によって保持されているたがね駆動機構のたがねの軸線方向と一致するように保持するるつぼ保持部を備えているので、るつぼの位置合わせが容易で、るつぼ配置後は鏨駆動機構をたがねを往復運動方向に移動させればよいので、作業者の負担を著しく軽減することができる。また、高速で往復運動しているたがねの軸線とるつぼの軸線を一致させながらたがねを移動させるので、たがねがるつぼ内壁に当たることによるるつぼの変形や破損が生じにくくなる。なお、たがねを往復運動させる駆動源としては、例えば圧搾空気、電磁石等が考えられる。   In addition, there is provided a ratchet drive mechanism holding portion for holding the ratchet drive mechanism for reciprocating the chimney at a high speed so as to be movable in the reciprocating motion direction of the ratchet, and the crucible for vapor deposition in the axial direction thereof. Is provided with a crucible holding portion that is held by the chisel driving mechanism holding portion so as to coincide with the axial direction of the chisel of the chisel driving mechanism, so that the crucible can be easily aligned. After the crucible is placed, it is only necessary to move the chisel in the reciprocating motion of the scissors driving mechanism, so that the burden on the operator can be remarkably reduced. In addition, since the chisel is moved while matching the axis of the chisel that is reciprocating at a high speed with the axis of the crucible, the crucible is less likely to be deformed or damaged by hitting the inner wall of the crucible. As a drive source for reciprocating the chisel, for example, compressed air, an electromagnet, or the like can be considered.

たがねの中央打撃部と外周打撃部を一体に形成した発明においては、たがねの本数を最少の１本とすることができる。また、打撃部を突状体に形成しておくと、溶融固化部分の表面に大きな打撃力を加えることができる。   In the invention in which the central hitting portion and the outer perimeter hitting portion of the chisel are integrally formed, the number of chisel can be minimized. Moreover, if the striking part is formed in a projecting body, a large striking force can be applied to the surface of the melt-solidified portion.

たがねの外周打撃部を個々独立に進退自在に配置された複数本の針たがねで構成した発明においては、溶融固化部分の表面外周部の表面高さが周方向において異なっていても、全ての針たがねを表面外周部に衝打させることができる。   In the invention in which the outer peripheral striking portion of the chisel is composed of a plurality of needle chines arranged independently and independently, even if the surface height of the outer peripheral portion of the surface of the melt-solidified portion is different in the circumferential direction All needles can be hit on the outer periphery of the surface.

たがねを進退自在に収納する外筒体を備えた発明においては、外筒体がたがねの往復運動時の案内筒として機能するため、たがねの径方向外方への振れを抑制、防止することができる。   In the invention provided with an outer cylindrical body for storing the chisel so as to be able to move forward and backward, the outer cylindrical body functions as a guide cylinder during the reciprocating motion of the chisel, so that the radial deflection of the chisel is prevented. It can be suppressed and prevented.

上記発明に係る蒸着材料除去装置を用いて蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する蒸着材料除去方法においては、中央打撃部と外周打撃部とを有し、中央打撃部が外周打撃部より前方に突出したたがねを用いているので、最初に中央打撃部が溶融固化部分の中央部を打撃する。この中央部は、外周部に比べて薄くて強度が弱いため破壊され易く、破壊が進むと溶融固化部分全体の強度を低下させる。次いで、外周打撃部が壊れ易くなった溶融固化部分の外周部を破壊する。したがって、蒸着用るつぼを変形させたり破損させたりすることがなく、蒸着用るつぼに固着している焼結ペレットを確実に破壊し除去することができる。   In the vapor deposition material removal method for removing the sintered pellet made of the vapor deposition material fixed to the inner wall of the vapor deposition crucible using the vapor deposition material removal apparatus according to the above invention, it has a central hitting portion and an outer peripheral hitting portion, Since the central striking part uses the chisel that protrudes forward from the outer perimeter striking part, the central striking part first strikes the central part of the melt-solidified part. The central portion is thinner and weaker than the outer peripheral portion, so that it is easily broken, and as the breakage progresses, the strength of the entire melt-solidified portion is lowered. Next, the outer peripheral portion of the melt-solidified portion where the outer peripheral hitting portion is easily broken is destroyed. Therefore, the sintered pellet fixed to the vapor deposition crucible can be reliably destroyed and removed without deforming or damaging the vapor deposition crucible.

るつぼ内壁に段差部を形成した蒸着用るつぼに固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する際には、焼結ペレットの溶融固化部分が段差部で固化していると、たがねで溶融固化部分の表面を打撃したとき、段差部に接合している固化部分が応力の集中箇所となり、焼結ペレットを容易に破壊、除去することができる。   When removing sintered pellets made of vapor deposition material fixed to the crucible for vapor deposition having a stepped portion formed on the inner wall of the crucible, it is recommended that the molten pellet of the sintered pellet is solidified at the stepped portion. When the surface of the melted and solidified portion is hit, the solidified portion joined to the stepped portion becomes a stress concentrated portion, and the sintered pellet can be easily broken and removed.

また、たがねを進退自在に収納する外筒体の先端部を段差部の手前の径の大きい円筒部内に挿入する場合は、たがねとるつぼの位置合わせが容易で正確になる。また、たがねの外周打撃部がるつぼ内壁や段差部に向かって打撃して、るつぼが変形や破壊されるのを防止する。   In addition, when the tip of the outer cylinder that stores the chisel so as to move forward and backward is inserted into the cylindrical portion having a large diameter in front of the stepped portion, the crucible is easily and accurately positioned. Moreover, the outer periphery hit | damage part of a chisel hits toward a crucible inner wall or a level | step difference part, and prevents that a crucible deform | transforms or is destroyed.

以下、本発明を図面に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図１は蒸着用るつぼと焼結ペレットの外観斜視図、図２は蒸着終了後の焼結ペレットの状態を示す断面図、図３は本発明に係る蒸着材料除去装置の正面図、図４は同蒸着材料除去装置の左側面図、図５は蒸着用るつぼとたがね保持部材の外観斜視図、図６はたがね駆動機構のピストンが最上位置にある状態を示す断面図、図７は同たがね駆動機構のピストンが最下位置にある状態を示す断面図、図８はたがねの要部の斜視図、図９（ａ）〜（ｄ）はたがねによる焼結ペレットの破壊除去の様子を示す図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.
1 is an external perspective view of a vapor deposition crucible and sintered pellets, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state of sintered pellets after vapor deposition, FIG. 3 is a front view of a vapor deposition material removing apparatus according to the present invention, and FIG. 5 is a left side view of the vapor deposition material removing device, FIG. 5 is an external perspective view of the vapor deposition crucible and the chisel holding member, and FIG. 6 is a cross-sectional view showing a state in which the piston of the chisel driving mechanism is in the uppermost position. FIG. 8 is a sectional view showing a state where the piston of the chisel drive mechanism is in the lowest position, FIG. 8 is a perspective view of the main part of chisel, and FIGS. 9A to 9D are sintering by chisel. It is a figure which shows the mode of destruction removal of a pellet.

先ず、図１および図２に基づいて蒸着用るつぼと蒸着材料からなる焼結ペレットについて説明する。これらの図において、参照符号１で示す蒸着用るつぼは、上方および下方が開放した角筒状に形成されており、蒸着装置の水冷銅ハース（図示せず）によって支持される鍔部２と、蒸着材料である焼結ペレット３が装填される円筒状の空洞部、すなわちペレット装填部４とを有している。鍔部２は、蒸着用るつぼ１の互いに対向する２つの辺に一体に突設されている。ペレット装填部４は、前記焼結ペレット３の外径より若干大きな穴径を有する第１の円筒部４Ａと、第１の円筒部４Ａの上方に位置しこれより大きい穴径を有する第２の円筒部４Ｂとで構成されている。このため、第１、第２の円筒部４Ａ，４Ｂの境部には、略水平な棚部分、すなわち段差部（段差面）５がるつぼの内壁全周にわたって設けられている。この段差部５は、焼結ペレット３の溶融固化部分３Ａを破壊して除去する際に、溶融固化部分３Ａに応力を集中させるために設けられるものであり、前記特許文献５に記載のるつぼに形成している段状部に相当するものである。   First, a sintered pellet composed of a vapor deposition crucible and a vapor deposition material will be described with reference to FIGS. In these figures, the crucible for vapor deposition indicated by reference numeral 1 is formed in a rectangular tube shape whose upper and lower sides are open, and a flange portion 2 supported by a water-cooled copper hearth (not shown) of the vapor deposition apparatus, It has a cylindrical hollow portion into which sintered pellets 3 that are vapor deposition materials are loaded, that is, a pellet loading portion 4. The eaves part 2 is integrally projected on two opposite sides of the vapor deposition crucible 1. The pellet loading unit 4 includes a first cylindrical portion 4A having a slightly larger hole diameter than the outer diameter of the sintered pellet 3, and a second cylindrical hole positioned above the first cylindrical portion 4A and having a larger hole diameter. It is comprised with the cylindrical part 4B. For this reason, a substantially horizontal shelf portion, that is, a stepped portion (stepped surface) 5 is provided on the boundary between the first and second cylindrical portions 4A and 4B over the entire inner wall of the crucible. The step portion 5 is provided for concentrating stress on the melt-solidified portion 3A when the melt-solidified portion 3A of the sintered pellet 3 is broken and removed, and is provided in the crucible described in Patent Document 5. This corresponds to the stepped portion being formed.

このような蒸着用るつぼ１の材質としては、通常熱伝導率の高い材料、例えば銅、アルミニウム、黒鉛、タングステン、モリブデン、タンタル等が用いられる。因みに、蒸着用るつぼ１の大きさは、３１（長さ）×３１（幅）×１２（高さ）ｍｍのブロック状で、第１の円筒部４Ａは孔径が２２．６ｍｍの空洞であり、第２の円筒部４Ｂは孔径が２５ｍｍの空洞であり、上面から段差部５までの距離は５ｍｍである。   As a material of such a crucible 1 for vapor deposition, a material having high heat conductivity, for example, copper, aluminum, graphite, tungsten, molybdenum, tantalum or the like is usually used. Incidentally, the size of the evaporation crucible 1 is a block shape of 31 (length) × 31 (width) × 12 (height) mm, and the first cylindrical portion 4A is a cavity having a hole diameter of 22.6 mm, The second cylindrical portion 4B is a cavity having a hole diameter of 25 mm, and the distance from the upper surface to the step portion 5 is 5 mm.

前記焼結ペレット３は、蒸着材料の粉末を加圧プレスで成形し、常圧中で電気炉により１０００〜１４００℃に加熱して焼成処理したものであって、前記第１の円筒部４Ａより若干小さい外径を有する円柱状に形成されている。蒸着材料としては、眼鏡用レンズに反射防止膜を蒸着する場合、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化イットリウム等が用いられる。例えば、酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）と酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）の粉末を、重量比９５：５の割合で混合し、３００ｋｇ／ｃｍ2 で加圧プレスした後、１３００℃で２４時間加熱して、直径２１．８〜２２．５ｍｍ、高さ１５．５〜１６．０ｍｍの円柱状の焼結ペレットを製作する。 The sintered pellet 3 is formed by forming a powder of a vapor deposition material with a pressure press, heating it at 1000 to 1400 ° C. in an electric furnace at normal pressure, and firing it. From the first cylindrical portion 4A It is formed in a cylindrical shape having a slightly smaller outer diameter. As a vapor deposition material, niobium oxide, tantalum oxide, titanium oxide, zirconium oxide, yttrium oxide, or the like is used when an antireflection film is deposited on a spectacle lens. For example, powders of niobium oxide (Nb 2 O 5 ) and zirconium oxide (ZrO 2 ) are mixed at a weight ratio of 95: 5, press-pressed at 300 kg / cm 2 , and heated at 1300 ° C. for 24 hours. A cylindrical sintered pellet having a diameter of 21.8 to 22.5 mm and a height of 15.5 to 16.0 mm is manufactured.

このような焼結ペレット３は、図２に２点鎖線で示すように蒸着用るつぼ１のペレット装填部４に装填された状態において、上端部が段差部５より上方に位置して第２の円筒部４Ｂとの間に環状の隙間７を形成している。一方、下端部は第１の円筒部４Ａに嵌合してその内壁に接触し、蒸着用るつぼ１の下方に突出している。   In such a state that the sintered pellet 3 is loaded in the pellet loading portion 4 of the evaporation crucible 1 as shown by a two-dot chain line in FIG. An annular gap 7 is formed between the cylindrical portion 4B. On the other hand, the lower end portion is fitted into the first cylindrical portion 4A, contacts the inner wall thereof, and protrudes below the vapor deposition crucible 1.

眼鏡用レンズの蒸着に際して、焼結ペレット３が装填された蒸着用るつぼ１を蒸着装置に装着して電子ビームを焼結ペレット３の表面中央部に照射すると、焼結ペレット３の表面中央部が加熱溶融して蒸発し、眼鏡用レンズへの蒸着が行われる。焼結ペレット３の表面中央部を電子ビームで加熱溶融すると、この溶融した部分は熱伝導によって徐々に周囲に広がり、ついには表層部全体が溶融状態となり、その一部が環状隙間７に流れ出して第２の円筒部４Ｂの内壁および段差部５に接触すると冷やされて固着する。   At the time of vapor deposition of the spectacle lens, when the vapor deposition crucible 1 loaded with the sintered pellet 3 is attached to the vapor deposition apparatus and the electron beam is irradiated to the central surface portion of the sintered pellet 3, the central surface portion of the sintered pellet 3 is It is heated and melted to evaporate, and is deposited on a spectacle lens. When the center part of the surface of the sintered pellet 3 is heated and melted with an electron beam, the melted part gradually spreads to the periphery by heat conduction, and finally the entire surface layer part is melted, and part of it flows out into the annular gap 7. When it comes into contact with the inner wall of the second cylindrical portion 4B and the stepped portion 5, it is cooled and fixed.

また、電子ビームの照射によって焼結ペレット３の表層部が加熱溶融して蒸発すると、焼結ペレット３の表面高さは当然のことながら徐々に低くなる。このため、表面は、図２に実線で示すように摺り鉢状に凹み、中央が最も深くなる。   In addition, when the surface layer portion of the sintered pellet 3 is heated and melted and evaporated by irradiation with the electron beam, the surface height of the sintered pellet 3 gradually decreases as a matter of course. For this reason, the surface is recessed in a bowl shape as shown by a solid line in FIG. 2, and the center is deepest.

眼鏡用レンズの蒸着が終了して電子ビームの照射を停止すると、焼結ペレット３の溶融部分は、冷却して固化することにより溶融固化部３Ａ（溶融固化部分ともいう）となる。この溶融固化部３Ａは、蒸着材料の主成分が熱伝導率の高いニオブであると、外周が蒸着用るつぼ１の内壁まで達し、るつぼ内壁との接合面積が大きく、蒸着用るつぼ１の内壁に大きな接合強度で固着する。溶融固化部３Ａは、中央部が最も薄くて強度が弱く、外周部に向かうほど厚くなり強度が増大する。焼結ペレット３の下層部分３Ｂ、すなわち溶融固化部分３Ａより下の部分は、加熱されても溶融しなかった部分であるため、ペレット状態を保持している。このため、下層部分３Ｂは、溶融固化部分３Ａよりも強度が弱く、また蒸着用るつぼ１の内壁に対して接触あるいは隙間を有しており、固着していない。   When the vapor deposition of the spectacle lens is completed and the irradiation of the electron beam is stopped, the melted portion of the sintered pellet 3 becomes a melt-solidified portion 3A (also referred to as a melt-solidified portion) by cooling and solidifying. When the main component of the vapor deposition material is niobium having a high thermal conductivity, the outer periphery reaches the inner wall of the vapor deposition crucible 1 and has a large bonding area with the inner wall of the crucible. It adheres with a large bonding strength. The melt-solidified portion 3A is thinnest at the center and weak in strength, and becomes thicker toward the outer peripheral portion and increases in strength. The lower layer portion 3B of the sintered pellet 3, that is, the portion below the melted and solidified portion 3A is a portion that has not been melted even when heated, and thus maintains the pellet state. For this reason, the lower layer portion 3B is weaker than the melt-solidified portion 3A and has a contact or gap with the inner wall of the vapor deposition crucible 1 and is not fixed.

蒸着が終了すると、蒸着用るつぼ１を真空装置から取り出し、蒸着用るつぼ１を再利用するためにペレット装填部４内に残存している焼結ペレット３を本発明に係る蒸着材料除去装置２０および方法によって除去する。以下、図３〜図９に基づいて蒸着材料除去装置２０の構成等を詳細に説明する。   When the vapor deposition is completed, the vapor deposition crucible 1 is taken out from the vacuum apparatus, and the sintered pellet 3 remaining in the pellet loading unit 4 in order to reuse the vapor deposition crucible 1 is removed from the vapor deposition material removing apparatus 20 according to the present invention. Remove by method. Hereinafter, the configuration and the like of the vapor deposition material removing device 20 will be described in detail with reference to FIGS.

前記蒸着材料除去装置２０は、蒸着用るつぼ１内の焼結ペレット３を打撃し除去する打撃工具としてのたがね２３と、このたがね２３を保持し高速で往復運動させるたがね駆動機構２４と、このたがね駆動機構２４を前記だがね２３の往復運動方向（垂直方向）に移動自在に保持するたがね駆動機構保持部２５と、このだがね駆動機構保持部２５が設けられている本体２１と、この本体２１に配置されたつるぼ保持部２２とを備えている。   The vapor deposition material removing device 20 has a chisel 23 as a striking tool for striking and removing the sintered pellets 3 in the vapor deposition crucible 1, and a chisel drive that holds the chisel 23 and reciprocates at high speed. A mechanism 24, a chisel drive mechanism holding section 25 for holding the chisel drive mechanism 24 movably in the reciprocating motion direction (vertical direction) of the butterfly 23, and this chisel drive mechanism holding section 25 are provided. And a crucible holding portion 22 disposed on the main body 21.

前記本体２１は、ベースプレート３１と、このベースプレート３１上に立設された４本の支柱（下側支柱）３２と、この下側支柱３２によって支持された底板２８と、この底板２８上に立設された４本の支柱（上側支柱）３４と、この上側支柱３４により支持された上板２７とを備えている。前記ベースプレート３１と底板２８および上板２７は、長方形（または正方形）の金属製の板からなり、上下に平行に対向するように配置されている。前記上板２７および底板２８の各辺は、４枚の透明なプラスチック板からなるカバープレート３０（正面プレート３０ａ、左側面プレート３０ｂ、右側面プレート３０ｃ、背面プレート３０ｄ）が設けられており、蒸着材料除去作業中に蒸着材料が周囲に飛び散るのを防止している。４枚のカバープレート３０のうち左側面側のプレート３０ｂの下部一側寄りには、蒸着用るつぼ１を前記るつぼ保持部２２に装着するための開口部３３が形成されている。前記ベースプレート３１は、床面上に設置されており、蒸着材料除去装置２０によって蒸着用るつぼ１から除去した焼結ペレット３の屑３５を回収するペレット回収容器３６が設置されている。   The main body 21 includes a base plate 31, four struts (lower struts) 32 standing on the base plate 31, a bottom plate 28 supported by the lower struts 32, and standing on the bottom plate 28. The four supporting columns (upper supporting columns) 34 and the upper plate 27 supported by the upper supporting columns 34 are provided. The base plate 31, the bottom plate 28, and the upper plate 27 are made of a rectangular (or square) metal plate, and are arranged so as to face each other in the vertical direction. Each side of the top plate 27 and the bottom plate 28 is provided with a cover plate 30 (a front plate 30a, a left side plate 30b, a right side plate 30c, and a back plate 30d) made of four transparent plastic plates. During the material removal operation, the deposition material is prevented from splashing around. An opening 33 for mounting the vapor deposition crucible 1 to the crucible holding part 22 is formed near the lower side of the left side plate 30b of the four cover plates 30. The base plate 31 is installed on the floor surface, and a pellet collection container 36 for collecting the scrap 35 of the sintered pellet 3 removed from the vapor deposition crucible 1 by the vapor deposition material removing device 20 is installed.

前記るつぼ保持部２２は、前記底板２８上に左側面から見て左右方向に所定の間隔をおいて平行に対向するように配置された一対のセットプレート２２Ａ，２２Ｂとで構成されている。これらのセットプレート２２Ａ，２２Ｂは、図８に示すように左右対称な形状に形成されて装置の左右方向に延在し、互いに対向する面には、上下２つの溝４０，４１と抜け防止部４２がそれぞれ全長にわたって形成されている。上方側の溝４０は、抜け防止部４２の真下に位置し、前記蒸着用るつぼ１の上端部を非接触状態で収納するための空間を形成している。下方側の溝４１は、後述するように前記底板２８と組み合わされることにより、前記蒸着用るつぼ１を保持するるつぼ保持部材４４の左右両端部を案内するためのガイド溝（側方ガイド溝）を形成する。そして、この下方側溝４１は、前記上方側の溝４０の下方にこれよりも深く形成されて、セットプレート２２Ａ，２２Ｂの下面側に開放している。前記抜け防止部４２は、上方側の溝４０の上壁を形成しており、前記蒸着用るつぼ１が前記るつぼ保持部２２の内部から上方に抜け出すのを防止している。   The crucible holding part 22 is composed of a pair of set plates 22A and 22B disposed on the bottom plate 28 so as to face each other in parallel in the left-right direction when viewed from the left side. These set plates 22A, 22B are formed in a symmetrical shape as shown in FIG. 8 and extend in the left-right direction of the apparatus. On the surfaces facing each other, two upper and lower grooves 40, 41 and a slip-off preventing portion are provided. 42 is formed over the entire length. The upper groove 40 is located directly under the slip-out preventing portion 42 and forms a space for storing the upper end portion of the evaporation crucible 1 in a non-contact state. As will be described later, the lower groove 41 is combined with the bottom plate 28 to form guide grooves (side guide grooves) for guiding the left and right ends of the crucible holding member 44 for holding the evaporation crucible 1. Form. The lower groove 41 is formed deeper below the upper groove 40 and opens to the lower surfaces of the set plates 22A and 22B. The escape prevention part 42 forms an upper wall of the upper groove 40 and prevents the crucible 1 for vapor deposition from slipping upward from the inside of the crucible holding part 22.

前記底板２８には、その上面に左側面から右側面に向かって蒸着材料除去位置５０（たがね２３の軸線と交わる位置）を通って延びる溝（下方ガイド溝）５３が係止されている。この溝５３は、前記蒸着用るつぼ１を保持するるつぼ保持部材４４（図５）の下端部を案内するためのガイド溝であり、底板２８の上面側に開放している。この下方ガイド溝５３の底面の蒸着材料除去位置５０に対応する箇所には、蒸着用るつぼ１から除去された焼結ペレット３の屑３５を前記ペレット回収容器３６内に落下させるためのペレット屑回収用穴５２が形成されている。前記下方ガイド溝５３の幅は、前記セットプレーと２２Ａ，２２Ｂの下方側溝４１の間隔より狭く形成されているため、前記セットプレーと２２Ａ，２２Ｂが前記底板２８に設置された状態で、前記下方溝４１と前記下方ガイド溝５３の両側の底板上面とで前記側方ガイド溝が形成されている。前記下方ガイド溝５３は、左側面から蒸着材料除去位置５０を超えて底板２８の右側面に達する手前の所定の位置まで形成され、この下方ガイド溝５３の最奥部分がるつぼ保持部材４４の位置決め部５４（図３）となっている。この位置決め部５４の位置は、前記るつぼ保持部材４４の先端が突き当たるまで挿入したときに蒸着用るつぼ１が蒸着材料除去位置５０にくるように設定されている。なお、この位置決め部５４は、本実施の形態では下方ガイド溝５３の最奥部分が相当するが、別途るつぼ保持部材４４の位置を決める構造を設けてもよい。   A groove (downward guide groove) 53 extending through the deposition material removal position 50 (position intersecting with the axis of the chisel 23) from the left side surface to the right side surface is locked to the bottom plate 28. . The groove 53 is a guide groove for guiding the lower end portion of the crucible holding member 44 (FIG. 5) that holds the vapor deposition crucible 1, and is open to the upper surface side of the bottom plate 28. In a portion corresponding to the vapor deposition material removal position 50 on the bottom surface of the lower guide groove 53, pellet scrap recovery for dropping the scrap 35 of the sintered pellet 3 removed from the deposition crucible 1 into the pellet recovery container 36 is performed. A service hole 52 is formed. Since the width of the lower guide groove 53 is narrower than the gap between the set play and the lower groove 41 of the 22A, 22B, the lower position of the lower guide groove 53 in the state where the set play and 22A, 22B are installed on the bottom plate 28. The side guide groove is formed by the groove 41 and the upper surface of the bottom plate on both sides of the lower guide groove 53. The lower guide groove 53 is formed from the left side surface to a predetermined position before reaching the right side surface of the bottom plate 28 beyond the deposition material removing position 50, and the deepest portion of the lower guide groove 53 is positioned for the crucible holding member 44. This is part 54 (FIG. 3). The position of the positioning portion 54 is set so that the vapor deposition crucible 1 is positioned at the vapor deposition material removal position 50 when the crucible holding member 44 is inserted until the tip of the crucible holding member 44 abuts. The positioning portion 54 corresponds to the innermost portion of the lower guide groove 53 in the present embodiment, but a structure for determining the position of the crucible holding member 44 may be provided separately.

前記るつぼ保持部材４４は、比較的板厚が厚い四角形のブロックからなり、上面中央に前記蒸着用るつぼ１の下半部を収容するテーパ状のるつぼ収納孔４５が形成されており、さらにこのるつぼ収納孔４５に続いてるつぼ保持部材４４の下面側に開口するストレートな円形の孔４６が形成されている。このストレートな孔４６は、蒸着用るつぼ１の第１の円筒部４Ａ（図１、図２）の穴径と略同一の穴径あるいはそれより大きい穴径を有し、るつぼ収納孔４５との境部に形成された段差部４７によって蒸着用るつぼ１の下面を支持している。るつぼ保持部材４４の左右両端部には、前記各セットプレート２２Ａ，２２Ｂの下方側溝４１と前記底板２８とで形成される前記側方ガイド溝に摺動自在に挿入される左右一対の張り出し部（側方張り出し部）４４ａが一体に突設されている。   The crucible holding member 44 is formed of a rectangular block having a relatively large plate thickness, and a tapered crucible storage hole 45 for receiving the lower half of the vapor deposition crucible 1 is formed at the center of the upper surface. A straight circular hole 46 that opens to the lower surface side of the crucible holding member 44 is formed following the storage hole 45. The straight hole 46 has a hole diameter substantially equal to or larger than the hole diameter of the first cylindrical portion 4A (FIGS. 1 and 2) of the crucible 1 for vapor deposition. The lower surface of the evaporation crucible 1 is supported by a step 47 formed at the boundary. A pair of left and right overhanging portions (slidably inserted into the side guide grooves formed by the lower side grooves 41 and the bottom plate 28 of the set plates 22A and 22B are provided at both left and right ends of the crucible holding member 44. Side projecting portion) 44a is integrally projected.

また、るつぼ保持部材４４の下端には、前記底板２８の下方ガイド溝５３に摺動自在に挿入される張り出し部（下方張り出し部）４４ｂが一体に突設されている。このようなるつぼ保持部材４４は、蒸着材料である焼結ペレット３が固着されている蒸着用るつぼ１をるつぼ収納孔４５に収納した後、左側面プレート３０ｂの開口部３３からるつぼ保持部２２内に挿入されると、前記側方ガイド溝と前記下方ガイド溝５３に沿って後方に移動されるるつぼ保持部材４４の先端が前記下方ガイド溝５３の位置決め部５４に突き当たり、蒸着用るつぼ１が蒸着材料除去位置５０に位置決めされる。この蒸着材料除去位置５０は、前記るつぼ駆動機構２４の真下に位置しており、蒸着用るつぼ１の筒状部（４Ａ，４Ｂ）の軸線とたがね２３の軸線を一致させる位置である。   A projecting portion (downward projecting portion) 44 b that is slidably inserted into the lower guide groove 53 of the bottom plate 28 is integrally provided at the lower end of the crucible holding member 44. Such a crucible holding member 44 stores the vapor deposition crucible 1 to which the sintered pellet 3 as the vapor deposition material is fixed in the crucible storage hole 45 and then enters the crucible holding part 22 from the opening 33 of the left side plate 30b. When inserted into the lower guide groove 53, the tip of the crucible holding member 44 moved rearward along the side guide groove and the lower guide groove 53 hits the positioning portion 54 of the lower guide groove 53, and the deposition crucible 1 is deposited. It is positioned at the material removal position 50. This vapor deposition material removal position 50 is located immediately below the crucible drive mechanism 24 and is a position where the axis of the cylindrical portion (4A, 4B) of the vapor deposition crucible 1 coincides with the axis of the chisel 23.

図６〜図９において、前記たがね２３は、棒状のロッド２３Ａと、このロッド２３Ａの下端に一体に設けられた中央打撃部２３Ｂおよび外周打撃部２３Ｃとで構成されている。中央打撃部２３Ｂは、前記焼結ペレット３の溶融固化した表面中央部を打撃する部分で、円錐状の突状体に形成されている。外周打撃部２３Ｃは、焼結ペレット３の表面外周部を打撃する部分で、前記中央打撃部２３Ｂの周囲を取り囲む環状の突状体に形成されており、円板状の連結部２３Ｄによって前記中央打撃部２３Ｂに連結されている。外周打撃部２３Ｃの外径は、蒸着用るつぼ１の小径の円筒部４Ｂの穴径より小さく設定されている。また、中央打撃部２３Ｂは、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａの表面形状および表面の中央と外周の高さの差を考慮して外周打撃部２３Ｃよりもたがね２３の進退方向において前方、つまり下方に所定量突出して設けられている。この突出寸法Ｄ（図６）は、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａの表面中央と外周の平均的な高さの差を考慮して設定されており、これにより中央打撃部２３Ｂと外周打撃部２３Ｃが焼結ペレット３の表面を打撃するときの順位付けをし、中央打撃部２３Ｂが外周打撃部２３Ｃよりも早く打撃するように形成している。つまり、最初に中央打撃部２３Ｂが溶融固化部３Ａの薄くて強度の最も弱い中央部分を打撃して破壊し、次いで外周打撃部２３Ｃが厚くて強度の大きい外周寄りを打撃して破壊するようにしたものである。   6 to 9, the chisel 23 includes a rod-shaped rod 23A, and a central hitting portion 23B and an outer peripheral hitting portion 23C that are integrally provided at the lower end of the rod 23A. The central striking portion 23B is a portion that strikes the melted and solidified surface central portion of the sintered pellet 3, and is formed in a conical protrusion. The outer percussion portion 23C is a portion that strikes the outer peripheral portion of the surface of the sintered pellet 3, and is formed in an annular projecting body surrounding the central percussion portion 23B. It is connected to the striking part 23B. The outer diameter of the outer percussion portion 23C is set smaller than the hole diameter of the small-diameter cylindrical portion 4B of the vapor deposition crucible 1. Further, the central hitting portion 23B is more forward than the outer peripheral hitting portion 23C in the advancing and retreating direction of the chisel 23 in consideration of the surface shape of the melt-solidified portion 3A of the sintered pellet 3 and the difference between the center and outer peripheral height of the surface. That is, it is provided so as to protrude by a predetermined amount downward. This protrusion dimension D (FIG. 6) is set in consideration of the difference in average height between the center of the surface and the outer periphery of the melt-solidified portion 3A of the sintered pellet 3, and thereby the central hitting portion 23B and the outer peripheral hitting. The order is given when the portion 23C hits the surface of the sintered pellet 3, and the central hitting portion 23B hits faster than the outer peripheral hitting portion 23C. That is, first, the central hitting portion 23B hits and destroys the thin and weakest central portion of the melt-solidified portion 3A, and then the outer peripheral hitting portion 23C hits and destroys the thicker and stronger outer periphery. It is a thing.

前記たがね駆動機構２４は、シリンダ６０と、このシリンダ６０内に上下動自在に組み込まれたフリーピストン（以下、ピストンと略称する）６１，アンビル６２およびたがね支持部材６３と、シリンダ６０の下端に設けられた外筒体６４と、前記シリンダ６０に圧搾空気７０を供給する圧搾空気供給源６６等で構成されている。   The chisel drive mechanism 24 includes a cylinder 60, a free piston (hereinafter abbreviated as a piston) 61, an anvil 62, an chisel support member 63, and a cylinder 60. The outer cylinder body 64 provided at the lower end of the cylinder 60, the compressed air supply source 66 for supplying the compressed air 70 to the cylinder 60, and the like.

前記シリンダ６０は、上端開口部が蓋部材６０Ａによって閉塞されており、内部には互いに連通する第１、第２の室７３，７４が軸線方向に形成されている。第１の室７３は、ピストン６１を上下動自在に収納する室であって、上端側が大径の孔部７３ａを形成し、下端側が小径の孔部７３ｂを形成している。そして、この第１の室７３の下端側には、圧搾空気７０の供給口７７と環状通路７８が形成されている。供給口７７は、シリンダ６０の半径方向に形成されて一端が前記環状通路７８に開口し、他端が配管７９を介して圧搾空気供給源６６に接続されている。環状通路７８は、小径の孔部７３ｂの内周面とピストン６１の下端部６１ｂの外周面との間に形成されている。   The cylinder 60 has an upper end opening closed by a lid member 60A, and first and second chambers 73 and 74 communicating with each other are formed in the axial direction. The first chamber 73 is a chamber that accommodates the piston 61 so as to be movable up and down, and the upper end side forms a large-diameter hole 73a and the lower end side forms a small-diameter hole 73b. A supply port 77 for the compressed air 70 and an annular passage 78 are formed on the lower end side of the first chamber 73. The supply port 77 is formed in the radial direction of the cylinder 60, has one end opened to the annular passage 78, and the other end connected to the compressed air supply source 66 via a pipe 79. The annular passage 78 is formed between the inner peripheral surface of the small-diameter hole 73 b and the outer peripheral surface of the lower end portion 61 b of the piston 61.

前記ピストン６１は、前記大径の孔部７３ａ内に摺動自在に位置する大径部６１ａと、この大径部６１ａの下面中央に延設され下端部が前記小径の孔部７３ｂに摺動自在に挿入されている小径部６１ｂとからなる棒状体に形成され、大径部６１ａによって前記第１の室７３を上下２つの室、すなわち第１圧力室８２Ａと第２圧力室８２Ｂに仕切っている。また、ピストン６１の内部には、圧搾空気７０の通路８０が形成されている。この通路８０の一端はピストン６１の上面中央に開口し、他端は前記小径部６１ｂの下端部外周面に開口して図６に示すようにピストン６１が最上位置にある状態においては前記環状通路７８に連通し、ピストン６１が駆動して図７に示すように最下位置に下降すると前記第２の室７４に連通するように形成されている。   The piston 61 has a large-diameter portion 61a slidably positioned in the large-diameter hole 73a, and a lower end portion that slides in the small-diameter hole 73b. The first chamber 73 is formed by a large-diameter portion 61a into upper and lower chambers, that is, a first pressure chamber 82A and a second pressure chamber 82B. Yes. A passage 80 for compressed air 70 is formed inside the piston 61. One end of the passage 80 opens at the center of the upper surface of the piston 61, and the other end opens at the outer peripheral surface of the lower end portion of the small-diameter portion 61b, and the piston 61 is in the uppermost position as shown in FIG. 78, when the piston 61 is driven and lowered to the lowest position as shown in FIG. 7, it is formed so as to communicate with the second chamber 74.

前記第２の室７４は、前記アンビル６２とたがね支持部材６３をそれぞれ上下動自在に収納するための室で、前記第１の室７３の下方側に連通して設けられている。また、この第２の室７４の内部上方側には、アンビル６２を下方に付勢する圧縮コイルばね９１が収納されている。さらに、第２の室７４の上端側には、排気口９７が形成されている。この排気口９７は、シリンダ６０の半径方向に形成されて一端が前記第２の室７４に開口し、他端がシリンダ６０の外部に開放している。   The second chamber 74 is a chamber for accommodating the anvil 62 and the chisel support member 63 so as to be movable up and down, and is provided in communication with the lower side of the first chamber 73. In addition, a compression coil spring 91 that urges the anvil 62 downward is housed in the upper side of the second chamber 74. Further, an exhaust port 97 is formed on the upper end side of the second chamber 74. The exhaust port 97 is formed in the radial direction of the cylinder 60 and has one end opened to the second chamber 74 and the other end opened to the outside of the cylinder 60.

前記外筒体６４は、前記シリンダ６０の下端側開口部に螺合によって連結されることにより、上端部が第２の室７４内に挿入され、下端部がシリンダ６０の下方に延在し、内部に前記たがね２３と、たがね支持部材６３およびこのたがね支持部材６３を上方に付勢する圧縮コイルばね９６が組み込まれている。前記アンビル６２とたがね支持部材６３は、初期位置状態において前記圧縮コイルばね９１と９６のばね力が釣り合い状態を保つ高さ位置に保持されている。なお、外筒体６４の内径と第２の室７４の内径とは等しい。   The outer cylindrical body 64 is connected to the lower end side opening of the cylinder 60 by screwing, so that the upper end is inserted into the second chamber 74 and the lower end extends below the cylinder 60. The chisel 23, the chisel support member 63, and a compression coil spring 96 that urges the chisel support member 63 upward are incorporated therein. The anvil 62 and the chisel support member 63 are held at a height position where the spring force of the compression coil springs 91 and 96 maintains a balanced state in the initial position state. The inner diameter of the outer cylindrical body 64 and the inner diameter of the second chamber 74 are equal.

前記たがね２３は、ロッド２３Ａの上端が前記たがね支持部材６３の下面中央に連結されており、前記ピストン６１の最上位置および最下位置における中央打撃部２３Ｂと外周打撃部２３Ｃの前記外筒体６４先端からの位置は、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａの表面中央と外周のるつぼにおける平均的な高さを考慮して設定されている。前記外筒体６４の先端部６４Ａは、前記たがね２３の中央打撃部２３Ｂと外周打撃部２３Ｃを摺動自在に収納する部分で、圧縮コイルばね９６を収納している上方部分より小径に形成されている。   In the chisel 23, the upper end of the rod 23A is connected to the center of the lower surface of the chisel support member 63, and the central hitting portion 23B and the outer peripheral hitting portion 23C at the uppermost position and the lowermost position of the piston 61, respectively. The position from the front end of the outer cylindrical body 64 is set in consideration of the average height in the center of the surface of the melt-solidified portion 3A of the sintered pellet 3 and the outer crucible. The distal end portion 64A of the outer cylindrical body 64 is a portion that slidably accommodates the central hitting portion 23B and the outer perimeter hitting portion 23C of the chisel 23, and has a smaller diameter than the upper portion that accommodates the compression coil spring 96. Is formed.

前記外筒体６４の先端部６４Ａの外径は、蒸着用るつぼ１の大径の円筒部４Ｂの内径より僅かに小さく設定されており、先端部６４Ａの内径は蒸着用るつぼ１の小径の円筒部４Ａの内径より僅かに小さく設定されている。そして、この先端部６４Ａは、図９（ａ）に示すように蒸着用るつぼ１内の焼結ペレット３をたがね２３により打撃して除去する際に、上方から蒸着用るつぼ１の大径の円筒部４Ｂ内に挿入され、これによりたがね２３の半径方向の振れ、さらには外周打撃部２３Ｃが蒸着用るつぼ１の内壁や段差部５を打撃したり破損させたりするのを防止するようにしている。   The outer diameter of the distal end portion 64A of the outer cylindrical body 64 is set slightly smaller than the inner diameter of the large diameter cylindrical portion 4B of the vapor deposition crucible 1, and the inner diameter of the distal end portion 64A is a small diameter cylinder of the vapor deposition crucible 1. It is set slightly smaller than the inner diameter of the portion 4A. The tip 64A has a large diameter of the vapor deposition crucible 1 from above when the sintered pellet 3 in the vapor deposition crucible 1 is struck and removed by the chisel 23 as shown in FIG. 9A. This is inserted into the cylindrical portion 4B of this, thereby preventing the ratchet 23 from swinging in the radial direction and further preventing the outer peripheral striking portion 23C from hitting or damaging the inner wall or the stepped portion 5 of the crucible 1 for vapor deposition. I am doing so.

なお、内部に段差部を有さない円柱状の空洞部を有する蒸着用るつぼに適用する場合は、前記外筒体６４の先端部６４Ａの外径は蒸着用るつぼの円筒部の内径より大きく設定し、先端部６４Ａの内径は蒸着用るつぼの円筒部の内径より小さく設定するとよい。   In addition, when applied to a vapor deposition crucible having a columnar cavity that does not have a stepped portion inside, the outer diameter of the distal end portion 64A of the outer cylindrical body 64 is set larger than the inner diameter of the cylindrical portion of the vapor deposition crucible. The inner diameter of the tip 64A may be set smaller than the inner diameter of the cylindrical part of the evaporation crucible.

図３および図４において、前記たがね駆動機構保持部２５は、ロッド７１と、このロッド７１を摺動自在に保持するガイド筒１００と、前記ロッド７１をガイド筒１００に沿って昇降させる操作レバー１０１等を備えている。前記ロッド７１は、上端が前記操作レバー１０１の下面に連結ピン（図示せず）を介して連結され、下端には前記シリンダ６０の蓋部材６０Ａが螺合によって連結されている。前記ガイド筒１００は、筐体２１の上板２７を貫通して設けられ、前記蒸着材料除去位置５０の上方に位置している。前記操作レバー１０１は、基端が上板２７上に固定されたブラケット１０３に連結ピン１０４を介して上下方向に回動自在に連結されている。   3 and 4, the chisel drive mechanism holding unit 25 includes a rod 71, a guide cylinder 100 that slidably holds the rod 71, and an operation for moving the rod 71 up and down along the guide cylinder 100. A lever 101 is provided. An upper end of the rod 71 is connected to the lower surface of the operation lever 101 via a connecting pin (not shown), and a lid member 60A of the cylinder 60 is connected to the lower end by screwing. The guide cylinder 100 is provided so as to penetrate the upper plate 27 of the housing 21 and is located above the vapor deposition material removal position 50. The operating lever 101 is connected to a bracket 103 whose base end is fixed on the upper plate 27 via a connecting pin 104 so as to be rotatable in the vertical direction.

この実施の形態においては、たがね駆動機構保持部２５は、操作レバー１０１を備え、てこの原理を利用してたがね駆動機構保持部２５を移動させているため、高速で往復運動するたがね２３を強い力で焼結ペレット３の表面に押し付けることができる。また、ガイド筒１００によりロッド７１の移動方向が正確に規制されているため、たがね２３を所定の位置に正確に当てることができる。   In this embodiment, the chisel drive mechanism holding portion 25 includes the operation lever 101 and moves the chisel drive mechanism holding portion 25 using the lever principle, so that it reciprocates at a high speed. The chisel 23 can be pressed against the surface of the sintered pellet 3 with a strong force. Further, since the moving direction of the rod 71 is accurately regulated by the guide cylinder 100, the chisel 23 can be accurately applied to a predetermined position.

次に、上記構造からなる蒸着材料除去装置２０の蒸着材料除去動作について説明する。
先ず、内壁に蒸着材料からなる焼結ペレット３が固着している蒸着用るつぼ１をるつぼ保持部材４４のるつぼ収納孔４５に装着する。次いで、蒸着用るつぼ１が装着されたるつぼ保持部材４４を蒸着材料除去装置２０の開口部３３からるつぼ保持部２２内に装着し、側方ガイド溝と下方ガイド溝５３に沿って移動させ、蒸着材料除去位置５０に位置決め停止させる。 Next, the vapor deposition material removing operation of the vapor deposition material removing apparatus 20 having the above structure will be described.
First, the vapor deposition crucible 1 with the sintered pellet 3 made of vapor deposition material fixed to the inner wall is mounted in the crucible holding hole 45 of the crucible holding member 44. Next, the crucible holding member 44 to which the vapor deposition crucible 1 is attached is fitted into the crucible holding part 22 from the opening 33 of the vapor deposition material removing apparatus 20 and moved along the side guide groove and the lower guide groove 53 to deposit the vapor. The positioning is stopped at the material removal position 50.

次に、たがね駆動機構保持部２５の操作レバー１０１を操作して、たがね駆動機構２４を下降させ、外筒体６４の先端部６４Ａを図９（ａ）に示すように蒸着用るつぼ１の第２の円筒部４Ｂ内に所定量挿入する。そして、たがね駆動機構２４を下降した位置に固定し、この状態で切換弁８３を開いて圧搾空気供給源６６から圧搾空気７０をたがね駆動機構２４に供給し、たがね２３を動作させる。   Next, the operation lever 101 of the chisel drive mechanism holding portion 25 is operated to lower the chisel drive mechanism 24, and the tip 64A of the outer cylinder 64 is used for vapor deposition as shown in FIG. A predetermined amount is inserted into the second cylindrical portion 4B of the crucible 1. Then, the chisel drive mechanism 24 is fixed at the lowered position, and in this state, the switching valve 83 is opened, the compressed air 70 is supplied from the compressed air supply source 66 to the chisel drive mechanism 24, and the chisel 23 is Make it work.

圧搾空気供給源６６の圧搾空気７０は、配管７９を通ってシリンダ６０の供給口７７に供給されると、環状通路７８−通路８０を通って第１圧力室８２Ａに供給される。これにより第１圧力室８２Ａ内の圧力が上昇してピストン６１の上面に作用し、ピストン６１を図６に示すように下降させる。このとき、圧搾空気７０の一部は、環状通路７８を通って第２圧力室８２Ｂにも供給されているため、第２圧力室８２Ｂ内の圧力も上昇してピストン６１の大径部６１ａの下面側に作用するが、この大径部６１ａの下面側の表面積は、上面側の表面積よりも小さく設計されているので、ピストン６１を高速で下降させることができる。   When the compressed air 70 of the compressed air supply source 66 is supplied to the supply port 77 of the cylinder 60 through the pipe 79, it is supplied to the first pressure chamber 82 </ b> A through the annular passage 78-the passage 80. As a result, the pressure in the first pressure chamber 82A rises, acts on the upper surface of the piston 61, and lowers the piston 61 as shown in FIG. At this time, since a part of the compressed air 70 is also supplied to the second pressure chamber 82B through the annular passage 78, the pressure in the second pressure chamber 82B is also increased, and the large diameter portion 61a of the piston 61 is increased. Although acting on the lower surface side, the surface area on the lower surface side of the large-diameter portion 61a is designed to be smaller than the surface area on the upper surface side, so that the piston 61 can be lowered at high speed.

ピストン６１が下降すると、アンビル６２に衝突し、アンビル６２およびたがね支持部材６３を圧縮コイルばね９６に抗して下降させる。これにより、たがね２３が外筒体６４の先端部６４Ａから突出して中央打撃部２３Ｂが蒸着用るつぼ１内の焼結ペレット３の表面中央部を打撃する（図９（ｂ））。   When the piston 61 descends, it collides with the anvil 62 and lowers the anvil 62 and the chisel support member 63 against the compression coil spring 96. As a result, the chisel 23 protrudes from the distal end portion 64A of the outer cylindrical body 64, and the central striking portion 23B strikes the central portion of the surface of the sintered pellet 3 in the vapor deposition crucible 1 (FIG. 9B).

ピストン６１は、所定長さ以上下降してアンビル６２を打撃すると、通路８０の下端開口部が図６に示すように第２の室７４に連通する。このため、第１圧力室８２Ａは、通路８０−第２の室７４−排気口９７を介して大気開放され、内部の圧力が急激に低下する。一方、環状通路７８には圧搾空気７０が供給され続けているので、環状通路７８内の圧力が急速に上昇してピストン６１の大径部６１ａの下面に作用し、ピストン６１を高速で上昇復帰させる。また、たがね２３が焼結ペレット３を打撃するとその反力と圧縮コイルばね９６による弾発力によってアンビル６２、たがね支持部材６３およびたがね２３も上昇復帰する。以後、このような動作を繰り返すことにより、たがね２３が蒸着用るつぼ１の筒状部の軸線方向に高速で往復運動し、焼結ペレット３の表面を打撃する。   When the piston 61 descends by a predetermined length or more and hits the anvil 62, the lower end opening of the passage 80 communicates with the second chamber 74 as shown in FIG. For this reason, the first pressure chamber 82A is opened to the atmosphere via the passage 80—the second chamber 74—the exhaust port 97, and the internal pressure rapidly decreases. On the other hand, since the compressed air 70 continues to be supplied to the annular passage 78, the pressure in the annular passage 78 rapidly increases and acts on the lower surface of the large-diameter portion 61a of the piston 61, and the piston 61 is raised and returned at high speed. Let Further, when the chisel 23 strikes the sintered pellet 3, the anvil 62, chisel support member 63, and chisel 23 are also raised and returned by the reaction force and the elastic force of the compression coil spring 96. Thereafter, by repeating such an operation, the chisel 23 reciprocates at a high speed in the axial direction of the cylindrical portion of the evaporation crucible 1 and strikes the surface of the sintered pellet 3.

焼結ペレット３の破壊、除去は、たがね２３に中央打撃部２３Ｂと外周打撃部２３Ｃとを設け、中央打撃部２３Ｂを外周打撃部２３Ｃより前方に突出させていることから、図９（ｂ）〜（ｄ）に示す順序で進行する。すなわち、まず最初に中央打撃部２３Ｂが、図９（ｂ）に示すように焼結ペレット３の表面中央部を打撃する。焼結ペレット３の表層部は溶融固化部３Ａではあるが、この溶融固化部３Ａの中央部は、比較的薄肉で強度が弱いため、中央打撃部２３Ｂによって繰り返し打撃されると徐々に削られて穴が生じ、溶融固化部３Ａ全体の強度を低下させる。溶融固化部３Ａの中央部に穴ができると、中央打撃部２３Ｂは溶融固化部３Ａを突き抜けて下層部３Ｂを打撃するようになる。この下層部３Ｂは、蒸着時に溶融されなかった部分であるため、ペレットの状態を留めている。このため、溶融固化部分３Ａに比べて強度が弱く、中央打撃部２３Ｂによって打撃されると容易に破壊されて溶融固化部３Ａから剥離し落下する（図９（ｃ））。また、溶融固化部３Ａの中央が破壊されて溶融固化部３Ａ全体の強度が低下すると、外周打撃部２３Ｂが溶融固化部３Ａの外周部を打撃しはじめる。そして、繰り返し打撃することにより溶融固化部３Ａを破壊してるつぼ内壁から取り除き（図９（ｄ））、焼結ペレット３の除去作業を終了する。   The destruction and removal of the sintered pellet 3 is because the central hitting portion 23B and the outer peripheral hitting portion 23C are provided in the chisel 23, and the central hitting portion 23B is projected forward from the outer peripheral hitting portion 23C. It proceeds in the order shown in b) to (d). That is, first, the central hitting portion 23B hits the central portion of the surface of the sintered pellet 3 as shown in FIG. 9B. Although the surface layer portion of the sintered pellet 3 is the melt-solidified portion 3A, the central portion of the melt-solidified portion 3A is relatively thin and weak in strength, and therefore is gradually scraped when repeatedly hit by the central hitting portion 23B. A hole is generated, and the strength of the entire melt-solidified portion 3A is reduced. When a hole is formed in the central portion of the melt-solidified portion 3A, the central hitting portion 23B penetrates the melt-solidified portion 3A and hits the lower layer portion 3B. Since this lower layer part 3B is a part which was not melt | dissolved at the time of vapor deposition, it has stopped the state of the pellet. For this reason, the strength is weaker than that of the melted and solidified portion 3A, and when it is hit by the central hitting portion 23B, it is easily broken and peels off from the melted and solidified portion 3A (FIG. 9C). Further, when the center of the melt-solidified portion 3A is destroyed and the strength of the entire melt-solidified portion 3A is reduced, the outer periphery hitting portion 23B starts to hit the outer periphery of the melt-solidified portion 3A. Then, by repeatedly hitting, the melt-solidified portion 3A is broken and removed from the inner wall of the crucible (FIG. 9D), and the removal operation of the sintered pellet 3 is completed.

このように、本発明による蒸着材料除去装置２０は、たがね２３を高速で往復運動させ、その中央打撃部２３Ｂによって焼結ペレット３の表面中央部を打撃して破壊し溶融固化部３Ａの強度を低下させた後、外周打撃部２３Ｃによって焼結ペレット３の表面外周部を打撃して破壊しるつぼ内壁から離脱させるようにしたので、蒸着用るつぼ１との接合強度が大きな蒸着材料からなる焼結ペレット３であっても容易かつ確実に除去することができる。   As described above, the vapor deposition material removing apparatus 20 according to the present invention reciprocates the chisel 23 at a high speed, and hits and destroys the central portion of the surface of the sintered pellet 3 by the central striking portion 23B to destroy and melt the solidified portion 3A. After the strength is lowered, the outer peripheral striking portion 23C strikes the outer peripheral portion of the surface of the sintered pellet 3 so as to be detached from the crucible inner wall, so that the joining strength with the vapor deposition crucible 1 is made of a vapor deposition material. Even the sintered pellet 3 can be easily and reliably removed.

また、外筒体６４がたがね２３の往復運動時の案内筒として機能し、たがね２３の径方向外方への振れを防止しているので、たがね２３が誤ってるつぼ内壁や段差部５を打撃するおそれがなく、蒸着用るつぼ１の変形や破損を防止することができる。   Further, since the outer cylinder 64 functions as a guide cylinder during the reciprocating motion of the chisel 23 and prevents the chisel 23 from swinging outward in the radial direction, the inner wall of the crucible 23 is erroneous. In addition, there is no risk of hitting the step portion 5 and deformation or breakage of the vapor deposition crucible 1 can be prevented.

また、上記例のように段差部５を有する蒸着用るつぼ１に適用する場合であっても、たがね２３を進退自在に収納する外筒体６４の先端部６４Ａを段差部５の手前の大径の円筒部４Ｂ内に挿入しているので、たがね２３とるつぼ１の位置合わせが容易で正確にでき、また外筒体６４の先端部６４Ａの内径を小径の円筒部４Ａの内径より小さく設定しているので、たがね２３の外周打撃部２３Ｃがるつぼ内壁や段差部５に向かって打撃して、るつぼ１が変形や破壊されるのを防止することができる。   Further, even when applied to the evaporation crucible 1 having the stepped portion 5 as in the above example, the front end portion 64A of the outer cylindrical body 64 that accommodates the chisel 23 so as to be able to advance and retreat is disposed in front of the stepped portion 5. Since it is inserted into the large-diameter cylindrical portion 4B, it is easy and accurate to align the crucible 1 with the chisel 23, and the inner diameter of the distal end portion 64A of the outer cylindrical body 64 is set to the inner diameter of the small-diameter cylindrical portion 4A. Since it is set smaller, it is possible to prevent the outer percussion portion 23C of the chisel 23 from striking toward the inner wall of the crucible or the stepped portion 5, and the crucible 1 from being deformed or broken.

さらに、たがね駆動機構２４によってたがね２３を高速で往復運動させているので、作業者がたがね２３をハンマー等で叩く必要がなく、作業者の負担を著しく軽減することができる。   Further, since the chisel 23 is reciprocated at a high speed by the chisel drive mechanism 24, the operator does not need to hit the chisel 23 with a hammer or the like, and the burden on the worker can be remarkably reduced. .

また、たがね２３を高速で往復運動させるたがね駆動機構２４をたがね２３の往復運動方向に移動自在に保持するために駆動機構保持部２５を備えるとともに、蒸着用るつぼ１をその軸線方向が前記たがね駆動機構保持部２５によって保持されているたがね駆動機構２４のたがね２３の軸線方向と一致するように保持するるつぼ保持部２２を備えているので、るつぼ２３の位置合わせが容易で、たがね２３を蒸着用るつぼ１に対して所定の位置に正確に当てることができる。   In addition, a holding mechanism 25 is provided for holding the ratchet drive mechanism 24 for reciprocating the chisel 23 at a high speed so as to be movable in the reciprocating direction of the chisel 23, and the crucible 1 for vapor deposition is attached to the crucible 1 for vapor deposition. Since the crucible holding part 22 is provided so that the axial direction is coincident with the axial direction of the chisel 23 of the chisel driving mechanism 24 held by the chisel driving mechanism holding part 25, the crucible 23 is provided. Therefore, it is possible to accurately place the chisel 23 at a predetermined position with respect to the crucible 1 for vapor deposition.

また、上記蒸着材料除去方法によれば、ニオブを含有した蒸着材料のように熱伝導率が高い蒸着材料を用いた場合でも容易に取り除くことができる。   Moreover, according to the said vapor deposition material removal method, even when a vapor deposition material with high heat conductivity like the vapor deposition material containing niobium is used, it can remove easily.

図１０は本発明の他の実施の形態を示すたがね駆動機構部のピストンが最上位置にある状態を示す断面図、図１１は同たがね駆動機構ののピストンが最下位置にある状態を示す断面図、図１２は同たがね駆動機構の底面図、図１３（ａ）〜（ｄ）はたがねによる焼結ペレットの破壊除去の様子を示す図である。
この実施の形態は、１本の棒たがね１２１と、複数本の針たがね１２２とでたがね１２０を構成したものである。棒たがね１２１は中央打撃部を構成し、針たがね１２２は棒たがね１２１の周囲に等間隔おいて並設されることにより外周打撃部を構成している。棒たがね１２１と針たがね１２２の違いは、外径および長さが異なるだけで、基本的な構成は全く同一である。そして、これらの棒たがね１２１と針たがね１２２は、たがね支持部材６３を個々独立に上下動自在に貫通して設けられ、上端に設けた鍔部１２４によってたがね支持部材６３からの落下が防止されている。前記棒たがね１２１と針たがね１２２の上端がアンビル６２により押されている状態でのたがね支持部６３からの突出量の差Ｄ’は、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａの表面中央と外周の平均的な高さの差を考慮して、前記棒たがね１２１が前記針たがね１２２より早く打撃するように設定されている。また、前記ピストン６１の最上位置および最下位置における、前記棒たがね１２１先端および針たがね１２２先端の前記外筒体６４先端からの位置も、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａの表面中央と外周のるつぼにおける平均的な高さを考慮して設定されている。
たがね駆動機構２４の初期状態において、棒たがね１２１の下端部は外筒体６４の下方に所定量突出している。一方、針たがね１２２は外筒体６４内に位置している。その他の構造は、上記した実施の形態と全く同一であるため、同一構成部品については同一符号をもって示し、その説明を省略する。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing a state in which the piston of the chisel drive mechanism portion is in the uppermost position, and FIG. 11 is a diagram in which the piston of the chisel drive mechanism is in the lowest position. FIG. 12 is a bottom view of the chisel drive mechanism, and FIGS. 13A to 13D are diagrams showing how the sintered pellets are broken and removed by chisel.
In this embodiment, the chisel 120 is constituted by one stick chisel 121 and a plurality of needle chimes 122. The rod chisel 121 constitutes the central hitting portion, and the needle chisel 122 constitutes the outer percussion portion by being arranged around the rod chisel 121 at equal intervals. The difference between the bar chisel 121 and the needle chisel 122 is just the difference in outer diameter and length, and the basic configuration is exactly the same. The rod chisel 121 and the needle chisel 122 are provided so as to penetrate the chisel support member 63 so as to be independently movable up and down, and the chisel support member is provided by the flange 124 provided at the upper end. The fall from 63 is prevented. The difference D ′ in the amount of protrusion from the chisel support 63 in the state where the upper ends of the bar chisel 121 and the needle chisel 122 are pushed by the anvil 62 is the melting and solidifying part 3A of the sintered pellet 3 In consideration of the difference in average height between the center of the surface and the outer periphery, the bar chisel 121 is set to strike faster than the needle chisel 122. Further, the positions of the tip of the rod chisel 121 and the tip of the needle chisel 122 at the top and bottom positions of the piston 61 from the tip of the outer cylindrical body 64 are also the melting and solidifying part 3A of the sintered pellet 3. It is set in consideration of the average height in the center of the surface and the outer crucible.
In the initial state of the chisel drive mechanism 24, the lower end portion of the rod chisel 121 protrudes a predetermined amount below the outer cylindrical body 64. On the other hand, the needle chisel 122 is located in the outer cylindrical body 64. Since the other structure is completely the same as that of the above-described embodiment, the same components are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

上記構造からなるたがね１２０を備えた蒸着材料除去装置においても、図１３（ａ）〜（ｄ）に示すように、焼結ペレット３の溶融固化部３Ａを棒状たがね１２１で打撃して破壊することにより、溶融固化部３Ａ全体の強度を低下させ、次いで針たがね１２２によって溶融固化部３Ａの外周部を打撃して破壊するようにしているので、上記した実施の形態と同様に、残存する焼結ペレット３を蒸着用るつぼ１から容易かつ確実に除去することができる。   Also in the vapor deposition material removing apparatus provided with the chisel 120 having the above structure, the solidified portion 3A of the sintered pellet 3 is hit with the rod-shaped chisel 121 as shown in FIGS. Since the strength of the entire melt-solidified portion 3A is lowered by the destruction, and then the outer peripheral portion of the melt-solidified portion 3A is struck and destroyed by the needle chisel 122, the same as in the above-described embodiment In addition, the remaining sintered pellet 3 can be easily and reliably removed from the crucible 1 for vapor deposition.

また、特に本実施の形態においては、たがね１２０の外周打撃部を構成する針たがね１２２を個々独立に進退自在に配置しているので、焼結ペレット３の溶融固化部分３Ａの表面外周部の表面高さが周方向において異なっていても、全ての針たがね１２２を表面外周部にほぼ同時に衝突させることができる。したがって、溶融固化部分３Ａを迅速かつ確実に破壊することができ、るつぼ内壁から離脱させることができる。   Further, particularly in the present embodiment, the needle chisel 122 constituting the outer percussion portion of the chisel 120 is arranged so as to be able to advance and retreat independently, so that the surface of the melt-solidified portion 3A of the sintered pellet 3 Even if the surface height of the outer peripheral portion is different in the circumferential direction, all needle chisel 122 can collide with the outer peripheral portion of the surface almost simultaneously. Therefore, the melt-solidified portion 3A can be destroyed quickly and reliably and can be detached from the inner wall of the crucible.

なお、本発明は上記した実施の形態に何ら特定されるものではなく、種々の変更、変形が可能である。例えば、たがね駆動機構２４はたがね２３，１２０を高速で往復運動させることができるものでれば特に限定されない。この往復運動させる手段としては、例えば圧搾空気の代わりに電磁石を用いてもよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and modifications can be made. For example, the chisel drive mechanism 24 is not particularly limited as long as the chimes 23 and 120 can reciprocate at high speed. As this reciprocating means, for example, an electromagnet may be used instead of compressed air.

また、図６〜図９に示す実施の形態においては、たがね２３の外周打撃部２３Ｃを環状の突状体で構成したが、図１４に示すように周方向に並設された複数個の突状体で構成してもよい。すなわち、図１４に示すように外周打撃部２３Ｃの先端部を鋸歯状に形成した場合は、外周打撃部２３Ｃの先端と焼結ペレット３との接触面積が小さいので、より集中して力を加えることができるという利点がある。   Moreover, in embodiment shown in FIGS. 6-9, although the outer periphery hit | damage part 23C of the chisel 23 was comprised with the cyclic | annular protrusion body, as shown in FIG. You may comprise by the protruding body. That is, as shown in FIG. 14, when the tip of the outer periphery hitting portion 23C is formed in a sawtooth shape, the contact area between the tip of the outer periphery hitting portion 23C and the sintered pellet 3 is small, so that more concentrated force is applied. There is an advantage that you can.

また、図６〜図９に示す実施の形態においては、たがね２３の中央打撃部２３Ｂを円錐状の突状体で構成したが、それ以外の突状体、例えば先端が平面、半球状、マイナスドライバー形状、複数の突状体等であってもよい。なお、本実施の形態のように、円錐形状にした場合は、中央打撃部２３Ｂの先端と焼結ペレット３との接触面積が小さいので、より集中して力を加えることができるという点で好ましい。   Further, in the embodiment shown in FIGS. 6 to 9, the central hitting portion 23 </ b> B of the chisel 23 is configured by a conical projecting body, but other projecting bodies, for example, the tip is flat and hemispherical. It may be a minus driver shape, a plurality of protrusions, or the like. In addition, since it is small and the contact area of the front-end | tip of the center hit | damage part 23B and the sintered pellet 3 is small like this Embodiment, it is preferable at the point that force can be applied more concentratedly. .

さらに、本発明は空洞部４内に段差５を備えた蒸着用るつぼ１に適用した例を示したが、段差５を備えない蒸着用るつぼにも適用することができる。   Furthermore, although the present invention has been applied to the evaporation crucible 1 having the step 5 in the cavity 4, the present invention can also be applied to an evaporation crucible without the step 5.

蒸着用るつぼと焼結ペレットの外観斜視図である。It is an external perspective view of a crucible for vapor deposition and a sintered pellet. 蒸着終了後の焼結ペレットの状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state of the sintered pellet after completion | finish of vapor deposition. 本発明に係る蒸着材料除去装置の正面図である。It is a front view of the vapor deposition material removal apparatus which concerns on this invention. 同蒸着材料除去装置の左側面図である。It is a left view of the vapor deposition material removal apparatus. 蒸着用るつぼとるつぼ保持部材の外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of the crucible for vapor deposition and the crucible holding member. たがね駆動機構のピストンが最上位置にある状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which has the piston of a chisel drive mechanism in the uppermost position. 同たがね駆動機構のピストンが最下位置にある状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which has the piston of the chisel drive mechanism in the lowest position. たがねの要部の斜視図である。It is a perspective view of the principal part of a chisel. （ａ）〜（ｄ）はたがねによる焼結ペレットの破壊除去の様子を示す図である。(A)-(d) is a figure which shows the mode of destruction removal of the sintered pellet by chisel. 本発明の他の実施の形態を示すたがね駆動機構部のピストンが最上位置にある状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which has the piston of the chisel drive mechanism part which shows other embodiment of this invention in the uppermost position. 同たがね駆動機構のピストンが最下位置にある状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which has the piston of the chisel drive mechanism in the lowest position. 同たがね駆動機構の底面図である。It is a bottom view of the chisel drive mechanism. （ａ）〜（ｄ）はたがねによる焼結ペレットの破壊除去の様子を示す図である。(A)-(d) is a figure which shows the mode of destruction removal of the sintered pellet by chisel. たがねの他の実施の形態を示す側面図である。It is a side view which shows other embodiment of a chisel.

符号の説明Explanation of symbols

１…蒸着用るつぼ、３…焼結ペレット、３Ａ…上層部（溶融固化部）、３Ｂ…下層部（ペレット部分）、４…空洞部、４Ａ…大径の円筒部、４Ｂ…小径の円筒部、５…段差部、２０…蒸着材料除去装置、２２…るつぼ保持部、２３…たがね、２３Ｂ…中央打撃部、２３Ｃ…外周打撃部、２４…たがね駆動機構、２５…たがね駆動機構保持部、４４…るつぼ保持部材、１２０…たがね、１２１…棒たがね、１２２…針たがね。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Deposition crucible, 3 ... Sintered pellet, 3A ... Upper layer part (melt-solidification part), 3B ... Lower layer part (pellet part), 4 ... Hollow part, 4A ... Large diameter cylindrical part, 4B ... Small diameter cylindrical part 5 ... level difference part, 20 ... vapor deposition material removing device, 22 ... crucible holding part, 23 ... chisel, 23B ... central hitting part, 23C ... peripheral hitting part, 24 ... chisel drive mechanism, 25 ... chisel Drive mechanism holding part, 44 ... crucible holding member, 120 ... chisel, 121 ... rod chisel, 122 ... needle chisel.

Claims (9)

蒸着用るつぼの両端が開放した筒状部の内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットの表面を前記筒状部の軸線方向に高速で往復運動するたがねによって打撃することにより前記焼結ペレットを破壊して除去する蒸着材料除去装置であって、
前記たがねに前記焼結ペレットの表面中央部を打撃する中央打撃部と、この中央打撃部の周囲を取り囲み前記焼結ペレットの表面外周部を打撃する外周打撃部とを設け、
前記中央打撃部を外周打撃部より前方に突出させたことを特徴とする蒸着材料除去装置。 By striking the surface of the sintered pellet made of the vapor deposition material fixed to the inner wall of the cylindrical part whose both ends of the crucible for vapor deposition are opened with a chisel that reciprocates at high speed in the axial direction of the cylindrical part. A vapor deposition material removing device for destroying and removing sintered pellets,
A central hitting portion that hits the central portion of the surface of the sintered pellet in the chisel, and an outer peripheral hitting portion that surrounds the periphery of the central hitting portion and hits the outer peripheral portion of the surface of the sintered pellet,
The vapor deposition material removing apparatus characterized in that the central hitting portion protrudes forward from the outer peripheral hitting portion. 請求項１記載の蒸着材料除去装置において、
前記たがねを高速で往復運動させるたがね駆動機構と、このたがね駆動機構を前記たがねの往復運動方向に移動自在に保持するたがね駆動機構保持部と、前記蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持するるつぼ保持部とを備えていることを特徴とする蒸着材料除去装置。 In the vapor deposition material removal apparatus of Claim 1,
A chisel drive mechanism for reciprocating the chisel at high speed, a chisel drive mechanism holding portion for holding the chisel drive mechanism movably in the reciprocating direction of the chisel, and the vapor deposition A vapor deposition material removing apparatus, comprising: a crucible holding part that holds a crucible so that an axis of a cylindrical part thereof substantially coincides with an axis of the chisel. 請求項１または２記載の蒸着材料除去装置において、
前記たがねの中央打撃部と外周打撃部を一体に形成し、前記中央打撃部を前記たがねの軸線方向に突出した突状体に形成し、前記外周打撃部を中央打撃部を取り囲む環状の突状体に形成したことを特徴とする蒸着材料除去装置。 In the vapor deposition material removal apparatus of Claim 1 or 2,
The central hitting portion and the outer peripheral hitting portion of the chisel are integrally formed, the central hitting portion is formed in a protruding body protruding in the axial direction of the chisel, and the outer peripheral hitting portion surrounds the central hitting portion. A vapor deposition material removing apparatus characterized in that it is formed in an annular protrusion. 請求項１または２記載の蒸着材料除去装置において、
前記たがねの中央打撃部と外周打撃部を一体に形成し、前記中央打撃部を前記たがねの軸線方向に突出した突状体に形成し、前記外周打撃部を周方向に並設された複数個の突状体で構成したことを特徴とする蒸着材料除去装置。 In the vapor deposition material removal apparatus of Claim 1 or 2,
The central hitting portion and the outer peripheral hitting portion of the chisel are integrally formed, the central hitting portion is formed in a projecting body protruding in the axial direction of the chisel, and the outer peripheral hitting portions are arranged in parallel in the circumferential direction. A vapor deposition material removing apparatus comprising a plurality of protruding bodies formed. 請求項１または２記載の蒸着材料除去装置において、
前記たがねの中央打撃部を１本の棒たがねで構成し、外周打撃部を前記棒たがねの周囲に個々独立に進退自在に配置された複数本の針たがねで構成したことを特徴とする蒸着材料除去装置。 In the vapor deposition material removal apparatus of Claim 1 or 2,
The central hitting portion of the chisel is composed of one stick chisel, and the outer perimeter hitting portion is composed of a plurality of needle chimes arranged independently around the rod chisel so as to be able to advance and retreat independently. A vapor deposition material removing apparatus characterized by that. 請求項１〜５のうちのいずれか１つに記載の蒸着材料除去装置において、
前記たがねを進退自在に収納する外筒体を有していることを特徴とする蒸着材料除去装置。 In the vapor deposition material removal apparatus as described in any one of Claims 1-5,
A vapor deposition material removing apparatus, comprising: an outer cylindrical body that accommodates the chisel so as to advance and retreat. 請求項１〜６のうちのいずれか１つに記載の蒸着材料除去装置を用いて蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する蒸着材料除去方法であって、
前記焼結ペレットが固着している蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持する工程と、
前記たがねを高速で往復運動させながら前記蒸着用るつぼ内に挿入し焼結ペレットの表面の中央と周囲を打撃することにより焼結ペレットを破壊して蒸着用るつぼから除去する工程と、
を備え、
前記焼結ペレットの表面の中央と周囲の打撃は、中央の打撃を優先することを特徴とする蒸着材料除去方法。 A vapor deposition material removing method for removing sintered pellets made of a vapor deposition material fixed to the inner wall of a vapor deposition crucible using the vapor deposition material removing apparatus according to any one of claims 1 to 6,
A step of holding the vapor deposition crucible to which the sintered pellet is fixed with the axis of the cylindrical portion being substantially coincident with the axis of the chisel;
Inserting the crucible into the vapor deposition crucible while reciprocating at a high speed and striking the center and periphery of the surface of the sintered pellet to destroy the sintered pellet and removing it from the vapor deposition crucible;
With
The method for removing a deposited material is characterized in that the center hit is given priority to the center and surrounding hits on the surface of the sintered pellet. 請求項６記載の蒸着材料除去装置を用いて蒸着用るつぼの内壁に固着している蒸着材料からなる焼結ペレットを除去する蒸着材料除去方法であって、
蒸着用るつぼの筒状部の内壁には段差部が形成されており、
前記焼結ペレットが固着している蒸着用るつぼをその筒状部の軸線を前記たがねの軸線と略一致させて保持する工程と、
前記たがねを進退自在に収納する外筒体の先端部を前記蒸着用るつぼの径が大きい円筒部内に挿入し、前記たがねが径の大きい円筒部の内壁や段差部に向かって打撃しないように焼結ペレットの表面の中央と周囲を打撃することにより焼結ペレットを破壊して蒸着用るつぼから除去する工程と、
を備え、
前記焼結ペレットの表面の中央と周囲の打撃は、中央の打撃を優先することを特徴とする蒸着材料除去方法。 A vapor deposition material removing method for removing sintered pellets made of a vapor deposition material fixed to the inner wall of a vapor deposition crucible using the vapor deposition material removing apparatus according to claim 6,
A step is formed on the inner wall of the cylindrical portion of the crucible for vapor deposition,
A step of holding the vapor deposition crucible to which the sintered pellet is fixed with the axis of the cylindrical portion being substantially coincident with the axis of the chisel;
Inserting the tip of the outer cylindrical body for storing the chisel so that it can move forward and backward into the cylindrical part with the large diameter of the crucible for vapor deposition, and hitting the chisel against the inner wall and the step part of the cylindrical part with the large diameter Destroying the sintered pellet by striking the center and periphery of the surface of the sintered pellet so as not to remove from the crucible for vapor deposition;
With
The method for removing a deposited material is characterized in that the center hit is given priority to the center and surrounding hits on the surface of the sintered pellet. 請求項８記載の蒸着材料除去方法において、
前記たがねを収納する外筒体の先端部の内径は、前記蒸着用るつぼの径が小さい方の円筒部の内径より僅かに小さく設定され、外径は前記蒸着用るつぼの径が大きい方の円筒部の内径より僅かに小さく設定されていることを特徴とする蒸着材料除去方法。
In the vapor deposition material removal method of Claim 8,
The inner diameter of the distal end portion of the outer cylinder housing the chisel is set slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion with the smaller diameter of the vapor deposition crucible, and the outer diameter is the larger diameter of the vapor deposition crucible A method for removing a vapor deposition material, characterized in that it is set slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical portion.
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