JP4809175B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)の微細化及び高性能化が進んでいるが、MOSFETのソース/ドレインの課題として、図4(a)に示したようにコンタクト抵抗の低抵抗化と、欠陥密度が最小限に抑制されているエピタキシャル層の成長などがある。この問題を解決する方法の一つとしてソース/ドレイン上にシリコンエピタキシャル膜を選択成長させる方法がある。ソース/ドレインのコンタクト抵抗の低抵抗化以外に、層間絶縁膜の間に一部Si基板を露出し、コンタクト抵抗の低抵抗化(図4(b))として、この上にシリコンエピタキシャル膜を選択成長させる方法がある。
半導体シリコンウエハが大気中に露出されると、ウエハ表面のシリコンが大気中の酸素と反応して数Å程度の厚さの自然酸化膜を形成することになる。この自然酸化膜は集積回路の配線工程に不良要素として作用するだけでなく、集積回路の動作速度および信頼性などに支障をきたすコンタクト抵抗などを高くする原因として作用する。
また、その他の目的としては、自然酸化膜等を除去する前処理工程において、シリコン表面上の自然酸化膜等を除去して清浄化すると共に、前記シリコン表面上にエピタキシャル膜を成長させ、更には、温度や処理時間等の制御により前記エピタキシャル膜の成長膜厚を制御することを目的とするものである。
一部分にシリコン面が露出した基板を処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内を加熱する工程と、
前記処理室内に少なくともシラン系ガスとハロゲン系ガスと水素ガスとを供給し、少なくとも前記シリコン面の表面に存在する自然酸化膜または汚染物を除去して、前記シリコン面にエピタキシャル膜を成長させる前処理工程と、
前記前処理工程の後に、前記処理室内に少なくともシリコンを含むガスを供給し、前記エピタキシャル膜の上に、更にエピタキシャル膜を成長させる工程と、
を有する半導体装置の製造方法、が提供される。
前記前処理工程は、前記処理室内の温度を昇温させる工程を更に含み、
前記前処理工程で供給される前処理用の前記ガスは、前記昇温工程で前記処理室内に供給され、前記処理室内の温度が620℃以上の状態においても供給される半導体装置の製造方法、が提供される。
前記前処理工程は、前記処理室内の温度を620℃以上であって、前記エピタキシャル膜の成長工程での温度よりも高い所望の温度で維持させる工程を更に含み、
前処理用の前記ガスは前記昇温工程と前記温度維持工程において前記処理室内に供給され、
前記前処理工程の終了後は、前処理用の前記ガスに替えて、水素ガスを前記処理室内に供給しながら、前記エピタキシャル膜の成長工程での温度まで降温させる半導体装置の製造方法、が提供される。
一部分にシリコン面が露出した基板を処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内を加熱する工程と、
前記処理室内に少なくともシラン系ガスとハロゲン系ガスと水素ガスとを供給し、少なくとも前記シリコン面の表面に存在する自然酸化膜または汚染物を除去する前処理工程と、
前記処理室内に少なくともシリコンを含むガスを供給し、前記前処理が施された前記シリコン面の上にエピタキシャル膜を成長させる工程と、を含み、
前記前処理工程は、前記処理室内の温度を昇温させる工程を更に含み、
前記前処理工程で供給される前処理用の前記ガスは、前記処理室の温度が620℃に至るまでの前記昇温工程で前記処理室内に供給される半導体装置の製造方法、が提供される。
前記昇温工程は、620℃以上の前記エピタキシャル膜の成長工程の温度までの昇温過程を更に含み、
620℃以上での昇温過程では、前処理用の前記ガスに替えて、水素ガスを前記処理室内に供給する半導体装置の製造方法、が提供される。
[処理炉及びその周辺の概略構成]
図1は本発明の実施の形態で好適に用いられる基板処理装置の処理炉202及び処理炉周辺の概略構成図であり、縦断面図として示されている。
図1に示されるように、処理炉202は加熱機構としてのヒータ206を有する。ヒータ206は円筒形状であり、ヒータ素線とその周囲に設けられた断熱部材より構成され、図示しない保持体に支持されることにより垂直に据え付けられている。
次に、本発明で用いる基板処理装置の処理炉周辺の構成について説明する。
次に、上記構成に係る処理炉202を用いて、半導体デバイスの製造工程の一工程として、シリコンウエハ200などの基板上に、エピタキシャルSi膜(以下、EPI−Si膜)を形成する方法の一例について説明する。尚、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作は、コントローラ240により制御される。
まず、シリコンウエハ表面の自然酸化膜を希フッ酸で除去すると同時に、表面を水素終端化させた後、処理炉202のロードロック室141内のボート217にウエハ200を設置する。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空排気装置246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサで測定され、この測定された圧力に基づきAPCバルブ242がフィードバック制御される。また、処理室201内が所望の温度(成膜温度)となるようにヒータ206により加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように温度センサが検出した温度情報に基づきヒータ206への通電具合がフィードバック制御される。続いて、回転機構254により、ボート217が回転されることでウエハ200が回転される。
第1のガス供給源180、第2のガス供給源181、および第3のガス供給源182からは、それぞれ処理ガスとしてシラン系ガス(SiH4又はSi2H6)、塩素ガス(Cl2)、および水素ガス(H2)が供給される。所望の流量となるようにMFC183、184、185の開度が調節された後、バルブ176、177、178が開かれ、それぞれの処理ガスがガス供給管232を流通して、処理室201の上部から処理室201内に導入される。導入されたガスは、処理室201内を通り、ガス排気管231から排気される。
ここで、ウエハ200の表面の前処理と炉内温度調整は並行して行われる。炉内温度調整とは、ウエハ200が処理室201内に挿入される時の温度から成膜時の温度までの昇温段階と、処理室201内およびウエハ200が該成膜温度で安定する段階を含んでいる。前処理にはシラン系ガスと塩素ガスと水素ガスを混合して用いる。前処理を行なうことにより、ウエハ200の表面の界面酸素・炭素密度を低減することができ、ウエハ200と堆積膜との間に高品質な界面を形成することが可能となる。
前処理が完了し、成膜温度で温度が安定になれば、直ちにエピタキシャル成膜工程に移行する。なお、前処理終了後、必要に応じ処理炉内の残留ガスを水素等のキャリアガスにより除去後に成膜処理に移行する。処理炉内には常に水素ガスを流し排気系からの逆拡散による汚染を防止する。
なお、本実施の形態の処理炉にてウエハを処理する際の処理条件の一例としては、例えば、EPI−Si膜の成膜(選択成長)において、ウエハの処理炉への導入時温度が200℃〜成膜温度以下、前処理の適正温度:200〜750℃、成膜処理温度:500〜750℃、処理圧力:1〜5000Pa、ガス種とガス供給流量、SiH4:10〜500、Cl2:10〜500、H2:100〜20000sccm、が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハに処理がなされる。
一例として、成膜温度は680℃、SiH4は250sccm、Cl2は75sccm、H2は1000sccm、処理圧力は10Paで成膜が行なわれる。
予め設定された時間が経過すると、図示しない不活性ガス供給源から不活性ガスが供給され、処理室201内が不活性ガスで置換されると共に、処理室201内の圧力が常圧に復帰される。
その後、昇降モータ248によりシールキャップ219が下降されて、マニホールド209の下端が開口されると共に、処理済ウエハ200がボート217に保持された状態でマニホールド209の下端からアウターチューブ205の外部に搬出(ボートアンローディング)される。その後、処理済のウエハ200は、ボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
次に、ウエハ200表面の自然酸化膜や有機物等の汚染物質を除去する前処理について説明する。
本発明の実施の形態では、前処理においては、SiH4ガス、Cl2ガス、H2ガスが処理室201内に供給され、それぞれのガス流量は、SiH4ガスが60sccm、Cl2ガスが75sccm、H2ガスが1000sccmである。この時の処理室201内の圧力は10Paである。
また、前処理は、ウエハ200を処理室201内へ挿入した時の温度(例えば、200℃)から、ウエハ200および処理室201内を成膜温度(例えば、680℃)へ昇温している過程で実行される。なお、昇温後、ウエハ200および処理室201内の温度が成膜温度に安定させる段階においても前処理を実行しても良い。
ここで、前処理であるウエハ200の表面上の残留酸化膜除去、清浄なシリコン表面を作りだすメカニズムについて説明する。
(SiH4、Cl2の役割)
ウエハ200に希釈フッ酸洗浄、純水リンス、乾燥等の処理を施した後に、ウエハ200のシリコン表面に水素終端が形成され、表面シリコンの酸化が遅くなる。ただし、この状態でも表面に吸着水分および一部自然酸化膜が残っている。
ここで、前処理工程を実行しない場合、ウエハ200を処理室201内に挿入すると、ウエハの温度上昇により450〜500℃付近で表面の水素終端が脱離され、剥き出し無保護な表面シリコンが露出してしまう。そして、処理室201内に残留する酸素、水分分子が吸着してしまい、一層もしくは一層以下の自然酸化膜が表面に形成されてしまう。
一方、前処理工程を実行した場合は、処理室201内の温度が200℃の低温の状態でウエハ200を処理室201内に挿入し、ウエハ200表面の水素終端が脱離(450〜500℃以下)する前に、SiH4とCl2とH2の混合ガスを速やかに流し、SiH4分子と水分、酸素との極めて高い反応性を利用して、炉内の残留酸素、水分量を除去、もしくは大幅に低減する。これにより、ウエハ200表面のシリコン原子への吸着、酸化が防げる。同時にCl2ガスによるシリコンのエッチング効果を利用して、エッチングされた最表面のシリコンと共に最表面の残留自然酸化膜が除去される。
即ち、本実施の形態で適用される前処理では、炉内の残留酸素と水分除去、もしくはこれらの大幅な低減と、最表面のシリコン原子のエッチングの二つの要素による複合的な除去が行なわれており、より効率の良い除去が行なわれるものである。
なお、前処理において供給されるCl2は反応性が高く、処理室201内のガス上流側のウエハ200、またはウエハ200の周辺部においてエッチング作用が強まる傾向がある。
しかしながら、前処理においては、Cl2と共にH2も同時に供給されているため、Cl2とH2との反応によりHClまたはその中間体が生成される。HClまたは中間体はCl2よりも反応性が低いため、処理室201内の下流側のウエハ200、またはウエハ200の面内において均一にエッチングが行なわれ、エッチングの均一性が向上することが期待される。
また、本実施形態における前処理では、ウエハ200および処理室201内の温度の昇温過程(例えば、200℃から500℃への昇温過程)で実行が開始されるが、これは次の理由によるものである。
200℃の低温でウエハ200を入炉し、ウエハ200表面の水素終端が脱離する前に、SiH4、Cl2とH2混合ガスを速やかに流し、炉内の残留酸素、水分量を除去もしくは大幅に低減させる。これにより表面のシリコン原子への吸着、酸化防止と、同時にCl2ガスによるシリコンのエッチング作用で、エッチングされた最表面のシリコンと共に最表面の残留自然酸化膜を除去することは前述した通りである。
ここで、500℃以上の温度で入炉およびSiH4、Cl2とH2混合ガスを流す場合、ウエハ200表面の水素終端が無くなったシリコンは、反応容器内の残留酸素と水分により極短い時間で吸着、酸化されてしまう。Cl2ガスはシリコンに対しエッチング能力のあるものの、一度ウエハ表面と反応した後SiO2をエッチングすることが難しくなる。よって、比較的に低温な状態である昇温過程にて前処理を実行することで残留自然酸化膜の除去を容易にしており、また前処理と昇温とを同時に行なっているのでスループットの向上も可能となるものである。
図3は、前処理を実行した後の基板表面に堆積した膜と基板表面との界面酸素濃度の測定結果を示している。
図3において、No.7で示した前処理は上記で説明した本実施形態における前処理条件であり、200〜750℃でSiH4+Cl2+H2による前処理を実施後にエピタキシャル成長した場合、SIMS(Secondary Ionization Mass Spectrometer)にて測定したシリコン基板とシリコンエピタキシャル膜の界面酸素濃度は6E17atoms/cm3であった。
また、比較のため、No.1には前処理を実行していない場合、No.2には従来の800℃におけるH2アニールによる前処理における測定結果を示している。この結果から、本実施形態における前処理(No.7)では低温にも拘らず、800℃でのH2アニール(No.2)と同等レベルの界面酸素濃度を得ることが出来ることが分かる。
また、参考として、図3のNo.3〜No.6には、他の方法により前処理を行なった場合の測定結果をも示しているが、これら何れの方法よりも本実施形態における前処理(No.7)が良好な結果を得ることが出来ることが分かる。
本実施形態における前処理では、ウエハ200および処理室201内の温度を前処理温度の範囲(200〜750℃)での昇温過程および温度安定中で実行されるが、以下に前処理温度と前処理工程中のエピタキシャル膜成長との関係を述べる。
〈実施形態におけるエピ膜とポリSi膜の成長速度〉
処理室内の温度を200℃から620℃、200℃から640℃、200℃から680℃のそれぞれの場合において昇温しながら、SiH4、Cl2、H2を同時に炉内に供給し前処理工程を行い、EPI−Si膜とPoly−Si膜厚の成長速度を調べた結果を図5に示す。前処理中、EPI−Si膜成長とPoly−Si膜エッチングとの現象が同時発生していることがわかる。Poly−Si膜がエッチングされることで、シリコン開口部以外の絶縁膜上にPoly−Si膜が堆積できず、前処理中のEPI−Si成長は、露出シリコン基板の開口部だけに選択的である。
620℃では、EPI−Si膜成長がほぼゼロに近い。一方、表面残留酸素を除去する表面シリコンのエッチングの指標とするPoly−Si膜のエッチング速度が速い。処理温度が高くなるにつれ、EPI−Si膜成長速度が温度上昇の共に大幅に増える。
ここで、一部分にシリコン面が露出した基板において、前処理中にEPI−Si膜成長が好ましくない場合は、前処理混合ガスを620℃の時点で水素ガスのみに切り替えれば、不用意なEPI−Si膜成長が抑えられる一方で、表面残留酸素と汚染物質も除去できる。
また、一部分にシリコン面が露出した基板において、前処理中にEPI−Si膜成長が好ましい場合は、前処理混合ガスを620℃以上になっても供給し続けても良い。前処理中のEPI−Si膜成長の膜厚制御は、温度と前処理継続時間で制御できる。
なお、前処理中に露出基板の開口部にEPI−Si膜成長に支障がなく、寧ろ好ましい場合としては次の(1)(2)が挙げられる。
(1)図4(a)のリセス−ソース・ドレイン構造において、EPI−SiGe(シリコンゲルマニウム)成膜などで表面ラフネスおよび前述EPI−SiGe膜中の欠陥低減のため、一般的にSi基板開口部表面にEPI−Si膜のバッファ層(数nm〜100nm)を成膜してから前述EPI−SiGeを行なう場合である。
(2)図4(b)のコンタクト構造において、コンタクト抵抗の低抵抗化を目的とするコンタクトの選択EPI成長の場合、前処理中に選択EPI成長することにより、EPI成長の生産性が向上できる。
次に、前処理とその後のEPI成膜シンケースについて図6を参照して説明する。図6(a)はEPI成膜工程温度が500〜750℃の場合の処理シーケンスを、図6(b)はEPI成膜工程温度が620℃以上で、前処理中のEPI−Si膜成長が好ましくない場合の処理シーケンスを、図6(c)はEPI成膜工程温度が620℃以下で、前処理中のEPI−Si膜成長が好ましい場合の処理シーケンスを示している。
図6(b)は、EPI成膜温度が620℃より高く、前処理中のEPI成膜が好ましくない場合であり、前処理は昇温段階で開始されるが(前処理ガスの供給が開始される)、炉温が620℃到達時点で前処理混合ガスから水素に切り替えて、水素雰囲気でEPI成長温度までの昇温と温度安定が行われる。しかる後、所定のEPI成膜工程を行う。
図6(c)は、EPI成膜温度が620℃より低く、且つ前処理中のEPI−Si膜成長が好ましい場合であり、前処理は昇温段階で開始されるが(前処理ガスの供給が開始される)、一旦炉温が620℃より高い温度まで昇温、保持させて、所定のバッファ層の厚さになってから、前処理混合ガスから水素に切り替えて、降温と温度安定を行った後、所定のEPI成長を行う。
尚、上記実施形態では図1に示したような縦型CVD装置を用いる場合について説明したが、本発明はこれに限らず、基板処理装置全般、例えば枚葉ホットウォールタイプやコールドウォールタイプの装置にも適用することが出来る。
次に前述した処理炉202が適用される基板処理装置について以下説明する。
本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置(IC)の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やCVD処理などを行なう縦型の装置(以下、単に処理装置という)を適用した場合について述べる。図2は、本発明に適用される処理装置の斜透視図として示されている。
カセットステージ114とカセット棚105との間には、カセット搬送装置(基板収容器搬送装置)118が設置されている。カセット搬送装置118は、カセット110を保持したまま昇降可能なカセットエレベータ(基板収容器昇降機構)118aと搬送機構としてのカセット搬送機構(基板収容器搬送機構)118bとで構成されており、カセットエレベータ118aとカセット搬送機構118bとの連続動作により、カセットステージ114、カセット棚105、バッファ棚107との間で、カセット110を搬送するように構成されている。
耐圧筐体140の正面壁140aにはウエハ搬入搬出口(基板搬入搬出口)142が開設されており、ウエハ搬入搬出口142はゲートバルブ(基板搬入搬出口開閉機構)143によって開閉されるようになっている。耐圧筐体140の一対の側壁にはロードロック室141へ窒素ガス等の不活性ガスを給気するためのガス供給管144と、ロードロック室141を負圧に排気するための図示しない排気管とがそれぞれ接続されている。
図2に模式的に示されているように、ロードロック室141にはボート217を昇降させるためのボートエレベータ(基板保持具昇降機構)115が設置されている。ボートエレベータ115に連結された連結具としての図示しないアームには蓋体としてのシールキャップ219が水平に据え付けられており、シールキャップ219はボート217を垂直に支持し、処理炉202の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50枚〜150枚程度)のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
次に、本発明の処理装置の動作について説明する。
図2に示されているように、カセット110がカセットステージ114に供給されるに先立って、カセット搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放される。その後、カセット110はカセット搬入搬出口112から搬入され、カセットステージ114の上にウエハ200が垂直姿勢であって、カセット110のウエハ出し入れ口が上方向を向くように載置される。
次に、カセット110は、カセット搬送装置118によって、カセットステージ114から救い上げられるとともに、カセット110内のウエハ200が水平姿勢となり、カセット110のウエハ出し入れ口が筐体後方を向けるように、筐体後方に右周り縦方向90°回転させられる。引き続いて、カセット110は、カセット搬送装置118によって、カセット棚105ないしバッファ棚107の指定された棚位置へ自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、カセット搬送装置118によってカセット棚105に移載されるか、もしくは直接カセット棚105に搬送される。
予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室141のウエハ搬入搬出口142がゲートバルブ143の動作により開放されると、ウエハ200はカセット110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ウエハ搬入搬出口142を通じてロードロック室141に搬入され、ボート217へ移載されて装填(ウエハチャージング)される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはカセット110に戻り、次のウエハ200をボート217に装填する。
処理後は、ボートエレベータ115によりボート217が引き出され更に、ロードロック室141内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ143が開かれる。その後は、概ね上述の逆の手順で、ウエハ200およびカセット110は筐体111の外部へ払出される。
141 ロードロック室
200 ウエハ
201 処理室
202 処理炉
205 アウターチューブ
206 ヒータ
240 コントローラ
Claims (5)
- 一部分にシリコン面が露出した基板を処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内を加熱する工程と、
前記処理室内に少なくともシラン系ガスとハロゲン系ガスと水素ガスとを供給し、少なくとも前記シリコン面の表面に存在する自然酸化膜または汚染物を除去して、前記シリコン面にエピタキシャル膜を成長させる前処理工程と、
前記前処理工程の後に、前記処理室内に少なくともシリコンを含むガスを供給し、前記エピタキシャル膜の上に、更にエピタキシャル膜を成長させる工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記前処理工程は、前記処理室内の温度を昇温させる工程を更に含み、
前記前処理工程で供給される前処理用の前記ガスは、前記昇温工程で前記処理室内に供給され、前記処理室内の温度が620℃以上の状態においても供給される請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記前処理工程は、前記処理室内の温度を620℃以上であって、前記エピタキシャル膜の成長工程での温度よりも高い所望の温度で維持させる工程を更に含み、
前処理用の前記ガスは前記昇温工程と前記温度維持工程において前記処理室内に供給され、
前記前処理工程の終了後は、前処理用の前記ガスに替えて、水素ガスを前記処理室内に供給しながら、前記エピタキシャル膜の成長工程での温度まで降温させる請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 一部分にシリコン面が露出した基板を処理室内に搬入する工程と、
前記処理室内を加熱する工程と、
前記処理室内に少なくともシラン系ガスとハロゲン系ガスと水素ガスとを供給し、少なくとも前記シリコン面の表面に存在する自然酸化膜または汚染物を除去する前処理工程と、
前記処理室内に少なくともシリコンを含むガスを供給し、前記前処理が施された前記シリコン面の上にエピタキシャル膜を成長させる工程と、を含み、
前記前処理工程は、前記処理室内の温度を昇温させる工程を更に含み、
前記前処理工程で供給される前処理用の前記ガスは、前記処理室の温度が620℃に至るまでの前記昇温工程で前記処理室内に供給される半導体装置の製造方法。 - 前記昇温工程は、620℃以上の前記エピタキシャル膜の成長工程の温度までの昇温過程を更に含み、
620℃以上での昇温過程では、前処理用の前記ガスに替えて、水素ガスを前記処理室内に供給する請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
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