JP4803418B2

JP4803418B2 - Lifting mechanism of the object to be transported in the cart for the suspension type lifting transport device

Info

Publication number: JP4803418B2
Application number: JP2004301178A
Authority: JP
Inventors: 敏伸田中
Original assignee: Muratec Automation Co Ltd
Current assignee: Muratec Automation Co Ltd
Priority date: 2004-10-15
Filing date: 2004-10-15
Publication date: 2011-10-26
Anticipated expiration: 2024-10-15
Also published as: JP2006111410A

Description

本発明は、レールに吊下げ状態で走行する懸垂式昇降搬送装置用台車（以下、ＯＨＴ用台車という）において、例えば、各種処理前後のウエハを収納したキャリアほかの被搬送物を、同期して巻取り、繰出し制御を受ける複数本のタイミングベルトにより昇降させる機構に関するものである。 The present invention relates to a suspended lifting / lowering transport device cart (hereinafter referred to as an OHT cart) that travels in a suspended state on a rail. The present invention relates to a mechanism that moves up and down by a plurality of timing belts that receive winding and feeding control.

例えば、半導体製造工程における各種処理（洗浄、ＣＶＤほか）を順次行うために半導体ウエハを収納、搬送するためのキャリアほか、液晶製造、ＦＡなどにおいて板状体を各種処理部に移送させるためのキャリア等の被搬送物用搬送手段は、生産性向上の観点から、近年、懸垂式昇降搬送装置（以下、ＯＨＴという）が主流となってきている。
このＯＨＴは、ＯＨＴ用台車が有する昇降機構によって所定の箇所において前記キャリア等の被搬送物を昇降させるとともに、当該ＯＨＴ用台車を、所定の軌道に沿って配設されたレールに懸垂状態で移送させる構成をなしている。 For example, a carrier for storing and transporting a semiconductor wafer to sequentially perform various processes (cleaning, CVD, etc.) in a semiconductor manufacturing process, and a carrier for transferring a plate-like body to various processing units in liquid crystal manufacturing, FA, etc. In recent years, a suspension type lifting and lowering transport device (hereinafter referred to as OHT) has become the mainstream of transport means for transported objects such as these from the viewpoint of improving productivity.
The OHT lifts and lowers the object to be transported such as the carrier at a predetermined position by a lifting mechanism of the OHT cart, and transfers the OHT cart in a suspended state to a rail arranged along a predetermined track. It has a configuration to make it.

そして、ＯＨＴ用台車に設けられ、キャリア等の被搬送物を把持或いはこの把持状態を解除するとともに当該被搬送物を昇降させるハンド部は、通常４箇所でタイミングベルトによって懸垂され、このタイミングベルトの巻取りと繰出しとにより昇降動作を行う。
この、タイミングベルトは、ハンド部の昇降機能のほか、内部にはＯＨＴ用台車本体部からハンド部におけるクリッパ駆動用モータを作動させるための電力供給線と、ＯＨＴ用台車本体のコントローラと、ハンド部のコントローラ相互間での信号の授受のための通信線が埋設され、しかも、繰返し巻取り、繰出しに対して安定した特性が要求される。このため、タイミングベルトは可撓性に富み、所定の強度を備えた材料が用いられる（例えば、特許文献１を参照）。 And the hand part which is provided in the OHT cart and grips the object to be transported such as a carrier or releases the gripped state and lifts the object to be transported is usually suspended by timing belts at four locations. Elevating operation is performed by winding and feeding.
In addition to the lifting / lowering function of the hand unit, the timing belt includes an electric power supply line for operating a clipper driving motor in the hand unit from the OHT cart body unit, a controller of the OHT cart body, and a hand unit. A communication line for exchanging signals between the controllers is embedded, and stable characteristics are required for repeated winding and feeding. For this reason, the timing belt is rich in flexibility, and a material having a predetermined strength is used (see, for example, Patent Document 1).

また、タイミングベルトの長さは略２．７ｍあり、ハンド部がキャリア等の被搬送物を把持した場合と、把持していない場合では、タイミングベルトに負荷される荷重が大きく変動するが、この変動荷重はタイミングベルト１本当り略４kg程度である。
前記長さ２．７ｍの４本のタイミングベルトで重量略１６ｋｇのキャリアを保持した際、タイミングベルトにバラツキがあると、ハンド部にて把持された被搬送物が傾き、４本のタイミングベルトに負荷される荷重が不均一となり、さらに、タイミングベルトの弾性伸び量もバラツクことになる。これに伴い、被搬送物の傾きが一層拡大され、タイミングベルトがタイミングプーリの噛込み部位において、歯飛び現象（以下、歯飛びという）を起こす危険があった。この歯飛びは被搬送物昇降時における重力方向への被搬送物の移動に伴い、４本のタイミングベルトに負荷される慣性力に起因する張力のアンバランスにより発生することが多い。 In addition, the length of the timing belt is approximately 2.7 m, and the load applied to the timing belt varies greatly depending on whether the hand unit grips a transported object such as a carrier or not. The fluctuating load is about 4 kg per timing belt.
When a carrier having a weight of about 16 kg is held by the four timing belts having a length of 2.7 m, if the timing belt has a variation, the object to be transported held by the hand portion is tilted to form four timing belts. The applied load becomes non-uniform, and the elastic elongation of the timing belt also varies. Along with this, the inclination of the conveyed object is further enlarged, and there is a risk that the timing belt may cause a tooth skipping phenomenon (hereinafter referred to as tooth skipping) at a portion where the timing pulley is engaged. This tooth jump often occurs due to an unbalance of tension caused by the inertial force applied to the four timing belts as the conveyed object moves in the direction of gravity when the conveyed object moves up and down.

タイミングベルトの歯部と、タイミングプーリの歯部との噛み込み部位で歯飛びが発生すると、歯飛びを起こしたタイミングベルトはタイミングプーリの正規の歯部と噛合うことができず、１ピッチ飛ばして次の歯部で噛合うため、被搬送物（ウエハ収納キャリア等）は部分的に１ピッチ相当の長さの滑落を生じて停止する。この滑落現象は、外観的にはハンチング現象として観測される。このようにタイミングベルトがハンチング現象を起こすと、被搬送物に衝撃力が作用し、例えば、被搬送物がウエハを収納したキャリアである場合、当該キャリア内に収納されたウエハはキャリアの内壁面との間で滑りや衝突を起こし、摩擦に起因したパーティクルを発生させ、ウエハの品質、歩留りを低下させ、重度のハンチング現象に至ると被搬送物としてのキャリアの落下もありえる。
また、ハンチング現象によりタイミングベルト歯部には局部的な衝撃力が加わり、タイミングベルトの寿命を著しく短くする。 If tooth skipping occurs at the biting site between the timing belt teeth and the timing pulley teeth, the timing belt that caused the tooth skipping cannot mesh with the regular teeth of the timing pulley and skip one pitch. Since the next tooth portion meshes, the object to be transferred (wafer storage carrier or the like) partially slides down with a length corresponding to one pitch and stops. This sliding phenomenon is observed as a hunting phenomenon in appearance. When the timing belt thus causes a hunting phenomenon, an impact force acts on the object to be conveyed. For example, when the object to be conveyed is a carrier containing a wafer, the wafer stored in the carrier is the inner wall surface of the carrier. Cause slipping or collision between the two and the like, generating particles due to friction, lowering the quality and yield of the wafer, and if a severe hunting phenomenon occurs, the carrier as a transported object may fall.
In addition, a local impact force is applied to the timing belt teeth due to the hunting phenomenon, and the life of the timing belt is significantly shortened.

このような歯飛び、ひいてはハンチング現象を誘発するパラメータとしては
（Ａ）タイミングプーリの歯の形状寸法
（Ｂ）タイミングベルトの歯の形状寸法
（Ｃ）タイミングベルトの弾性率
がある。
ところで、本願各発明の先行技術として特許文献２がある。この特許文献２には、ＯＨＴ用台車におけるタイミングベルトの駆動機構の一環として、歯部を有するタイミングベルト１１と、その基端部の巻取り・繰出しを行うローラ２０と、タイミングベルト１１の歯と噛合う歯を備え、タイミングベルト１１を前記巻取りローラ２０内から繰出しあるいはこの巻取りローラ２０に巻込む方向に駆動するタイミングプーリ１２とが開示されている。 Parameters that induce such tooth skipping, and thus hunting, include (A) timing pulley tooth geometry (B) timing belt tooth geometry (C) timing belt elastic modulus.
Incidentally, there is Patent Document 2 as a prior art of each invention of the present application. In Patent Document 2, as part of a timing belt drive mechanism in an OHT carriage, a timing belt 11 having a tooth portion, a roller 20 that winds and feeds the base end portion thereof, and teeth of the timing belt 11 are provided. There is disclosed a timing pulley 12 that is provided with meshing teeth and that drives the timing belt 11 in a direction in which the timing belt 11 is fed out from the winding roller 20 or wound around the winding roller 20.

そして、特許文献２に係る発明とは直接関係しないものの、タイミングベルト１１及びタイミングプーリ１２における各歯同士の噛み合いの歯飛び防止の一環として、タイミングベルト１１をタイミングプーリ１２に押し当てるピンチローラ１３、１４、及びタイミングベルト１１の幅方向の振れを防止するガイドローラ１５が開示されている。
さらに、特許文献２には、被搬送物の昇降時の制御手段として、タイミングプーリ１２と巻取りローラ２０との間でタイミングベルト１１の弛みが発生すると、振動が発生し易くなると共に被搬送物の懸吊姿勢のバランスが崩れ易くなることを考慮した技術が開示されている。 And although not directly related to the invention according to Patent Document 2, as part of preventing tooth skipping of the meshing of the teeth in the timing belt 11 and the timing pulley 12, a pinch roller 13 that presses the timing belt 11 against the timing pulley 12, 14 and a guide roller 15 that prevents the timing belt 11 from swinging in the width direction are disclosed.
Further, in Patent Document 2, as a control means for raising and lowering the object to be conveyed, if the timing belt 11 is loosened between the timing pulley 12 and the take-up roller 20, vibration is likely to occur and the object to be conveyed is detected. The technique which considered that the balance of the suspension posture of this becomes easy to collapse is disclosed.

具体的に述べると、巻取りローラ２０の周速がタイミングプーリ１２の周速よりも大きくなるように回転駆動力を巻取りローラ２０に付与すると共に、滑りクラッチ２１により回転駆動力を制限及び遮断可能にする。次いで、タイミングベルト１１の巻取り時（被搬送物の上昇時）においては、タイミングベルト１１をタイミングプーリ１２の送出し速度よりも高速で巻取りローラ２０に巻取ることによって、巻取りローラ２０及びタイミングプーリ１２間に張力を持たせながら巻取りを行い、張力が所定値以上に増大する場合には滑りクラッチ２１により回転駆動力を制限することによって、所定値以下に制限された張力によりタイミングベルト１１の弛みの発生を防止している。
一方、巻き戻し時（被搬送物の下降時）においては、滑りクラッチ２１における回転駆動力伝達を遮断し、巻取りローラ２０を回転自在にしてタイミングプーリ１２に従動した状態にすることによってタイミングベルト１１に張力を発生させてその弛みの発生を防止している。 More specifically, the rotational driving force is applied to the winding roller 20 so that the circumferential speed of the winding roller 20 is larger than the circumferential speed of the timing pulley 12, and the rotational driving force is limited and cut off by the slip clutch 21. enable. Next, when the timing belt 11 is wound (when the conveyed object is raised), the timing belt 11 is wound around the winding roller 20 at a speed higher than the feeding speed of the timing pulley 12, so that the winding roller 20 and Winding is performed while tension is applied between the timing pulleys 12, and when the tension increases above a predetermined value, the rotational driving force is limited by the slip clutch 21, whereby the timing belt is controlled by the tension limited below the predetermined value. 11 is prevented from occurring.
On the other hand, at the time of rewinding (when the object to be transported is lowered), the transmission of the rotational driving force in the slip clutch 21 is cut off, and the winding roller 20 is made freely rotatable to be in a state of being driven by the timing pulley 12. The tension is generated in 11 to prevent the slack.

特開２０００−２８１２７８JP 2000-281278 A 特開２０００−１０９２８５JP 2000-109285 A

前記特許文献２に開示されているタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛み合わせ部位において発生する歯飛びを防止する手段として、前記タイミングプーリに対してタイミングベルトを圧接させるピンチローラ及びタイミングベルトの幅方向の変位を抑制するガイドローラの開示がある。
しかし、これらのピンチローラ及びガイドローラはタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位の歯飛びの防止効果はあるものの、十分ではない。
一方、従来のタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位はその展開模式図としての図５に示すように、タイミングベルト５０及びタイミングプーリ５１において、各歯部５０ａ、５１ａ同士がタイトに噛合わされる慣用手段を用いていた。 As means for preventing tooth skipping occurring at the meshed portions of the timing belt and timing pulley disclosed in Patent Document 2, a pinch roller and a timing belt that press the timing belt against the timing pulley are used. There is a disclosure of a guide roller that suppresses displacement in the width direction.
However, although these pinch rollers and guide rollers have an effect of preventing tooth skipping at the meshing portions of the timing belt and the timing pulley, they are not sufficient.
On the other hand, as shown in FIG. 5 as a developed schematic view, the meshing portions of the tooth portions of the conventional timing belt and timing pulley are tight in the timing belt 50 and the timing pulley 51. Conventional means to be engaged were used.

このようなタイトの噛合わせにあっては、前記歯飛びの要因となるパラメータ（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）が考慮されていないため、ＯＨＴ用台車において、被搬送物を昇降するに際して、例えば、予測されない振動が発生し、歯飛びを起こし始めると、前記各歯部５０ａ、５１ａの噛合い部位においてクリアランスがない箇所が発生すると、正常状態への復帰力が弱い。
従って、歯飛びはその発生箇所から波及し、１ピッチずれた状態でタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部同士が噛合うことになり、歯飛びを生じない他のタイミングベルトとで懸吊される被搬送物は正常な姿勢を維持できず、被搬送物が例えば、ウエハを収納したキャリアである場合、ウエハの品質低下を招くことがあり、極端な場合ＯＨＴ用台車にて懸吊状態の被搬送物が落下する恐れがある。 In such tight meshing, the parameters (A), (B), and (C) that cause the tooth skipping are not taken into consideration, so when raising and lowering the object to be conveyed in the OHT carriage, for example, When an unexpected vibration occurs and tooth skipping starts, if there is a portion where there is no clearance in the meshing portions of the tooth portions 50a and 51a, the restoring force to the normal state is weak.
Therefore, tooth skipping spreads from the place where the tooth jump occurs, and the tooth portions of the timing belt and the timing pulley mesh with each other with a shift of one pitch, and are suspended by other timing belts that do not cause tooth skipping. If the object to be conveyed cannot maintain a normal posture and the object to be conveyed is, for example, a carrier containing a wafer, the quality of the wafer may be deteriorated. In an extreme case, the object to be suspended is suspended by an OHT carriage. There is a risk of transported items falling.

そこで、本発明の目的は、前記（Ａ）タイミングプーリの歯の形状寸法、（Ｂ）タイミングベルトの歯の形状寸法、（Ｃ）タイミングベルトの弾性率を考慮に入れたタイミングプーリ及びタイミングベルトの各歯部の噛合い部位のクリアランスを定め、原理的に歯飛びが起こらない、或いは歯飛びが起きたとしても発生初期の段階で正常に復帰できるようにし、歯飛びを未然に防止することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a timing pulley and a timing belt in consideration of (A) timing pulley tooth geometry, (B) timing belt tooth geometry, and (C) timing belt elasticity. In order to prevent tooth skipping by setting the clearance of the meshing part of each tooth part so that, in principle, tooth skipping does not occur or even if tooth skipping occurs, it can be restored to normal at the initial stage of occurrence. is there.

課題を解決するための手段及び効果Means and effects for solving the problems

上記の課題を解決するため、請求項１に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構は、帯状をなし、その一面において、長手方向に沿って歯部を形成し、被搬送物把持用ハンド部を下端部で支持する複数本のタイミングベルトと、各タイミングベルト毎に、その歯部と噛合い、当該タイミングベルトによって懸吊される前記ハンド部を昇降制御するタイミングプーリと、当該各タイミングプーリの駆動制御により、各対応する前記タイミングベルトを巻取り、又は繰り出しする巻取りドラムと、前記各タイミングプーリ及びこれに対応するタイミングベルトの各歯部同士が噛合う噛合い部の両側２箇所において、タイミングベルトの歯部が形成されていない面を押圧して前記タイミングベルトの歯部を前記タイミングプーリに押し当てるピンチローラと、前記タイミングベルトが前記巻取りドラムから巻戻される場合、及び、前記タイミングベルトが前記巻取りドラムに巻取られる場合、の何れの場合においても、前記各タイミングプーリとこれに対応する巻取りドラムとの間のタイミングベルトの張力を所定の範囲内で一定に保つように、前記各巻取りドラムの回転速度を制御する制御手段と、を有する懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構において、前記タイミングベルト及び前記タイミングプーリの各歯部同士の噛合い状態が、被搬送物搭載の有無に対応した負荷荷重の有無により、前記タイミングベルトの弾性伸縮に起因して変動するタイミングベルトの歯ピッチと、弾性伸縮を生じない前記タイミングプーリの歯ピッチとにズレが生じても、前記タイミングベルトの歯部の形状寸法と前記タイミングプーリの歯部の形状寸法との最適化を図ることにより、噛合わせ不良を生じることなく、かつ、所定の噛合い強度を保つように構成し、前記最適化を図るために、前記タイミングベルトの歯部と前記タイミングプーリの歯部との噛合い部の長さ、前記タイミングベルトの単位重量当りの伸び率、及び前記タイミングベルトに作用する負荷荷重変動量を考慮して、前記ハンド部が前記被搬送物を把持して上昇するときにおける前記タイミングベルトの歯ピッチが最大となる場合、及び、前記ハンド部が前記被搬送物を把持しないで降下するときにおける前記タイミングベルトの歯ピッチが最小となる場合、の何れの場合においても、前記噛合い部の長さ範囲内にわたって互いの歯部同士が噛合い可能なクリアランスが存在するように、各々の前記歯部の形状寸法を設定するようにした。 In order to solve the above-mentioned problem, the lift mechanism of the transported object in the OHT cart according to claim 1 has a belt-like shape, and on one surface thereof, a tooth portion is formed along the longitudinal direction for gripping the transported object. A plurality of timing belts that support the hand part at the lower end part, a timing pulley that meshes with each tooth part of each timing belt and controls the hand part suspended by the timing belt, and each timing Two portions on both sides of a take-up drum for taking up or feeding out each corresponding timing belt by driving control of the pulley, and each meshing portion in which each tooth portion of each timing pulley and the corresponding timing belt meshes with each other. In this case, the surface of the timing belt where the teeth are not formed is pressed to press the timing belt teeth against the timing pulley. In each case where the pinch roller and the timing belt are rewound from the take-up drum, and the timing belt is taken up by the take-up drum, the timing pulleys and the corresponding timing pulleys are used. Control means for controlling the rotational speed of each take-up drum so as to keep the tension of the timing belt between the take-up drums constant within a predetermined range; In the lifting mechanism, the meshing state of the teeth of the timing belt and the timing pulley varies depending on the presence / absence of a load corresponding to the presence / absence of loading of the conveyed object due to the elastic expansion / contraction of the timing belt. Even if a deviation occurs between the tooth pitch of the timing belt and the tooth pitch of the timing pulley that does not cause elastic expansion and contraction, By optimizing the shape dimension of the tooth portion of the imming belt and the shape dimension of the tooth portion of the timing pulley, it is configured so as to maintain a predetermined mesh strength without causing a mesh failure. In order to optimize, the length of the meshing portion of the timing belt teeth and the timing pulley teeth, the elongation per unit weight of the timing belt, and the load load variation acting on the timing belt Considering the amount, when the tooth pitch of the timing belt is maximized when the hand unit grips and raises the transported object, and the hand unit moves down without gripping the transported object In any case, when the tooth pitch of the timing belt is minimized, the tooth portions mesh with each other over the length range of the meshing portion. The shape and dimension of each of the tooth portions was set so that there was a possible clearance.

この請求項１に係る発明によれば、ＯＨＴ用台車のハンド部における被搬送物の把持の有無によってタイミングベルトの弾性伸縮が発生しても、これを考慮のうえ、さらにタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部同士の噛合い状態が所定の強度を保つ範囲にてクリアランスを大きく取れるようにタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部を形成することにより各歯部の噛合い部位における歯飛びを防止できる。
即ち、前記各歯部同士の噛合い部において振動ほかの要因にて歯飛びが発生し始めた段階で、従来の慣用手段のように前記歯部同士の噛合い状態がクリアランスの殆どないタイトの状態では、タイミングベルトの伸縮に伴い、クリアランスが無くなり、歯飛びに移行するのに比べて、この構成では歯飛びを抑制する方向に移行する。
また、前記各タイミングプーリ及びこれに対応するタイミングベルトの各歯部同士が噛合う噛合い部の両側２箇所において、タイミングベルトの歯部が形成されていない面を押圧して前記タイミングベルトの歯部を前記タイミングプーリに押し当てるピンチローラを備えるようにした。これにより、上記の効果に加えて、タイミングベルトの歯飛び抑制効果をさらに向上させることができる。即ち、ピンチローラは被搬送物を上昇させる時、タイミングベルトに衝撃的、瞬間的に加わる慣性重力がタイミングベルト歯部に伝播するのを遮断、緩和する効果を有する。
更に、前記タイミングベルトが前記巻取りドラムから巻戻される場合、及び、前記タイミングベルトが前記巻取りドラムに巻取られる場合、の何れの場合においても、前記各タイミングプーリとこれに対応する巻取りドラムとの間のタイミングベルトの張力を所定の範囲内で一定に保つように、前記各巻取りドラムの回転速度を制御する制御手段を備えるようにした。これにより、上記の効果に加えて、各タイミングプーリとこれに対応する巻取りドラムとの間のタイミングベルトの弛みと、これに伴う振動の発生を防止できるため、タイミングベルトの歯飛び抑制効果をさらに向上させることができる。 According to the first aspect of the present invention, even if the timing belt elastically expands and contracts due to the presence or absence of gripping of the object to be conveyed in the hand portion of the OHT carriage, the timing belt and the timing pulley are further taken into consideration. By forming each tooth portion of the timing belt and the timing pulley so that the clearance can be increased within a range in which the meshing state between the tooth portions maintains a predetermined strength, tooth skipping at the meshing portion of each tooth portion can be prevented. .
That is, at the stage where tooth skipping starts to occur due to vibration and other factors at the meshing portions of the tooth portions, the meshing state of the tooth portions is tight with little clearance as in the conventional means. In this state, with the expansion and contraction of the timing belt, there is no clearance, and this configuration shifts in a direction to suppress tooth skipping compared to shifting to tooth skipping.
Further, at the two positions on both sides of each timing pulley and the corresponding timing belt teeth, the timing belt teeth are pressed by pressing the surfaces on which the timing belt teeth are not formed. A pinch roller that presses the portion against the timing pulley is provided. Thereby, in addition to said effect, the tooth skip suppression effect of a timing belt can further be improved. That is, the pinch roller has an effect of blocking and mitigating the momentary inertial momentarily applied to the timing belt when propelling the conveyed object, and propagating to the timing belt teeth.
Further, in each of the cases where the timing belt is rewound from the winding drum and the timing belt is wound around the winding drum, the timing pulleys and the windings corresponding thereto are used. Control means for controlling the rotational speed of each winding drum is provided so as to keep the tension of the timing belt between the drums constant within a predetermined range. As a result, in addition to the above effects, the timing belt can be prevented from slacking between the timing pulleys and the winding drum corresponding to the timing pulleys, and vibrations associated therewith can be prevented. Further improvement can be achieved.

請求項２に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構は、請求項１に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構において、前記各タイミングプーリの近傍であって、当該タイミングプーリと、被搬送物相互間、当該タイミングプーリと、これに対応する巻取りドラム相互間の夫々に位置し、前記タイミングベルトの幅方向の変位を防止させるガイドローラを備えるように構成した。
この請求項２に係る発明によれば、引用元の請求項１に係る発明の効果に加えて、タイミングローラの近傍に位置するタイミングベルトの幅方向の変位を抑制できるためタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合い部位における歯飛び防止効果を増すことができる。 The lift mechanism of the transported object in the OHT cart according to claim 2 is the lift mechanism of the transported object in the OHT cart according to claim 1, in the vicinity of each timing pulley, In addition, a guide roller is provided between the conveyed objects, the timing pulley, and the winding drum corresponding to the timing pulley, and prevents displacement of the timing belt in the width direction.
According to the second aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect of the present invention, the displacement of the timing belt located in the vicinity of the timing roller in the width direction can be suppressed. It is possible to increase the effect of preventing tooth skipping at the meshing portion of each tooth portion.

請求項３に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構は、請求項１又は２に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構において、タイミングベルトの本数を４とする構成とした。
この請求項３に係る発明によれば、引用元の請求項１又は２に係る発明の効果に加えて、全てのタイミングプーリにおける同期運転機構の組立てが容易で、被搬送物を把持するハンド部を安定状態にて懸吊することができる。 The lift mechanism for the conveyed object in the OHT carriage described in claim 3 is configured such that the number of timing belts is four in the lift mechanism for the conveyed object in the OHT carriage described in claim 1 or 2 .
According to the invention according to claim 3 , in addition to the effect of the invention according to claim 1 or 2, it is easy to assemble the synchronous operation mechanism in all the timing pulleys, and the hand portion that grips the object to be conveyed. Can be suspended in a stable state.

請求項４に記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構は、請求項１乃至３のいずれかに記載のＯＨＴ用台車における被搬送物の昇降機構において、各タイミングベルトに対してハンド部への動力発生用電力乃至制御信号供給に必要な電線が埋設されていることを特徴とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用元の請求項１乃至３に係る発明の効果に加えてＯＨＴ用台車本体と被搬送物把持用ハンド部との電力・信号の授受に必要な概ね３ｍに及ぶ電線を別途設ける必要がなく、配線の簡素化を図ることができる。
因みに、タイミングベルトに埋設する電線の代りに別途電線を配する構成とすると、電線に伸縮機構を別途設ける必要が生じ構成の複雑化を来す。
The lift mechanism of the transported object in the OHT carriage according to claim 4 is the lifting mechanism of the transported object in the OHT cart according to any one of claims 1 to 3 , wherein each timing belt is moved to the hand unit. Electric power required for power generation or control signal supply is embedded in the power supply.
According to the fourth aspect of the invention, in addition to the effects of the inventions according to the first to third aspects of the citation, it is generally necessary for transmission and reception of power and signals between the OHT carriage main body and the transported object gripping hand portion. It is not necessary to separately provide a 3 m electric wire, and the wiring can be simplified.
Incidentally, if the electric wire is separately arranged instead of the electric wire embedded in the timing belt, it becomes necessary to separately provide an expansion / contraction mechanism for the electric wire, resulting in a complicated structure.

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、図面の概要を述べると、図１は本発明に係るＯＨＴ用台車の要部構成を示す正面図、図２はＯＨＴ用台車のハンド部における昇降機構を平面視した概略構成図、図３は本発明の要部構成を示す概略構成図、図４はタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位（図３における領域Ｍ部）における展開模式図で、同図（Ａ）はタイミングベルトの張力が最大時（長さが最大）、同図（Ｂ）はタイミングベルトの張力が最小時（長さが最小）の状況を示す。図５は慣用手段としてのタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位（図３における領域Ｍ部）における展開模式図、図６は本発明の実施例におけるタイミングプーリ及びタイミングベルトの寸法表示を付した模式図で同図（Ａ）はタイミングベルトの寸法表示、同図（Ｂ）はタイミングプーリの寸法表示である。図７は本発明の実施例における被搬送物の荷重とタイミングベルトの関係を示す特性図である。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
First, the outline of the drawings will be described. FIG. 1 is a front view showing the configuration of the main part of the OHT cart according to the present invention, FIG. 2 is a schematic configuration diagram of the lifting mechanism in the hand portion of the OHT cart, and FIG. FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a main part configuration of the present invention, FIG. 4 is a developed schematic view in a meshing portion (region M portion in FIG. 3) of each tooth portion of the timing belt and the timing pulley, and FIG. When the belt tension is maximum (maximum length), FIG. 5B shows the situation when the tension of the timing belt is minimum (length is minimum). FIG. 5 is a developed schematic view of the meshing portion (region M in FIG. 3) of each tooth portion of the timing belt and timing pulley as conventional means, and FIG. 6 is a dimension display of the timing pulley and timing belt in the embodiment of the present invention. (A) is a dimension display of a timing belt, and (B) is a dimension display of a timing pulley. FIG. 7 is a characteristic diagram showing the relationship between the load of the conveyed object and the timing belt in the embodiment of the present invention.

さて、図１に示されるようにＯＨＴ用台車１は、天井における所定の軌道に沿って設けられた走行レール２に吊り下げられている。そして、このＯＨＴ用台車１は、その案内・駆動部３において、図示しない走行輪と案内輪とで走行レール２に規制されて走行する。この際、必要とされる動力は、走行輪に駆動モータを備えること、或いはレール２側とＯＨＴ用台車１側に夫々２次側、１次側を設ける直流リニアモータを備えること等周知の手段によって得られる。４は位置合せ機構で、後述する被搬送物の前記走行レール２におけるＯＨＴ用台車の走行方向と直交する方向及び回転方向の変位調整を図る。５はタイミングベルトで、前後左右に４本設けられ、ＯＨＴ用台車１内に備えられる昇降機構６（詳細は後述）により伸縮自在に制御され、ハンド部７を昇降させるように構成される。そして、このタイミングベルト５は、内部にハンド部７への電力供給、及び制御信号の授受用の電線（図示せず）を埋設している。 As shown in FIG. 1, the OHT carriage 1 is suspended from a traveling rail 2 provided along a predetermined track on the ceiling. The OHT carriage 1 travels in the guide / drive unit 3 while being regulated by the travel rail 2 with travel wheels and guide wheels (not shown). In this case, the required power is a well-known means such as a driving motor provided on the traveling wheel, or a DC linear motor provided with a secondary side and a primary side on the rail 2 side and the OHT carriage 1 side, respectively. Obtained by. Reference numeral 4 denotes an alignment mechanism for adjusting displacement in a direction orthogonal to the traveling direction of the OHT carriage and the rotational direction of the transported object 2 to be described later on the traveling rail 2. Four timing belts are provided on the front, rear, left, and right, and are configured to be able to expand and contract by an elevating mechanism 6 (details will be described later) provided in the OHT cart 1 so as to elevate and lower the hand unit 7. The timing belt 5 has an electric power supply (not shown) for power supply to the hand unit 7 and transmission / reception of control signals embedded therein.

７ａはグリッパ部材で、ハンド部７の構成要素の一つであって、図示の左右方向に変位可能に支持されている。８は被搬送物で、具体的例として、洗浄、ＣＶＤほかの各種処理において未処理あるいは処理済のウエハを収納したキャリア本体８ａと、前記クリッパ部材７ａによって把持又は把持の解除を受けるフランジ部８ｂから構成される。 Reference numeral 7a denotes a gripper member, which is one of the components of the hand unit 7, and is supported so as to be displaceable in the illustrated left-right direction. Reference numeral 8 denotes an object to be conveyed. As a specific example, a carrier body 8a containing a wafer that has not been processed or processed in various processes such as cleaning, CVD, and a flange portion 8b that receives or releases the grip by the clipper member 7a. Consists of

次に、前記昇降機構６の具体的構成について図２を基に説明する。図２において、昇降機構６は、略長方体形状に形成された収容枠体１１と、当該収容枠体１１に収容された４台の懸吊モジュール１２とを有している。各懸吊モジュール１２は、ハンド部７を介して被搬送物８を懸吊するタイミングベルト５と、当該タイミングベルト５を巻戻し及び巻取る巻取ドラム１３と、タイミングベルト５を巻戻し方向及び及び巻取り方向に送り出すタイミングプーリ１４と、巻取ドラム１３を巻戻し方向及び巻取り方向に切替え可能に回転駆動するＤＣモータからなるドラム駆動モータ１５とを有している。 Next, a specific configuration of the lifting mechanism 6 will be described with reference to FIG. In FIG. 2, the elevating mechanism 6 includes an accommodation frame body 11 formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and four suspension modules 12 accommodated in the accommodation frame body 11. Each suspension module 12 includes a timing belt 5 that suspends the object 8 to be conveyed via the hand unit 7, a winding drum 13 that rewinds and winds the timing belt 5, a rewind direction of the timing belt 5, and And a timing pulley 14 that feeds in the winding direction, and a drum drive motor 15 that is a DC motor that rotationally drives the winding drum 13 to be switchable between the rewinding direction and the winding direction.

次に各懸吊モジュール１２の詳細構造について説明する。各懸吊モジュール１２のドラム駆動モータ１５は駆動軸１５ａの軸芯が収容枠体１１の長手方向に一致するように配置されている。ドラム駆動モータ１５の駆動軸１５ａは、巻取ドラム１３の中心部を貫設されている。また、駆動軸１５ａの先端部は軸受け部材１６により回転自在に支持されている。そして、ドラム駆動モータ１５は巻取ドラム１３を巻戻し方向及び巻取り方向に切り換え可能に任意の駆動力で回転駆動するようになっている。 Next, the detailed structure of each suspension module 12 will be described. The drum drive motor 15 of each suspension module 12 is arranged so that the axis of the drive shaft 15 a coincides with the longitudinal direction of the housing frame 11. A drive shaft 15 a of the drum drive motor 15 is provided through the center of the winding drum 13. Further, the distal end portion of the drive shaft 15 a is rotatably supported by the bearing member 16. The drum drive motor 15 rotates the winding drum 13 with an arbitrary driving force so that the winding drum 13 can be switched between a rewinding direction and a winding direction.

前記タイミングベルト５はタイミングプーリ１４の周囲に沿って湾曲状に曲折されて垂下された後、他端部がハンド部７（図１参照）に連結されている。タイミングプーリ１４は、ハンド部７と巻取ドラム１３との中間位置において巻取ドラム１３の側方に並列配置されている。タイミングプーリ１４及びタイミングベルト５には、後述する歯が夫々設けられている。そしてタイミングプーリ１４及びタイミングベルト５は各歯同士を噛合わせることによって、通常操作時には、滑りのない確実なベルト搬送を実現している。 The timing belt 5 is bent in a curved shape along the periphery of the timing pulley 14 and then dropped, and the other end is connected to the hand portion 7 (see FIG. 1). The timing pulley 14 is arranged in parallel to the side of the winding drum 13 at an intermediate position between the hand portion 7 and the winding drum 13. The timing pulley 14 and the timing belt 5 are provided with teeth described later. The timing pulley 14 and the timing belt 5 are engaged with each other to achieve reliable belt conveyance without slipping during normal operation.

上記のように構成された懸吊モジュール１２は、図１に示すハンド部７を安定して懸吊するように、ハンド部７の上面形状（長方形状）の四隅に対応した位置に配置されている。即ち、懸吊モジュール１２は、収容枠体１１の長手方向及び幅方向に２行２列の状態で配列されると共に、２行２列の配列中心に対して点対称に設けられている。また、収容枠体１１の長手方向に並列配置された２台の懸吊モジュール１２・１２は、タイミングプーリ１４・１４の回転中心が同芯となるように設定されている。一方側の懸吊モジュール１２・１２におけるタイミングプーリ１４・１４の回転中心には、第１プーリ駆動軸１７が貫設されている。また、他方側の懸吊モジュール１２・１２におけるタイミングプーリ１４・１４の回転中心には、第２プーリ駆動軸１８が貫設されている。これらのプーリ駆動軸１７・１８は、軸受けベアリングユニット１９により回転自在に支持されている。 The suspension module 12 configured as described above is arranged at positions corresponding to the four corners of the upper surface shape (rectangular shape) of the hand portion 7 so as to stably suspend the hand portion 7 shown in FIG. Yes. That is, the suspension module 12 is arranged in a state of 2 rows and 2 columns in the longitudinal direction and the width direction of the housing frame 11, and is provided point-symmetrically with respect to the array center of 2 rows and 2 columns. Further, the two suspension modules 12 and 12 arranged in parallel in the longitudinal direction of the housing frame 11 are set so that the rotation centers of the timing pulleys 14 and 14 are concentric. A first pulley drive shaft 17 extends through the center of rotation of the timing pulleys 14 and 14 in the suspension modules 12 and 12 on one side. In addition, a second pulley drive shaft 18 extends through the center of rotation of the timing pulleys 14 and 14 in the suspension modules 12 and 12 on the other side. These pulley drive shafts 17 and 18 are rotatably supported by a bearing unit 19.

前記両プーリ駆動軸１７・１８の一方端には、傘歯車２０・２０が設けられている。また、両プーリ駆動軸１７・１８の一方端側には、第３プーリ駆動軸２１が配置されている。この第３プーリ駆動軸２１は、両プーリ駆動軸１７・１８に対して直交するように設定されている。第３プーリ駆動軸２１は、軸受けベアリングユニット１９により回転自在に支持されている。また、第３プーリ駆動軸２１の両端部には、傘歯車２０・２０が設けられている。そして、第３プーリ駆動軸２１の傘歯車２０・２０は、前記第１及び第２プーリ駆動軸１７・１８の一方端に設けられた傘歯車２０・２０と夫々噛合されている。これにより、各懸吊モジュール１２のタイミングプーリ１４は、第１〜第３プーリ駆動軸１７・１８・２１により連結された状態になっている。 Bevel gears 20 and 20 are provided at one ends of the pulley drive shafts 17 and 18, respectively. A third pulley drive shaft 21 is disposed on one end side of both pulley drive shafts 17 and 18. The third pulley drive shaft 21 is set to be orthogonal to both pulley drive shafts 17 and 18. The third pulley drive shaft 21 is rotatably supported by the bearing bearing unit 19. Also, bevel gears 20 and 20 are provided at both ends of the third pulley drive shaft 21. The bevel gears 20 and 20 of the third pulley drive shaft 21 are meshed with the bevel gears 20 and 20 provided at one ends of the first and second pulley drive shafts 17 and 18, respectively. Thereby, the timing pulley 14 of each suspension module 12 is connected by the first to third pulley drive shafts 17, 18, and 21.

前記第１プーリ駆動軸１７の他方端には、昇降モータ２２が連結されている。この昇降モータ２２はサーボモータからなっており、昇降モータ制御装置２３により回転方向及び回転速度をフィードバック制御可能にされている。一方、前記ドラム駆動モータ１５はＤＣモータからなっており、ドラム駆動モータ制御装置２４により回転方向及び回転速度を制御可能にされている。なお、ドラム駆動モータ１５にＤＣモータを用いる理由は、ＤＣモータの基本特性として駆動電圧の電圧及び電流を制御することによって、回転速度をタイミングプーリ１４の回転速度（昇降モータ２２の回転速度）に一致させ、且つタイミングプーリ１４と巻取ドラム１３との間のタイミングベルト５に発生する張力を所定範囲内の一定値となるように制御できるからである。そして、これらの両モータ制御装置２３・２４はタイミングベルト５の巻取り時においては巻取ドラム１３の周速をタイミングプーリ１４の周速よりも増大させる一方、タイミングベルト５の巻戻し時においては巻取ドラム１３の周速をタイミングプーリ１４の周速よりも低下させるように制御する。 A lifting motor 22 is connected to the other end of the first pulley drive shaft 17. The elevating motor 22 is a servo motor, and the elevating motor control device 23 can feedback control the rotation direction and the rotation speed. On the other hand, the drum drive motor 15 is a DC motor, and the rotation direction and the rotation speed can be controlled by the drum drive motor control device 24. The reason why a DC motor is used as the drum drive motor 15 is that the rotation speed is changed to the rotation speed of the timing pulley 14 (the rotation speed of the elevating motor 22) by controlling the voltage and current of the drive voltage as basic characteristics of the DC motor. This is because the tension generated in the timing belt 5 between the timing pulley 14 and the winding drum 13 can be controlled to be a constant value within a predetermined range. These motor control devices 23 and 24 increase the circumferential speed of the winding drum 13 more than the circumferential speed of the timing pulley 14 when the timing belt 5 is wound, while when the timing belt 5 is rewound. The peripheral speed of the winding drum 13 is controlled to be lower than the peripheral speed of the timing pulley 14.

前記図１、図２に示す構成は本願各発明の適用の１具体例を示すもので、その作用を説明すると次の通りである。
先ず、メインコントローラ（図示せず）からの搬送指令信号がＯＨＴ用台車の制御部に受信されると、搬送指令信号に含まれる信号内容が読み取られる。具体的には、搬送指令信号の信号内容に基づいて、搬送先となる処理装置（図示せず）の指定場所が認識されこの指定場所（走行位置データ）に到達するための走行ルートが決定される。 The configuration shown in FIG. 1 and FIG. 2 shows one specific example of application of each invention of the present application, and its operation will be described as follows.
First, when a transport command signal from a main controller (not shown) is received by the control unit of the OHT carriage, the signal content included in the transport command signal is read. Specifically, based on the signal content of the conveyance command signal, a designated location of a processing device (not shown) as a conveyance destination is recognized, and a travel route for reaching this designated location (travel position data) is determined. The

その後、ＯＨＴ用台車１は図示しないリニアモータを構成する二次側コイルに３相交流電流を流すことにより移動する進行磁界を発生させ、搬送軌道に敷設された二次側永久磁石（図示せず）の永久磁石との間の磁気作用で発生した推進力により走行を開始する。走行時においては、搬送軌道中に設けられたバーコード表示等による軌道位置データに基づいて走行ルートを確認する。指定場所に到達するとＯＨＴ用台車１の位置を予めティーチングにより記憶させた補正データを用い、微調整した後、指定場所に存在する処理装置に対して被搬送物８の脱着処理を行う。 Thereafter, the OHT carriage 1 generates a traveling magnetic field by passing a three-phase alternating current through a secondary coil constituting a linear motor (not shown), and a secondary permanent magnet (not shown) laid on the transport track. ) Starts running with the propulsive force generated by the magnetic action with the permanent magnet. During travel, the travel route is confirmed based on the track position data by bar code display or the like provided in the transport track. When the designated location is reached, the position of the OHT carriage 1 is finely adjusted using the correction data stored in advance by teaching, and then the removal of the transported object 8 is performed on the processing apparatus existing at the designated location.

被搬送物８を処理装置に装着（タイミングベルト５の下降）する場合には、昇降モータ制御装置２３が昇降モータ２２を巻戻し方向に所定の回転速度で回転するようにフィードバック制御する、これにより、昇降モータ２２に連結された第１プーリ駆動軸１７が巻戻し方向に回転し、この第１プーリ駆動軸１７に傘歯車２０の噛合により連結状態にされた第３プーリ駆動軸２１及び第２プーリ駆動軸１８が同方向に回転する。この結果、第１プーリ駆動軸１７及び第２プーリ駆動軸１８が貫設された各懸吊モジュール１２のタイミングプーリ１４が巻戻し方向に同時に回転を開始する。 When the transported object 8 is attached to the processing apparatus (the timing belt 5 is lowered), the lifting motor control device 23 performs feedback control so that the lifting motor 22 rotates at a predetermined rotational speed in the rewinding direction. The first pulley drive shaft 17 connected to the elevating motor 22 rotates in the rewinding direction, and the third pulley drive shaft 21 and the second pulley connected to the first pulley drive shaft 17 by meshing the bevel gear 20 The pulley drive shaft 18 rotates in the same direction. As a result, the timing pulley 14 of each suspension module 12 through which the first pulley drive shaft 17 and the second pulley drive shaft 18 are inserted starts to rotate simultaneously in the rewind direction.

また、昇降モータ制御装置２３による昇降モータ２２の回転とは別に、各ドラム駆動モータ制御装置２４が各懸吊モジュール１２のドラム駆動モータ１５に所定の電圧及び電流を出力し、ドラム駆動モータ１５を巻戻し方向に回転させる。これにより、ドラム駆動モータ１５が駆動軸１５ａを介して巻取ドラム１３を巻戻し方向に回転し、タイミングベルト５が巻取ドラム１３から巻戻される。この際、ドラム駆動モータ制御装置２４は駆動電源の電圧及び電流を制御することによってタイミングプーリ１４及び巻取ドラム１３間のタイミングベルト５に発生する張力を所定範囲内の一定に制御している。 In addition to the rotation of the lifting motor 22 by the lifting motor control device 23, each drum drive motor control device 24 outputs a predetermined voltage and current to the drum drive motor 15 of each suspension module 12, and the drum drive motor 15 is turned on. Rotate in the rewind direction. Thereby, the drum drive motor 15 rotates the winding drum 13 in the rewinding direction via the drive shaft 15 a, and the timing belt 5 is rewound from the winding drum 13. At this time, the drum drive motor control device 24 controls the tension and tension generated in the timing belt 5 between the timing pulley 14 and the winding drum 13 to be constant within a predetermined range by controlling the voltage and current of the drive power supply.

この結果、全懸吊モジュール１２のタイミングベルト５が同一速度で巻取ドラム１３から巻き戻されるため、タイミングベルト５に懸吊されたハンド部７が水平状態を維持しながら下降する。これにより、被搬送物８の傾きが防止されるため、被搬送物８内のウエハ等の収納物がズレて滑ったり、被搬送物８の側壁に突き当たることによる製品の歩留りの低下が防止される。 As a result, the timing belt 5 of the entire suspension module 12 is rewound from the winding drum 13 at the same speed, so that the hand portion 7 suspended from the timing belt 5 is lowered while maintaining a horizontal state. Accordingly, since the tilt of the transported object 8 is prevented, the yield of the product due to the stored object such as the wafer in the transported object 8 slipping or hitting the side wall of the transported object 8 is prevented. The

さらに、下降時において、巻取ドラム１３及びタイミングプーリ１４間のタイミングベルト５の張力が所定範囲内に設定されているので巻取ドラム１３をタイミングプーリ１４に従動させながら弱い張力で下降させた場合のように、タイミングベルト５がタイミングプーリ１４から浮き上がって噛合いを外すことはない。これにより、タイミングベルト５とタイミングプーリ１４とが確実に噛合せた状態を維持するため、被搬送物８がバランスを崩して落下するという事故を防止することができる。また、タイミングベルト５が所定範囲の張力で張られているため、タイミングベルト５が早期に破損や磨耗するという事態を防止することができる。 Further, when the lowering is performed, since the tension of the timing belt 5 between the winding drum 13 and the timing pulley 14 is set within a predetermined range, the winding drum 13 is lowered with a weak tension while being driven by the timing pulley 14. As described above, the timing belt 5 does not lift from the timing pulley 14 to disengage the mesh. Thereby, since the timing belt 5 and the timing pulley 14 are reliably engaged with each other, it is possible to prevent an accident that the conveyed object 8 falls out of balance and falls. Moreover, since the timing belt 5 is tensioned with a predetermined range of tension, it is possible to prevent the timing belt 5 from being damaged or worn out at an early stage.

次に、被搬送物８が下降され、処理装置の所定位置に載置されると、この載置状態が図示しない載置検知センサにより検出される。そして、被搬送物８の下降が停止された後、ハンド部７による被搬送物８の保持が解除される。この後、ハンド部７のみが引き上げられることによって被搬送物８の装着が完了する。 Next, when the transported object 8 is lowered and placed at a predetermined position of the processing apparatus, this placement state is detected by a placement detection sensor (not shown). Then, after the descending of the transported object 8 is stopped, the holding of the transported object 8 by the hand unit 7 is released. Thereafter, only the hand portion 7 is pulled up to complete the mounting of the transported object 8.

一方、被搬送物８を処理装置から抜脱（タイミングベルト５の上昇）する場合には、先ず、前記下降動作を実行するように昇降機構６が作動され、空状態のハンド部７がタイミングベルト５に懸吊されながら被搬送物８方向に下降される。従って、この場合においても、所定範囲内の張力下で、タイミングベルト５がタイミングプーリ１４に噛合されるため、通常の状態においては、噛合が外れるという事態が起きる可能性は少ない。この後、ハンド部７が被搬送物８のフランジ部８ｂに到達したことが図示しない載置検知センサで検出されると、ハンド部７の下降が停止された後、ハンド部７によりフランジ部８ｂが保持される。 On the other hand, when the transported object 8 is removed from the processing apparatus (the timing belt 5 is raised), first, the elevating mechanism 6 is operated so as to execute the lowering operation, and the empty hand unit 7 is moved to the timing belt. It is lowered in the direction of the conveyed object 8 while being suspended by 5. Accordingly, even in this case, since the timing belt 5 is engaged with the timing pulley 14 under a tension within a predetermined range, there is little possibility that the engagement is disengaged in a normal state. Thereafter, when it is detected by a placement detection sensor (not shown) that the hand portion 7 has reached the flange portion 8b of the object 8 to be conveyed, the hand portion 7 stops the descent and then the hand portion 7 causes the flange portion 8b to stop. Is retained.

次に、図１及び図２に示すように、昇降モータ制御装置２３が昇降モータ２２を巻取り方向に所定の回転速度で回転するようにフィードバック制御する。これにより、昇降モータ２２に連結された第１〜第３プーリ駆動軸１７・２１・１８が順次回転方向を変えて回転する。この結果、第１プーリ駆動軸１７及び第２プーリ駆動軸１８を貫設させた各懸吊モジュール１２のタイミングプーリ１４が巻取り方向に同時に回転を開始する。 Next, as shown in FIGS. 1 and 2, the lifting motor control device 23 performs feedback control so that the lifting motor 22 rotates in the winding direction at a predetermined rotational speed. As a result, the first to third pulley drive shafts 17, 21, and 18 connected to the elevating motor 22 sequentially rotate while changing the rotation direction. As a result, the timing pulley 14 of each suspension module 12 through which the first pulley drive shaft 17 and the second pulley drive shaft 18 are inserted starts to rotate simultaneously in the winding direction.

また、昇降モータ制御装置２３による昇降モータ２２の回転とは別に、各ドラム駆動モータ制御装置２４が各懸吊モジュール１２のドラム駆動モータ１５に所定の電圧及び電流を出力し、ドラム駆動モータ１５を巻取り方向に回転させる。これにより、ドラム駆動モータ１５がその駆動軸１５ａを介して巻取ドラム１３を巻取り方向に回転させることによって、タイミングベルト５が巻取ドラム１３に巻取られる。そして、前記被搬送物８を下降させる場合と同様に、ドラム駆動モータ制御装置２４は、駆動電源の電圧及び電流を制御することによってタイミングプーリ１４及び巻取ドラム１３間のタイミングベルト５に発生する張力を所定範囲内の一定値に制御する。 In addition to the rotation of the lifting motor 22 by the lifting motor control device 23, each drum drive motor control device 24 outputs a predetermined voltage and current to the drum drive motor 15 of each suspension module 12, and the drum drive motor 15 is turned on. Rotate in the winding direction. Accordingly, the timing belt 5 is wound around the winding drum 13 by the drum driving motor 15 rotating the winding drum 13 in the winding direction via the drive shaft 15a. As in the case of lowering the transported object 8, the drum drive motor control device 24 generates the timing belt 5 between the timing pulley 14 and the winding drum 13 by controlling the voltage and current of the drive power supply. The tension is controlled to a constant value within a predetermined range.

図３は、被搬送物８の把持及びこの把持を解除するハンド部７全体機構を示す図２の本願各発明に係る構成の要部を抽出し、付属要素を追記した概略構成図である。この図３において、図２に表示した構成要素（懸吊モジュール１２内のタイミングベルト５、タイミングプーリ１４及び巻取ドラム１３）の相互関係について具体的に述べると次の通りである。
先ず、タイミングプーリ１４及びタイミングベルト５には、互いの接触部位の相対位置における滑りを防止するために、タイミングプーリ１４の周囲には歯部１４ａが形成され、タイミングベルト５には前記タイミングプーリの歯部１４ａと噛合う歯部５ａが形成されている。次に、巻取ドラム１３の構成について述べると、タイミングベルト５を巻取る円筒部１３ａ、巻取られたタイミングベルト５の幅方向の変位を防止する鍔部１３ｂ、及び
固定部１３ｃを備えている。 FIG. 3 is a schematic configuration diagram in which a main part of the configuration according to each invention of FIG. 2 showing the gripping of the object to be conveyed 8 and the entire mechanism of the hand unit 7 for releasing the gripping is extracted, and additional elements are added. In FIG. 3, the mutual relationship between the components shown in FIG. 2 (the timing belt 5, the timing pulley 14 and the winding drum 13 in the suspension module 12) will be described in detail as follows.
First, the timing pulley 14 and the timing belt 5 are formed with teeth 14a around the timing pulley 14 in order to prevent slippage at the relative positions of the contact portions with each other. The tooth part 5a which meshes with the tooth part 14a is formed. Next, the configuration of the winding drum 13 will be described. A cylindrical portion 13a for winding the timing belt 5, a flange portion 13b for preventing displacement of the wound timing belt 5 in the width direction, and
A fixing portion 13c is provided.

なお、この固定部１３ｃは、円筒部１３ａに巻取り・巻戻しされるタイミングベルト５の端部５ｂを確実に保持するために円筒部１３ａの内部に設けられている。
３１、３２はピンチローラで、タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部
５ａ、１４ａの噛合い部位において、タイミングベルト５の背面（歯部５ａが形成されていない面）を押圧しつつ回動自在に支持されている。
これによって、少なくともピンチローラ３１、３２間のＭ部に於いて、タイミングベルトは張力の加わった状態でタイミングプーリに巻架され、、しかも背面の２箇所をピンチローラで押圧されるので、ピンチローラの歯にタイミングベルトの歯が密着し、タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位において歯飛びの発生の可能性は少ない。 In addition, this fixing | fixed part 13c is provided in the inside of the cylindrical part 13a in order to hold | maintain the edge part 5b of the timing belt 5 wound up by the cylindrical part 13a reliably.
Reference numerals 31 and 32 denote pinch rollers that rotate while pressing the back surface of the timing belt 5 (the surface on which the tooth portions 5a are not formed) at the meshing portions of the tooth portions 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14. It is supported freely.
As a result, at least in the M section between the pinch rollers 31 and 32, the timing belt is wound around the timing pulley in a state where tension is applied, and the two places on the back are pressed by the pinch roller. The teeth of the timing belt are in close contact with the teeth of the teeth, and there is little possibility of occurrence of tooth skipping at the meshing portions of the teeth 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14.

３３、３４はガイドローラで、タイミングベルト５の背面に筒部３３ａ、３４ａを接し、タイミングベルト５の幅方向の変位を鍔部３３ｂ、３４ｂで抑制し、配置位置はタイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位の近傍とする。
これによって、タイミングベルト５の反巻取ドラム１３側であって、ハンド部７側の端部におけるタイミングベルトの幅方向の振れが発生した場合、タイミングプーリ１４の歯部１４ａに対するタイミングベルト５の歯部５ａの噛合いが傾斜することに伴い発生する可能性のある歯飛びを抑制できる。 Reference numerals 33 and 34 denote guide rollers, which contact the cylindrical portions 33a and 34a on the back surface of the timing belt 5, and suppress displacement in the width direction of the timing belt 5 by the flange portions 33b and 34b. The arrangement positions are the timing belt 5 and the timing pulley 14. It is set as the vicinity of the meshing site | part of each tooth | gear part 5a, 14a.
Accordingly, when the timing belt 5 is swung in the width direction of the timing belt 5 at the end of the timing belt 5 on the side opposite to the take-up drum 13, the teeth of the timing belt 5 with respect to the teeth 14 a of the timing pulley 14 are generated. It is possible to suppress tooth skipping that may occur when the meshing of the portion 5a is inclined.

前記の説明における、
（１）巻取ドラム１３及びタイミングプーリ１４間のタイミングベルト５に所定範囲
内で一定張力を加えること
（２）ピンチローラ３１、３２を設けること
（３）ガイドローラ３３、３４を設けること
は、タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位の歯飛び発生の抑制効果を有する。 In the above description,
(1) Applying a constant tension within a predetermined range to the timing belt 5 between the winding drum 13 and the timing pulley 14 (2) Providing pinch rollers 31 and 32 (3) Providing guide rollers 33 and 34 The tooth belt 5 and the timing pulley 14 have the effect of suppressing the occurrence of tooth skipping at the meshing portions of the tooth portions 5a and 14a.

前記（１）〜（３）の構成は、被搬送物８の昇降時に発生することが予測される振動や衝撃力がタイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位に伝播するのを遮断し、歯飛び発生防止の効果もある。
しかし、タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位において、従来のクリアランスが最小限で、タイトな噛合わせであると、剛性大につき歯ピッチの変動のないタイミングプーリ１４の歯部１４ａと、弾性体で形成されることに伴い、被搬送物８の有無により歯部ピッチに変動のあるタイミングベルト５の歯部５ａとの噛合い状態が変化し、最適状態を維持できない。 In the configurations (1) to (3), vibrations and impact forces that are expected to occur when the conveyed object 8 is raised and lowered are applied to the meshing portions of the tooth portions 5 a and 14 a of the timing belt 5 and the timing pulley 14. Propagation is blocked, and tooth jumping is prevented.
However, when the conventional clearance is minimal and tight meshing is performed at the meshing portions of the teeth 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14, the timing pulley 14 does not vary in tooth pitch due to high rigidity. As a result of being formed of an elastic body, the meshing state of the tooth portion 5a of the timing belt 5 having a variation in the tooth portion pitch changes depending on the presence or absence of the conveyed object 8, and the optimum state is maintained. Can not.

即ち、歯部ピッチが変動しないタイミングプーリ１４の歯部１４ａと、歯部ピッチが変動するタイミングベルト５の歯部５ａとは、ハンド部７が被搬送物８を把持しない状態（ハンド部７が無負荷状態）におけるハンド部７の降下時の最も負荷の小さい状態から、ハンド部７が被搬送物８を把持している状態（ハンド部７が負荷状態）におけるハンド部７の上昇時の最も負荷のかかる状態に至るまで適切なクリアランスを維持できず、歯飛びを生じることがある。 That is, the tooth part 14a of the timing pulley 14 where the tooth part pitch does not change and the tooth part 5a of the timing belt 5 where the tooth part pitch changes are in a state where the hand part 7 does not grip the object 8 (the hand part 7 is From the state with the smallest load when the hand unit 7 is lowered in the no-load state) to the most when the hand unit 7 is raised in the state where the hand unit 7 is gripping the object 8 to be transported (the hand unit 7 is loaded) Appropriate clearance cannot be maintained until a load is applied, and tooth skipping may occur.

さて、この歯飛びを的確に防止する本願各発明の要旨をなす構成について図４（展開模式図）を参照して説明する。
先ず、タイミングプーリ１４が剛体で形成されていることにより、当該タイミングプーリ１４の歯部１４ａの歯ピッチが一定であるのに対して、タイミングベルト５は、巻取ドラム１４に巻取り・繰出しされるため弾性体で形成される。このため、タイミングベルト５に最大張力が負荷されるハンド部７に対して被搬送物８を把持して上昇するときに最大長となり、ハンド部７に被搬送物８を把持しない状態で降下する時に最小長となる。
このようにタイミングベルト５が最大長となるときのタイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位の適正な状態は図４（Ａ）の関係にあることが望ましい。
即ち、ピンチローラ３１、３２間のタイミングベルト５とタイミングプーリ１４とが噛合うＭ部の中央部において、タイミングプーリ１４の歯部１４ａと、タイミングプーリ１４の各歯部５ａ間に形成されるクリアランス寸法Ｇ１は通常の寸法（従来慣用されているクリアランス）であり、両端部に於いて形成されるタイミングプーリ１４の歯部１４ａと、タイミングプーリ１４の各歯部５ａ間のクリアランスＧ２は最大となる。 Now, a configuration constituting the gist of each invention of the present application for accurately preventing tooth skipping will be described with reference to FIG. 4 (development schematic diagram).
First, since the timing pulley 14 is formed of a rigid body, the tooth pitch of the tooth portion 14a of the timing pulley 14 is constant, whereas the timing belt 5 is wound and fed out on the winding drum 14. Therefore, it is formed of an elastic body. Therefore, the maximum length is obtained when the transported object 8 is gripped and lifted with respect to the hand unit 7 to which the maximum tension is applied to the timing belt 5, and the hand unit 7 is lowered without gripping the transported object 8. Sometimes the minimum length.
As described above, it is desirable that the proper state of the meshed portions of the respective tooth portions 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14 when the timing belt 5 has the maximum length is in the relationship shown in FIG.
That is, the clearance formed between the tooth portion 14a of the timing pulley 14 and each tooth portion 5a of the timing pulley 14 at the center portion of the M portion where the timing belt 5 and the timing pulley 14 mesh between the pinch rollers 31 and 32. The dimension G1 is a normal dimension (clearance conventionally used), and the clearance G2 between the tooth part 14a of the timing pulley 14 formed at both ends and each tooth part 5a of the timing pulley 14 is maximized. .

一方、タイミングベルト５が最小長となるときのタイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位の適正な状態は図４（Ｂ）の関係にあることが望ましい。
即ち、ピンチローラ３１、３２間のタイミングベルト５とタイミングプーリ１４とが噛合うＭ部の中央部において、タイミングプーリ１４の歯部１４ａと、タイミングプーリ１４の各歯部５ａ間に形成されるクリアランスＧ１は図４（Ａ）と同様通常の寸法であるが、両端部に於いて形成されるタイミングプーリ１４の歯部１４ａと、タイミングプーリ１４の各歯部５ａ間のクリアランスＧ２は最小となる。
この図４（Ａ）、（Ｂ）のようにタイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部位の最適化を図るための手法は、
（１）タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａの噛合い部の
長さ（図３よりこの長さはＭ）
（２）タイミングベルト５の弾性率（単位重量当りの伸び率をＥとする）
（３）タイミングベルト５に作用する負荷荷重変動量Ｗ（最大負荷荷重−最小負荷荷重）
とする。 On the other hand, it is desirable that the proper state of the meshing portions of the teeth 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14 when the timing belt 5 has the minimum length is in the relationship shown in FIG.
That is, the clearance formed between the tooth portion 14a of the timing pulley 14 and each tooth portion 5a of the timing pulley 14 at the center portion of the M portion where the timing belt 5 and the timing pulley 14 mesh between the pinch rollers 31 and 32. G1 has a normal size as in FIG. 4A, but the clearance G2 between the tooth portion 14a of the timing pulley 14 formed at both ends and each tooth portion 5a of the timing pulley 14 is minimized.
As shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B), the method for optimizing the meshing portions of the tooth portions 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14 is as follows.
(1) The length of the meshing portions of the respective tooth portions 5a and 14a of the timing belt 5 and the timing pulley 14 (this length is M from FIG. 3).
(2) Elastic modulus of the timing belt 5 (Elongation per unit weight is E)
(3) Load load fluctuation amount W acting on the timing belt 5 (maximum load load−minimum load load)
And

この場合において、歯飛びの起こらない条件はクリアランスＧ１、Ｇ２が次式１、２を満たす場合である。
０≦Ｇ１＜０．４ｍｍ・・・・・・・・・・・（式１）
Ｍ×Ｅ×Ｗ≦Ｇ２＜Ｍ×Ｅ×Ｗ＋Ｇ１・・・・（式２）
また、クリアランスＧ１、Ｇ２が必要以上に大きな寸法になると歯部の強度が不足し、十分な耐寿命特性が得られなくなり、しかも、タイミングベルトの昇降動作でタイミングベルトに滑りが生じるなど動作が不安定になる。前記（式１）、（式２）は歯部の強度が十分な耐寿命特性を有し、昇降動作の安定性も確保できるものである。
なお、理論上、前記クリアランスＧ１は、タイミングベルト５に対し、被搬送物８の荷重が負荷される図４（Ｂ）の状態の方が被搬送物８の荷重が負荷されない図４（Ａ）の状態より大となるが、負荷荷重によるタイミングベルト５全体の伸びに比べて１ピッチの伸びが関与するのみで、実質同じとしても前記式１、２への影響は殆どない範囲である。 In this case, the condition that the tooth skip does not occur is when the clearances G1 and G2 satisfy the following expressions 1 and 2.
0 ≦ G1 <0.4mm ・・・・・・・・・・・ (Formula 1)
M × E × W ≦ G2 <M × E × W + G1 (Expression 2)
In addition, if the clearances G1 and G2 are larger than necessary, the strength of the tooth portion is insufficient, and sufficient life resistance characteristics cannot be obtained. Become stable. The above (Formula 1) and (Formula 2) have a life resistance characteristic that the strength of the tooth portion is sufficient, and can ensure the stability of the lifting operation.
Theoretically, the clearance G1 is such that the load of the conveyed object 8 is not loaded in the state of FIG. 4B where the load of the conveyed object 8 is applied to the timing belt 5 (A). However, even if substantially the same, the above-described expressions 1 and 2 are hardly affected.

タイミングベルト５の本数は、被搬送物８の安定した昇降・搬送を得るとともに、各タイミングベルト５の駆動機構を簡素するために４が最適であるが、原理的には複数本にて構成することができる。 The number of timing belts 5 is optimal to obtain stable lifting / conveying of the object to be conveyed 8 and to simplify the drive mechanism of each timing belt 5, but in principle, the number of timing belts 5 is constituted by a plurality of timing belts. be able to.

図６（（Ａ）はタイミングベルト、（Ｂ）はタイミングプーリ）の寸法表示図において、具体的数値を示すと、
Ｌ１：０．３５ｍｍ
Ｌ２：１．１ｍｍ
Ｌ３：０．８５ｍｍ
Ｌ４：２ｍｍ
Ｌ５：１．１ｍｍ
Ｌ６：０．８５ｍｍ
Ｌ７：０．７ｍｍ
Ｈ１：０．６５ｍｍ
Ｈ２：０．５ｍｍ
Ｄ：２９．６０ｍｍ
Ｔ：０．６５ｍｍ
である。
また、前記式１、２の要素ほか実施データとして具体的数値を示すと、
Ｇ１：約０．２ｍｍ
Ｅ：約５．５×１０^−４（ｍｍ／ｋｇ）
Ｍ：約６０ｍｍ
Ｗ：約４Ｋｇ
タイミングベルト５の幅：約２５ｍｍ
タイミングベルト５及びタイミングプーリ１４の歯ピッチ：２ｍｍ
タイミングベルト５の実施可能長さ：３００〜５,０００ｍｍ
である。 In the dimension display diagram of FIG. 6 ((A) is a timing belt, (B) is a timing pulley)
L1: 0.35mm
L2: 1.1mm
L3: 0.85mm
L4: 2mm
L5: 1.1mm
L6: 0.85mm
L7: 0.7mm
H1: 0.65mm
H2: 0.5mm
D: 29.60mm
T: 0.65mm
It is.
In addition, when concrete numerical values are shown as the implementation data other than the elements of the above formulas 1 and 2,
G1: About 0.2mm
E: About 5.5 × 10 ⁻⁴ (mm / kg)
M: About 60mm
W: About 4Kg
Timing belt 5 width: about 25 mm
Teeth pitch of timing belt 5 and timing pulley 14: 2 mm
Possible length of the timing belt 5: 300 to 5,000 mm
It is.

なお、この実施例におけるタイミングベルト５の駆動部６の底部とハンド部７の固定部までの長さは２５００、傾斜角度は最大０．２８度とした。
図７は、この実施例におけるタイミングベルトの荷重Ｗ（単位はｋｇ）に対する長さＬ（単位はｍｍ）との関係を示すグラフである。
この実施例によってタイミングベルト５とタイミングプーリ１４の各歯部５ａ、１４ａとの噛合い状態において歯飛びは発生しないことを確認した。
タイミングベルト幅寸方が１０ｍｍ〜５０ｍｍの範囲で、伸び率Ｅが５．０×１０^−４（ｍｍ／ｋｇ）〜５．０×１０^−６（ｍｍ／ｋｇ）の範囲にある場合、Ｇ１の適正値は０．５ｍｍ以下、好ましくは０．２ｍｍ以下、さらに好ましくは０．１ｍｍ以下である。
以上に記載のデータは本願各発明の一具体例を示したもので、各請求項にて規制される技術的範囲を限定するものではない。 In this embodiment, the length from the bottom of the drive unit 6 to the fixed part of the hand unit 7 of the timing belt 5 is 2500, and the maximum inclination angle is 0.28 degrees.
FIG. 7 is a graph showing the relationship between the timing belt load W (unit is kg) and the length L (unit is mm) in this embodiment.
According to this embodiment, it was confirmed that tooth skipping did not occur when the timing belt 5 and the tooth portions 5a and 14a of the timing pulley 14 were engaged.
When the width of the timing belt is in the range of 10 mm to 50 mm and the elongation E is in the range of 5.0 × 10 ⁻⁴ (mm / kg) to 5.0 × 10 ⁻⁶ (mm / kg), The appropriate value is 0.5 mm or less, preferably 0.2 mm or less, more preferably 0.1 mm or less.
The data described above shows one specific example of each invention of the present application, and does not limit the technical scope regulated by each claim.

本発明を適用するＯＨＴ用台車の要部構成を示す正面図である。It is a front view which shows the principal part structure of the cart for OHT to which this invention is applied. 本発明を適用するＯＨＴ用台車のハンド部における昇降機構を平面視した概略構成図である。It is the schematic block diagram which planarly viewed the raising / lowering mechanism in the hand part of the cart for OHT to which this invention is applied. 本発明の適用箇所を示す構成図である。It is a block diagram which shows the application location of this invention. 本発明に係るタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位における展開模式図で、同図（Ａ）はタイミングベルトの張力が最大時（長さが最大）、同図（Ｂ）はタイミングベルトの張力が最小時（長さが最小）の状況を示している。FIG. 2A is a developed schematic view of the meshed portion of each tooth portion of the timing belt and the timing pulley according to the present invention, where FIG. 1A is the timing belt tension is maximum (length is maximum), and FIG. It shows the situation when the belt tension is minimum (length is minimum). 慣用手段としてのタイミングベルト及びタイミングプーリの各歯部の噛合わせ部位における展開模式図である。It is an expansion | deployment schematic diagram in the meshing site | part of each tooth | gear part of a timing belt and a timing pulley as a conventional means. 本発明の実施例におけるタイミングプーリ及びタイミングベルトの寸法表示を付した模式図で、同図（Ａ）はタイミングベルトの寸法表示、同図（Ｂ）はタイミングプーリの寸法表示である。FIG. 4 is a schematic diagram with dimensions of timing pulleys and timing belts in an embodiment of the present invention, where FIG. (A) is a dimension display of the timing belt and FIG. (B) is a dimension display of the timing pulley. 本発明の実施例におけるタイミングベルトの長さと張力（荷重）の関係を示す特性図である。It is a characteristic view which shows the relationship between the length of a timing belt and tension | tensile_strength (load) in the Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１．ＯＨＴ用台車
５．タイミングベルト
５ａ。タイミングベルトの歯部
６．昇降機構
７．ハンド部
１３．巻取ドラム
１４．タイミングプーリ
１４ａ．タイミングプーリの歯部
３１，３２．ピンチローラ
３３，３４．ガイドローラ

1. 4. Cart for OHT Timing belt 5a. 5. Timing belt teeth Elevating mechanism7. Hand part 13. Winding drum 14. Timing pulley 14a. Timing pulley teeth 31, 32. Pinch rollers 33, 34. Guide roller

Claims

帯状をなし、その一面において、長手方向に沿って歯部を形成し、被搬送物把持用ハンド部を下端部で支持する複数本のタイミングベルトと、
各タイミングベルト毎に、その歯部と噛合い、当該タイミングベルトによって懸吊される前記ハンド部を昇降制御するタイミングプーリと、
当該各タイミングプーリの駆動制御により、各対応する前記タイミングベルトを巻取り、又は繰り出しする巻取りドラムと、
前記各タイミングプーリ及びこれに対応するタイミングベルトの各歯部同士が噛合う噛合い部の両側２箇所において、タイミングベルトの歯部が形成されていない面を押圧して前記タイミングベルトの歯部を前記タイミングプーリに押し当てるピンチローラと、
前記タイミングベルトが前記巻取りドラムから巻戻される場合、及び、前記タイミングベルトが前記巻取りドラムに巻取られる場合、の何れの場合においても、前記各タイミングプーリとこれに対応する巻取りドラムとの間のタイミングベルトの張力を所定の範囲内で一定に保つように、前記各巻取りドラムの回転速度を制御する制御手段と、
を有する懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構において、
前記タイミングベルト及び前記タイミングプーリの各歯部同士の噛合い状態が、被搬送物搭載の有無に対応した負荷荷重の有無により、前記タイミングベルトの弾性伸縮に起因して変動するタイミングベルトの歯ピッチと、弾性伸縮を生じない前記タイミングプーリの歯ピッチとにズレが生じても、前記タイミングベルトの歯部の形状寸法と前記タイミングプーリの歯部の形状寸法との最適化を図ることにより、噛合わせ不良を生じることなく、かつ、所定の噛合い強度を保つように構成し、
前記最適化を図るために、
前記タイミングベルトの歯部と前記タイミングプーリの歯部との噛合い部の長さ、前記タイミングベルトの単位重量当りの伸び率、及び前記タイミングベルトに作用する負荷荷重変動量を考慮して、前記ハンド部が前記被搬送物を把持して上昇するときにおける前記タイミングベルトの歯ピッチが最大となる場合、及び、前記ハンド部が前記被搬送物を把持しないで降下するときにおける前記タイミングベルトの歯ピッチが最小となる場合、の何れの場合においても、前記噛合い部の長さ範囲内にわたって互いの歯部同士が噛合い可能なクリアランスが存在するように、各々の前記歯部の形状寸法を設定することを特徴とする懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構。 A plurality of timing belts that form a belt shape, form a tooth portion along the longitudinal direction on one surface thereof, and support the transferred object gripping hand portion at the lower end portion;
For each timing belt, a timing pulley that meshes with the tooth portion and controls the lifting and lowering of the hand portion suspended by the timing belt;
Winding drums for winding or feeding out the corresponding timing belts by driving control of the timing pulleys;
At the two positions on both sides of each timing pulley and the corresponding timing belt teeth, the timing belt teeth are pressed by pressing the surfaces of the timing belt where no teeth are formed. A pinch roller pressed against the timing pulley;
In each case where the timing belt is rewound from the winding drum and when the timing belt is wound around the winding drum, each timing pulley and a winding drum corresponding thereto Control means for controlling the rotational speed of each of the winding drums so as to keep the tension of the timing belt during the period constant within a predetermined range;
In the lifting mechanism of the object to be transported in the carriage for the suspended lifting and lowering conveying device,
The tooth pitch of the timing belt in which the meshing state between the teeth of the timing belt and the timing pulley varies due to the elastic expansion and contraction of the timing belt depending on the presence or absence of a load corresponding to the presence or absence of the object to be conveyed. Even if there is a deviation in the tooth pitch of the timing pulley that does not cause elastic expansion and contraction, by optimizing the shape dimensions of the timing belt teeth and the timing pulley teeth, It is configured to maintain a predetermined meshing strength without causing poor alignment,
In order to achieve the optimization,
Considering the length of the meshing portion between the tooth portion of the timing belt and the tooth portion of the timing pulley, the elongation per unit weight of the timing belt, and the load load fluctuation amount acting on the timing belt, Teeth of the timing belt when the tooth pitch of the timing belt is maximized when the hand unit grips and raises the conveyed object, and when the hand unit descends without grasping the conveyed object In any case where the pitch is minimized, the shape and dimension of each tooth portion is set so that there is a clearance that allows the tooth portions to mesh with each other over the length range of the meshing portion. A lifting / lowering mechanism for an object to be transported in a cart for a suspended lifting / lowering transportation apparatus.

前記各タイミングプーリの近傍であって、当該タイミングプーリと、被搬送物相互間、当該タイミングプーリと、これに対応する巻取りドラム相互間の夫々に位置し、前記タイミングベルトの幅方向の変位を防止させるガイドローラを備えることを特徴とする請求項１に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構。 Located in the vicinity of each of the timing pulleys, between the timing pulley and the conveyed object, between the timing pulley and the winding drum corresponding thereto , and the displacement in the width direction of the timing belt. The lifting mechanism of the to-be-conveyed object in the trolley | bogie for suspension type raising / lowering conveyance apparatuses of Claim 1 provided with the guide roller to prevent.

タイミングベルトの本数が４であることを特徴とする請求項１又は２に記載の懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構。 The number of timing belts is 4, The lifting mechanism for the object to be transported in the carriage for the suspended lifting / lowering transport apparatus according to claim 1 or 2 .

各タイミングベルトに対し、ハンド部への動力発生用電力乃至制御信号供給に必要な電線が埋設されていることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の懸垂式昇降搬送装置用台車における被搬送物の昇降機構。 4. The suspension type lifting and lowering conveyance vehicle carriage according to claim 1 , wherein each timing belt is provided with electric power for power generation to the hand portion or electric wires necessary for supplying a control signal. Lifting mechanism for the object to be transported.