JP4802838B2 - Active vibration damping device and control method of active vibration damping device - Google Patents
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Description
本発明は、対象機器の振動抑制の制御を行うアクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法に関する。 The present invention relates to an active vibration damping device that controls vibration suppression of a target device and a method for controlling the active vibration damping device.
従来から、構造物の振動を抑制する手段の一つとして、構造物の振動方向に付加振動体を付設し、この付加振動体を対象構造物に対して変位させるときの反作用を利用して対象の構造物の振動を抑制するダイナミックダンパが知られている。また、付加振動体と制振対象構造物の間にアクチュエータを設けておき、計測した対象構造物の振動量に応じてアクチュエータに制振力を発生させることにより制振効果を高めるアクティブダイナミックダンパも知られている。
しかしながら、このようなアクティブダイナミックダンパでは、振動を抑制するためにアクチュエータを駆動する必要があり、それに何らかのエネルギを加えなければならず、このため通常電力料金などの形でランニングコストがかかり、従ってアクチュエータ駆動電力の省エネルギ化が望まれる。
Conventionally, as one of the means for suppressing the vibration of a structure, an additional vibration body is provided in the vibration direction of the structure, and the reaction when the additional vibration body is displaced with respect to the target structure is used as a target. There is known a dynamic damper that suppresses the vibration of the structure. There is also an active dynamic damper that increases the damping effect by providing an actuator between the additional vibrating body and the structure to be controlled, and generating a damping force on the actuator according to the measured vibration amount of the target structure. Are known.
However, in such an active dynamic damper, it is necessary to drive the actuator in order to suppress vibration, and some energy must be added to it, which usually requires a running cost in the form of a power charge, etc. Energy saving of driving power is desired.
このような問題を解決するために、構造物に付加振動体を取り付けて対象の構造物と付加振動体の間に設けたアクチュエータにより制振力を加えることにより対象構造物の振動を抑制するアクティブダイナミックダンパにおいて、制振力指令のうち振動抑制への影響力の小さい構造物振動固有周波数未満の成分を低域除去フィルタにより除去して、アクチュエータ駆動用電力の消費量が少なくて済むようにした制御方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、特許文献1に示すようなアクティブダイナミックダンパにあっては、アクチュエータで実現するバネとダンパのバネ定数及び減衰係数という2つのパラメータを最適な動吸振器と等しい特性になるように調整する必要があり、調整作業に手間がかかるという問題がある。
また、フードダンパを実現しようとしても、機械系の有するバネの影響で理想的なフードダンパを実現することができないという問題もある。
By the way, in the active dynamic damper as shown in
Moreover, even if it is going to implement | achieve a hood damper, there also exists a problem that an ideal hood damper cannot be implement | achieved by the influence of the spring which a mechanical system has.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、理想的なフードダンパを実現することができるアクティブ制振装置及びアクティブ制振装置の制御方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to provide an active vibration damping device and an active vibration damping device control method capable of realizing an ideal hood damper.
本発明のアクティブ制振装置は、制御対象機器に対して、バネ要素及びダンパ要素によって支持された付加質量部材と、前記付加質量部材を駆動するアクチュエータと、前記付加質量部材と前記制御対象機器との相対変位量を検出する変位センサと、複数の信号で構成される駆動指令を前記相対変位量に基づき出力し、前記アクチュエータを駆動する制御手段とを備え、前記付加質量部材を前記アクチュエータにより駆動した場合の反力を用いて振動抑制するアクティブ制振装置であって、前記制御手段は、前記付加質量部材を支持するバネ要素のバネ特性を打ち消して0に近づける負のバネ剛性を前記変位センサ出力に基づき与える信号と、前記アクティブ制振装置の減衰係数を所定の減衰係数にする減衰力を前記変位センサ出力の微分値に基づき付加する信号とを前記駆動指令として出力することにより制振制御を行う制御手段を備えたことを特徴とする。 The active vibration damping device of the present invention includes an additional mass member supported by a spring element and a damper element, an actuator that drives the additional mass member , the additional mass member, and the control target device. A displacement sensor that detects a relative displacement amount of the sensor, and a control unit that outputs a drive command composed of a plurality of signals based on the relative displacement amount and drives the actuator, and drives the additional mass member by the actuator. the vibrating inhibiting active damping apparatus using a reaction force in the case of the control means, the additional mass member said displacement sensor negative spring stiffness closer to 0 to cancel the spring characteristics of the spring element for supporting the a signal applied based on the output, the differential value of the damping force the displacement sensor output to the damping coefficient to a predetermined damping coefficient of the active damping device Characterized by comprising a control means for damping control by outputting a signal to basis added as the drive command.
前記負のバネ剛性を与える信号は、前記変位センサ出力を正帰還することで得られるものであることが好ましい。 Signal to provide a spring rigidity of the front Kimake, it is preferably obtained by positive feedback of the displacement sensor output.
前記変位センサ出力の低周波数域を除去するハイパスフィルタを備え、前記制御手段は、前記ハイパスフィルタを介して得られた信号に基づき前記駆動指令を出力することが望ましい。 Comprising a high pass filter to remove low frequency range of the previous SL displacement sensor output, the control means preferably outputs the driving command based on a signal obtained through the high-pass filter.
前記アクチュエータに対する駆動指令から低周波数域を除去するハイパスフィルタを備えるのが好ましい。 Preferably Ru with a high pass filter to remove low frequency range from the drive command for the previous SL actuator.
前記変位センサ出力から対象振動のみを検出するバンドパスフィルタを備え、前記制御手段は、前記バンドパスフィルタを介して得られた信号に基づき前記駆動指令を出力することが好ましい。 Includes a band-pass filter to detect only the target vibration before Symbol displacement sensor output, the control means preferably outputs the driving command based on a signal obtained through said band-pass filter.
前記アクチュエータに対する駆動指令から制振対象周波数域のみの信号を抽出するバンドパスフィルタを備えるのが望ましい。 Before Symbol of Ru includes a band-pass filter for extracting a signal of a vibration control target frequency band only from the drive command to the actuator is desired.
前記変位センサ出力から対象振動以外の振動成分の信号を除去するノッチフィルタを備え、前記制御手段は、前記ノッチフィルタを介して得られた信号に基づき前記駆動指令を出力することが好ましい。 It is preferable that a notch filter that removes a signal of a vibration component other than the target vibration from the displacement sensor output is provided , and the control unit outputs the drive command based on a signal obtained through the notch filter .
前記アクチュエータが電磁式のアクチュエータであり、該アクチュエータの逆起電力を検出し、該逆起電力信号を速度信号としてフィードバックし、さらに前記逆起電力信号を積分処理して前記付加質量部材と前記制御対象機器との相対変位量としてフィードバックすることが望ましい。 An actuator before Symbol actuator electromagnetic detects the counter electromotive force of the actuator, and feedback the inverse electromotive force signal as a speed signal, the said additional mass member further integration process to the counter electromotive force signal It is desirable to feed back as a relative displacement amount with the device to be controlled .
前記アクチュエータは、レシプロモータであることが好ましい。 Before SL actuator is preferably a reciprocating motor.
本発明のアクティブ制振装置の制御方法は、制御対象機器に対して、バネ要素及びダンパ要素によって支持された付加質量部材と、前記付加質量部材を駆動するアクチュエータと、前記付加質量部材と前記制御対象機器との相対変位量を検出する変位センサと、複数の信号で構成される駆動指令を前記相対変位量に基づき出力し、前記アクチュエータを駆動する制御手段とを備えたアクティブ制振装置において、前記付加質量部材を前記アクチュエータにより駆動した場合の反力を用いて振動抑制するアクティブ制振装置の制御方法であって、前記付加質量部材を支持するバネ要素のバネ特性を打ち消して0に近づける負のバネ剛性を前記変位センサ出力に基づき与える信号と、前記アクティブ制振装置の減衰係数を所定の減衰係数にする減衰力を前記変位センサ出力の微分値に基づき付加する信号とを前記駆動指令として出力することにより制振制御を行うことを特徴とする。
The control method of the active vibration damping device of the present invention includes an additional mass member supported by a spring element and a damper element, an actuator that drives the additional mass member , the additional mass member, and the control with respect to the control target device. In an active vibration damping device comprising: a displacement sensor that detects a relative displacement amount with respect to a target device; and a control unit that outputs a drive command composed of a plurality of signals based on the relative displacement amount and drives the actuator . a control method for a vibration suppressing active damping apparatus using a reaction force when the additional mass member is driven by the actuator, close to 0 to cancel the spring characteristics of the spring element for supporting the front SL additional mass member a signal applied on the basis of a negative spring rigidity in the displacement sensor output, reduced to the damping coefficient of the active damping system to a predetermined damping coefficient And performing damping control by outputting a signal for adding on the basis of the force on the differential value of the displacement sensor output as the drive command.
本発明によれば、制振装置を構成するバネ要素の影響を受けることなく、理想的なフードダンパとして動作させることができるという効果が得られる。また、制御帯域を対象振動の周波数近傍に限定することで、制振装置の静的なバネ特性を生かしたまま良好な振動抑制制御を行うことができるという効果も得られる。 According to the present invention, it is possible to obtain an effect of being able to operate as an ideal hood damper without being affected by a spring element constituting the vibration damping device. In addition, by limiting the control band to the vicinity of the frequency of the target vibration, it is possible to obtain an effect that good vibration suppression control can be performed while taking advantage of the static spring characteristics of the vibration damping device.
以下、本発明の一実施形態によるアクティブ制振装置を図面を参照して説明する。図1は同実施形態の構成を示すブロック図である。この図において、符号1は、制振制御の対象物である制御対象機器4に固定して、内部に備えるアクチュエータ(レシプロモータ)によって付加質量部材を駆動することにより制御対象機器4の振動を抑制するアクティブ制振装置(以下、制振装置と称する)である。ここでいう制御対象機器4とは、ロボットアームやマウンタ装置、露光装置などの半導体関連機器、半導体用搬送車、プラント配管類などの自己の振動を抑制する必要がある機器や構造物のことである。ここでは制御対象機器4は、所定の質量を持ち、バネ41及びダンパ42からなるものとして説明する。
Hereinafter, an active vibration damping device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the embodiment. In this figure,
符号2は、制振装置1を制御するコントローラである。符号3は、制振装置1を駆動するパワーアンプである。符号11は、制御対象機器4に対して付加する付加質量(以下、おもりと称する)である。符号12は、レシプロモータを構成する固定子であり、制御対象機器4に固定される。符号13は、レシプロモータを構成する可動子であり、往復動(図1の紙面では上下動)を行う。制振装置1は、制御対象機器4の抑制するべき振動の方向と可動子13の往復動方向(推力方向)とが一致するように、制御対象機器4に固定される。符号14は、可動子13及びおもり11を推力方向に移動可能なように支持する板バネである。符号15は、可動子13とおもり11を接合する軸であり、板バネ14によって支持されている。符号16は、制御対象機器4とおもり11との相対変位を検出する変位センサであり、検出した変位量の情報は、コントローラ2に対して出力する。
ここで、図2を参照して、制振装置1の動作原理を説明する。図2は、図1に示す制振装置1及び制御対象機器4をモデル化した模式図である。この図において、符号Mは、バネ要素(k2)とダンパ要素(C2)及びアクチュエータ(u)で構成するレシプロモータを示している。ここでは、おもり11の質量をm2、制御対象機器4の質量をm1であるものとして説明する。制御対象機器4の振動数は、バネ定数k1のバネ41と減衰係数C1のダンパ42の特性によって決まるため、おもり11を動吸振器として機能させることができれば、制御対象機器4の振動を抑制することが可能となる。動吸振器は、レシプロモータMを介して支持されたおもり11をレシプロモータMを駆動することにより振動させ、このおもり11が振動するときの反力によって、制御対象機器4の振動を抑制するものである。レシプロモータMとおもり11によって実現された動吸振器は、パッシブの動吸振器のバネ要素とダンパ要素をレシプロモータMによって実現しているため、コントローラ2を調整するのみで理想的な動吸振器を実現することができる。
Here, the operation principle of the
しかし、図2に示すように、バネ要素とダンパ要素を有しているレシプロモータMをコントローラ2によって調整して、理想的な動吸振器を実現するためには、バネ定数k2と減衰係数C2を最適化する必要があり、この2つのパラメータの最適値に調整する必要がある。本発明では、変位センサ16の出力に基づいて、レシプロモータMを制御して、負のバネ剛性を与えることにより、バネ定数k2を0に近づけてバネ要素の影響をなくすとともに、変位センサ16の出力に基づいて相対速度を求め、この相対速度に基づいて、減衰係数C2を最適減衰係数Coptに近づけるように制御し、理想的なフードダンパを実現することが目的である。ここで最適減衰係数Coptは、(1)式で求まる値である。
Copt=√{(2μm2k1)/((2+μ)(1+μ))}、μ=m2/m1 …(1)
このようにすることにより、制御対象機器4の振動を抑制するためのパラメータを減衰係数の調整のみで制振制御を行うことが可能となる。
However, as shown in FIG. 2, by adjusting the reciprocating motor M having a spring element and a damper element by the
C opt = √ {(2 μm 2 k 1 ) / ((2 + μ) (1 + μ))}, μ = m 2 / m 1 (1)
By doing in this way, it becomes possible to perform damping control only by adjusting the damping coefficient as a parameter for suppressing the vibration of the
次に、図3を参照して、制御系の構成と制御動作を説明する。図3は、図1に示す装置の制御系モデルを示すブロック図である。図3において、上段の「1/m2」、「1/s」、「1/s」は、力が加わった場合のおもり11の変位x2の状態を示すブロックであり、下段の「1/m1」、「1/s」、「1/s」は、力が加わった場合の制御対象機器4の変位x1の状態を示すブロックである。また、k2、C2は、レシプロモータMの板バネ14などの機械要素のもつバネ定数と減衰係数を示している。また、c1、k1は、それぞれダンパ42の減衰係数、バネ41のバネ定数を示している。制振制御を行うコントローラ2は、変位センサ16の出力を入力し、周波数制限フィルタ21を通すことにより、不要な信号成分を除去した後に、変位量のフィードバックゲインKcを与えてパワーアンプ3へ出力する。一方、周波数制限フィルタ21の出力を微分することにより、相対速度sを求め、これに相対速度のフィードバックゲインCcを与えてパワーアンプ3へ出力する。これによりパワーアンプ3の出力信号に基づいて、レシプロモータ(アクチュエータ)の駆動が行われることになる。このとき、変位量に基づいてバネ定数k2を打ち消し、アクティブ制振装置のバネ特性が0に近づくように制御されるとともに、アクティブ制振装置の減衰が最適減衰係数Coptになるように制御されることになる。このように制御された結果、制振装置1を構成するバネ要素の影響を受けることなく、理想的なフードダンパとして動作させることができる。
Next, the configuration and control operation of the control system will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a block diagram showing a control system model of the apparatus shown in FIG. In FIG. 3, “1 / m 2 ”, “1 / s”, and “1 / s” in the upper stage are blocks indicating the state of the displacement x 2 of the
ここで、図4を参照して、変位量に基づいてバネ定数k2を打ち消し、アクティブ制振装置のバネ特性が0に近づくように制御されるとともに、減衰特性が最適減衰係数Coptになるように制御する動作を説明する。図4は、本発明の動作原理モデルを示すブロック図である。図4(a)に示すΔkは、図2に示すバネ要素k2の影響をなくすための負のバネ剛性に相当するゲインである。一方、図4(a)に示すΔcは、図2に示すダンパ要素C2に付加することで制振装置の減衰を最適減衰係数にするためのゲインである。図4(a)において、Δkをバネ定数k2相当のゲインとすることにより、見かけ上はバネ要素k2がないものと見なすことが可能となり、図4(b)に示すように、ダンパ要素C2+ΔCのみのモデルとして制御を行えばよいことになる。そして、図4(b)のC2+ΔCを最適減衰係数Coptになるように制御すればよいため、制振装置1は、Δcの制御量のみを調整すればよいため、容易に最適な制振制御を行うことが可能となる。
Here, referring to FIG. 4, the spring constant k 2 is canceled based on the amount of displacement, the spring characteristic of the active vibration damping device is controlled to approach 0, and the damping characteristic becomes the optimum damping coefficient C opt . The operation to be controlled will be described. FIG. 4 is a block diagram showing an operation principle model of the present invention. Δk shown in FIG. 4 (a) is a gain corresponding to negative spring rigidity to eliminate the influence of the spring element k 2 shown in FIG. Meanwhile, .DELTA.c shown in FIG. 4 (a), the gain for the optimal damping factor damping of the damping device by adding a damper element C 2 shown in FIG. In FIG. 4A, by setting Δk to a gain corresponding to the spring constant k 2, it can be considered that there is no spring element k 2 in appearance, and as shown in FIG. 4B, the damper element Control may be performed as a model of only C 2 + ΔC. Then, since it is only necessary to control C 2 + ΔC in FIG. 4B so as to be the optimum damping coefficient C opt , the
次に、図3に示す周波数制限フィルタ21について説明する。フィルタ21は、変位センサ16の出力信号の低周波数部分を除去するためのハイパスフィルタである。このハイパスフィルタを設けることにより、静的な剛性は機械系のバネ定数で保持し、動的な剛性は小さくすることができるため、付加質量の静的な変位が変わらないようにすることができる。また、フィルタ21は、変位センサ16の出力信号のうち、制振対象の振動のみを検出するためのバンドパスフィルタをさらに備えていてもよい。また、フィルタ21は、制振対象の振動以外の振動成分(高次モード振動など)の信号を除去するためのノッチフィルタをさらに備えていてもよい。
Next, the
また、コントローラ2とパワーアンプ3の間に、コントローラ2の出力信号(レシプロモータMの駆動指令)から、低周波数成分を除去するためのハイパスフィルタを備えていてもよい。これにより、静的な剛性は機械系のバネ定数で保持し、動的な剛性は小さくすることができるため、補助質量の静的な変位が変わらないようにすることができる。また、コントローラ2とパワーアンプ3の間に、コントローラ2の出力信号(レシプロモータMの駆動指令)から、制御対象周波数域の信号を抽出するためのバンドパスフィルタを備えていてもよい。
Further, a high-pass filter may be provided between the
全周波数域でバネ剛性を0にすると、付加質量の位置保持力がなくなるため、不安定になるが、このように、制御帯域を制振対象振動の周波数近傍に限定することで、制振装置1の静的なバネ特性を生かしたまま良好な振動制御を行なうことができるようになる。 If the spring stiffness is set to 0 in the entire frequency range, the position holding force of the additional mass is lost, which makes it unstable. Thus, by limiting the control band to the vicinity of the frequency of the vibration to be controlled, the damping device Good vibration control can be performed while utilizing the static spring characteristic of 1.
なお、前述した説明では相対速度信号の検出を変位センサ16の出力に基づいて求めるようにしたが、おもり11と制御対象機器4の相対運動によって発生するレシプロモータ(電磁アクチュエータ)の逆起電力(相対変位に比例)を検出し、これを速度信号としてフィードバックするとともに、積分処理を行い振動変位信号としてフィードバックするようにしてもよい。
In the above description, the detection of the relative speed signal is obtained based on the output of the
1・・・制振装置、11・・・おもり、12・・・レシプロモータ(固定子)、13・・・レシプロモータ(可動子)、14・・・板バネ、15・・・軸、16・・・変位センサ、2・・・コントローラ、3・・・パワーアンプ、4・・・制御対象機器、41・・・バネ要素、42・・・ダンパ要素
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記制御手段は、前記付加質量部材を支持するバネ要素のバネ特性を打ち消して0に近づける負のバネ剛性を前記変位センサ出力に基づき与える信号と、前記アクティブ制振装置の減衰係数を所定の減衰係数にする減衰力を前記変位センサ出力の微分値に基づき付加する信号とを前記駆動指令として出力することにより、前記制御対象機器の制振制御を行うことを特徴とするアクティブ制振装置。 An additional mass member supported by a spring element and a damper element, an actuator that drives the additional mass member, and a displacement sensor that detects a relative displacement amount between the additional mass member and the control target device with respect to the control target device And a control means for driving the actuator by outputting a drive command composed of a plurality of signals based on the relative displacement, and vibrating using the reaction force when the additional mass member is driven by the actuator. An active vibration control device to suppress,
The control means cancels a spring characteristic of a spring element that supports the additional mass member and gives a negative spring stiffness based on the displacement sensor output that approaches zero, and a damping coefficient of the active damping device by a predetermined damping by outputting a signal to be added based on the differential value of the displacement sensor outputs a damping force to the coefficient as the drive command, the active vibration suppression apparatus, characterized the TURMERIC row damping control of the control target device.
前記付加質量部材を支持するバネ要素のバネ特性を打ち消して0に近づける負のバネ剛性を前記変位センサ出力に基づき与える信号と、前記アクティブ制振装置の減衰係数を所定の減衰係数にする減衰力を前記変位センサ出力の微分値に基づき付加する信号とを前記駆動指令として出力することにより、前記制御対象機器の制振制御を行うことを特徴とするアクティブ制振装置の制御方法。 An additional mass member supported by a spring element and a damper element, an actuator that drives the additional mass member, and a displacement sensor that detects a relative displacement amount between the additional mass member and the control target device with respect to the control target device And a control means for driving the actuator by outputting a drive command composed of a plurality of signals based on the relative displacement amount, and when the additional mass member is driven by the actuator. A control method of an active vibration control device that suppresses vibration using a reaction force,
A signal applied on the basis of a negative spring rigidity close to 0 to cancel the spring characteristics of the spring element for supporting the front SL additional mass member to said displacement sensor output, attenuation the attenuation coefficient of the active damping system to a predetermined damping coefficient A control method for an active vibration control device, wherein vibration control of the device to be controlled is performed by outputting a signal to which a force is added based on a differential value of the displacement sensor output as the drive command .
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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- 2006-04-18 JP JP2006114356A patent/JP4802838B2/en not_active Expired - Fee Related
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---|---|
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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