JP4799399B2 - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Description
[実施例1]
[実施例2]
[実施例3]
[実施例4]
11 欠陥集中領域
12 低欠陥領域
13 窒化物半導体層
14 掘り込み領域
15 リッジ部
Claims (19)
- 欠陥集中領域と、欠陥集中領域を除いた領域である低欠陥領域とを有する基板であって、
前記低欠陥領域のみに、該低欠陥領域の表面よりも掘り込まれた掘り込み領域が前記欠陥集中領域の両側に形成されていることを特徴とする基板。 - 前記掘り込み領域の端から前記欠陥集中領域の端までの距離が5μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の基板。
- 前記基板が窒化ガリウムからなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板。
- 前記欠陥集中領域が線状であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板。
- 請求項4に記載の基板であって、線状の前記欠陥集中領域が[1−100]方向に伸びていることを特徴とする基板。
- 前記欠陥集中領域が点状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板。
- 前記掘り込み領域の掘り込み深さが0.5μm以上50μm以下であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の基板と、該基板上に積層された窒化物半導体層とを備えたことを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体層がレーザ光導波領域であるリッジ部を有し、該リッジ部は、前記掘り込み領域の端から5μm以上離れて形成されていることを特徴とする請求項8に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記基板の下面にn型電極が形成され、前記窒化物半導体層の上面にp型電極が形成されていることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の窒化物半導体発光素子。
- 欠陥集中領域と、欠陥集中領域を除いた領域である低欠陥領域とを有する基板の製造方法であって、
前記低欠陥領域のみに、該低欠陥領域の表面よりも掘り込まれた掘り込み領域を前記欠陥集中領域の両側に形成する工程が含まれていることを特徴とする基板の製造方法。 - 前記掘り込み領域の端から前記欠陥集中領域の端までの距離が5μm以上となるように、前記掘り込み領域を形成する工程が含まれていることを特徴とする請求項11に記載の基板の製造方法。
- 前記掘り込み領域を形成する工程が、気相エッチングを用いて行われることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の基板の製造方法。
- 前記気相エッチングとして、反応性イオンエッチング(RIE)を用いることを特徴とする請求項13に記載の基板の製造方法。
- 前記基板が窒化ガリウムからなる基板であることを特徴とする請求項11〜14のいずれかに記載の基板の製造方法。
- 前記欠陥集中領域が線状であって、該線状の欠陥集中領域が[1−100]方向に伸びている基板であることを特徴とする請求項11〜15のいずれかに記載の基板の製造方法。
- 請求項11〜16のいずれかに記載の基板の製造方法により得られた基板上に窒化物半導体層を形成する工程が含まれていることを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記窒化物半導体層に、前記掘り込み領域の端から5μm以上離れて、レーザ光導波領域であるリッジ部を形成する工程が含まれていることを特徴とする請求項17に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 前記基板の下面にn型電極を形成し、前記窒化物半導体層の上面にp型電極を形成する工程が含まれていることを特徴とする請求項17又は請求項18に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
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