JP4796345B2 - 透明フィルム検出装置 - Google Patents
透明フィルム検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4796345B2 JP4796345B2 JP2005213771A JP2005213771A JP4796345B2 JP 4796345 B2 JP4796345 B2 JP 4796345B2 JP 2005213771 A JP2005213771 A JP 2005213771A JP 2005213771 A JP2005213771 A JP 2005213771A JP 4796345 B2 JP4796345 B2 JP 4796345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent film
- light
- polarization
- discrimination
- polarization component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
[装置構成]
図1は、本発明の実施の形態1による透明フィルム検出装置10の一構成例を示したブロック図である。この透明フィルム検出装置10は、対象物20へ光を照射する投光部1と、対象物からの反射光を受光する受光部2と、透明フィルムの有無を判別するフィルム判別部3と、透明フィルムの判別基準を決定する判別基準決定部4と、動作モードを指定する動作モード制御部5によって構成される。
H=DP+kDS (1)
次に、本発明による透明フィルム検出装置10の動作原理、つまり、透明フィルムであるか否かを判別する方法について説明する。
次に、本発明の実施の形態1による透明フィルム検出装置10の動作について説明する。
上記実施の形態1では、検出ティーチングモード時に、対象物の配置方向を異ならせて2回以上のサンプリングを行う透明フィルム検出装置の例について説明した。本実施の形態では、更に、非検出ティーチングモード時についても、対象物の配置方向を異ならせて2回以上のサンプリングを行う透明フィルム検出装置について説明する。
実施の形態1及び2では、評価式の係数kを決定するために、ティーチングモード時に対象物の配置方向を異ならせて2回以上のサンプリングを行う透明フィルム検出装置の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、評価式の係数kは予め定められる一方、判別閾値Hthを決定するために、ティーチングモード時に対象物の配置方向を異ならせて2回以上のサンプリングを行って透明フィルム検出装置について説明する。
2 受光部
21 P偏光測定部
22 S偏光測定部
3 フィルム判別部
31 評価値算出部
32 比較判別部
4 判別基準決定部
41 評価式決定部
42 閾値決定部
42L 判別ライン
5 動作モード制御部
10 透明フィルム検出装置
20 対象物
20n 未包装の対象物の特性
20w 包装済みの対象物の特性
DP P偏光成分
DS S偏光成分
H,Hs,Hw 評価値
Hth 判別閾値
k 係数
Sn,Sn1,Sn2 非検出ティーチングモードでのサンプリング点
Sw,Sw1,Sw2 検出ティーチングモードでのサンプリング点
Claims (6)
- 第1偏光を主成分とする照射光を検出エリアへ照射する投光部と、
上記検出エリアからの反射光に含まれる偏光面の異なる第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2を測定する受光部と、
上記受光部の測定結果から評価式(D 1 +kD 2 )を用いて求められる評価値及び判別閾値を比較することにより、上記反射光が透明フィルムによる反射光であるか否かを判別するフィルム判別手段と、
上記検出エリア内に配置された透明フィルムについて、上記照射光の偏光面に対する該透明フィルムの配置方向を該照射光の光軸周りに異ならせて測定した2以上の測定結果から得られる第1偏光成分D 1 に対する第2偏光成分D 2 の変化率に基づいて、上記係数kを決定する評価式決定手段とを備え、
第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2のうち、一方がP偏光成分であり、他方がS偏光成分であることを特徴とする透明フィルム検出装置。 - 第1偏光を主成分とする照射光を検出エリアへ照射する投光部と、
上記検出エリアからの反射光に含まれる偏光面の異なる第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2を測定する受光部と、
上記受光部による測定結果及び予め定められた係数kを用いた評価式(D1+kD2)を用いて求められる評価値及び判別閾値を比較し、上記反射光が透明フィルムによる反射光であるか否かを判別するフィルム判別手段と、
上記検出エリア内に配置された透明フィルムについて、上記照射光の偏光面に対する該透明フィルムの配置方向を該照射光の光軸周りに異ならせて測定した2以上の測定結果に基づいて、上記判別閾値を決定する閾値決定手段とを備え、
第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2のうち、一方がP偏光成分であり、他方がS偏光成分であることを特徴とする透明フィルム検出装置。 - 上記閾値決定手段は、上記透明フィルムの測定結果のうち、第2偏光成分D2が最大となる測定結果に基づいて、上記判別閾値を決定することを特徴とする請求項2に記載の透明フィルム検出装置。
- 第1偏光を主成分とする照射光を対象物へ照射する投光部と、
上記対象物からの反射光に含まれる偏光面の異なる第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2を測定する受光部と、
上記受光部による測定結果及び予め定められた係数kを用いた評価式(D1+kD2)を用いて求められる評価値及び判別閾値を比較し、上記反射光が透明フィルムによる反射光であるか否かを判別するフィルム判別手段と、
透明フィルムを有しない対象物を測定した少なくとも1つの測定結果、及び、透明フィルムを有する対象物の上記照射光の偏光面に対する配置方向を該照射光の光軸周りに異ならせて測定した2以上の測定結果に基づいて、上記判別閾値を決定する閾値決定手段とを備え、
第1偏光成分D1及び第2偏光成分D2のうち、一方がP偏光成分であり、他方がS偏光成分であることを特徴とする透明フィルム検出装置。 - 上記閾値決定手段は、上記透明フィルムを有しない対象物の上記照射光の偏光面に対する配置方向を該照射光の光軸周りに異ならせて測定した2以上の測定結果に基づいて、上記判別閾値を決定することを特徴とする請求項4に記載の透明フィルム検出装置。
- 上記予め定められた係数kが0であって、
上記フィルム判別手段は、上記評価式(D1)を用いて求められる上記評価値及び上記判別閾値を比較し、上記反射光が透明フィルムによる反射光であるか否かを判別することを特徴とする請求項4に記載の透明フィルム検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005213771A JP4796345B2 (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 透明フィルム検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005213771A JP4796345B2 (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 透明フィルム検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007033104A JP2007033104A (ja) | 2007-02-08 |
JP4796345B2 true JP4796345B2 (ja) | 2011-10-19 |
Family
ID=37792566
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005213771A Expired - Fee Related JP4796345B2 (ja) | 2005-07-25 | 2005-07-25 | 透明フィルム検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4796345B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6520913B2 (ja) * | 2014-02-24 | 2019-05-29 | 日本電気株式会社 | 物体検出装置、pos端末装置、物体検出方法及びコンピュータプログラム |
CN117233103B (zh) * | 2023-11-16 | 2024-01-26 | 阳信亿利源清真肉类有限公司 | 一种清真食品光谱检测用存放装置及其存放方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02189408A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-25 | Hitachi Ltd | 粘着テープ検出装置 |
JP3050590B2 (ja) * | 1989-11-06 | 2000-06-12 | 旭光学工業株式会社 | 透明体の検出装置及び複屈折測定方法 |
JPH06288936A (ja) * | 1993-04-06 | 1994-10-18 | Fujikura Ltd | 異物検査方法 |
JP3358099B2 (ja) * | 1994-03-25 | 2002-12-16 | オムロン株式会社 | 光学式センサ装置 |
JPH08267559A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Omron Corp | 透明樹脂成形品の光学的検出方法及び検出装置 |
JPH09269296A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Ishizuka Glass Co Ltd | シートのコーティング欠陥検査装置 |
US6614924B1 (en) * | 1999-08-02 | 2003-09-02 | Applied Materials, Inc. | Adaptive mask technique for defect inspection |
-
2005
- 2005-07-25 JP JP2005213771A patent/JP4796345B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007033104A (ja) | 2007-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2522985A2 (en) | Nondestructive testing of layered industrial products (for example coated medical tablets) using electromagnetic waves (for example in the terahertz range) reflected from the product | |
KR20140011258A (ko) | 결함 검사 방법 및 결함 검사 장치 | |
JP6053506B2 (ja) | 反射特性の測定装置 | |
CN104764798B (zh) | 一种可视化漏磁检测装置 | |
US20200393238A1 (en) | Object shape measurement apparatus and method, and program | |
JP4796345B2 (ja) | 透明フィルム検出装置 | |
JP6261601B2 (ja) | リアルタイムで膜の歪みを割り出して欠陥寸法測定を行うための膜厚、屈折率、及び消衰係数の決定 | |
US9435769B2 (en) | Ultrasonic testing sensor and ultrasonic testing method | |
JP7031664B2 (ja) | 物体検出装置、および物体検出方法、並びにプログラム | |
WO2013118543A1 (ja) | 表面計測装置 | |
TW201421010A (zh) | 在一晶圓檢測系統中監視入射光束位置 | |
TWI299889B (en) | Systems and methods for optical measurement | |
EP2550504B1 (en) | Diffraction based overlay linearity testing | |
JP4967639B2 (ja) | 赤外線厚さ・配向計及び赤外線厚さ・配向測定方法 | |
JP2009222640A (ja) | 計測装置及び計測方法 | |
JP2009174974A (ja) | 3dセンサ | |
JP2009109321A5 (ja) | ||
JP2004170391A (ja) | 記録媒体識別装置、記録装置、および記録媒体識別方法 | |
KR102132890B1 (ko) | 인증 장치 및 방법 | |
JP3010213B1 (ja) | 非接触面粗さ評価方法および非接触面粗さ評価装置 | |
JPH09178669A (ja) | 表面検査装置 | |
KR101403965B1 (ko) | 주기격자 대상물의 분석 방법 | |
JP2011180039A (ja) | 被検体損傷分析装置 | |
JP2010027915A (ja) | 半導体ウェーハの検査方法 | |
JP2012122755A (ja) | 光センサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100928 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110726 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110729 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140805 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |