JP4796084B2 - ヘッドサスペンションの製造方法、製造装置、及び製造用治具、並びにヘッドサスペンション - Google Patents

Description

本発明は、磁気ディスク装置の磁気ヘッドスライダを支持するためのヘッドサスペンションに係り、特に、ヘッドサスペンションの半製品における対象部位に制振材を貼着するための工程を自動化することにより、ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを抑制するとともに、生産性向上に資するサスペンションの製造方法、製造装置、及び製造用治具、並びにヘッドサスペンションに関する。

磁気ディスク装置（ＨＤＤ）には、磁気ヘッドスライダ（以下、「スライダ」と省略する。）を支持するためのヘッドサスペンションが設けられている。このヘッドサスペンションは、ベースプレートに、ロードビームを設けて構成されており、ロードビームにはフレキシャが設けられている。

上述のように構成されたヘッドサスペンションでは、ディスクの回転に伴う風乱（風加振）や、固有振動等に由来して、信号の読み取り又は書き込み時にオフトラックによるデータエラーを生じがちであるという問題があった。

そこで、ヘッドサスペンションにおける振動を低減乃至除去するために、粘弾性体層上に拘束体層を積層してなる制振材を、ヘッドサスペンションに貼着する制振技術が提案されている（例えば特許文献１乃至３参照）。この制振技術によれば、ヘッドサスペンションと拘束体層との間に挟まれた粘弾性体層が、ヘッドサスペンションの振動変形に伴って変形することで内部抵抗（分子の摩擦）を生じ、振動エネルギーを熱エネルギーに変換する過程を経てヘッドサスペンションの振動を大幅に低減することができる。

さて、こうした制振材をヘッドサスペンションに貼着するにあたっては、例えば、粘弾性体層側が離形紙に密着してなる制振材を用意しておき、この制振材を、所要の形状に打ち抜き加工して、打ち抜かれた制振材をいったんライナー上に整列させ、これを作業者がピンセット等を用いてヘッドサスペンション上の所要部位に手貼りすることが考えられる。

しかし、本発明者の研究によると、ヘッドサスペンションの製造工程中に手作業に係る工程が存在すると、ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを招くとともに、生産性向上を阻害することがわかった。

そこで、本発明者は、ヘッドサスペンションに制振材を貼着するための工程を自動化すべく試行錯誤を繰り返した結果、遂に本発明を完成させたのである。
特開２００１−０６７６３５号公報 特開２００１−０２８１７４号公報 特開２０００−３３９８９５号公報

解決しようとする課題は、ヘッドサスペンションの製造工程中に、ヘッドサスペンションに制振材を貼着するための手作業に係る工程が存在すると、ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを招き、又は生産性向上を阻害する点である。

本発明は、ヘッドサスペンションに制振材を貼着するための工程を自動化することにより、ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを抑制するとともに、生産性向上に資するヘッドサスペンションの製造方法を提供することを目的として、貼着面を有する制振材がライナー上に剥離可能に備えられた基材から制振材片を、先端に歯部を有する中空状の打抜きパンチを用いて打抜き前記中空状の内側面に保持させる打抜き工程と、前記制振材片が保持されている前記打抜きパンチを、ヘッドサスペンションの半製品における対象部位に対して相対的に位置決めする位置決め工程と、前記打抜きパンチから前記制振材片を押出し具を用いて押出し前記対象部位に当該制振材片を前記貼着面により貼着する工程と、を備えたことを最も主要な特徴とする。

本発明に係るヘッドサスペンションの製造方法は、貼着面を有する制振材がライナー上に剥離可能に備えられた基材から制振材片を、先端に歯部を有する中空状の打抜きパンチを用いて打抜き前記中空状の内側面に保持させる打抜き工程と、前記制振材片が保持されている前記打抜きパンチを、ヘッドサスペンションの半製品における対象部位に対して相対的に位置決めする位置決め工程と、前記打抜きパンチから前記制振材片を押出し具を用いて押出し前記対象部位に当該制振材片を前記貼着面により貼着する工程と、を備えたので、これにより、打抜きパンチを用いて制振材基材から制振材片を打抜くとともに、打抜きパンチにおける中空状の内側面に保持されている制振材片そのものが、押出し具を用いて押し出されて、直に対象部位に貼着される。従って、例えば、打抜いた制振材片をいったんライナー上に整列させた後、これらを一つづつピックアップして対象部位に貼着してゆく製造工程を採用する場合と比較して、制振材片の取扱いに係る工数及び駆動制御を簡素化して、制振材片の貼着に係る位置決めを高精度で行うことができるとともに、制振材片の飛散・紛失を未然に抑止して、生産性向上に資することができる。

ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを抑制するとともに、生産性向上に資するヘッドサスペンションの製造方法を提供するといった目的を、打抜きパンチにおける中空状の内側面に保持されている制振材片を、押出し具を用いて押出して対象部位に貼着することにより実現した。

以下、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法、製造装置、及び製造用治具、並びにヘッドサスペンションについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。

初めに、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法を実施する際に用いられるヘッドサスペンションの製造装置及び製造用治具について説明する。

［ヘッドサスペンションの製造装置及び製造用治具の概要］
図１は、ヘッドサスペンション製造装置の概要を示す機能ブロック構成図、図２は、ヘッドサスペンションに貼着けられる制振材基材を横方向から視た図、図３（１）〜（３）は、製造用治具としての打抜きパンチ及び押出しピンの使用状態を示す説明図、図４は、制振材片が貼着けられた状態を示す、本発明実施例に係るヘッドサスペンションを示す斜視図である。

図１乃至図４に示すように、ヘッドサスペンション製造装置１１は、ヘッドサスペンション７１（図４参照）の半製品における所要の対象部位に、貼着面３０を有する制振材３３，３５がライナー３７上に剥離可能に備えられた基材３１（図２参照）から打抜いた制振材片７３（図４参照）を貼着することでヘッドサスペンションを製造する際に用いられるものである。なお、制振材片７３が貼着される対象部位を、「ヘッドサスペンション７１の半製品における所要の対象部位」と表現したのは、ほぼ完成品に近い状態のヘッドサスペンション７１に制振材片７３（図４参照）を貼着することで完成品としてのヘッドサスペンションを製造する態様を含むのは当然として、ヘッドサスペンション７１の構成要素（半製品）であるロードビーム７９に制振材片７３を貼着する過程を経て、完成品としてのヘッドサスペンションを製造する態様をも、本発明に係る技術的範囲の射程に捉える趣旨である。

ヘッドサスペンション製造装置１１は、貼着面３０を有する制振材３３，３５がライナー３７上に剥離可能に備えられた基材３１（図２参照）から制振材片７３（図４参照）を打抜きその内側面５９に保持させる際に用いられ、先端に歯部５７を有する中空状の打抜きパンチ５１（図３（１）参照）と、打抜きパンチ５１をその打抜き方向に対して進退自在に駆動するためのパンチ／ピン駆動機構１３（図１参照）と、前記打抜かれた制振材片７３（図４参照）がその内側面５９に保持されている打抜きパンチ５１を、前記対象部位まで相対的に移動させるための移動機構１５と、打抜きパンチ５１から制振材片７３を押出して前記対象部位に当該制振材片７３をその貼着面により貼着させる際に用いられ、打抜きパンチ５１における中空状の内部に進退自在に内挿される押出しピン（本発明の「押出し具」に相当する。）６１（図３（２）参照）と、押出しピン６１をその押出し方向に対して進退自在に駆動するためのパンチ／ピン駆動機構１３（図１参照）と、パンチ／ピン駆動機構１３及び移動機構１５などに接続されてこれらの駆動制御を行う駆動制御部１７と、制振材基材３１の打抜き処理が実行される制振材打抜きステージ２１と、制振材基材３１の貼着処理が実行される制振材貼着ステージ２３と、を備えて構成されている。

前記駆動制御部１７は、パンチ／ピン駆動機構１３を介して打抜きパンチ５１に制振材基材３１を打抜かせた後、移動機構１５を介してパンチ／ピン駆動機構１３を前記対象部位まで相対的に移動させる位置決めを行い、当該位置でパンチ／ピン駆動機構１３を介して押出しピン６１に制振材片７３を押出させる駆動制御を行うことにより、当該押出された制振材片７３を前記対象部位に貼着させる機能を有している。

制振材基材３１は、図２に示すように、粘着剤からなる粘弾性体層３３上に、拘束体層３５を積層一体化して構成されている。制振材基材３１における粘弾性体層３３側の貼着面３０には、その粘着性を維持するためのライナー（セパレータ）３７が積層仮着されている。制振材基材３１の使用時には、粘弾性体層３３側の貼着面３０からライナー３７を剥離して、対象部位に対して貼着面３０を密着させることで、制振材基材３１から打抜いた制振材片７３を対象部位に貼着する。

粘弾性体層３３の形成材料としては、特に限定するものではないが、一般に制振特性及び耐熱性に優れるアクリル系粘着剤を用いることが好ましい。粘着剤により形成される粘弾性体層３３の厚さは、特に限定されるものではないが、通常、１５〜２５０μｍに設定することが好ましい。すなわち、厚さが１５μｍ未満では制振効果が乏しくなる傾向がみられ、２５０μｍより厚いとヘッドサスペンションのバネとしての特性を阻害する傾向がみられるからである。

拘束体層３５の材質については、特に限定されるものではないが、例えば、金属板やプラスチックフィルム等が好適に用いられる。特に、弾性率が高いほど制振特性に優れることから、ＪＩＳＫ７１２７による弾性率が２．９４３ＧＮ／ｍ² （換算前３００ｋｇ／ｍｍ² ）以上のものを用いることが好ましい。このうち、金属板を用いる場合には、例えば、ステンレス板、アルミニウム板、銅板、リン青銅板、ベリリウム銅板等を用いることができる。また、プラスチックフィルムを用いる場合には、例えば、ポリイミド樹脂、二軸延伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、二軸延伸ポリプロピレン、アラミド樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等を用いることができる。拘束体層３５の厚さは、特に限定されないが、金属板の場合には１０〜１５０μｍ程度、プラスチックフィルムの場合には２０〜２００μｍ程度に、それぞれ設定することが好ましい。すなわち、金属板で１０μｍ未満、プラスチックフィルムで２０μｍ未満の厚さでは、拘束体層としての効果が乏しくなる傾向がみられ、逆に金属板で１５０μｍ、プラスチックフィルムで２００μｍをそれぞれ超えると、ヘッドサスペンションのばねとしての特性を阻害する傾向がみられるからである。

粘弾性体層３３面に積層仮着されるライナー３７としては、特に限定されないが、粘弾性体層３３からの良好な離型性が要求されるため、その積層仮着面が非シリコーン系離型処理剤によって離型処理されたものを好適に用いることができる。

パンチ／ピン駆動機構１３には、図３（１）〜（３）に示すように、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造用治具としての打抜きパンチ５１及び押出しピン６１が搭載されている。

このうち、打抜きパンチ５１は、例えばステンレス鋼などの金属材料より構成され、図３（１）に示すように、角部が面取りされた略台形の外観形状を呈している。同パンチ５１の内方には、前記と同様に角部が面取りされた略台形形状の中空部５３が形成されている。打抜きパンチ５１の打抜き方向における先端部分５５には、制振材基材３１を打ち抜くための歯部５７が設けられている。また、前記先端部分５５では、制振材片７３の打抜きに係る円滑化、及び打抜き保持した制振材片７３の押出しに係る抜け性向上を企図して、その内側面５９を磨き込む平滑化処理がなされている。

一方、押出しピン６１は、例えばステンレス鋼などの金属材料より構成され、図３（２）に示すように、その軸部６３において、前記中空部５３と同様に、角部が面取りされた略台形の外観形状を呈している。前記軸部６３における一方の端部には、円形平板状の取付部６５が固着されている。また、前記軸部６３における他方の端部には、打抜きパンチ５１の内側面５９に打抜き保持してある制振材片７３の押出し時において、前記内側面５９と押出しピン６１の先端部分の間隙に粘弾性体層３３が絡み付くことによる制振材片７３の抜け障害を未然に回避することを企図して、前記間隙を広げて逃げ空間を形成するための矮小部６７が設けられている。

そして、打抜きパンチ５１には、前記したパンチ／ピン駆動機構１３におけるアクチュエータ（不図示）が連結されており、同アクチュエータの駆動を受けて、打抜きパンチ５１それ自体が、打抜き方向に対して進退自在に駆動されるように構成されている。一方、押出しピン６１の取付部６５には、パンチ／ピン駆動機構１３におけるアクチュエータ（不図示）が連結されており、同アクチュエータの駆動を受けて、図３（３）に示すように、打抜きパンチ５１に内挿された押出しピン６１が、前記打抜きパンチ５１と独立して、押出し方向に対して進退自在に駆動されるように構成されている。

次に、上述したヘッドサスペンション製造装置によって製造されるヘッドサスペンションの概要について説明する。

［ヘッドサスペンションの概要］
図４に示すように、ヘッドサスペンション７１は、ベースプレート７５に、荷重曲げ部７７を介してロードビーム７９を設けて構成されており、ロードビーム７９の先端にはフレキシャ８１がスポット溶接されている。荷重曲げ部７７は、ベースプレート７５とロードビーム７９との間を、例えば一対の脚部を介して架け渡すように位置している。ロードビーム７９は、精密な薄板ばねから構成されて、スライダ（不図示）に負荷荷重を与える機能を有している。ロードビーム７９の材料としては、例えばＳＵＳ３０４あるいはＳＵＳ３０５などのオーステナイト系ステンレス鋼からなる金属板（板厚が例えば数１０μｍ程度から１００μｍ程度）が好適に用いられる。なお、ベースプレート７５とロードビーム７９とは、一体成形ではなく別部材をスポット溶接によって接合する構成であっても良い。このとき、ロードビーム７９と荷重曲げ部７７とが一体となり、荷重曲げ部７７の一部又は全体をパーシャルエッチングなどによって板厚を薄くした構造とすることができる。あるいは、別体である荷重曲げ部７７をロードビーム７９にヒンジ状に固定した構造とし、この荷重曲げ部７７をベースプレート７５にスポット溶接によって固定するように構成しても良い。

なお、図４に示したヘッドサスペンション７１は一例に過ぎず、これ以外の形状乃至構成を有するヘッドサスペンションであっても、本発明を適用することによって、その振動を効果的に抑制し得る所要の対象部位に対し、制振材片７３を適宜貼り着けることができることは言うまでもない。

［本発明に係るヘッドサスペンションの製造方法］
次に、本発明に係るヘッドサスペンションの製造方法について、図５乃至図７を参照して具体的に説明する。

図５（１）〜（３）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法における各工程を時系列的に示す説明図、図６及び図７は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法の概要を示す説明図である。

ヘッドサスペンションに制振材片を貼着するための工程を自動化することによって、ヘッドサスペンションの制振効果に係るばらつきを抑制するとともに、生産性向上に資することを目的として、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法は、ベースプレート７５と、ロードビーム７９と、フレキシャ８１と、を備えたヘッドサスペンション７１の半製品における所要の対象部位に、粘弾性体層３３上に拘束体層３５を積層させてなる制振材基材３１から打抜いた制振材片７３を貼着することでヘッドサスペンションを製造するヘッドサスペンションの製造方法であって、図５に示すように、中空状の打抜きパンチ５１を下降駆動させることで、制振材基材３１を拘束体層３５から粘弾性体層３３まで貫通させて所定の形状に打抜き、打抜いた制振材片７３を、打抜きパンチ５１における中空状の内側面５９に保持させる打抜き工程（図５（１）及び図６中の左側図参照）と、前記打抜かれた制振材片７３がその内側面５９に保持されている打抜きパンチ５１を上昇駆動させた後、同打抜きパンチ５１と、前記対象部位との間における相対的な位置関係を整合させる位置決め工程（図５（２）及び図６中の右側図参照）と、位置決め工程における位置決め後に、同位置において打抜きパンチ５１を下降駆動させるとともに、打抜きパンチ５１の内側に内挿してある押出しピン６１を下降駆動させて、制振材片７３を押出すとともに前記対象部位に貼着する貼着工程（図５（３）及び図６中の右側図参照）と、を備えたことを要旨とする。

なお、前述した通り、打抜きパンチ５１は、その打抜き方向における先端部分の内側面５９が平滑化されており、また、押出しピン６１は、その押出し方向における先端部分（矮小部）６７が小さくされている。

さらに、制振材基材３１としては、略帯状に形成されて、これが芯材に巻き回されたものを採用することができる。かかる制振材基材３１を、制振材打抜きステージ２１に採用する場合には、制振材打抜きステージ２１として、図６中の左側図に例示した構成を採用することができる。すなわち、芯材に巻き回された制振材基材３１を従動軸８１にセットするとともに、その一端を主動軸８３に係着させ、送りローラ８５を介して制振材基材３１を、適宜のタイミングで所定の距離だけ送るように構成し、両軸８１，８３間に設けた打抜き台８７上に架け渡された制振材基材３１を、打抜きパンチ５１及び押出しピン６１の連係動作によって打抜き処理することで制振材片７３を得る構成を採用することができる。

一方、制振材貼着ステージ２３としては、図６中の右側図に例示した構成を採用することができる。すなわち、複数のヘッドサスペンション７１が連鎖した状態の仕掛かり連鎖品８９を、ワーククランプ部（不図示）にセットして治具により固定しておき、こうした連鎖品８９のうち、個々のヘッドサスペンション７１における所要の対象部位に対して制振材片７３を貼着してゆく構成を採用することができる。

上述した制振材打抜きステージ２１及び制振材貼着ステージ２３の構成を採用する場合において、打抜きパンチ５１と前記対象部位間における相対的な位置決めは、例えば図７に示すように、打抜きパンチ５１を前記対象部位まで移動機構１５を介して直線的に移動させることで行われ、打抜きパンチ５１が搭載されたパンチ／ピン駆動機構１３の移動方向は、前記した制振材基材３１の送り方向に対して略直角とすることができる。かかる構成を採用することによって、帯状の制振材基材３１からの、その幅方向にわたって複数個の制振材片７３（図７の符号９１は、制振材基材３１における制振材片７３の抜きあとを示す。）の打抜き処理を、材料歩留まりを向上させた状態で円滑に行うことができるようになる。

［実施例の効果］
以上説明したように、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法によれば、打抜きパンチ５１を用いて制振材基材３１から制振材片７３を打抜くとともに、打抜きパンチ５１の内側面５９に保持されている制振材片７３そのものが、打抜きパンチ５１の内側に内挿してある押出しピン６１で押し出されることで直に対象部位に貼着されるので、従って、打抜いた制振材片７３をオフラインでいったん例えばライナー上に整列させた後、これを一つづつピックアップして対象部位に貼着する場合と比較して、制振材片７３の取扱いに係る工数及び駆動制御を簡素化して、制振材片の貼着に係る位置決めを高精度で行うことができるとともに、制振材片の飛散・紛失を未然に抑止して、生産性向上に資することができる。

また、打抜きパンチ５１の打抜き方向における先端部分５５について、その内側面５９を磨き込むことで平滑化処理を施したので、制振材片７３の打抜きに係る円滑化、並びに前記内側面５９に打抜き保持した制振材片７３の押出しに係る抜け性向上を実現することができる。

さらに、押出しピン６１の押出し方向における先端部分について、矮小部６７を設ける構成を採用したので、打抜きパンチ５１の内側面５９に打抜き保持した制振材片７３の押出し時において、前記内側面５９と押出しピン６１の先端部分の間隙を広げて逃げ空間が形成される結果として、同間隙部分に粘弾性体層３３が絡み付くことによる制振材片７３の抜け障害を未然に回避することができる。

しかも、打抜きパンチ５１と前記対象部位間における相対的な位置決めは、打抜きパンチ５１を前記対象部位まで移動機構１５を介して直線的に移動させることで行われ、打抜きパンチ５１が搭載されたパンチ／ピン駆動機構１３の直線的な移動方向は、前記した制振材基材３１の送り方向に対して略直角とする構成を採用したので、帯状の制振材基材３１からの、その幅方向にわたって複数個の制振材片７３の打抜き処理を、材料歩留まりを向上させた状態で円滑に行うことができるようになる。

また、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造用治具５１，６１によれば、打抜きパンチ５１を用いて制振材基材３１から制振材片７３を打抜くとともに、打抜きパンチ５１における中空状の内側面５９に保持されている制振材片７３そのものが、打抜きパンチ５１の内側に内挿してある押出しピン６１で押し出されることで直に対象部位に貼着されるので、従って、ヘッドサスペンションに制振材片を貼着するための工程を自動化する上で最適な製造用治具を提供することができる。

一方、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法によって製造されたヘッドサスペンションによれば、その振動抑制特性が均一かつ良好であることに起因して、信号の読み取り又は書き込みを高精度で行うことができる。

そして、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造装置１１によれば、打抜きパンチ５１を用いて制振材基材３１から制振材片７３を打抜くとともに、打抜きパンチ５１における中空状の内側面５９に保持されている制振材片７３そのものが、打抜きパンチ５１の内側に内挿してある押出しピン６１で押し出されることで、直に対象部位に貼着されるので、従って、打抜かれた制振材片７３をオフラインで例えばライナー上に整列させた後、これをひとつづつピックアップして対象部位に貼着してゆく製造工程を採用する場合と比較して、制振材片７３の取扱いに係る工数及び駆動制御を簡素化して、制振材片の貼着に係る位置決めを高精度で行うことができるとともに、制振材片の飛散・紛失を未然に抑止して、生産性向上に資することができる。

［その他］
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは技術思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うヘッドサスペンションの製造方法、製造装置、及び製造用治具、並びにヘッドサスペンションもまた、本発明における技術的範囲の射程に包含されるものである。

すなわち、本発明実施例において、制振材片の形状として、角部が面取りされた略台形の外観形状を例示して説明したが、本発明はこの例に限定されることなく、ヘッドサスペンションの制振効果を得ることができる限りにおいて、いかなる形状の制振材片をも採用することができることは言うまでもない。

ヘッドサスペンション製造装置の概要を示す機能ブロック構成図である。 ヘッドサスペンションに貼着けられる制振材基材を横方向から視た図である。 図３（１）〜（３）は、製造用治具としての打抜きパンチ及び押出しピンの使用状態を示す説明図である。 制振材片が貼着けられた状態を示す、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの斜視図である。 図５（１）〜（３）は、本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法における各工程を時系列的に示す説明図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法の概要を示す説明図である。 本発明実施例に係るヘッドサスペンションの製造方法の概要を示す説明図である。

符号の説明

１１ ヘッドサスペンション製造装置
１３ パンチ／ピン駆動機構
１５ 移動機構
１７ 駆動制御部
２１ 制振材打抜きステージ
２３ 制振材貼着ステージ
３１ 制振材基材
３３ 粘弾性体層
３５ 拘束体層
５１ 打抜きパンチ（製造用治具）
５９ 内側面
６１ 押出しピン（押出し具、及び製造用治具）
６７ 矮小部
７１ ヘッドサスペンション
７３ 対象部位に貼着された制振材片
７５ ベースプレート
７７ 荷重曲げ部
７９ ロードビーム
８１ フレキシャ

Claims (8)

1. 貼着面を有する制振材がライナー上に剥離可能に備えられた基材から制振材片を、先端に歯部を有する中空状の打抜きパンチを用いて打抜き前記中空状の内側面に保持させる打抜き工程と、
   前記制振材片が保持されている前記打抜きパンチを、ヘッドサスペンションの半製品における対象部位に対して相対的に位置決めする位置決め工程と、
   前記打抜きパンチから前記制振材片を押出し具を用いて押出し前記対象部位に当該制振材片を前記貼着面により貼着する貼着工程と、
   を備えたことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
2. 請求項１記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記打抜きパンチは、
   その打抜き方向における先端部分の内側面が平滑化されている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
3. 請求項１又は２記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記押出し具は、
   その押出し方向における先端部分が、前記制振材片が保持される前記中空状の内側面よりも小さくされている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
4. 請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記制振材の基材は、略帯状に形成され、
   前記打抜きパンチの移動方向は、前記制振材の基材の送り方向に対して略直角とされている、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
5. 請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法であって、
   前記制振材は、
   粘弾性体層上に拘束体層を積層させてなり、
   前記粘弾性体層によって前記貼着面が構成される、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造方法。
6. 請求項１乃至５のうちいずれか一項に記載のヘッドサスペンションの製造方法によって製造されることを特徴とするヘッドサスペンション。
7. 貼着面を有する制振材がライナー上に剥離可能に備えられた基材から制振材片を打抜きその内側面に保持させる際に用いられ、先端に歯部を有する中空状の打抜きパンチと、
   前記打抜きパンチから前記制振材片を押出してヘッドサスペンションの半製品における対象部位に当該制振材片を前記貼着面により貼着させる際に用いられ、前記打抜きパンチにおける中空状の内部に進退自在に内挿される押出し具と、
   を備えて構成されることを特徴とするヘッドサスペンションの製造用治具。
8. 貼着面を有する制振材がライナー上に剥離可能に備えられた基材から制振材片を打抜きその内側面に保持させる際に用いられ、先端に歯部を有する中空状の打抜きパンチと、
   前記打抜きパンチをその打抜き方向に対して進退自在に駆動するためのパンチ駆動機構と、
   前記打抜きパンチをヘッドサスペンションの半製品における対象部位まで相対的に移動させるための移動機構と、
   前記打抜きパンチから前記制振材片を押出して前記対象部位に当該制振材片を前記貼着面により貼着させる際に用いられ、前記打抜きパンチにおける中空状の内部に進退自在に内挿される押出し具と、
   前記押出し具をその押出し方向に対して進退自在に駆動するための押出し具駆動機構と、
   前記パンチ駆動機構と、前記移動機構と、前記押出し具駆動機構と、に接続されてこれらの駆動制御を行う駆動制御部と、
   を備え、
   前記駆動制御部は、
   前記パンチ駆動機構を介して前記打抜きパンチに前記制振材を打抜かせた後、前記移動機構を介して前記打抜きパンチを前記対象部位まで相対的に移動させる位置決めを行い、当該位置で前記押出し具駆動機構を介して前記押出し具に前記制振材片を押出させる駆動制御を行うことにより、当該押出された制振材片を前記対象部位に貼着させる、
   ことを特徴とするヘッドサスペンションの製造装置。