JP4793490B2 - 光結合装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記したような効果から、本発明の支持体と光結合構造によって、低コストかつ高性能な光結合構造を実現することができる。
図1〜図4は、本発明の第1の実施の形態を示すものである。
図5〜図7は、本発明の第2の実施の形態を示すものである。
5、35(R)、35(G)、35(B)…入射光、6、36…光導波路、
7…下クラッド、8…上クラッド、9、39…コア、10…光導波路装置、
12…導波路側位置合わせマーカ、13…素子側位置合わせマーカ、
14…凹部(接着剤逃がし溝)、15…接着剤、16…導波路接着領域、18…出射光、
19…電極、20…裏面電極(Ti/Pt/Au)、21…絶縁層、22…電極パッド、
23…端子電極、30…支持板、31…基板、
33LED(R)、33LED(G)、33LED(B)…発光素子、40…凸状部、
41…Si片、44…凹部、49…接着剤
Claims (16)
- コアの端面に形成された光反射面による反射で外部光を内部に導入又は内部光を外部へ導出するように構成されたエアリッジ型の光導波部と、前記光反射面とは反対側の下方位置にて前記光導波部に対向して配置されて、前記外部光の出射を行う発光素子又は前記内部光の受光を行う受光素子と、前記光導波部及び前記発光又は受光素子をそれぞれ固定した支持体とを有する光結合装置であって、
前記光導波部のコアの光導波面積が前記端面で拡大されていて光出射端へ向けて徐々 に縮小されており、これによって面積拡大された前記光反射面とは反対側の下方位置に て前記光導波部に対して前記発光又は受光素子の複数の発光又は受光部が配置されてお り、
前記支持体の所定位置に前記発光又は受光素子が固定されると共に、前記所定位置と は別の位置にて前記光導波部のコアが前記支持体とは非接触の状態で、前記支持体に下 記凸条部をそれぞれ固定することによってその内側に形成された凹部内に突出して露呈 して配置され、
前記コアに対向した前記支持体の面において、前記コアの両側に存在するクラッドに 対向して、前記凹部の深さに対応した高さの凸条部がそれぞれ固定され、
これらの凸条部上に前記クラッドが固定されることによって、前記光導波部が前記支 持体に固定されている、
光結合装置。 - 前記光導波部の前記クラッドが前記支持体上の前記凸条部に接着によって固定され、この接着固定領域の内側位置に前記凹部が形成されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記凹部が、前記支持体の本体に対して固定された固定片によって形成されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記支持体が半導体からなり、前記支持体に対する前記光導波部及び前記発光又は受光素子の固定面とは反対側の支持体面に電極が設けられ、この電極と前記発光又は受光素子の電極とが前記支持体を通して電気的に導通されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記支持体が比抵抗0.05Ω−cm以下の低抵抗基板である、請求項4に記載した光結合装置。
- 前記光反射面がほぼ45度に傾斜した光学ミラー面であり、この光学ミラー面とは反対側の下方位置にて前記光導波部に対向して面型の前記発光又は受光素子が配置されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記光導波部が複数のコアを有し、これらのコアのそれぞれの前記光反射面とは反対側の下方位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の発光又は受光部が配置されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 光通信用又はディスプレイ用として構成された、請求項1に記載した光結合装置。
- 請求項1に記載した光結合装置の製造方法であって、
エアリッジ型の前記光導波部の前記光反射面とは反対側の下方位置にて前記光導波部 に対向して、前記支持体の所定位置に前記発光又は受光素子を固定する工程と、
前記所定位置とは別の位置にて前記光導波部のコアを前記支持体とは非接触の状態で 前記凹部内に突出して露呈して配置するように、前記コアに対向した前記支持体の面に おいて、前記コアの両側に存在するクラッドに対向して、前記凹部の深さに対応した高 さで固定したそれぞれの前記凸条部上に前記クラッドを固定することによって、前記光 導波部を前記支持体に固定する工程と
を有する、光結合装置の製造方法。 - 前記光導波部の前記クラッドを前記支持体上の前記凸条部に接着によって固定し、この接着固定領域の内側位置に前記凹部を形成する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
- 支持体本体に固定された固定片によって前記凹部を形成する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記支持体を半導体で形成し、前記支持体に対する前記光導波部及び前記発光又は受光素子の固定面とは反対側の支持体面に電極を設け、この電極と前記発光又は受光素子の電極とを前記支持体を通して電気的に導通する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記支持体として比抵抗0.05Ω−cm以下の低抵抗基板を用いる、請求項12に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光反射面をほぼ45度に傾斜した光学ミラー面に形成し、この光学ミラー面とは反対側の下方位置にて前記光導波部に対向して面型の前記発光又は受光素子を配置する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光導波部に複数のコアを形成し、これらのコアのそれぞれの前記光反射面とは反対側の下方位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の発光又は受光部を配置する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
- 光通信又はディスプレイ用として構成された光結合装置を製造する、請求項9に記載した光結合装置の製造方法。
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