JP4792530B2 - レーザ光パルスの位相制御装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第一の実施形態にかかるレーザ光パルスの位相制御装置1の構成を示す機能ブロック図である。図2は、第一の実施形態にかかる基準比較器22の出力電圧の波形(図2(a))、測定比較器15の出力電圧の波形(位相変動前)(図2(b))、アンプ18の出力電圧の波形(位相変動後)(図2(c))を示す図である。
第二の実施形態にかかるレーザ光パルスの位相制御装置1は、フォトダイオード(光電変換部)16に与えられるレーザ光パルスの光強度を変えて、レーザ12の出力するレーザ光パルスの位相を制御する点が、第一の実施形態にかかるレーザ光パルスの位相制御装置1と異なる。
第三の実施形態にかかるレーザ光パルスの位相制御装置1は、第一の実施形態にかかるレーザ光パルスの位相制御装置1における測定比較器15の入力の一方および基準比較器22の入力の一方を変更したものである。
ΔV 位相制御信号の電圧
11 可変光減衰器
12 レーザ
13 第一位相制御信号源
132 第二位相制御信号源
134 第三位相制御信号源
136 第四位相制御信号源
14 光カプラ
15 測定比較器
16 フォトダイオード(光電変換部)
17 ローパスフィルタ
18 アンプ
19 励起用LDドライバ
21 基準電気信号源
22 基準比較器
23 基準レーザ
24 光カプラ
26 フォトダイオード(基準光電変換部)
27 基準ローパスフィルタ
28 アンプ
32 位相比較器(位相差検出器)
34 ループフィルタ
36 ピエゾドライバ
Claims (21)
- レーザ光パルスを出力するレーザと、
所定の周波数の基準電気信号の電圧と、所定の電圧とを比較し、その結果を出力する基準比較器と、
前記レーザ光パルスの光強度に基づく電圧および前記所定の周波数を有する測定電気信号の電圧と、位相制御信号の電圧とを比較し、その結果を出力する測定比較器と、
前記基準比較器の出力と、前記測定比較器の出力との位相差を検出する位相差検出器と、
前記位相差検出器の出力の高周波成分を除去するループフィルタと、
を備え、
前記位相制御信号の電圧は、前記所定の電圧とは異なり、
前記レーザは、前記ループフィルタの出力に応じて、前記レーザ光パルスの位相を変化させる、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項1に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記所定の電圧は、接地電位である、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項1に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザの共振器長が、前記ループフィルタの出力に応じて、変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項3に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザは、ピエゾ素子を有し、
前記ピエゾ素子に、前記ループフィルタの出力が与えられ、
前記ピエゾ素子の伸縮により、前記レーザの共振器長が変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項1に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザ光パルスを受ける光電変換部と、
前記光電変換部の出力の高周波成分を除去するローパスフィルタと、
を備え、
前記測定電気信号は、前記ローパスフィルタの出力に基づく、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項1に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記位相制御信号は、任意波形発生器から出力される、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項1に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
基準レーザ光パルスを出力する基準レーザと、
前記基準レーザ光パルスを受ける基準光電変換部と、
前記基準光電変換部の出力の高周波成分を除去する基準ローパスフィルタと、
をさらに備え、
前記基準電気信号は、前記基準ローパスフィルタの出力に基づく、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - レーザ光パルスを出力するレーザと、
所定の周波数の基準電気信号の電圧と、所定の電圧とを比較し、その結果を出力する基準比較器と、
前記レーザ光パルスの光強度に基づく電圧および前記所定の周波数を有する測定電気信号の電圧と、前記所定の電圧とを比較し、その結果を出力する測定比較器と、
前記基準比較器の出力と、前記測定比較器の出力との位相差を検出する位相差検出器と、
前記位相差検出器の出力の高周波成分を除去するループフィルタと、
を備え、
前記測定電気信号の電圧を変化させ、
前記レーザは、前記ループフィルタの出力に応じて、前記レーザ光パルスの位相を変化させる、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザを励起する励起光のパワーを変化させることにより、前記測定電気信号の電圧を変化させる、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザ光パルスを減衰させることにより、前記測定電気信号の電圧を変化させ、
前記減衰の程度が可変である、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8ないし10のいずれか一項に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記所定の電圧は、接地電位である、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8ないし10のいずれか一項に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザの共振器長が、前記ループフィルタの出力に応じて、変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項12に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザは、ピエゾ素子を有し、
前記ピエゾ素子に、前記ループフィルタの出力が与えられ、
前記ピエゾ素子の伸縮により、前記レーザの共振器長が変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8ないし10のいずれか一項に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザ光パルスを受ける光電変換部と、
前記光電変換部の出力の高周波成分を除去するローパスフィルタと、
を備え、
前記測定電気信号は、前記ローパスフィルタの出力に基づく、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項8ないし10のいずれか一項に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記測定電気信号の電圧が、位相制御信号に基づき変化し、
前記位相制御信号は、任意波形発生器から出力される、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - レーザ光パルスを出力するレーザと、
所定の周波数の基準電気信号の電圧と、位相制御信号の電圧とを比較し、その結果を出力する基準比較器と、
前記レーザ光パルスの光強度に基づく電圧および前記所定の周波数を有する測定電気信号の電圧と、所定の電圧とを比較し、その結果を出力する測定比較器と、
前記基準比較器の出力と、前記測定比較器の出力との位相差を検出する位相差検出器と、
前記位相差検出器の出力の高周波成分を除去するループフィルタと、
を備え、
前記位相制御信号の電圧は、前記所定の電圧とは異なり、
前記レーザは、前記ループフィルタの出力に応じて、前記レーザ光パルスの位相を変化させる、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項16に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記所定の電圧は、接地電位である、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項16に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザの共振器長が、前記ループフィルタの出力に応じて、変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項18に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザは、ピエゾ素子を有し、
前記ピエゾ素子に、前記ループフィルタの出力が与えられ、
前記ピエゾ素子の伸縮により、前記レーザの共振器長が変化する、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項16に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記レーザ光パルスを受ける光電変換部と、
前記光電変換部の出力の高周波成分を除去するローパスフィルタと、
を備え、
前記測定電気信号は、前記ローパスフィルタの出力に基づく、
レーザ光パルスの位相制御装置。 - 請求項16に記載のレーザ光パルスの位相制御装置であって、
前記位相制御信号は、任意波形発生器から出力される、
レーザ光パルスの位相制御装置。
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