JP4788237B2 - Droplet discharge head - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

本発明は、記録媒体へ液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a droplet discharge head that discharges droplets onto a recording medium.

インクジェット方式の記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドでは、ノズルからインク滴を吐出した際、ノズルからインクが盛り上がるオーバーシュート現象によるインク漏れが生じて、インク滴がノズル周囲に付着することがある。このノズル周囲に付着したインクによって、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径および速度がばらつくことがあり、これによって、インクジェット記録ヘッドの印字性能が著しく低下する場合がある。   In an ink jet recording head used in an ink jet recording apparatus, when an ink droplet is ejected from a nozzle, ink leakage may occur due to an overshoot phenomenon in which the ink rises from the nozzle, and the ink droplet may adhere to the periphery of the nozzle. The ink adhering to the periphery of the nozzle may incline the ink ejection direction, and the ink droplet diameter and speed may vary, and this may cause the printing performance of the ink jet recording head to deteriorate significantly.

そこで、インク滴がノズル周囲に付着するのを防ぐため、ノズル表面に撥水膜を施すことが行われている。しかし、この撥水膜は、用紙の浮き上がり等による擦れや、ノズル面のメンテナンスのためのワイピング等による機械的な摩擦によって破壊されることがある。これにより、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径及び速度にばらつきが生じるなど、インクの吐出性能が悪化する。   In order to prevent ink droplets from adhering to the periphery of the nozzle, a water repellent film is applied to the nozzle surface. However, this water-repellent film may be destroyed by rubbing due to paper floating or mechanical friction due to wiping for maintenance of the nozzle surface. As a result, the ink ejection performance is deteriorated, for example, the ink ejection direction is inclined and the ink droplet diameter and speed are varied.

この対策として、図１０（Ａ）に示すように、ノズルプレート１０２に、ザグリとなる孔１０４が形成された金属プレート１０６を積層して、ノズル１０８の周囲にザグリ（段差）を形成し、ノズル１０８が形成された部分を周囲のプレート面よりも後退させることで、ノズル１０８周辺の撥水膜１１０が、用紙の接触による摩擦や、ワイピング等による機械的な摩擦を受けないようにしているものがある（特許文献１参照）。   As a countermeasure, as shown in FIG. 10A, a metal plate 106 having a counterbore hole 104 is laminated on the nozzle plate 102 to form a counterbore (step) around the nozzle 108. By retreating the portion on which the nozzle 108 is formed from the surrounding plate surface, the water repellent film 110 around the nozzle 108 is prevented from being subjected to friction due to contact with paper or mechanical friction due to wiping or the like. (See Patent Document 1).

しかし、特許文献１では、ノズル１０８を金属プレート１０６に形成された孔１０４によって個々に取り囲んでいるため、メンテナンス時にノズル面の余剰インクを除去する際に、除去した余剰インクやゴミ等が孔１０４の隅（側壁）に残留してしまうなど、余剰インクの除去性が悪い。   However, in Patent Document 1, since the nozzles 108 are individually surrounded by the holes 104 formed in the metal plate 106, when the excess ink on the nozzle surface is removed during maintenance, the removed excess ink, dust, or the like is removed from the holes 104. The residual ink is poorly removed, such as remaining in the corners (side walls) of the ink.

一方、図１０（Ｂ）に示すように、同一ライン上に配列された複数のノズル１１２を、ノズル１１２の配列方向に沿って延びる凹部１１４で取り囲むことで、ノズル１１２の周囲をプレート面よりも後退させる構成としたものがある（特許文献２参照）。しかし、特許文献２では、凹部１１４の中央に位置しているノズル１１２周囲の余剰インクの除去性は良好となるものの、凹部１１４の端部に余剰インクやゴミ等が溜まってしまい、凹部１１４の端部近傍に位置するノズル１１２周囲の余剰インクの除去性は悪く、端部近傍のノズル１１２の吐出性能を劣化させてしまう。
特開平４−２３４６６５号公報 特開平１１−３３４０８４号公報 On the other hand, as shown in FIG. 10B, by surrounding the plurality of nozzles 112 arranged on the same line with recesses 114 extending along the arrangement direction of the nozzles 112, the periphery of the nozzles 112 is surrounded by the plate surface. There exists what was made the structure made to reverse (refer patent document 2). However, in Patent Document 2, although the removability of excess ink around the nozzle 112 located in the center of the recess 114 is improved, excess ink, dust, or the like accumulates at the end of the recess 114, and The removability of excess ink around the nozzle 112 located in the vicinity of the end portion is poor, and the discharge performance of the nozzle 112 in the vicinity of the end portion is deteriorated.
JP-A-4-234665 JP 11-334084 A

本発明は上記問題を考慮し、全てのノズルにおいて余剰インクの除去性が良好で、且つ、ノズル周囲にゴミ等が溜まるのを防止することを目的とする。   In consideration of the above problems, an object of the present invention is to prevent excess ink from being removed from all nozzles and to prevent dust from being collected around the nozzles.

請求項１に記載の本発明は、液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、液滴が吐出される液滴吐出面には、前記ノズル列の両側に該ノズル列に沿った縦凸部と、前記縦凸部の前記ノズルの並び方向側の一方の端部を連接する横凸部と、が設けられていることを特徴としている。   According to the first aspect of the present invention, in the recording head having a nozzle row composed of a plurality of nozzles for discharging droplets, the nozzle rows are arranged on both sides of the nozzle row on a droplet discharge surface on which the droplets are discharged. And a horizontal convex portion that connects one end of the vertical convex portion on the side in which the nozzles are arranged is provided.

請求項１に記載の本発明は、液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、液滴が吐出される液滴吐出面には、隣接するノズル列に跨って前記ノズル間に、且つ、ノズル列に対して斜め方向に傾斜凸部が設けられていることを特徴としている。 The present invention is defined in claim 1, a recording head having a nozzle array comprising a plurality of nozzles for ejecting droplets, the droplet ejecting face of the liquid droplet is ejected, the across adjacent nozzle rows nozzle In addition , an inclined convex portion is provided in an oblique direction with respect to the nozzle row.

請求項１に記載の発明によれば、隣接するノズル列に跨って設けられた傾斜凸部は、ノズル列に対して斜め方向に設けられている。これにより、ノズルに付着した余剰インクやゴミ等は、傾斜凸部に沿ってノズル列に対して斜めに移動する。したがって、余剰インクやゴミ等は、ノズル周囲に溜まらない。また、余剰インクやゴミ等は斜めに移動されるため、ノズルを清掃する清掃部材を移動させる方向が限定されない。 According to the first aspect of the present invention, the inclined convex portion provided across the adjacent nozzle rows is provided in an oblique direction with respect to the nozzle rows. As a result, excess ink, dust, or the like adhering to the nozzle moves obliquely with respect to the nozzle row along the inclined convex portion. Therefore, excess ink, dust, etc. do not collect around the nozzles. Further, since excess ink, dust, and the like are moved obliquely, the direction in which the cleaning member that cleans the nozzles is moved is not limited.

さらに、傾斜凸部はノズル列に跨って広い面積で設けられているため、ノズルプレートに他のプレートを接合する際に、ノズルプレートにかかる押圧力が、狭い範囲に集中してかかることが防げる。したがって、押圧力によってノズルプレートが撓んだり、破損したりする恐れがない。   Furthermore, since the inclined convex portion is provided in a wide area across the nozzle row, it is possible to prevent the pressing force applied to the nozzle plate from being concentrated in a narrow range when another plate is joined to the nozzle plate. . Therefore, there is no possibility that the nozzle plate is bent or damaged by the pressing force.

請求項２に記載の本発明は、請求項１に係る発明において、前記ノズル列に備えられた前記ノズルは、隣接する前記ノズル列に備えられた前記ノズルに対し、ノズル配列方向に対して直交する方向に並ぶように配置され、前記傾斜凸部は、隣接するノズル列に備えられたノズルがノズル配列方向に１個分ずれるように隣接するノズル列に跨って斜め方向に傾斜していることを特徴とする。 According to a second aspect of the present invention, in the invention according to the first aspect, the nozzles provided in the nozzle row are orthogonal to the nozzle arrangement direction with respect to the nozzles provided in the adjacent nozzle row. The inclined convex portions are inclined obliquely across the adjacent nozzle rows so that the nozzles provided in the adjacent nozzle rows are shifted by one in the nozzle arrangement direction. It is characterized by.

請求項７に記載の発明によれば、ノズルは少なくとも一箇所に開口部が形成された開環状の環状凸部に取り囲まれている。これにより、ノズルに付着した余剰インクやゴミ等は、開口部から環状凸部の外側へ排出されるので、ノズル周囲に溜まらない。   According to the seventh aspect of the present invention, the nozzle is surrounded by the annular annular convex portion having an opening formed at least at one place. As a result, excess ink, dust or the like adhering to the nozzle is discharged from the opening to the outside of the annular convex portion, so that it does not collect around the nozzle.

本発明は上記構成としたので、全てのノズルにおいて余剰インクの除去性が良好で、且つ、ノズル周囲にゴミ等が溜まるのを防止される。   Since the present invention has the above-described configuration, it is possible to remove excess ink at all nozzles and prevent dust and the like from being collected around the nozzles.

以下、本発明の参考形態を図面に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, a reference embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１は、本発明の参考形態のインクジェット記録ヘッド１０を示す断面図である。 FIG. 1 is a sectional view showing an ink jet recording head 10 according to a reference embodiment of the present invention.

図１に示すように、インクジェット記録ヘッド１０は、保護凸部１２、ノズルプレート１４、プールプレート１６、連通孔プレート１８、供給路プレート２０、圧力室プレート２２、および振動板２４の合計７枚のプレートを位置合わせして積層し、接着剤等の接合手段によって接合することにより形成されている。   As shown in FIG. 1, the ink jet recording head 10 includes a total of seven protection convex portions 12, a nozzle plate 14, a pool plate 16, a communication hole plate 18, a supply path plate 20, a pressure chamber plate 22, and a diaphragm 24. The plates are formed by aligning and laminating the plates and bonding them by a bonding means such as an adhesive.

ノズルプレート１４には、インクを吐出するノズル２６が設けられている。図２に示すように、ノズル２６は、用紙の搬送方向と直交する方向に沿って所定の間隔で配設されており、ノズル列２６Ａを形成している。このノズル列２６Ａが、用紙の搬送方向に沿って、所定の間隔で複数配設されている。   The nozzle plate 14 is provided with nozzles 26 that eject ink. As shown in FIG. 2, the nozzles 26 are arranged at a predetermined interval along a direction orthogonal to the paper transport direction, and form a nozzle row 26A. A plurality of the nozzle rows 26A are arranged at predetermined intervals along the paper transport direction.

また、図１に示すように、ノズルプレート１４には、機械的強度、耐薬品性、薄膜化に優れた合成樹脂が用いられ、本参考形態ではポリイミドが用いられている。ポリイミドを用いることで、インクに吐出エネルギーを与えた際にダンパ効果によりクロストークを抑制するという利点がある。 Further, as shown in FIG. 1, the nozzle plate 14 is made of a synthetic resin excellent in mechanical strength, chemical resistance and thinning, and polyimide is used in the present embodiment . By using polyimide, there is an advantage that crosstalk is suppressed by a damper effect when ejection energy is given to the ink.

プールプレート１６及び連通孔プレート１８には、それぞれ連通孔２８、３０が形成されている。また、供給路プレート２０には供給孔３２が形成されている。これらのノズル２６、連通孔２８、３０、供給孔３２は、プールプレート１６、連通孔プレート１８、供給路プレート２０が積層された状態で連通し、圧力室プレート２２に形成された圧力室３４に繋がっている。   In the pool plate 16 and the communication hole plate 18, communication holes 28 and 30 are formed, respectively. A supply hole 32 is formed in the supply path plate 20. The nozzle 26, the communication holes 28 and 30, and the supply hole 32 communicate with the pool plate 16, the communication hole plate 18, and the supply path plate 20 in a stacked state, and a pressure chamber 34 formed in the pressure chamber plate 22. It is connected.

プールプレート１６にはインクプール４０が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート１８及び供給路プレート２０には、それぞれ供給孔４２、４４が形成されている。インクプール４０及び供給孔４２、４４は、プールプレート１６、連通孔プレート１８、供給路プレート２０が積層された状態で連通し、圧力室プレート２２に形成された圧力室３４に繋がっている。   An ink pool 40 is formed on the pool plate 16 and stores ink supplied from an ink supply hole (not shown). The communication hole plate 18 and the supply path plate 20 are provided with supply holes 42 and 44, respectively. The ink pool 40 and the supply holes 42 and 44 communicate with each other in a state where the pool plate 16, the communication hole plate 18, and the supply path plate 20 are stacked, and are connected to a pressure chamber 34 formed in the pressure chamber plate 22.

なお、図示は省略するが、振動板２４の上部には、圧力室３４の上方に単板型の圧電素子が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。   Although not shown, a single plate type piezoelectric element is attached to the upper portion of the vibration plate 24 above the pressure chamber 34 so that a driving voltage is applied from a flexible wiring board (not shown). ing.

上記構成により、インク供給孔（図示省略）から供給されインクプール４０に貯留されたインクは、供給孔４２、４４を経て圧力室３４内に充填される。そして、圧電素子（図示省略）に駆動電圧が印加されると、圧電素子とともに振動板２４がたわみ変形して圧力室３４を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室３４に体積変化が生じ、圧力室３４内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル２６から外部へインク滴が吐出されるようになっている。   With the above configuration, the ink supplied from the ink supply hole (not shown) and stored in the ink pool 40 is filled into the pressure chamber 34 through the supply holes 42 and 44. When a drive voltage is applied to the piezoelectric element (not shown), the diaphragm 24 is deformed together with the piezoelectric element to expand or compress the pressure chamber 34. As a result, a volume change occurs in the pressure chamber 34, and a pressure wave is generated in the pressure chamber 34. The ink is moved by the action of the pressure wave, and ink droplets are ejected from the nozzle 26 to the outside.

一方、ノズルプレート１４のインク吐出側の面（ノズル面）には、保護凸部１２が設けられている。保護凸部１２は薄板状とされ、図２に示すように、ノズル２６の配列方向に沿ってノズル列２６Ａの両側に設けられた矩形状の縦凸部１２Ａと、縦凸部１２Ａの一方の端部に設けられ、他の縦凸部１２Ａを連接する横凸部１２Ｂとで、櫛歯状に構成されている。つまり、ノズルプレート１４のインク吐出側の面には、ノズル列２６Ａの三方向を囲むようにして保護凸部１２が設けられている。これにより、ノズルプレート１４には段差が設けられた状態となっており、この段差部分にノズル２６が形成された構成となっている。なお、本参考形態では、保護凸部１２の厚さは、５μｍ以上５０μｍ以下とされているが、保護凸部１２の厚さはこの数値に限定されるものではない。 On the other hand, a protective projection 12 is provided on the surface (nozzle surface) of the nozzle plate 14 on the ink discharge side. As shown in FIG. 2, the protective convex portion 12 has a thin plate shape, and as shown in FIG. 2, a rectangular vertical convex portion 12A provided on both sides of the nozzle row 26A along the arrangement direction of the nozzles 26 and one of the vertical convex portions 12A. It is configured in a comb-like shape with a horizontal convex portion 12B provided at the end and connecting the other vertical convex portions 12A. That is, the protective convex portion 12 is provided on the ink discharge side surface of the nozzle plate 14 so as to surround the three directions of the nozzle row 26A. Thus, the nozzle plate 14 is provided with a step, and the nozzle 26 is formed at the step. In this reference embodiment , the thickness of the protective convex portion 12 is 5 μm or more and 50 μm or less, but the thickness of the protective convex portion 12 is not limited to this value.

このように、ノズルプレート１４のインク吐出側の面に段差を設けることで、印字時に浮き上がった用紙が、ノズル面に接触するのを防ぐので、ノズル２６周りに設けられた後述する撥水膜３８に傷がつかない。   In this way, by providing a step on the surface of the nozzle plate 14 on the ink ejection side, the paper that has floated during printing is prevented from coming into contact with the nozzle surface. Therefore, a water repellent film 38, which will be described later, provided around the nozzle 26. Is not scratched.

保護凸部１２の表面、保護凸部１２の側壁及び保護凸部１２によって囲まれたノズル２６周りにかけて、撥水膜３８が設けられている。撥水膜３８は、ノズル２６から吐出されたインクがノズル２６周りに付着するのを防止する。これにより、ノズル２６から吐出されるインク滴の吐出性能の低下を引き起こすことがない。なお、図２では、撥水膜３８は省略している。   A water repellent film 38 is provided around the surface of the protective convex portion 12, the side wall of the protective convex portion 12, and the nozzle 26 surrounded by the protective convex portion 12. The water repellent film 38 prevents ink ejected from the nozzle 26 from adhering around the nozzle 26. As a result, the ejection performance of the ink droplets ejected from the nozzle 26 is not reduced. In FIG. 2, the water repellent film 38 is omitted.

ところで、ノズルプレート１４のノズル面は、メンテナンス動作時にノズル面に接触して用紙の搬送方向と直交する方向（矢印Ａ方向）に沿って移動するワイパープレード（図示省略）によって払拭されるようになっている。このとき、ノズル列２６Ａは櫛歯状の保護凸部１２（縦凸部１２Ａ及び横凸部１２Ｂ）によって囲まれた状態にあり、ノズル２６の配列方向の一方の端部は開放されている。つまり、ワイパーブレードのワイピング方向の下流側の端部が開放されているので、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、ワイパーブレードによって開放された側から保護凸部１２の外側へ排出されるので、ノズル２６周囲に溜まりにくい。   By the way, the nozzle surface of the nozzle plate 14 is wiped by a wiper blade (not shown) that moves along a direction (arrow A direction) perpendicular to the paper transport direction by contacting the nozzle surface during a maintenance operation. ing. At this time, the nozzle row 26 </ b> A is surrounded by the comb-like protective convex portions 12 (vertical convex portions 12 </ b> A and horizontal convex portions 12 </ b> B), and one end portion in the arrangement direction of the nozzles 26 is open. That is, since the end of the wiper blade on the downstream side in the wiping direction is opened, excess ink, dust or the like adhering to the nozzle 26 is discharged from the side opened by the wiper blade to the outside of the protective projection 12. Therefore, it is difficult to collect around the nozzle 26.

次に、上記インクジェット記録ヘッド１０の製造方法について説明する。   Next, a method for manufacturing the inkjet recording head 10 will be described.

まず、図３（Ａ）に示すように、ポリイミドフィルムからなるノズルプレート１４の表面に、ＳＵＳなどの金属からなる保護凸部１２を加熱加圧によって圧着する。   First, as shown in FIG. 3A, a protective convex portion 12 made of a metal such as SUS is pressure-bonded to the surface of a nozzle plate 14 made of a polyimide film by heating and pressing.

次に、保護凸部１２の表面にスピンコート法によりレジスト５８を塗布し、プリベーク後に保護凸部１２の形状を焼き付けたパターンマスクを重ねてＵＶ露光して、レジスト５８を選択的に感光させた後に、現像液に浸して現像し、再度ベーキングする。これにより、図３（Ｂ）に示すように、保護凸部１２の表面のレジスト５８にパターンが形成される。   Next, a resist 58 was applied to the surface of the protective convex portion 12 by spin coating, and after pre-baking, a pattern mask on which the shape of the protective convex portion 12 was baked was superimposed and UV exposed to selectively expose the resist 58. Later, it is immersed in a developing solution and developed, and then baked again. Thereby, as shown in FIG. 3B, a pattern is formed on the resist 58 on the surface of the protective convex portion 12.

次に、酸素プラズマを用いて、レジスト５８をマスクとして、保護凸部１２をドライエッチングし、レジスト５８を除去する。これにより、図３（Ｃ）に示すように、保護凸部１２が所定形状（例えば、図２に示すように、略Ｕ字状）に形成される。   Next, using oxygen plasma, the protective projection 12 is dry-etched using the resist 58 as a mask, and the resist 58 is removed. As a result, as shown in FIG. 3C, the protective convex portion 12 is formed in a predetermined shape (for example, substantially U-shaped as shown in FIG. 2).

次に、図３（Ｄ）に示すように、保護凸部１２の表面、すなわちインクの吐出側の面に、蒸着法などにより撥水膜３８を形成する。この撥水膜３８としては、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系樹脂が用いられる。特に、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）が好ましく、本参考形態では、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）が用いられている。 Next, as shown in FIG. 3D, a water repellent film 38 is formed on the surface of the protective convex portion 12, that is, the surface on the ink ejection side, by vapor deposition or the like. The water-repellent film 38 includes a tetrafluoroethylene-6 fluoropropylene copolymer (FEP), a tetrafluoroethylene resin (PTFE), a tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (PFA), a fluorine Fluorine resins such as vinylidene fluoride resin and vinyl fluoride resin are used. In particular, tetrafluoroethylene resin (PTFE) and tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (PFA) are preferable, and tetrafluoroethylene resin (PTFE) is used in this embodiment .

次に、図３（Ｅ）に示すように、撥水膜３８の表面に、真空ラミネータにより保護シート４６を密着させる。これにより、撥水膜３８は保護シート４６に被覆された状態となる。保護シート４６は、エキシマレーザＬによってアブレーション加工が可能なシートが用いられる。ここでは、保護シート４６として、ORDYL BF45Z（東京応化製）、エレップホルダー BT-150E-KL（日東電工製）、ELEGRIP TAPE AD-80H（電気化学工業製）等が用いられる。   Next, as shown in FIG. 3E, a protective sheet 46 is adhered to the surface of the water repellent film 38 by a vacuum laminator. As a result, the water repellent film 38 is covered with the protective sheet 46. The protective sheet 46 is a sheet that can be ablated by the excimer laser L. Here, as protective sheet 46, ORDYL BF45Z (manufactured by Tokyo Ohka), ELEP holder BT-150E-KL (manufactured by Nitto Denko), ELEGRIP TAPE AD-80H (manufactured by Denki Kagaku Kogyo), etc. are used.

なお、アブレーションとは、高分子材料がエキシマレーザＬを吸収することにより、高分子材料の分子結合が切られ、結合が切られた分子、原子が分解、飛散する現象であり、アブレーション加工とは、アブレーションを利用して高分子材料に所望の形状を形成するための加工法である。   Ablation is a phenomenon in which the polymer material absorbs the excimer laser L and thereby the molecular bond of the polymer material is broken, and the broken molecules and atoms are decomposed and scattered. This is a processing method for forming a desired shape in a polymer material using ablation.

そして、図３（Ｆ）に示すように、ノズルプレート１４の裏面（インクの吐出側と反対側）側からエキシマレーザＬを照射する。エキシマレーザＬの照射領域には、エキシマレーザＬのビーム断面と略相似形状（ノズル２６に対応する形状）の孔が形成され、エキシマレーザＬの照射時間の増加にしたがって、深く掘り下げられていく。この孔がノズルプレート１４及び撥水膜３８を貫通し、保護シート４６の途中に達するまでエキシマレーザＬを照射して、ノズルプレート１４及び撥水膜３８に、ノズル２６に対応する孔を形成する。   Then, as shown in FIG. 3F, the excimer laser L is irradiated from the back surface (the side opposite to the ink ejection side) of the nozzle plate 14. In the irradiation region of the excimer laser L, a hole having a shape substantially similar to the beam cross section of the excimer laser L (a shape corresponding to the nozzle 26) is formed, and the hole is dug deeper as the irradiation time of the excimer laser L increases. This hole penetrates the nozzle plate 14 and the water repellent film 38 and irradiates the excimer laser L until reaching the middle of the protective sheet 46, thereby forming a hole corresponding to the nozzle 26 in the nozzle plate 14 and the water repellent film 38. .

上記方法によって撥水膜３８に孔３８Ａを形成することで、孔３８Ａの周囲にバリが発生することがなく、孔３８Ａを高精度に形成することができる。   By forming the hole 38A in the water repellent film 38 by the above method, no burr is generated around the hole 38A, and the hole 38A can be formed with high accuracy.

そして、図３（Ｇ）に示すように、保護シート４６を剥離、除去する。上記構成によって形成されたノズル２６が、所定のパターンで複数設けられている。   Then, as shown in FIG. 3G, the protective sheet 46 is peeled off and removed. A plurality of nozzles 26 formed by the above configuration are provided in a predetermined pattern.

その後、図１に示すように、ノズルプレート１４の裏面に、プールプレート１６を接合する。そして、このプールプレート１６に、連通孔プレート１８、供給路プレート２０、圧力室プレート２２を接合し、圧力室プレート２２の開口を覆うように振動板２４を接合する。   Thereafter, as shown in FIG. 1, the pool plate 16 is joined to the back surface of the nozzle plate 14. The communication hole plate 18, the supply path plate 20, and the pressure chamber plate 22 are joined to the pool plate 16, and the diaphragm 24 is joined so as to cover the opening of the pressure chamber plate 22.

以上の工程により、インクジェット記録ヘッド１０が形成される。   The ink jet recording head 10 is formed by the above steps.

撥水膜３８は、エキシマレーザＬに対して透過性を有しており、エキシマレーザＬによって直接的にはノズル２６に対応した孔を形成することができない。このため、本参考形態では、エキシマレーザＬによりノズルプレート１４をアブレーション加工すると共に、撥水膜３８を介して保護シート４６をアブレーション加工することにより、ノズルプレート１４及び保護シート４６からそれぞれ分解、飛散する分子及び原子によって、撥水膜３８に孔３８Ａを形成する。これにより、撥水膜３８にも、エキシマレーザＬの断面形状（ノズル２６に対応した形状）の孔３８Ａが形成される。 The water repellent film 38 is permeable to the excimer laser L, and a hole corresponding to the nozzle 26 cannot be formed directly by the excimer laser L. Therefore, in this embodiment , the nozzle plate 14 is ablated by the excimer laser L and the protective sheet 46 is ablated via the water-repellent film 38, so that the nozzle plate 14 and the protective sheet 46 are disassembled and scattered. A hole 38 </ b> A is formed in the water-repellent film 38 by molecules and atoms. As a result, a hole 38A having a cross-sectional shape of the excimer laser L (a shape corresponding to the nozzle 26) is also formed in the water repellent film 38.

なお、本参考形態では、蒸着法によって保護凸部１２の表面に撥水膜３８を形成したが、撥水膜３８を形成する方法は蒸着法に限定されるものではなく、例えば、スピンコート法を用いてもよい。 In this reference embodiment , the water-repellent film 38 is formed on the surface of the protective projection 12 by the vapor deposition method. However, the method for forming the water-repellent film 38 is not limited to the vapor deposition method. May be used.

また、エッチングによって保護凸部１２を形成したが、保護凸部１２の形成方法はエッチングに限定されるものではない。例えば、レーザ加工やプレス加工によって所定の形状に形成した保護凸部をノズルプレート１４に圧着してもよい。   Moreover, although the protective convex part 12 was formed by etching, the formation method of the protective convex part 12 is not limited to an etching. For example, a protective convex portion formed in a predetermined shape by laser processing or press processing may be pressure-bonded to the nozzle plate 14.

なお、本参考形態では、図２に示すように、縦凸部１２Ａと、縦凸部１２Ａの一方の端部を連結する横凸部１２Ｂとで構成された保護凸部１２によってノズル列２６Ａを囲む構成としたが、保護凸部はこの形態に限定されるものではない。 In the present embodiment , as shown in FIG. 2, the nozzle row 26 </ b> A is formed by the protective convex portion 12 including the vertical convex portion 12 </ b> A and the horizontal convex portion 12 </ b> B that connects one end of the vertical convex portion 12 </ b> A. Although it was set as the structure enclosed, a protection convex part is not limited to this form.

例えば、図４（Ａ）に示すように、ノズル２６の配列方向に沿って設けられた凸部５０Ａと、凸部５０Ａの一方の端部を連結する凸部５０Ｂとで構成された保護凸部５０において、凸部５０Ａのノズル２６近傍に、ノズル２６側に張り出す凸部５０Ｃを形成してもよい。これにより、保護凸部５０は、ノズル２６との間隔が狭く、ノズル２６間との間隔が広い波型状とされ、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなる。したがって、ノズル面に設けられた撥水膜３８（図１参照）の破損を防止できる。   For example, as shown in FIG. 4 (A), a protective convex portion composed of a convex portion 50A provided along the arrangement direction of the nozzles 26 and a convex portion 50B connecting one end of the convex portion 50A. 50, a convex portion 50C projecting toward the nozzle 26 may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the convex portion 50A. As a result, the protective convex portion 50 has a corrugated shape in which the gap between the nozzles 26 is narrow and the gap between the nozzles 26 is wide, and the leading edge of the paper is less likely to hit the nozzle surface. Therefore, damage to the water repellent film 38 (see FIG. 1) provided on the nozzle surface can be prevented.

また、図４（Ｂ）に示すように、ノズル２６の配列方向に沿って設けられた凸部５２Ａと、凸部５２Ａの一方の端部を連結する凸部５２Ｂとで構成された保護凸部５２において、凸部５２Ａのノズル２６近傍に凹部５２Ｃを形成してもよい。これにより、保護凸部５０は、ノズル２６との間隔が広く、ノズル２６間との間隔が狭い波型状とされ、ワイパーブレードによってノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、凹部５２Ｃに滞留してノズル２６周囲に溜まらない。   Further, as shown in FIG. 4B, a protective convex portion composed of a convex portion 52A provided along the arrangement direction of the nozzles 26 and a convex portion 52B connecting one end of the convex portion 52A. In 52, a recess 52C may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the protrusion 52A. As a result, the protective convex portion 50 has a wavy shape in which the gap between the nozzles 26 is wide and the gap between the nozzles 26 is narrow, and excess ink or dust attached to the nozzles 26 by the wiper blade stays in the concave portions 52C. Therefore, it does not collect around the nozzle 26.

次に、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明の参考形態と同様の部分についての説明は割愛する。 Next, an embodiment of the present invention will be described. In addition, the description about the part similar to the reference form of this invention is omitted.

図５に示すように、ノズルプレート１４のノズル面に設けられた囲み凸部６０は、ノズルプレート１４とほぼ同じサイズの板状とされ、ノズルプレート１４に積層したときに、全てのノズルが露出するサイズの開口部６２が形成されてロ字状とされている。つまり、囲み凸部６０は、ノズルプレート１４の縁部に沿って設けられており、全てのノズル２６を包囲した状態とされている。   As shown in FIG. 5, the surrounding convex portion 60 provided on the nozzle surface of the nozzle plate 14 has a plate shape that is substantially the same size as the nozzle plate 14, and all the nozzles are exposed when stacked on the nozzle plate 14. An opening 62 of a size to be formed is formed in a square shape. That is, the surrounding convex portion 60 is provided along the edge of the nozzle plate 14 and surrounds all the nozzles 26.

これにより、ノズルプレート１４にプールプレート１６（図１参照）を接合する際に、ノズルプレート１４にかかる押圧力は、囲み凸部６０で受けられる。したがって、ノズルプレート１４が撓んだり、押圧力がノズルプレート１４の一点に集中してかかることによって破損したりすることが恐れがない。   Thereby, when joining the pool plate 16 (refer FIG. 1) to the nozzle plate 14, the pressing force concerning the nozzle plate 14 is received by the surrounding convex part 60. FIG. Therefore, there is no fear that the nozzle plate 14 is bent or damaged when the pressing force is concentrated on one point of the nozzle plate 14.

また、ノズル列２６Ａの間には、長尺状の凸部６４が設けられている。凸部６４は、長手方向のサイズが、囲み凸部６０の開口部６２よりも若干小さくされており、開口部６２と凸部６４との間には、隙間６６が形成されている。   Further, a long convex portion 64 is provided between the nozzle rows 26A. The convex portion 64 is slightly smaller in size in the longitudinal direction than the opening 62 of the surrounding convex portion 60, and a gap 66 is formed between the opening 62 and the convex portion 64.

ワイピングブレードを、凸部６４の長手方向（矢印Ａ方向）に沿ってワイピングさせると、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、ワイパーブレードで除去されて、開口部６２のワイピング方向側の壁部に付着しながら、隙間６６に沿って壁部を移動する。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル２６周囲に溜まらない。   When the wiping blade is wiped along the longitudinal direction (arrow A direction) of the convex portion 64, excess ink and dust adhering to the nozzle 26 are removed by the wiper blade, and the wall of the opening 62 on the wiping direction side is removed. The wall portion is moved along the gap 66 while adhering to the portion. Accordingly, excess ink, dust, or the like does not collect around the nozzles 26.

なお、本実施形態では、ノズルプレート１４の縁部に囲み凸部６０を設け、この囲み凸部６０の開口部６２内に、ノズル２６の配設方向の両側に隙間６６を設けながら、ノズル２６の配列方向に沿って凸部６４を設ける構成としたが、図６（Ａ）に示すように、ノズル２６の配列方向に沿って設けた保護凸部６８の一方の端部を、囲み凸部６０と接続させてもよい。つまり、ノズル２６の配設方向の一方に隙間６９を形成する。このとき、隙間６９側に向かってワイピングブレードを移動させれば、余剰インクやゴミ等は隙間６９に移動するので、ノズル２６周囲に溜まらない。   In the present embodiment, the surrounding projections 60 are provided at the edge of the nozzle plate 14, and the nozzles 26 are provided in the openings 62 of the surrounding projections 60 while the gaps 66 are provided on both sides in the arrangement direction of the nozzles 26. However, as shown in FIG. 6A, one end portion of the protective convex portion 68 provided along the arrangement direction of the nozzles 26 is surrounded by the surrounding convex portion. 60 may be connected. In other words, the gap 69 is formed on one side in the arrangement direction of the nozzle 26. At this time, if the wiping blade is moved toward the gap 69, excess ink, dust, etc. move to the gap 69 and do not accumulate around the nozzles 26.

また、図６（Ｂ）に示すように、ノズルプレート１４の縁部に設けた囲み凸部７０のノズル列２６Ａ上に、開口部７２を形成してもよい。つまり、開口部７２は、ワイピング方向に沿って設けられているため、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、開口部７２からノズル面の外側へ排出される。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル２６周囲に溜まらない。   Further, as shown in FIG. 6B, the opening 72 may be formed on the nozzle row 26 </ b> A of the surrounding convex portion 70 provided at the edge of the nozzle plate 14. That is, since the opening 72 is provided along the wiping direction, excess ink, dust, or the like adhering to the nozzle 26 is discharged from the opening 72 to the outside of the nozzle surface. Accordingly, excess ink, dust, or the like does not collect around the nozzles 26.

さらに、図７（Ａ）に示すように、ノズル列２６Ａの間に設けた凸部７４のノズル２６近傍に、ノズル２６側に張り出す張出部７４Ａを形成してもよい。これにより、ノズル２６と凸部７４（張出部７４Ａ）の間隔が狭くなり、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなって、ノズル面の撥水膜３８（図１参照）の破損を防止できる。また、図７（Ｂ）に示すように、ノズル列２６Ａの間に設けた凸部７６のノズル２６近傍に凹部７６Ａを形成してもよい。これにより、ノズル２６と凸部７６（凹部７６Ａ）との間隔が大きくなるため、ノズル２６周囲に余剰インクやゴミ等が溜まらない。   Furthermore, as shown in FIG. 7A, a protruding portion 74A that protrudes toward the nozzle 26 may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the convex portion 74 provided between the nozzle rows 26A. Thereby, the space | interval of the nozzle 26 and the convex part 74 (overhang | projection part 74A) becomes narrow, the front-end | tip of a paper becomes difficult to touch a nozzle surface, and damage to the water-repellent film 38 (refer FIG. 1) of a nozzle surface can be prevented. Further, as shown in FIG. 7B, a recess 76A may be formed in the vicinity of the nozzle 26 of the protrusion 76 provided between the nozzle rows 26A. As a result, the gap between the nozzle 26 and the convex portion 76 (concave portion 76A) is increased, so that excess ink, dust or the like does not accumulate around the nozzle 26.

なお、本発明の参考形態及び実施形態では、ノズル列２６Ａの両側（ノズル列２６Ａ間）に凸部を設ける構成で説明したが、図８に示すように、ノズル２６の配列方向の両側（ノズル２６間）に凸部を設けてもよい。 In the reference embodiment and the embodiment of the present invention, the configuration in which the convex portions are provided on both sides of the nozzle row 26A (between the nozzle rows 26A) has been described. However, as shown in FIG. (Between 26) may be provided with a convex portion.

例えば、図８（Ａ）に示すように、ノズル列２６Ａの両側に、ノズル２６の配列方向に沿って矩形状の保護凸部８０を設け、ノズル２６の配列方向の両側に小凸部８２を設ける。これにより、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等をワイパーブレードで除去する際に、ワイピング方向（矢印Ａ方向）の上流側のノズル２６の余剰インクやゴミ等が、下流側のノズル２６に入り込む恐れがない。   For example, as shown in FIG. 8A, rectangular protective convex portions 80 are provided on both sides of the nozzle row 26A along the arrangement direction of the nozzles 26, and small convex portions 82 are provided on both sides of the nozzle 26 in the arrangement direction. Provide. As a result, when excess ink or dust attached to the nozzle 26 is removed by the wiper blade, excess ink or dust or the like of the upstream nozzle 26 in the wiping direction (arrow A direction) enters the downstream nozzle 26. There is no fear.

また、図８（Ｂ）に示すように、ノズル２６の配列方向両側に凸部８４を設け、この凸部８４と隙間を設けるようにして、ノズル２６の配列方向と直交する方向の両側に凸部８５を設けてもよい。これにより、ノズル２６は凸部８４及び凸部８５によって包囲されるため、用紙の先端がノズル面に当たりにくくなり、ノズル面の撥水膜３８（図１参照）の破損を防止できる。また、ノズル２６の周りには、凸部８４及び凸部８５によって複数の隙間が形成されるので、余剰インクやゴミ等はこの隙間から排出される。したがって、余剰インクやゴミ等が、ノズル２６周囲に溜まることがない。また、隙間はノズル２６の配列方向及び用紙搬送方向に形成されるため、用紙搬送方向にワイピングさせても、余剰インクやゴミ等がノズル２６周囲に溜まらない。つまり、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 8B, convex portions 84 are provided on both sides of the nozzles 26 in the arrangement direction, and gaps are provided between the convex portions 84 so as to project both sides in the direction orthogonal to the arrangement direction of the nozzles 26. A portion 85 may be provided. Thereby, since the nozzle 26 is surrounded by the convex part 84 and the convex part 85, it becomes difficult for the front end of a sheet | seat to hit a nozzle surface, and damage to the water-repellent film 38 (refer FIG. 1) of a nozzle surface can be prevented. In addition, since a plurality of gaps are formed around the nozzle 26 by the convex portions 84 and the convex portions 85, excess ink, dust, and the like are discharged from the gaps. Accordingly, surplus ink, dust, and the like do not accumulate around the nozzles 26. Further, since the gap is formed in the arrangement direction of the nozzles 26 and the paper transport direction, even if wiping is performed in the paper transport direction, excess ink, dust or the like does not collect around the nozzles 26. That is, the wiping direction is not limited.

さらに、図８（Ｃ）に示すように、隣接するノズル列２６Ａ、２６Ｂに跨るようにして、傾斜凸部８６を設けてもよい。例えば、ノズル列２６Ａの図中の最下段のノズル２６ａの下方と、ノズル列２６Ａに隣接するノズル列２６Ｂの下から２段目のノズル２６ｂの下方に跨って傾斜凸部８６を設ける。つまり、傾斜凸部８６は、ノズル列２６Ａ、２６Ｂ及び用紙の搬送方向に対して斜めに設けられている。これにより、ノズル列２６Ａ、２６Ｂに沿ってワイピングしたとき、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、斜めに設けられた傾斜凸部８６の壁面に沿って斜めに移動する。したがって、余剰インクやゴミ等がノズル２６周囲に溜まらない。また、傾斜凸部８６はノズル面に対して広い範囲で設けられているため、ノズルプレート１４にプールプレート１６（図１参照）を接合する際に、ノズルプレート１４にかかる押圧力が、狭い範囲に集中してかかることが防げる。したがって、押圧力によってノズルプレート１４が撓んだり破損したりする恐れがない。さらに、傾斜凸部８６はノズル列２６Ａ、２６Ｂ及び用紙搬送方向に対して斜めに設けられているため、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 8C, an inclined convex portion 86 may be provided so as to straddle the adjacent nozzle rows 26A and 26B. For example, the sloped convex portion 86 is provided below the lowermost nozzle 26a in the drawing of the nozzle row 26A and from below the nozzle row 26B adjacent to the nozzle row 26A to below the second stage nozzle 26b. That is, the inclined convex portion 86 is provided obliquely with respect to the nozzle rows 26A and 26B and the paper transport direction. As a result, when wiping is performed along the nozzle rows 26A and 26B, surplus ink, dust, and the like adhering to the nozzle 26 move obliquely along the wall surface of the inclined convex portion 86 provided obliquely. Therefore, excess ink, dust, etc. do not collect around the nozzles 26. Further, since the inclined convex portion 86 is provided in a wide range with respect to the nozzle surface, the pressure applied to the nozzle plate 14 when the pool plate 16 (see FIG. 1) is joined to the nozzle plate 14 is a narrow range. You can avoid concentrating on. Therefore, there is no fear that the nozzle plate 14 is bent or damaged by the pressing force. Furthermore, since the inclined convex portion 86 is provided obliquely with respect to the nozzle rows 26A and 26B and the paper transport direction, the wiping direction is not limited.

また、図９に示すように、ノズル２６の周囲に環状の環状凸部８８を設けてもよい。このとき、ノズル２６は環状凸部８８によって包囲されるので、用紙Ｐの先端からノズル面が保護される。このとき、環状凸部８８に開口部を設けることで、ノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等がワイパーブレードで除去されて開口部から排出されるので、ノズル２６周囲に溜まることがない。例えば、図９（Ａ）に示すように、ノズル２６の配列方向に沿って、環状凸部８８に開口部９０を２箇所形成し、ノズル２６の配列方向（矢印Ａ方向）に沿ってワイピングした場合、余剰インクやゴミ等が、開口部９０から排出される。また、図９（Ｂ）に示すように、環状凸部８８に開口部９２を３箇所形成し、そのうちの一つをノズル２６の配列方向に沿って形成することで、ノズル２６の配列方向に沿ってワイピングしたとき、ワイピング方向の上流側のノズル２６に付着した余剰インクやゴミ等は、ノズル２６の配列方向に沿って形成された開口部９２から排出されて、下流側のノズル２６を包囲する環状凸部８８の壁面に沿って、用紙搬送方向に移動する。これにより、ワイピング方向の上流側のノズル２６の余剰インクやゴミ等が、下流側のノズル２６に入り込む恐れがない。さらに、図９（Ｃ）に示すように、環状凸部８８のノズル２６の配列方向及び用紙搬送方向の４箇所に開口部９４を形成する。これにより、ノズル２６の配列方向に沿ってワイピングさせても、用紙搬送方向に沿ってワイピングさせても、余剰インクやゴミ等がノズル２６周囲に溜まらない。つまり、ワイピング方向が限定されない。   Further, as shown in FIG. 9, an annular convex portion 88 may be provided around the nozzle 26. At this time, since the nozzle 26 is surrounded by the annular projection 88, the nozzle surface is protected from the leading edge of the paper P. At this time, by providing an opening in the annular protrusion 88, excess ink or dust attached to the nozzle 26 is removed by the wiper blade and discharged from the opening, so that it does not collect around the nozzle 26. For example, as shown in FIG. 9A, two openings 90 are formed in the annular convex portion 88 along the arrangement direction of the nozzles 26, and wiping is performed along the arrangement direction (arrow A direction) of the nozzles 26. In such a case, excess ink, dust, or the like is discharged from the opening 90. Further, as shown in FIG. 9B, three openings 92 are formed in the annular convex portion 88, and one of them is formed along the arrangement direction of the nozzles 26, so that the nozzles 26 are arranged in the arrangement direction. When wiping along the nozzle 26, excess ink or dust adhering to the upstream nozzle 26 in the wiping direction is discharged from the opening 92 formed along the arrangement direction of the nozzles 26 and surrounds the downstream nozzle 26. It moves in the paper conveying direction along the wall surface of the annular convex portion 88. Accordingly, there is no possibility that excess ink, dust, or the like of the upstream nozzle 26 in the wiping direction enters the downstream nozzle 26. Further, as shown in FIG. 9C, openings 94 are formed at four locations in the arrangement direction of the nozzles 26 of the annular convex portion 88 and in the paper conveyance direction. Thus, excess ink, dust, or the like does not accumulate around the nozzles 26 regardless of whether they are wiped along the arrangement direction of the nozzles 26 or wiped along the paper transport direction. That is, the wiping direction is not limited.

本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。It is sectional drawing which shows the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention. 本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention. 本発明の参考形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程の一部を（Ａ）から（Ｇ）へと順番に模式的に示した図である。It is the figure which showed typically a part of manufacturing process of the inkjet recording head which concerns on the reference form of this invention in order from (A) to (G). 本発明の参考形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of the reference form of this invention. 本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of the inkjet recording head which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 本発明の実施形態のノズルプレートを示す平面図である。It is a top view which shows the nozzle plate of embodiment of this invention. 従来のインクジェット記録ヘッドの断面図及び斜視図である。It is sectional drawing and a perspective view of the conventional inkjet recording head.

符号の説明Explanation of symbols

１０ インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
１２Ａ 縦凸部
１２Ｂ 横凸部
２６ ノズル
２６Ａ ノズル列
６０ 囲み凸部
６４ 凸部（中凸部）
８０ 保護凸部（第１凸部）
８２ 小凸部（第２凸部）
８４ 凸部（第１島凸部）
８５ 凸部（第２島凸部）
８６ 傾斜凸部
８８ 環状凸部 10 Inkjet recording head (droplet ejection head)
12A Vertical convex part 12B Horizontal convex part 26 Nozzle 26A Nozzle row 60 Surrounding convex part 64 Convex part (medium convex part)
80 Protective convex part (first convex part)
82 Small convex part (second convex part)
84 Convex (first island convex)
85 Convex (Second Island Convex)
86 Inclined convex part 88 Annular convex part

Claims (2)

液滴を吐出する複数のノズルからなるノズル列を有する記録ヘッドにおいて、In a recording head having a nozzle row composed of a plurality of nozzles for discharging droplets,
液滴が吐出される液滴吐出面には、隣接するノズル列に跨って前記ノズル間に、且つ、ノズル列に対して斜め方向に傾斜凸部が設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。  The droplet discharge surface on which the droplet is discharged has an inclined convex portion provided between the nozzles across the adjacent nozzle rows and in an oblique direction with respect to the nozzle rows. Discharge head. 前記ノズル列に備えられた前記ノズルは、隣接する前記ノズル列に備えられた前記ノズルに対し、ノズル配列方向に対して直交する方向に並ぶように配置され、
前記傾斜凸部は、隣接するノズル列に備えられたノズルがノズル配列方向に１個分ずれるように隣接するノズル列に跨って斜め方向に傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。 The nozzles provided in the nozzle row are arranged so as to be aligned in a direction orthogonal to the nozzle arrangement direction with respect to the nozzles provided in the adjacent nozzle row,
The said inclined convex part inclines in the diagonal direction across the adjacent nozzle row so that the nozzle with which the adjacent nozzle row was equipped may be shifted by one in the nozzle arrangement direction. Droplet discharge head.
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