JP4788131B2 - 欠陥解析方法 - Google Patents
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Description
前記レビュー操作制御機構は、前記半導体ウェハの製造工程に用いられる各種マスクパターンそれぞれの画像データを蓄積したデータベースから前記所定条件の設定のためのデータを取り込むことを特徴とする。
前記レビュー操作制御機構は、前記半導体ウェハの製造工程における任意のレビュー対象層のパターンに応じた画像データを前記所定条件の設定のためのデータとして取り込むことを特徴とする。
前記半導体ウェハの製造工程における複数のレビュー対象層のパターンに応じた画像データをデータベースとして蓄積した記憶部を含み、前記レビュー操作制御機構は、前記所定条件の設定のためのデータを前記データベースから取り込むことを特徴とする。
前記表示機構は、前記半導体ウェハの製造工程のうち欠陥に起因する工程を認識させる表示を含むことを特徴とする。
前記記憶部は、前記半導体ウェハの製造工程に用いられる各種マスクパターンそれぞれの画像データを蓄積したデータベースを構成していることを特徴とする。
前記表示機構は、前記半導体ウェハの製造工程のうち欠陥に起因する工程を認識させる表示を含むことを特徴とする。
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程中における任意のフォトリソグラフィ工程に用いられるマスクパターンに応じた画像データを含むことを特徴とする。
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程に用いられる任意のマスクパターン設計データを含むことを特徴とする。
前記レビュー用データ取得工程は、前記レビュー条件設定用データの範囲内または範囲外にある前記欠陥検査工程による座標データが選択され前記レビュー対象領域とされることを特徴とする。
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程中における任意のフォトリソグラフィ工程に用いられるマスクパターンに応じた画像データであり、前記画像データは、設計データより生成することを特徴とする。
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程中における任意のフォトリソグラフィ工程に用いられるマスクパターンに応じた画像データであり、前記画像データは、別途準備した前記半導体ウェハと同等のベアウェハに被エッチング膜を付け、前記フォトリソグラフィ工程を経てパターニングすることにより取得することを特徴とする。
前記表示機構は、前記注目する欠陥に起因する前記半導体ウェハの製造工程の少なくとも一工程を認識させる表示を含むことを特徴とする。
半導体ウェハは、欠陥検査工程を経る(S101)。すなわち、半導体ウェハは、製造工程中の任意の層において欠陥検査済みで、欠陥位置の座標データを伴うレビュー対象領域を有する。
半導体ウェハは、欠陥検査工程を経て、欠陥に応じたレビューが実施済みである。これにより、必要なレビューデータを取得する(S201)。レビューデータは、図4に示すように、例えば、欠陥検査レビュー後の分類データやレビュー画像のデータが揃っており、検査結果データベースとして保存されている。そのうち、解析対象のレビューデータを分析用コンピュータ41に読み込ませる。
Claims (3)
- 任意の製造工程における半導体ウェハについて欠陥検査し、欠陥位置の座標データに基づき要所を欠陥レビューすることにより、レビューデータを取得するレビューデータ取得工程と、
前記半導体ウェハの製造工程中における任意のレビュー対象層のパターンに応じた画像
データを取得することにより複数のレビュー条件設定用データをデータベースとして構築
する工程と、
前記レビューデータのうち解析対象データによる欠陥分布と前記データベースからの所
定の前記レビュー条件設定用データに応じて選択された領域とが所定条件の上で関連性が
あるか否かを判定するデータ分析工程と、
前記データ分析工程により得られた欠陥レビューに関する認識を満足するための表示工
程と、を含み、
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程中における任意のフォトリソグラフィ工程に用いられるマスクパターンに応じた前記画像データであり、前記画像データは、設計データより生成し、
前記データ分析工程を、異なる前記レビュー条件設定用データを用いて都度実施するこ
とにより、前記解析対象データとして注目する欠陥を前記半導体ウェハの製造工程中にお
ける特定の工程に関連付けることを特徴とする欠陥解析方法。 - 任意の製造工程における半導体ウェハについて欠陥検査し、欠陥位置の座標データに基づき要所を欠陥レビューすることにより、レビューデータを取得するレビューデータ取得工程と、
前記半導体ウェハの製造工程中における任意のレビュー対象層のパターンに応じた画像
データを取得することにより複数のレビュー条件設定用データをデータベースとして構築
する工程と、
前記レビューデータのうち解析対象データによる欠陥分布と前記データベースからの所
定の前記レビュー条件設定用データに応じて選択された領域とが所定条件の上で関連性が
あるか否かを判定するデータ分析工程と、
前記データ分析工程により得られた欠陥レビューに関する認識を満足するための表示工
程と、を含み、
前記レビュー条件設定用データは、前記半導体ウェハの製造工程中における任意のフォトリソグラフィ工程に用いられるマスクパターンに応じた前記画像データであり、前記画像データは、別途準備した前記半導体ウェハと同等のベアウェハに被エッチング膜を付け、前記フォトリソグラフィ工程を経てパターニングすることにより取得し、
前記データ分析工程を、異なる前記レビュー条件設定用データを用いて都度実施するこ
とにより、前記解析対象データとして注目する欠陥を前記半導体ウェハの製造工程中にお
ける特定の工程に関連付けることを特徴とする欠陥解析方法。 - 前記表示機構は、前記注目する欠陥に起因する前記半導体ウェハの製造工程の少なくとも一工程を認識させる表示を含む請求項1または2に記載の欠陥解析方法。
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JP2004338521A JP4788131B2 (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | 欠陥解析方法 |
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JP2004338521A JP4788131B2 (ja) | 2004-11-24 | 2004-11-24 | 欠陥解析方法 |
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JP2006147977A JP2006147977A (ja) | 2006-06-08 |
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