JP4784590B2 - レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置及びレーザ光のフォーカス位置調整方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数のレーザ光を同一のレンズにより合焦させて照射する光ヘッドに適用される、指定したレーザ光のフォーカス位置と他のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出するレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置及び指定したレーザ光のフォーカス位置と他のレーザ光のフォーカス位置とのずれがなくなるよう他のレーザ光のフォーカス位置を調整するレーザ光のフォーカス位置調整方法に関する。

近年、光ディスクにデータを記録又は再生する際に使用される光ヘッドには、複数のレーザ光を光ディスクにおけるフォーカス位置が同位置になるよう照射するようにしたものがある。例えばそのような光ヘッドは、記録用のレーザ光とサーボ用のレーザ光を照射する光ヘッドや、光ディスクがホログラム記録媒体である場合には、情報用レーザ光と参照用レーザ光を照射する光ヘッド等である。このような光ヘッドにおいては、互いのレーザ光のフォーカス位置が精度よく合わされている必要がある。

これまでは、このフォーカス位置の調整は、特許文献１に示されるように、光ヘッドから出射されたレーザ光を光ヘッドの対物レンズと対向させたレンズを介して顕微鏡やオートコリメータと呼ばれる装置に入射させ、装置内のＣＣＤ等の受光素子が出力する受光信号から互いのレーザ光のフォーカス位置のずれを検出し、このずれがなくなるようレーザ光のフォーカス位置を調整していた。
特開平９−７１９６号公報

しかしながら、ホログラム記録媒体に対して記録再生を行う光ヘッドのように複数のレーザ光のフォーカス位置を高精度で合わせる必要がある場合には、顕微鏡やオートコリメータでは複数のレーザ光のフォーカス位置ずれの検出精度が足りないため、この調整方法では精度が不足するという問題がある。また、精度を上げるため顕微鏡やオートコリメータに高価なものを用いると、光ヘッドの調整に要するコストが高くなるという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、複数のレーザ光のフォーカス位置のずれをコストを上げずに高精度で検出することが可能なレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置及び複数のレーザ光のフォーカス位置を高精度で合わせることが可能なレーザ光のフォーカス位置調整方法を提供することにある。

請求項１記載のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置は、レーザ光をレンズにより合焦させて所定の強度で所定時間照射すると、レーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する材料が含まれた反射率可変物体と、反射率可変物体をセットするテーブルと、複数のレーザ光のフォーカス位置が反射率可変物体と相対的に少なくとも複数のレーザ光の光軸方向に移動するようテーブル又は光ヘッドを駆動させる駆動手段と、駆動手段による駆動量を検出する駆動量検出手段と、光ヘッドの受光素子が出力する受光信号を用いて調整用信号を作成し、調整用信号の波高値を取得する波高値取得手段と、光ヘッドの指定したレーザ光を反射率可変物体に指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、駆動手段により指定したレーザ光のフォーカス位置を指定したレーザ光の光軸方向に移動させると共に波高値取得手段により調整用信号の波高値を取得し、波高値に基づき指定したレーザ光が合焦する箇所を反射率可変物体の設定した箇所にする指定レーザ光照射位置調整手段と、光ヘッドの指定したレーザ光を反射率可変物体に対し、指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する強度で照射させ、反射率可変物体に反射率が変化した箇所を作成する反射率変化箇所作成手段と、光ヘッドの指定した以外のレーザ光を反射率可変物体に対し、指定した以外のレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、駆動手段により指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を指定した以外のレーザ光の光軸方向に移動させ、駆動量検出手段により検出される駆動量に対応させて波高値取得手段により調整用信号の波高値を取得し、取得した波高値に基づき光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置と指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴とする。

請求項２記載のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置は、駆動手段が、光ヘッドの複数のレーザ光のフォーカス位置が反射率可変物体と相対的に光ヘッドの複数のレーザ光の光軸方向に対して垂直であり互いに直交する２つの方向に移動するようテーブル又は光ヘッドを駆動させる手段を含み、駆動量検出手段が、２つの方向の駆動量を検出する手段を含み、ずれ検出手段が、駆動手段により指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を２つの方向にそれぞれ移動させ、駆動量検出手段により検出される２つの方向の駆動量にそれぞれ対応させて波高値取得手段により調整用信号の波高値を取得し、取得した波高値に基づき２つの方向における指定したレーザ光のフォーカス位置と指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出する手段を含むことを特徴とする。

請求項３記載のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置は、光ヘッドの受光素子が分割された受光素子から構成されているとき、波高値取得手段が、複数の調整用信号を作成し、選択された調整用信号の波高値を取得する手段であることを特徴とする。

請求項４記載のレーザ光のフォーカス位置調整方法は、レーザ光をレンズにより合焦させて所定の強度で所定時間照射すると、レーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する材料が含まれた反射率可変物体に対し、光ヘッドの指定したレーザ光を反射率可変物体に指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、複数のレーザ光のフォーカス位置が反射率可変物体と相対的に少なくとも複数のレーザ光の光軸方向に移動するよう反射率可変物体又は光ヘッドを駆動させる駆動手段により指定したレーザ光のフォーカス位置を指定したレーザ光の光軸方向に駆動させると共に、光ヘッドの受光素子が出力する受光信号を用いて作成される調整用信号の波高値を取得し、波高値に基づき指定したレーザ光が合焦する箇所を反射率可変物体の設定した箇所にする指定レーザ光照射位置調整ステップと、光ヘッドの指定したレーザ光を反射率可変物体に対し、指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する強度で照射させ、反射率可変物体に反射率が変化した箇所を作成する反射率変化箇所作成ステップと、光ヘッドの指定した以外のレーザ光を反射率可変物体に対し、指定した以外のレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、反射率可変物体又は光ヘッドを駆動させる駆動手段により指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を指定した以外のレーザ光の光軸方向に駆動量を検出しながら移動させると共に、検出される駆動量に対応させて光へッドの受光素子が出力する受光信号を用いて作成される調整用信号の波高値を取得し、取得した波高値に基づいて光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置と指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出し、検出したずれがなくなるよう指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を調整するフォーカス位置調整ステップとからなることを特徴とする。

請求項１及び請求項４の発明によれば、レーザ光照射により反射率が変化する材料が含まれる物体に対し指定するレーザ光を反射率が変化する材料の箇所に合焦させたうえで照射して反射率を変化させ、指定した以外のレーザ光を照射したときの反射光に基づく調整用信号の波高値からフォーカス位置ずれを検出するようにしたことから、従来より高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。また、光ヘッドの指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を反射率可変物体と相対的に指定した以外のレーザ光の光軸方向に移動させ、移動量に対応させて調整用信号の波高値を取得し、取得した移動量に対応させた波高値によりフォーカス位置ずれを検出するようにしたことから、さらに高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

請求項２の発明によれば、光ヘッドの複数のレーザ光のフォーカス位置を反射率可変物体と相対的にレーザ光の光軸方向に加えレーザ光の光軸方向の垂直方向である互いに直交する２方向にも移動可能にし指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を２方向にそれぞれ移動させ、移動量に対応させて調整用信号の波高値を取得し、取得した移動量に対応させた波高値により２方向におけるフォーカス位置ずれを検出するようにしたことから、複数のレーザ光の光軸方向のフォーカス位置ずれに加えて、この方向の垂直方向である２方向におけるフォーカス位置ずれも検出できるので、さらに高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

請求項３の発明によれば、複数の調整用信号を作成し、選択された調整用信号の波高値を取得できるようにしたことから、フォーカス位置ずれの検出精度が最も高い調整用信号を選択できるのでさらに高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

以下、本発明の形態について図面を参照しながら具体的に説明する。図１は、本発明が適用されたレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置の全体構成を示す構成図である。図２〜図８は、同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。図９は、フォーカス位置ずれ検出におけるレーザ光と反射率可変物体の動きを順に示した説明図である。図１０は、レーザ光のフォーカス位置に対してレーザ光の光軸方向に反射率可変物体である相変化型光ディスクが移動したときの移動位置に対する再生信号の波高値の波形を示した説明図である。図１１は、反射率可変物体全体が反射率が変化する材料である場合の図１０に相当する説明図である。図１２は、レーザ光照射により反射率可変物体の反射率を変化させた後、レーザ光のフォーカス位置に対して反射率可変物体を移動させたときの移動位置に対する再生信号の波高値の波形を示した説明図である。図１３は、レーザ光照射により反射率可変物体の反射率を変化させた後、レーザ光のフォーカス位置に対して反射率可変物体を移動させたときの移動位置に対するフォーカスエラー信号、Ｘ方向エラー信号、Ｙ方向エラー信号の波高値の波形を示した説明図である。

図１に示すレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置１のステージ１０は、表面が平板状になっており、この１箇所に直方体状の起立部材１２があり、この直方体状の起立部材１２の所定の箇所に光ヘッド１８をセットするための２つの取付棒１４が設けられている。この２つの取付棒１４は、光ヘッド１８の穴に挿管されることで光ヘッド１８を保持する。また、ステージ１０は、図示しない傾き調整機構により、光ヘッド１８がセットされたとき、光ヘッド１８から照射されるレーザ光が後述するテーブル２０の反射率可変物体Ｍをセットする穴の段差箇所の平面及び反射率可変物体Ｍの表面に対して垂直になるよう調整されている。

テーブル２０は、平板に反射率可変物体Ｍをセットするための段差がつけられた穴が開いている。反射率可変物体Ｍは、レーザ光照射を所定時間行うと反射率が変化する材料が含まれた薄い板状のものであればどのようなものでも使用することができる。尚、反射率可変物体Ｍは、全体がレーザ光照射により反射率が変化する材料で構成されていてもよい。最も簡単に用意できるものは、初期化されていない相変化膜が記録層としてある相変化型光ディスクである。

テーブル２０は、移動体２２に取り付けられ、移動体２２は枠体２６で高さ方向（以下、Ｚ方向という）のみの移動が可能とされている。そして、移動体２２のネジ穴にはモータ２４に連結するシャフトが通っており、移動体２２はモータ２４の回転によりＺ方向に移動するようになっている。モータ２４は、後述するＺ方向移動モータ制御回路２００により駆動される。モータ２４にはエンコーダ２４ａがあり、所定回転角度ごとにハイレベルとローレベルとからなる２つのパルス信号φＡ，φＢを出力する。２つのパルス信号φＡ，φＢは位相がπ／２ずれており、回転方向により位相が進んでいる信号が変わるため、位相が進んでいるパルス信号がどちらであるかを検出することで移動方向がわかるようになっている。

枠体２６及びモータ２４は、移動体２８に取り付けられ、固定されている。移動体２８は、枠体３４により横方向（以下、Ｘ方向という）のみの移動が可能になっている。そして、移動体２８のネジ穴にはモータ３２に連結するシャフト３０が通っており、移動体２８はモータ３２の回転によりＸ方向に移動するようになっている。モータ３２は、後述するＸ方向移動モータ制御回路２１０により駆動される。モータ３２にはエンコーダ３２ａがあり、所定回転角度ごとにハイレベルとローレベルとからなる２つのパルス信号φＡ，φＢを出力する。２つのパルス信号φＡ，φＢは位相がπ／２ずれており、回転方向により位相が進んでいる信号が変わるため、位相が進んでいるパルス信号がどちらであるかを検出することで移動方向がわかるようになっている。

枠体３４は、基台３６により図１の紙面の垂直方向（以下、Ｙ方向という）のみの移動が可能になっている。枠体３４のネジ穴には、モータ３８に連結する図示されないシャフトが通っており、枠体３４はモータ３８の回転によりＹ方向に移動するようになっている。モータ３８は、後述するＹ方向移動モータ制御回路２２０により駆動される。モータ３８にはエンコーダ３８ａがあり、所定回転角度ごとにハイレベルとローレベルとからなる２つのパルス信号φＡ，φＢを出力する。２つのパルス信号φＡ，φＢは位相がπ／２ずれており、回転方向により位相が進んでいる信号が変わるため、位相が進んでいるパルス信号がどちらであるかを検出することで移動方向がわかるようになっている。

モータ２４、モータ３２、モータ３８の駆動により移動体２２，２８及び枠体３４は、それぞれＺ方向，Ｘ方向，Ｙ方向に移動し、これによりテーブル２０及び反射率可変物体ＭはＺ方向，Ｘ方向，Ｙ方向に移動する。

Ｚ方向移動モータ制御回路２００は、コントローラ３００から駆動限界位置移動指令が入力すると、駆動限界位置がある方向にモータ２４を駆動し、後述するＺ方向位置検出回路２０２から信号が入力すると駆動を停止する。そして、コントローラ３００から移動位置が入力すると後述するＺ方向位置検出回路２０２から入力する移動位置がコントローラ３００から入力した移動位置に等しくなるまでモータ２４を駆動する。Ｚ方向位置検出回路２０２は、コントローラ３００から駆動限界位置移動指令が入力した後、エンコーダ２４ａから入力するパルス信号が停止すると駆動限界位置を示す信号をＺ方向移動モータ制御回路２００に出力すると共に、パルス信号のパルス数のカウント値を０にする。そして、駆動限界位置を位置０にして、その後に入力するパルス信号のパルス数をカウントし移動量を算出してＺ方向位置として出力する。尚その際、２つのパルス信号の位相のずれから移動方向を検出し、移動方向が駆動限界位置から離れる方向であるときはカウント値をそれまでのカウント値に加算し、駆動限界位置に向かう方向であるときは、カウント値をそれまでのカウント値から減算する。

Ｘ方向移動モータ制御回路２１０、Ｘ方向位置検出回路２１２、Ｙ方向移動モータ制御回路２２０及びＹ方向位置検出回路２２２は、前述のＺ方向移動モータ制御回路２００及びＺ方向位置検出回路２０２と同様の作動を行う。

レーザ駆動回路Ａ１２０は、コントローラ３００からレーザ照射開始指令が入力すると、同時にコントローラ３００から入力するレーザ光強度のレーザ光が出射される強度の電圧及び電流を光ヘッド１８のレーザ光源に出力する。レーザ駆動回路Ｂ１２２もレーザ駆動回路Ａ１２０と同様に、コントローラ３００からレーザ照射開始指令が入力すると、同時にコントローラ３００から入力するレーザ光強度のレーザ光が出射される強度の電圧及び電流を光ヘッド１８のレーザ光源に出力する。

信号増幅回路１００は、光ヘッド１８の受光素子から入力した信号を増幅し出力する。再生信号生成回路１０２、フォーカスエラー信号生成回路１０４、Ｘ方向エラー信号生成回路１０６及びＹ方向エラー信号生成回路１０８は、光ヘッド１８の受光素子が４分割の受光素子であれば以下の計算を行った信号を出力する。Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤは、受光素子に形成される光スポットを反射率可変物体Ｍに形成される光スポットに対応させてＹ方向に見た場合、４分割受光素子の右上の受光素子から時計周りにＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄとしてある。
再生信号生成回路１０２ ： Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ
フォーカスエラー信号生成回路１０４ ： （Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）
Ｘ方向エラー信号生成回路１０６ ： （Ａ＋Ｂ）−（Ｃ＋Ｄ）
Ｙ方向エラー信号生成回路１０８ ： （Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）
尚、再生信号生成回路１０２は、入力した信号の総和を計算し出力する回路であり、光ヘッド１８の受光素子が４分割でなければ、分割された数分の信号の総和を計算し出力する。それ以外の回路は、光ヘッド１８の受光素子が４分割でなくても、上記と同じ計算を行った信号を出力する。後述するようにその場合は、それらの信号は調整用信号には使用されない。

信号切換回路１１０は、入力する４つの信号の内、コントローラ３００から指定された信号を後述するＡ／Ｄ変換器１１２に出力する。Ａ／Ｄ変換器１１２は、コントローラ３００から波高値取り込みの指令が入力すると、入力した信号の波高値をサンプリングしてデジタルデータにし、コントローラ３００に出力する。

コントローラ３００は、キーボードやマウスなどからなる入力装置３０４からの指令によりメモリに記憶されているプログラムをスタートさせ、各回路に指令を出すと共に、Ａ／Ｄ変換器１１２から入力するデジタルデータを用いてレーザ光のフォーカス位置ずれ等を計算し、計算結果をＣＲＴ，液晶などからなるディスプレイである表示装置３０２に出力する。

このように構成されたレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置１を用いて、光ヘッド１８のレーザ光のフォーカス位置の調整を行うときは、作業者は光ヘッド１８をステージ１０の上方にある取付棒１４に光ヘッド１８をセットし、反射率可変物体Ｍをテーブル２０の穴にセットする。反射率可変物体Ｍは、最も簡単に用意できる初期化されていない相変化膜が記録層としてある相変化型光ディスクであるとして、これ以降を説明する。

そしてこの場合、指定したレーザ光は、レーザ駆動回路Ａ１２０で駆動されるレーザＡであり、このレーザ光Ａのフォーカス位置に他のレーザ駆動回路Ｂ１２２で駆動されるレーザ光Ｂのフォーカス位置を合わせるものとする。尚、調整対象の光ヘッド１８は、対物レンズの光軸とレーザ光の光軸とが、オートコリメータとシャックハルトマンセンサ又は干渉計により調整されているものとする。

次に作業者は、入力装置３０４からＸ方向の初期位置とＹ方向の初期位置Ｘｆ，Ｙｆを入力する。この位置は、反射率可変物体Ｍに反射率が可変する強度のレーザ光が照射されるＸ方向，Ｙ方向の位置である。反射率可変物体Ｍがそれまでに使用されていないものであれば、反射率可変物体Ｍにレーザ光が照射される任意の位置を初期位置にすればよいが、使用されている場合は使用箇所を避けるように初期位置Ｘｆ，Ｙｆを入力する。入力された初期位置Ｘｆ，Ｙｆを反射率可変物体Ｍの番号に対応させてコントローラ３００に記憶するようにしておけば、反射率可変物体Ｍをテーブル２０の穴にセットしたままか、又はセットする位置が固定されていれば、コントローラ３００に記憶されている初期位置Ｘｆ，Ｙｆを表示装置３０２に表示させたうえで、今回の初期位置Ｘｆ，Ｙｆを入力することができる。

次に作業者は、入力装置３０４から図２〜図８に示すフローのプログラムのスタートを入力する。このプログラムで実施することは、図９（ａ）に示すように、テーブル２０の移動によりレーザ光Ａのフォーカス位置を反射率可変物体Ｍである相変化型光ディスクの記録層の位置にし、図９（ｂ）に示すようにレーザ光Ａで記録層を相変化させ（反射率を変化させ）、図９（ｃ）に示すようにテーブル２０のＺ方向、Ｘ方向及びＹ方向の移動によりレーザ光Ｂのフォーカス位置を移動させ、それぞれの位置における波高値を取得し、取得したそれぞれの位置における波高値からレーザ光Ａのフォーカス位置に対するレーザ光Ｂのフォーカス位置のずれを算出することである。

以下、図２〜図８のフローチャートに沿って説明する。尚、以後の本実施例の説明において、括弧内の符号は図２〜図８の符号に対応している。

まず、プログラムがスタートし（Ｓ１００）、カウンター等を初期化する（Ｓ１０２）。そして、調整に使用する信号を選択するよう表示装置３０２に指示が表示されるので作業者は入力装置３０４からＸ、Ｙ、Ｚ方向の調整において使用する調整用信号を以下から選択する（Ｓ１０４）。
Ｘ方向 ： 再生信号，Ｘ方向エラー信号
Ｙ方向 ： 再生信号，Ｙ方向エラー信号
Ｚ方向 ： 再生信号，フォーカスエラー信号
尚、再生信号は再生信号生成回路１０２の出力信号、フォーカスエラー信号はフォーカスエラー信号生成回路１０４の出力信号、Ｘ方向エラー信号はＸ方向エラー信号生成回路１０６の出力信号、Ｙ方向エラー信号はＹ方向エラー信号生成回路１０８の出力信号である。このとき、光ヘッド１８の受光素子が４分割受光素子でない場合は、すべて再生信号を選択する。また、４分割受光素子であっても、フォーカス誤差、トラッキング方向誤差、円周方向誤差が前述の式で計算されない場合も再生信号を選択する。

次に、Ｚ方向移動モータ制御回路２００、Ｚ方向位置検出回路２０２、Ｘ方向移動モータ制御回路２１０、Ｘ方向位置検出回路２１２、Ｙ方向移動モータ制御回路２２０、Ｙ方向位置検出回路２２２に指令が行き、モータ２４，３２，３８が駆動限界位置まで移動し、このときの位置が０とされる（Ｓ１０６）。そして、先に作業者が入力し記憶されている初期位置Ｘｆ，ＹｆをＸ方向移動モータ制御回路２１０，Ｙ方向移動モータ制御回路２２０に出力し、Ｘ方向位置及びＹ方向位置が初期位置Ｘｆ，Ｙｆになる（Ｓ１０８）。

次に、Ｚ方向初期位置Ｚｆを設定し、Ｚ方向位置をその初期位置Ｚｆにする（Ｓ１１０〜Ｓ１５０）。反射率可変物体Ｍである相変化型光ディスクは、図９（ａ）に示すように、透明基板の下に、記録層、反射層がある構造になっており、Ｚ方向の初期位置Ｚｆはこの記録層にレーザ光Ａのフォーカス位置が合う位置である。具体的には、まず、信号切換回路１１０の出力信号を再生信号にし（Ｓ１１０）、反射率可変物体Ｍである相変化型光ディスクの記録層に変化が起きない強度でレーザ光Ａの照射を開始する（Ｓ１１２）。

続いて、再生信号の波高値を取り込み（Ｓ１１４）、再生信号の波高値の変化によりレーザ光Ａのフォーカス位置が相変化型光ディスクの記録層の近傍位置になったことを検出し、その位置から初期位置Ｚｆを計算するのに必要な波高値を取り込む処理を行いながら（Ｓ１１６〜Ｓ１３４）、レーザ光Ａのフォーカス位置がＡｚの間隔づつ反射率可変物体Ｍである相変化型光ディスクに近づく方向に移動するようにする（Ｓ１３６、Ｓ１３８）。再生信号の波高値が高くなるのは図９（ａ）に示すように、フォーカス位置が表面と記録層に合った時である。Ｚ方向位置に対する再生信号の波高値の曲線を描くと図１０のようになる。

再生信号の波高値を取り込み、再生信号の波高値の変化によりレーザ光Ａのフォーカス位置が相変化型光ディスクの記録層の近傍位置になったことを検出し、その位置から初期位置Ｚｆを計算するのに必要な波高値を取り込む処理（Ｓ１１４〜Ｓ１３４）は、取り込んだ波高値が所定レベルＨを超えたときＳＬを１にし（Ｓ１１８，Ｓ１２０）、次に取り込んだ波高値が所定レベルＨより小さくなったときＳＬを２にし（Ｓ１２４，Ｓ１２６）、次に取り込んだ波高値が所定レベルＨを超えたときから取り込んだ波高値が所定レベルＨ以下になるまでをｍを１づつインクリメントすることで（Ｓ１３０）波高値Ｉ（０）〜Ｉ（ｍ）で記憶する（Ｓ１１４）。図１０でドットが示してある箇所が波高値Ｉ（０）〜Ｉ（ｍ）を記憶する箇所である。Ｚ方向移動距離が設定した限界距離を超えてしまったときは（Ｓ１４０−ＹＥＳ）、誤った試料を置いた等の原因があるためレーザ光Ａの照射を停止し（Ｓ１４２）、表示装置３０２に異常を表示して（Ｓ１４４）、プログラムを終了する（Ｓ１４６）。

ＳＬが３になり（Ｓ１３２）波高値が所定レベルＨ以下になった時点（Ｓ１２８−ＮＯ，Ｓ１３４−ＹＥＳ）で、波高値Ｉ（０）〜Ｉ（ｍ）とＺ方向位置とは以下のように対応している。
Ｉ（ｍ） ，Ｉ（ｍ−１） ，Ｉ（ｍ−２）・・・・・Ｉ（０）
ｎ・Ａｚ ，（ｎ−１）・Ａｚ，（ｎ−２）・Ａｚ・・・・（ｎ−ｍ）・Ａｚ
これからＺ方向位置に対する波高値の曲線を最小２乗法により作成して極大箇所（曲線の式を微分した式の値が０になる箇所）のＺ方向位置を算出し、Ｚ方向の初期位置Ｚｆにする（Ｓ１４８）。そして、算出したＺ方向の初期位置Ｚｆへ移動する（Ｓ１５０）。次に、レーザ光Ａを相変化型光ディスクの記録層に相変化が起こる（反射率が変化する）強度で所定時間照射する（Ｓ１５２〜Ｓ１５８）。そして、不要となった波高値Ｉ（０）〜Ｉ（ｍ）のデータをクリアする（Ｓ１６０）。

次に、Ｚ方向におけるフォーカス位置のずれＤｅｖＺを検出する（Ｓ１６２〜Ｓ２２０）。具体的には、カウンター等をクリアし（Ｓ１６２）、レーザ光Ｂを相変化型光ディスクの記録層に変化が起きない強度で照射する（Ｓ１６４）。取り込む波高値は再生信号（Ｓ１６８−ＹＥＳ）か、フォーカスエラー信号（Ｓ１６８−ＮＯ）か判定し、再生信号の場合と（Ｓ１７０〜Ｓ１８４）フォーカスエラー信号の場合と（Ｓ１８８〜Ｓ２１０）でそれぞれの処理を行う。

再生信号の場合は、初期位置ＺｆからＢｚの間隔ごとに移動し（Ｓ１７６）、それぞれの移動位置で波高値を取り込み（Ｓ１７０）、波高値が所定レベルＲＨより小さくなったら（Ｓ１７２−ＹＥＳ）、今度は初期位置ＺｆからＢｚの間隔で逆方向に移動し（Ｓ１７８）、波高値が所定レベルＲＨより小さくなるまで（Ｓ１８２−ＹＥＳ）それぞれの移動位置で波高値を取り込む（Ｓ１８０）。視覚的に示すと、図１２のようにドットで示す箇所の波高値が記憶される。

また、フォーカスエラー信号の場合は、初期位置ＺｆからＢｚの間隔ごとに移動し（Ｓ２００）、それぞれの移動位置で波高値を取り込み（Ｓ１９０）、波高値が所定レベルＦＨより小さくなり（Ｓ１９４−ＹＥＳ）、かつ１つ前の波高値との差が所定の差ＦＤｅより小さくなったら（Ｓ１９６−ＹＥＳ）、今度は初期位置ＺｆからＢｚの間隔で逆方向に移動し（Ｓ２０２）、波高値が所定レベルＦＨより小さくなり（Ｓ２０７−ＹＥＳ）、かつ１つ前の波高値との差が所定の差ＦＤｅより小さくなる（Ｓ２０８−ＹＥＳ）までそれぞれの移動位置で波高値を記憶する（Ｓ２０４）。視覚的に示すと、図１３のようにドットで示す箇所の波高値が記憶される。

尚、移動間隔Ｂｚはフォーカス位置ずれの検出精度を上げるため、先にＺ方向初期位置Ｚｆを検出するための処理における移動間隔Ａｚより小さい間隔に設定されている。再生信号の場合及びフォーカスエラー信号の場合でそれぞれ移動距離を表す値（ｎ＋ｍ）が所定以上の値になっていることを確認した後（Ｓ１８５、Ｓ２１２）、Ｚ方向ずれＤｅｖＺを計算する（Ｓ２１８）。この時点で波高値Ｉ（０）〜Ｉ（ｎ＋ｍ）とＺ方向位置とは以下のように対応している。
Ｉ（０），Ｉ（１），Ｉ（２）・・Ｉ（ｎ），Ｉ（ｎ＋１），Ｉ（ｎ＋２）・・Ｉ（ｎ＋ｍ）
Ｚｆ，Ｚｆ＋Ｂｚ，Ｚｆ＋２Ｂｚ・・Ｚｆ＋ｎ・Ｂｚ，Ｚｆ−Ｂｚ，Ｚｆ−２Ｂｚ・・Ｚｆ−ｍＢｚ

再生信号の場合は、これからＺ方向位置に対する波高値の曲線を最小２乗法により作成して極大箇所（曲線の式を微分した式の値が０になる箇所）のＺ方向位置を算出し、Ｚ方向の初期位置ＺｆからのずれＤｅｖＺを計算する。フォーカスエラー信号の場合は、これからＺ方向位置に対する波高値の曲線を最小２乗法により作成して曲線が０クロスする箇所のＺ方向位置を算出し、Ｚ方向の初期位置ＺｆからのずれＤｅｖＺを計算する。

ＤｅｖＺの計算値と波高値の波形曲線を表示装置３０２に表示し（Ｓ２１９）、不要になった波高値データをクリアする（Ｓ２２０）。尚、移動距離を表す値（ｎ＋ｍ）が所定以下の場合には、すなわちＺ方向のフォーカス位置ずれが大きく最初から再生信号の波高値が所定レベルＲＨより小さかったり、フォーカスエラー信号の波高値が所定レベルＦＨより小さくかつ１つ前の波高値との差が所定の差ＦＤｅより小さい場合には所定の処理が行われる（Ｓ２２２〜Ｓ２４４）。この処理は、初期位置ＺｆからＡｚの間隔ごとに移動し（Ｓ２２２）、再生信号の波高値が所定レベルＳＨより大きくなる箇所を探し（Ｓ２２４，Ｓ２２６）、その位置をＺｃとして（Ｓ２２８）前述した処理に戻る（Ｓ２３０）ための処理である。この場合、初期位置Ｚｆから両方向とも再生信号の波高値が所定レベルＳＨより大きくなる箇所が見つからなかった場合は（Ｓ２３２−ＹＥＳ，Ｓ２３４−ＹＥＳ）フォーカス位置ずれがＸ，Ｙ方向に大きすぎ検出不能である可能性が高いので異常表示をして（Ｓ１４４）プログラムを終了する（Ｓ１４６）。

次に、Ｚ方向のフォーカス位置ずれの検出が終了すると、Ｘ方向のフォーカス位置ずれ検出を行う（Ｓ２４６〜Ｓ２９８）。この場合、Ｚ方向位置をＺｆ＋ＤｅｖＺにした後（Ｓ２４６）は、移動方向がＸ方向である点と調整用信号が再生信号でない場合はＸ方向エラー信号である点が異なるのみで、Ｚ方向のフォーカス位置ずれの検出の処理と処理方法は同じである。尚、この場合はＺ方向位置を最も適切なＺｆ＋ＤｅｖＺの位置にしているので、最初から再生信号の波高値が所定レベルＲＨより小さかったり、Ｘ方向エラー信号の波高値が所定レベルＴＨより小さくかつ１つ前の波高値との差が所定の差ＴＤｅより小さいことはないので、再生信号の波高値が所定レベルＳＨより大きくなる箇所を探し、その位置をＺｃにする処理（Ｓ２２２〜Ｓ２４４）に相当する処理はない。

Ｘ方向のフォーカス位置ずれの検出が終了すると、Ｘ方向のフォーカス位置ずれＤｅｖＸの計算値と波高値の波形曲線を表示装置３０２に表示し（Ｓ２９６）、不要になった波高値データをクリアした後（Ｓ２９８）、Ｙ方向のフォーカス位置ずれ検出を行う（Ｓ３００〜Ｓ３５２）。この場合、Ｘ方向位置をＸｆ＋ＤｅｖＸにした後は（Ｓ３００）、移動方向がＹ方向である点と調整用信号が再生信号でない場合はＹ方向エラー信号である点が異なるのみで、Ｚ方向のフォーカス位置ずれの検出の処理と処理方法は同じである。尚、この場合もＸ方向のフォーカス位置ずれ検出の処理と同様、再生信号の波高値が所定レベルＳＨより大きくなる箇所を探し、その位置をＺｃにする処理（Ｓ２２２〜Ｓ２４４）に相当する処理はない。

次に、Ｘ方向のフォーカス位置ずれＤｅｖＸの計算値と波高値の波形曲線を表示装置３０２に表示し（Ｓ３５２）、不要になった波高値データをクリアした後（Ｓ３５４）、表示装置３０２に「調整継続？」の表示を行う（Ｓ３５６）。作業者は、表示装置３０２に表示されたＸ、Ｙ、Ｚ方向のフォーカス位置ずれを見て、許容限界内であると判断すればＮｏと入力し、調整する必要があると判断すればＹｅｓと入力する。Ｎｏであれば（Ｓ３５８−ＮＯ）、プログラムは終了する（Ｓ３６４）。Ｙｅｓであれば（Ｓ３５８−ＹＥＳ）、表示装置３０２に「調整完了？」の表示を行い（Ｓ３６０）、作業者がＹｅｓと入力するのを待つ（Ｓ３６２）。

作業者は、光ヘッド１８内の部品の位置を調整することで検出したずれがなくなる方向にフォーカス位置を移動させる。フォーカス位置のＺ方向における位置は主にコリメートレンズをレーザ光の光軸方向へ移動させることで調整し、フォーカス位置のＸ，Ｙ方向における位置は主にレーザ光源の位置および傾きを調整することで調整する。そして、再度フォーカス位置ずれを検出したいときはＹｅｓと入力する（Ｓ３６２−ＹＥＳ）。これにより、プログラムはＺ方向におけるフォーカス位置のずれＤｅｖＺを検出する処理（Ｓ１６２）に戻り、前述した処理と同様の処理でＸ、Ｙ、Ｚ方向のフォーカス位置ずれが検出される。この処理を繰り返すことで、フォーカス位置ずれが許容限界内になり、表示装置３０４に「調整継続？」の表示がされたとき（Ｓ３５６）Ｎｏと入力されて（Ｓ３５８−ＮＯ）、プログラムは終了する（Ｓ３６４）。尚、光ヘッド１８をステージ１０上に固定したままで調整ができないと判断した場合は、調整が未完でもＹｅｓと入力して（Ｓ３５８−ＹＥＳ）、プログラムを終了し（Ｓ３６４）、光ヘッド１８を調整後、再度ステージ１０上にセットし、フォーカス位置ずれ検出のプログラム処理を最初から行う。

以上のように本実施形態のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置１によれば、レーザ光照射により反射率が変化する材料が含まれる物体（反射率可変物体Ｍ）に対し指定するレーザ光を反射率が変化する材料の箇所に合焦させたうえで照射して反射率を変化させ、指定した以外のレーザ光を照射したときの反射光に基づく調整用信号の波高値からフォーカス位置ずれを検出するようにしたことから、従来より高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

また、光ヘッド１８のレーザ光のフォーカス位置を反射率可変物体Ｍと相対的にレーザ光の光軸方向に移動させ、それぞれの移動位置における調整用信号の波高値を取得し、取得した移動位置における波高値によりフォーカス位置ずれを検出するようにすることで、移動位置と波高値とからさらに高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

さらに、光ヘッド１８のレーザ光のフォーカス位置を反射率可変物体Ｍと相対的にレーザ光の光軸方向に加えレーザ光の光軸方向の垂直方向である互いに直交する２方向にも移動可能にすることで、レーザ光の光軸方向のフォーカス位置ずれに加えて、この方向の垂直方向である２方向におけるフォーカス位置ずれも検出できるので、さらに高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

さらに、複数の調整用信号を作成し、選択された調整用信号の波高値を取得できるようにすることで、フォーカス位置ずれの検出精度が最も高い調整用信号を選択できるのでさらに高い精度でフォーカス位置ずれを検出でき、より高精度で複数のレーザ光のフォーカス位置を合わせるよう調整することができる。

尚、上記実施形態は様々な変形が可能である。上記実施形態では、テーブル２０を移動させることで光ヘッド１８のレーザ光のフォーカス位置を反射率可変物体Ｍと相対的に移動させたが、テーブル２０を移動させる代わりにステージ１０を移動させてもよいし、光ヘッド１８をセットする取付棒１４が取り付けられた直方体状の起立部材１２を移動させてもよい。また、Ｚ方向であれば光ヘッド１８の対物レンズを駆動させるフォーカスアクチュエータを駆動させて対物レンズをＺ方向に移動させてもよい。これによっても上記実施形態と同様の効果が期待できる。

また、上記実施形態では反射率可変物体Ｍに初期化されていない相変化型光ディスクを使用したが、レーザ光照射により反射率が変化するものであればどのようなものも使用できる。例えば、相変化型光ディスクの記録層の物質と同じ物質でできた平板を反射率可変物体Ｍにしてもよい。この場合のＺ方向の初期位置Ｚｆは反射率可変物体Ｍの光ヘッド１８側とは反対側の面に高反射率のシートを貼り、図１１に示すように最初の極大箇所の位置から再生信号の波高値曲線における２つの極大箇所の間の幅Ｔｈｌの２分の１であるＴｈ２の位置に定めればよい。また、反射率可変物体Ｍの厚さが既知であれば、最初の極大箇所の位置から（厚さ／２）の位置に定めればよい。これによっても上記実施形態と同様の効果が期待できる。

さらに、上記実施形態では、Ｚ方向の初期位置Ｚｆを設定するために再生信号の波高値を使用したが、光ヘッド１８のフォーカスエラー信号の式が前述した（Ａ＋Ｃ）−（Ｂ＋Ｄ）であればフォーカスエラー信号の波高値を使用してもよい。この場合は、位置に対する波高値の波形が０クロスする点を初期位置Ｚｆにすればよい。これによっても上記実施形態と同様の効果が期待できる

さらに、上記実施形態では、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向におけるフォーカス位置ずれを検出するようにしたが、Ｘ，Ｙ方向における調整が本発明による調整の前に行う対物レンズの光軸とレーザ光の光軸とを合わせるための調整のみで充分である場合はＺ方向のフォーカス位置ずれのみを検出し、Ｚ方向のフォーカス位置の調整のみを行うようにしてもよい。これによれば装置の構成が簡単になるのでコストを抑えることができる。

さらに、上記実施形態では、レーザ光のフォーカス位置と相対的にテーブル２０や反射率可変物体Ｍを移動させて位置に対する波高値の波形曲線を得て、フォーカス位置ずれを検出するようにしたが、テーブル２０や反射率可変物体Ｍは固定したままにし、フォーカス位置が合ったときの波高値を予め得ておき、取得した波高値のフォーカス位置が合ったときの波高値に対する比でフォーカス位置ずれを検出するようにしてもよい。これによれば、フォーカス位置ずれの検出精度は悪いが、取得した波高値がフォーカス位置が合ったときの波高値になるまでフォーカス位置を調整すればよいので、フォーカス位置の調整精度はそれほど悪くならない。また、装置の構成も簡単になるのでコストを抑えることができる。

さらに、上記実施形態では、フォーカス位置ずれを検出するための信号を選択するようにしたが、信号は再生信号のみにし、選択しないようにしてもよい。これによれば装置の構成が簡単になるのでコストを抑えることができる。

さらに、上記実施形態では、信号の波高値をＡ／Ｄ変換器１１２でデジタルデータとして取得し、コントローラ３００に記憶させるようにしたが、信号をオシロスコープなどに入力させ、目視で波高値を検出し、検出した波高値をコンピュータ処理か手計算で処理してフォーカス位置ずれを計算するようにしてもよい。これによっても装置の構成が簡単になるのでコストを抑えることができる。このように本発明の目的を逸脱しなければ様々な変更が可能である。

以上のように、本発明によれば、複数のレーザ光のフォーカス位置のずれをコストを上げずに高精度で検出することが可能なフォーカス位置ずれ検出装置及びレーザ光のフォーカス位置調整方法を提供することができる。

本発明が適用されたレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置の全体構成を示す構成図である。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 同レーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置のコントローラが実行するプログラムのフローチャートである。 フォーカス位置ずれ検出におけるレーザ光と反射率可変物体の動きを順に示した説明図である。 レーザ光のフォーカス位置に対してレーザ光の光軸方向に反射率可変物体である相変化型光ディスクが移動したときの移動位置に対する再生信号の波高値の波形を示した説明図である。 反射率可変物体全体が反射率が変化する材料である場合の図１０に相当する説明図である。 レーザ光反射により反射率可変物体の反射率を変化させた後、レーザ光のフォーカス位置に対して反射率可変物体を移動させたときの移動位置に対する再生信号の波高値の波形を示した説明図である。 レーザ光反射により反射率可変物体の反射率を変化させた後、レーザ光のフォーカス位置に対して反射率可変物体を移動させたときの移動位置に対するフォーカスエラー信号、Ｘ方向エラー信号、Ｙ方向エラー信号の波高値の波形を示した説明図である。

符号の説明

１・・・・・フォーカス位置ずれ検出装置
１０・・・・ステージ
１２・・・・起立部材
１４・・・・取付棒
１８・・・・光ヘッド
２０・・・・テーブル
２２・・・・移動体
２４・・・・モータ
２４ａ・・・エンコーダ
２６・・・・枠体
２８・・・・移動体
３０・・・・シャフト
３２・・・・モータ
３２ａ・・・エンコーダ
３４・・・・枠体
３６・・・・基台
３８・・・・モータ
３８ａ・・・エンコーダ
１００・・・信号増幅回路
１０２・・・再生信号生成回路
１０４・・・フォーカスエラー信号生成回路
１０６・・・Ｘ方向エラー信号生成回路
１０８・・・Ｙ方向エラー信号生成回路
１１０・・・信号切替回路
１１２・・・Ａ／Ｄ変換器
１２０・・・レーザ駆動回路Ａ
１２２・・・レーザ駆動回路Ｂ
２００・・・Ｚ方向移動モータ制御回路
２０２・・・Ｚ方向位置検出回路
２１０・・・Ｘ方向移動モータ制御回路
２１２・・・Ｘ方向位置検出回路
２２０・・・Ｙ方向移動モータ制御回路
２２２・・・Ｙ方向位置検出回路
３００・・・コントローラ
３０２・・・表示装置
３０４・・・入力装置

Claims (4)

1. 光軸が略同一である複数のレーザ光を同一のレンズにより合焦させて照射するレーザ出射器と、該照射した複数のレーザ光の反射光を受光し、反射光に基づく受光信号を出力する受光素子とを有する光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置と指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出するレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置において、
   レーザ光をレンズにより合焦させて所定の強度で所定時間照射すると、レーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する材料が含まれた反射率可変物体と、
   該反射率可変物体をセットするテーブルと、
   該複数のレーザ光のフォーカス位置が該反射率可変物体と相対的に少なくとも該複数のレーザ光の光軸方向に移動するよう該テーブル又は該光ヘッドを駆動させる駆動手段と、
   該駆動手段による駆動量を検出する駆動量検出手段と、
   該光ヘッドの受光素子が出力する受光信号を用いて調整用信号を作成し、該調整用信号の波高値を取得する波高値取得手段と、
   該光ヘッドの指定したレーザ光を該反射率可変物体に該指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、該駆動手段により該指定したレーザ光のフォーカス位置を該指定したレーザ光の光軸方向に移動させると共に該波高値取得手段により該調整用信号の波高値を取得し、該波高値に基づき該指定したレーザ光が合焦する箇所を該反射率可変物体の設定した箇所にする指定レーザ光照射位置調整手段と、
   該光ヘッドの指定したレーザ光を該反射率可変物体に対し、該指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する強度で照射させ、該反射率可変物体に反射率が変化した箇所を作成する反射率変化箇所作成手段と、
   該光ヘッドの指定した以外のレーザ光を該反射率可変物体に対し、該指定した以外のレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、該駆動手段により該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を該指定した以外のレーザ光の光軸方向に移動させ、該駆動量検出手段により検出される駆動量に対応させて該波高値取得手段により該調整用信号の波高値を取得し、該取得した波高値に基づき該光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置と該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴とするレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置。
2. 前記駆動手段が、前記光ヘッドの複数のレーザ光のフォーカス位置が前記反射率可変物体と相対的に該光ヘッドの複数のレーザ光の光軸方向に対して垂直であり互いに直交する２つの方向に移動するよう前記テーブル又は該光ヘッドを駆動させる手段を含み、
   前記駆動量検出手段が、該２つの方向の駆動量を検出する手段を含み、
   前記ずれ検出手段が、該駆動手段により前記指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を該２つの方向にそれぞれ移動させ、該駆動量検出手段により検出される該２つの方向の駆動量にそれぞれ対応させて前記波高値取得手段により前記調整用信号の波高値を取得し、該取得した波高値に基づき該２つの方向における前記指定したレーザ光のフォーカス位置と該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出する手段を含むことを特徴とする請求項１記載のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置。
3. 前記光ヘッドの受光素子が分割された受光素子から構成されているとき、前記波高値取得手段が、複数の前記調整用信号を作成し、選択された該調整用信号の波高値を取得する手段であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のレーザ光のフォーカス位置ずれ検出装置。
4. 光軸が略同一である複数のレーザ光を同一のレンズにより合焦させて照射するレーザ出射器と、該照射した複数のレーザ光の反射光を受光し、反射光に基づく受光信号を出力する受光素子とを有する光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置に対し指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を一致させるよう調整するレーザ光のフォーカス位置調整方法において、
   レーザ光をレンズにより合焦させて所定の強度で所定時間照射すると、レーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する材料が含まれた反射率可変物体に対し、該光ヘッドの指定したレーザ光を該反射率可変物体に該指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、該複数のレーザ光のフォーカス位置が該反射率可変物体と相対的に少なくとも該複数のレーザ光の光軸方向に移動するよう該反射率可変物体又は該光ヘッドを駆動させる駆動手段により該指定したレーザ光のフォーカス位置を該指定したレーザ光の光軸方向に駆動させると共に、該光ヘッドの受光素子が出力する受光信号を用いて作成される調整用信号の波高値を取得し、該波高値に基づき該指定したレーザ光が合焦する箇所を該反射率可変物体の設定した箇所にする指定レーザ光照射位置調整ステップと、
   該光ヘッドの指定したレーザ光を該反射率可変物体に対し、該指定したレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する強度で照射させ、該反射率可変物体に反射率が変化した箇所を作成する反射率変化箇所作成ステップと、
   該光ヘッドの指定した以外のレーザ光を該反射率可変物体に対し、該指定した以外のレーザ光が合焦した箇所の反射率が変化しない強度で照射させ、該反射率可変物体又は該光ヘッドを駆動させる該駆動手段により該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を該指定した以外のレーザ光の光軸方向に駆動量を検出しながら移動させると共に、検出される駆動量に対応させて該光へッドの受光素子が出力する受光信号を用いて作成される調整用信号の波高値を取得し、該取得した波高値に基づいて該光ヘッドの指定したレーザ光のフォーカス位置と該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置とのずれを検出し、検出したずれがなくなるよう該指定した以外のレーザ光のフォーカス位置を調整するフォーカス位置調整ステップとからなることを特徴とするレーザ光のフォーカス位置調整方法。

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