JP4782647B2

JP4782647B2 - Fluid equipment

Info

Publication number: JP4782647B2
Application number: JP2006252882A
Authority: JP
Inventors: 善弘國立; 路生宮下; 昭市北川
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2006-09-19
Filing date: 2006-09-19
Publication date: 2011-09-28
Anticipated expiration: 2026-09-19
Also published as: JP2008075686A

Description

本発明は、半導体、液晶などの製造装置や、医療、分析機器等において使用されるバルブやポンプなどといった流体用機器に関する。 The present invention relates to a fluid device such as a valve or a pump used in manufacturing apparatuses such as semiconductors and liquid crystals, medical devices, analytical devices, and the like.

従来、半導体、液晶などの製造装置や、医療、分析機器等における薬液やガスの使用工程においては、それら薬液やガスを供給するための流体供給システムが提案されている。かかる流体供給システムにおいては、流体用機器としてバルブやポンプなどが使用されている。これらバルブやポンプは、薬液等が流入する流入ポート及びその流入した薬液等が流出する流出ポートが形成された流体通路領域がそれぞれ形成されており、バルブにおいては流体通路領域を通過する薬液等の開閉が行われ、ポンプにおいては流体通路領域を介して薬液等の吸引及び吐出が行われる。 2. Description of the Related Art Conventionally, fluid supply systems for supplying chemical solutions and gases have been proposed in processes for using chemical solutions and gases in semiconductor and liquid crystal manufacturing apparatuses, medical equipment, analytical instruments, and the like. In such a fluid supply system, valves and pumps are used as fluid devices. Each of these valves and pumps has a fluid passage area in which an inflow port into which a chemical solution or the like flows and an outflow port from which the inflowing chemical solution or the like is formed. The pump is opened and closed, and in the pump, a chemical solution or the like is sucked and discharged through the fluid passage region.

バルブについて詳細には、例えば、特許文献１のようなエアオペレイトバルブが提案されている。エアオペレイトバルブは、ボディ、シリンダ、カバーなどを有し、これらによりバルブ本体が構成されている。また、バルブ本体内には、流体通路領域が形成されており、さらにピストンロッドが挿設されている。そして、バルブ本体に圧縮空気を供給したりその供給された圧縮空気を排出したりすることでピストンロッドが作動し、流体通路領域が開閉される。 For details of the valve, for example, an air operated valve as in Patent Document 1 has been proposed. The air operated valve has a body, a cylinder, a cover, and the like, and a valve body is constituted by these. Further, a fluid passage region is formed in the valve body, and a piston rod is further inserted. Then, by supplying compressed air to the valve body or discharging the supplied compressed air, the piston rod is operated, and the fluid passage region is opened and closed.

ここで、上記流体供給システムにおいて塩酸などといった腐食性の薬液が使用されることがあり、当該腐食性の薬液が使用される場合にはバルブなどの周囲は腐食性雰囲気となる。この場合、バルブなどに使用されている金属製の部品が腐食してしまうおそれがある。特に、バルブに関して金属製のピストンロッドや、バルブ本体を構成する各ブロックを一体化させるボルトなどといった外部から視認できない部位において腐食が発生すると、その腐食の発生が外部から把握できないため腐食が大きく進行してしまうおそれがある。
特開２００６−５２８２１号公報 Here, a corrosive chemical solution such as hydrochloric acid may be used in the fluid supply system. When the corrosive chemical solution is used, the surroundings of the valve and the like become a corrosive atmosphere. In this case, there is a possibility that metal parts used for valves and the like may be corroded. In particular, if corrosion occurs in parts that cannot be seen from the outside, such as metal piston rods and bolts that integrate the blocks that make up the valve body, the corrosion can not be grasped from the outside and the corrosion progresses greatly. There is a risk of it.
JP 2006-52821 A

本発明は、薬液やガスなどの流体を供給するポンプやバルブなどといった流体用機器において、金属製部品の腐食の発生を抑制するとともに、腐食が発生した場合にはそれを容易に把握可能な流体用機器を提供することを目的とするものである。 The present invention suppresses the occurrence of corrosion of metal parts in a fluid device such as a pump or a valve that supplies a fluid such as a chemical solution or a gas, and can easily grasp the occurrence of the corrosion when the corrosion occurs. The purpose is to provide equipment.

以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて作用、効果、より踏み込んだ具体的手段等を示しつつ説明する。なお以下では、理解を容易にするため、発明の実施の形態において対応する構成を括弧書き等で適宜示すが、この括弧書き等で示した具体的構成に限定されるものではない。 Hereinafter, effective means and the like for solving the above-described problems will be described with reference to actions, effects, and more specific means as required. In the following, in order to facilitate understanding, the corresponding configuration in the embodiment of the invention is appropriately shown in parentheses, but is not limited to the specific configuration shown in parentheses.

手段１．複数のブロック（ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、取付板１４）が一体化されてなる機器本体（バルブ本体１６）と、
機器本体の内部空間に設けられ、流体が流入する流入部（流入ポート２５）及びその流体が流出する流出部（流出ポート２６）を有する流体通路領域（通路領域２３）と、
前記内部空間において仕切部材（ダイアフラム２２）により前記流体通路領域から仕切られてなり、当該仕切部材を作動させて前記流体通路領域における前記流体の流入又は流出の少なくとも一方を行わせるための作動領域（作動領域２４）とを備え、
ガスバリア性を有するとともに透明性を有するコーティング膜（コーティング膜２１）を、前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品の少なくとも一つに形成したことを特徴とする流体用機器。 Means 1. An apparatus main body (valve main body 16) in which a plurality of blocks (body 11, cylinder 12, cover 13 and mounting plate 14) are integrated;
A fluid passage region (passage region 23) provided in an internal space of the device main body and having an inflow portion (inflow port 25) into which fluid flows and an outflow portion (outflow port 26) from which the fluid flows out;
An operating region (partitioned from the fluid passage region by a partition member (diaphragm 22) in the internal space, and operating at least one of inflow or outflow of the fluid in the fluid passage region by operating the partition member. Working area 24),
A fluid device having a gas barrier property and a transparent coating film (coating film 21) formed on at least one of components constituting the device main body or attached to the device main body.

手段１によれば、仕切部材を作動させることで流体通路領域における流体の流入又は流出の少なくとも一方を行う流体用機器において、機器本体を構成する又は機器本体に取り付けられる構成部品の少なくとも一つにコーティング膜が形成されている。そして、このコーティング膜はガスバリア性を有するとともに透明性を有する。これにより、例えば、流体通路領域を通過する腐食性の薬液が揮発して腐食性ガスが発生する場合において、その腐食性ガスが所定の構成部品に接触することを抑制することができる。また、そのコーティング膜を形成した構成部品が金属製である場合においてその構成部品に腐食が発生することも想定されるが、上記のとおりコーティング膜は透明性を有するため、当該コーティング膜を除去することなく腐食の発生を目視により確認することができる。 According to the first aspect, in the fluid device that performs at least one of inflow and outflow of the fluid in the fluid passage region by operating the partition member, at least one of the components constituting the device main body or attached to the device main body A coating film is formed. The coating film has gas barrier properties and transparency. Thereby, for example, when the corrosive chemical liquid passing through the fluid passage region is volatilized and corrosive gas is generated, the corrosive gas can be prevented from coming into contact with a predetermined component. In addition, in the case where the component part on which the coating film is formed is made of metal, it is assumed that the component part is corroded. However, as described above, the coating film has transparency, so the coating film is removed. The occurrence of corrosion can be confirmed visually.

手段２．前記機器本体を構成する又は前記機器本体に取り付けられる構成部品のうち、所定の金属製部品（ボルト１５）に対して前記コーティング膜を形成するとともに、そのコーティング膜を形成した金属製部品の周囲に設けられる周囲部品（ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、取付板１４）を透明性を有する材料により形成したことを特徴とする手段１に記載の流体用機器。 Mean 2. Of the components constituting the device main body or attached to the device main body, the coating film is formed on a predetermined metal part (bolt 15) and around the metal part on which the coating film is formed. The fluid device according to the means 1, wherein the surrounding components (the body 11, the cylinder 12, the cover 13, and the mounting plate 14) to be provided are formed of a transparent material.

手段２によれば、金属製部品に対してコーティング膜が形成されていることにより、金属製部品の周囲が腐食性雰囲気となったとしても、その金属製部品に対する腐食の発生を抑制することができる。また、コーティング膜は透明性を有するとともに、コーティング膜が形成された金属製部品の周囲に設けられる周囲部品が透明性を有する材料により形成されているため、金属製部品に腐食が発生したとしてもその腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することができる。 According to the means 2, the formation of the coating film on the metal part suppresses the occurrence of corrosion on the metal part even if the surrounding of the metal part becomes a corrosive atmosphere. it can. In addition, the coating film has transparency, and the surrounding parts provided around the metal part on which the coating film is formed are made of a transparent material. The occurrence of the corrosion can be confirmed visually from the outside of the device body.

手段３．前記複数のブロックとして、前記流体通路領域を形成する第１ブロック（ボディ１１）と、前記作動領域を形成する第２ブロック（シリンダ１２）とを備え、
前記第１ブロックと前記第２ブロックとに対して挿通されることでそれら両ブロックを一体化させる金属製の締結具（ボルト１５）に対して前記コーティング膜を形成するとともに、少なくとも前記第１ブロックを透明性を有する材料により形成したことを特徴とする手段１に記載の流体用機器。 Means 3. As the plurality of blocks, a first block (body 11) that forms the fluid passage region, and a second block (cylinder 12) that forms the working region,
The coating film is formed on a metal fastener (bolt 15) that is inserted into the first block and the second block to integrate both the blocks, and at least the first block. The fluid device according to means 1, wherein the fluid device is made of a transparent material.

手段３によれば、金属製の締結具に対してコーティング膜が形成されていることにより、締結具に腐食が発生することを抑制することができる。また、締結具に腐食が発生したとしても、コーティング膜が透明性を有するとともに、締結具の周囲に設けられる第１，第２ブロックのうち少なくとも第１ブロックが透明性を有する材料により形成されているため、その腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することが可能となる。締結具は複数のブロックを一体化させる機能を有するため、締結具に腐食が発生しその腐食が放置されると、その腐食が発生した位置にて破断し第１，第２ブロックが相互に分離してしまうおそれがあり、分離してしまうと流体通路領域内にある薬液等が漏れ出してしまう。これに対して、本構成によれば、かかる不都合の発生を抑制することができる。 According to the means 3, since the coating film is formed on the metal fastener, it is possible to suppress the corrosion of the fastener. Even if corrosion occurs in the fastener, the coating film has transparency, and at least the first block of the first and second blocks provided around the fastener is formed of a transparent material. Therefore, it is possible to visually confirm the occurrence of corrosion from the outside of the device body. Since the fastener has a function of integrating a plurality of blocks, if corrosion occurs in the fastener and the corrosion is left unattended, the first and second blocks are separated from each other by breaking at the position where the corrosion has occurred. If it is separated, a chemical solution or the like in the fluid passage area leaks out. On the other hand, according to this structure, generation | occurrence | production of this inconvenience can be suppressed.

手段４．前記締結具はネジ部材であり、
前記コーティング膜を、ネジ部（雄ネジ部１５ａ）を含めた前記ネジ部材の周面全体に形成したことを特徴とする手段３に記載の流体用機器。 Means 4. The fastener is a screw member;
The fluid device according to means 3, wherein the coating film is formed on the entire peripheral surface of the screw member including the screw portion (male screw portion 15a).

手段４によれば、ネジ部を含めたいずれの位置においてもネジ部材の腐食の発生を抑制することができる。 According to the means 4, the occurrence of corrosion of the screw member can be suppressed at any position including the screw portion.

なお、ネジ部材には、ネジだけでなくボルトも含まれる。 The screw member includes not only a screw but also a bolt.

手段５．前記第１ブロックと前記第２ブロックとで前記仕切部材の周縁部を挟むとともに、前記締結具によりそれら第１，第２ブロックを締結することで、第１，第２ブロックにより前記仕切部材を挟持する構成とし、第１ブロックの内側の壁面と前記仕切部材との間に前記流体通路領域を形成したことを特徴とする手段３又は４に記載の流体用機器。 Means 5. The peripheral portion of the partition member is sandwiched between the first block and the second block, and the partition member is sandwiched by the first and second blocks by fastening the first and second blocks with the fasteners. The fluid device according to claim 3 or 4, wherein the fluid passage region is formed between the inner wall surface of the first block and the partition member.

手段５によれば、締結具により締結される第１ブロックと第２ブロックとに仕切部材が挟持されるため、仕切部材用の固定具を別途設ける構成に比べ部品点数の削減が図られる。但し、当該構成においては、流体通路領域にある薬液等が第１ブロックと第２ブロックとの間からしみ出すおそれがあり、このしみ出した薬液等により締結具が腐食するおそれがある。これに対して、上記手段３等の構成を備えていることにより、締結具に腐食が発生することを抑制することができる。また、締結具に腐食が発生したとしても、コーティング膜が透明性を有するとともに少なくとも第１ブロックが透明性を有する材料により形成されているため、その腐食の発生を機器本体の外部から目視により確認することが可能となる。 According to the means 5, since the partition member is sandwiched between the first block and the second block fastened by the fastener, the number of parts can be reduced as compared with a configuration in which a fixing member for the partition member is separately provided. However, in the said structure, there exists a possibility that the chemical | medical solution etc. in a fluid passage area | region may ooze out from between a 1st block and a 2nd block, and there exists a possibility that a fastener may corrode by this oozed chemical | medical solution. On the other hand, it can suppress that a fastener generate | occur | produces corrosion by providing the structure of the said means 3 grade | etc.,. Even if corrosion occurs in the fastener, the coating film is transparent and at least the first block is made of a transparent material, so the occurrence of corrosion is visually confirmed from the outside of the device body. It becomes possible to do.

手段６．前記コーティング膜をポリパラキシリレン又はその誘導体により形成したことを特徴とする手段１乃至５のいずれかに記載の流体用機器。 Means 6. The fluid device according to any one of means 1 to 5, wherein the coating film is formed of polyparaxylylene or a derivative thereof.

ポリパラキシリレン又はその誘導体は、ガスバリア性に優れているとともに、透明度が高い。この場合に、手段６によれば、コーティング膜がポリパラキシリレン又はその誘導体により形成されているので、上記手段１等の各効果が好適に発揮される。 Polyparaxylylene or a derivative thereof has excellent gas barrier properties and high transparency. In this case, according to the means 6, since the coating film is formed of polyparaxylylene or a derivative thereof, each effect of the means 1 and the like is suitably exhibited.

特に、上記手段４を備えた構成においてはネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜が形成されることとなるが、ポリパラキシリレン又はその誘導体はフッ素樹脂などに比べ表面が滑りづらくなっているため、ネジ部材における締結を行う機能は担保される。 In particular, in the configuration provided with the means 4, the coating film is formed on the entire peripheral surface of the screw member including the screw portion. However, the surface of polyparaxylylene or its derivative is slippery compared to fluororesin. Since it becomes difficult, the function which fastens in a screw member is ensured.

手段７．化学蒸着法により、前記コーティング膜を形成したことを特徴とする手段６に記載の流体用機器。 Mean 7 The fluid device according to means 6, wherein the coating film is formed by chemical vapor deposition.

手段７によれば、ポリパラキシリレン又はその誘導体によるコーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化を図ることができる。 According to the means 7, the coating film can be made thinner and the film thickness can be made uniform with polyparaxylylene or its derivative.

特に、上記手段４を備えた構成においてはネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜が形成されることとなるが、コーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化を図ることで、ネジ部の溝がコーティング膜により埋められてしまうことが抑制され、さらにネジ部材により各ブロックを締結する場合のトルクを安定させることが可能となる。 In particular, in the configuration provided with the above means 4, a coating film is formed on the entire peripheral surface of the screw member including the screw portion, but by reducing the thickness of the coating film and making the film thickness uniform, It is possible to suppress the groove of the screw portion from being filled with the coating film, and to stabilize the torque when the blocks are fastened by the screw member.

例えば、スプレーや浸漬によりコーティング膜を形成する場合を想定すると、コーティング膜の薄膜化及び膜厚の均一化が図れないためネジ部の溝が埋められてしまったり、締結する場合のトルクが不安定となるといった不都合が生じ得る。そうすると、コーティング膜の形成に際して、ネジ部をマスキングし当該ネジ部にコーティング膜が形成されないようにする必要が生じる。この場合、ネジ部への腐食性ガスの接触が抑制されないためネジ部において腐食が発生してしまうおそれがある。また、コーティング膜の形成に際してマスキングの作成や除去を行う必要が生じ、コーティング膜の形成作業の作業性が悪化してしまうおそれがある。これに対して、化学蒸着法によってポリパラキシリレン又はその誘導体によりコーティング膜を形成することにより、上記不都合を発生させることなく、ネジ部を含めたネジ部材の周面全体にコーティング膜を形成することができる。さらに、ポリパラキシリレン又はその誘導体によりコーティング膜を形成することにより、上記のようにコーティング膜の薄膜化を図ったとしてもピンホールが生じ難く、優れたガスバリア性は担保される。 For example, assuming that the coating film is formed by spraying or dipping, the coating film cannot be made thinner and the film thickness cannot be made uniform, so the screw groove is filled or the torque when tightening is unstable. The inconvenience of becoming may occur. Then, when forming the coating film, it is necessary to mask the screw portion so that the coating film is not formed on the screw portion. In this case, since the contact of the corrosive gas to the screw portion is not suppressed, the screw portion may be corroded. In addition, it is necessary to create or remove masking when forming the coating film, and the workability of forming the coating film may be deteriorated. On the other hand, by forming a coating film with polyparaxylylene or a derivative thereof by chemical vapor deposition, the coating film is formed on the entire peripheral surface of the screw member including the screw portion without causing the above disadvantages. be able to. Furthermore, by forming a coating film from polyparaxylylene or a derivative thereof, even if the coating film is thinned as described above, pinholes hardly occur and excellent gas barrier properties are ensured.

以下、本発明を薬液用のエアオペレイトバルブについて具体化した実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はエアオペレイトバルブ１０の平面図、図２は図１のＡ―Ａ線断面図、図３は図１のＢ−Ｂ線断面図である。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments in which the present invention is embodied with respect to an air operated valve for a chemical solution will be described below with reference to the drawings. 1 is a plan view of the air operated valve 10, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line BB in FIG.

エアオペレイトバルブ１０は、図２及び図３に示すように、ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４を有している。ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などといったフッ素樹脂により形成されている。これら各構成部品が下から取付板１４、ボディ１１、シリンダ１２、カバー１３の順に重ねられ、上下方向に延びる金属製のボルト１５によって四隅が固定されていることにより、全体として角柱状をなすバルブ本体１６が構成されている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the air operated valve 10 includes a body 11, a cylinder 12, a cover 13, and a mounting plate 14. The body 11, the cylinder 12, the cover 13, and the mounting plate 14 are formed of a fluororesin such as PFA (tetrafluoroethylene / perfluoroalkyl vinyl ether copolymer) having transparency and excellent corrosion resistance. These components are stacked from the bottom in the order of the mounting plate 14, the body 11, the cylinder 12, and the cover 13, and the four corners are fixed by metal bolts 15 extending in the vertical direction, thereby forming a valve having a prismatic shape as a whole. A main body 16 is configured.

かかる固定について詳細には、各ボルト１５にはその先端に転造加工によって雄ネジ部１５ａが形成されており、カバー１３、シリンダ１２、ボディ１１、及び取付板１４の全てを上下に貫通するようにしてカバー１３側から取付板１４に向けて挿し込まれている。カバー１３には上面側を段差状に拡径させて頭収容部１７が形成されており、ボルト１５の頭部１５ｂは当該頭収容部１７に収容されるとともに、頭部１５ｂと頭収容部１７の段差部１７ａとの間には金属製のワッシャ１８が介在している。また、ボルト１５の先端は取付板１４内にあり、取付板１４に埋設された金属製の雌ネジ部材１９に対してボルト１５の雄ネジ部１５ａが嵌合されている。つまり、各ボルト１５によってカバー１３が取付板１４に向けて抑えこまれ、この押さえ込む力によって取付板１４、ボディ１１、シリンダ１２、及びカバー１３が相互に固定されている。なお、カバー１３及び取付板１４のボルト用開口部は、内部が腐食性雰囲気となるのを抑制するため、フッ素ゴムなどにより形成されたキャップ２０によって塞がれている。 For details of such fixing, each bolt 15 is formed with a male thread portion 15a at the tip thereof by rolling, so as to penetrate all of the cover 13, the cylinder 12, the body 11, and the mounting plate 14 up and down. The cover 13 is inserted from the cover 13 side toward the mounting plate 14. A head accommodating portion 17 is formed on the cover 13 by expanding the upper surface side in a stepped shape. A head portion 15b of the bolt 15 is accommodated in the head accommodating portion 17, and the head portion 15b and the head accommodating portion 17 are formed. A metal washer 18 is interposed between the step portion 17a. The front end of the bolt 15 is in the mounting plate 14, and a male screw portion 15 a of the bolt 15 is fitted to a metal female screw member 19 embedded in the mounting plate 14. That is, the cover 13 is held toward the mounting plate 14 by the bolts 15, and the mounting plate 14, the body 11, the cylinder 12, and the cover 13 are fixed to each other by the pressing force. Note that the bolt openings of the cover 13 and the mounting plate 14 are closed by a cap 20 formed of fluororubber or the like in order to suppress the inside from becoming a corrosive atmosphere.

ここで、各ボルト１５には、図３の部分拡大図に示すように、コーティング膜２１が形成されている。詳細には、化学蒸着法（ＣＶＤ：ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって、各ボルト１５における雄ネジ部１５ａを含めた周面全体にポリパラキシリレン又はその誘導体（以下、ポリパラキシリレン系樹脂という）によるコーティング膜２１が形成されている。 Here, as shown in the partially enlarged view of FIG. 3, a coating film 21 is formed on each bolt 15. Specifically, the entire peripheral surface including the male screw portion 15a of each bolt 15 is made of polyparaxylylene or a derivative thereof (hereinafter referred to as polyparaxylylene-based resin) by a chemical vapor deposition (CVD) method. A coating film 21 is formed.

ポリパラキシリレン系樹脂には、塩素置換したものやフッ素置換したものなどがあり、いずれにおいても耐食性及びガスバリア性に優れている。また、ポリパラキシリレン系樹脂は、透明度が高い。これにより、各ボルト１５の周面全体にコーティング膜２１を形成した構成において、コーティング膜２１を除去することなく各ボルト１５の周面を視認することができる。また、上記のとおりエアオペレイトバルブ１０のバルブ本体１６を構成するボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は透明性を有するＰＦＡによって形成されている。したがって、バルブ本体１６の外部からボルト１５の周面を視認することができる。 Polyparaxylylene-based resins include those substituted with chlorine and those substituted with fluorine, all of which have excellent corrosion resistance and gas barrier properties. Further, the polyparaxylylene resin has high transparency. Thereby, in the structure which formed the coating film 21 in the whole surrounding surface of each volt | bolt 15, the surrounding surface of each volt | bolt 15 can be visually recognized without removing the coating film | membrane 21. FIG. Further, as described above, the body 11, the cylinder 12, the cover 13, and the mounting plate 14 constituting the valve body 16 of the air operated valve 10 are formed of PFA having transparency. Therefore, the peripheral surface of the bolt 15 can be visually recognized from the outside of the valve body 16.

化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂によるコーティング膜２１を形成したことにより、スプレーや浸漬でのコーティング方法に比べ、コーティング膜２１の膜厚の薄膜化（例えば、０．１〜２５μｍ）が図られているとともに、膜厚の均一化が図られている。このようにコーティング膜２１の薄膜化及び膜厚の均一化が図られていることにより、雄ネジ部１５ａのネジ溝が埋められることはなく、雌ネジ部材１９との嵌合が担保されている。また、ポリパラキシリレン系樹脂は、フッ素樹脂などに比べ表面が滑りづらくなっている。したがって、ボルト１５の雄ネジ部１５ａが雌ネジ部材１９に対して滑ってしまいボルト１５における締結を行う機能が損なわれるといった不都合が生じることはない。さらに、上記のようにコーティング膜２１を薄膜化した構成であっても、ポリパラキシリレン系樹脂はピンホールが生じ難いため、上述したガスバリア性の効果は発揮される。 By forming the coating film 21 of polyparaxylylene resin by chemical vapor deposition, the coating film 21 can be made thinner (for example, 0.1 to 25 μm) than the coating method by spraying or dipping. In addition, the film thickness is made uniform. Since the coating film 21 is thinned and the film thickness is made uniform in this way, the screw groove of the male screw portion 15a is not filled, and the fitting with the female screw member 19 is ensured. . In addition, the surface of polyparaxylylene resin is harder to slide than fluororesin. Therefore, there is no inconvenience that the male threaded portion 15a of the bolt 15 slides with respect to the female threaded member 19 and the function of fastening the bolt 15 is impaired. Furthermore, even if the coating film 21 is thinned as described above, since the polyparaxylylene resin hardly causes pinholes, the above-described gas barrier effect is exhibited.

図２に示すように、バルブ本体１６の内部には所定の空間が形成されており、その空間内にはボディ１１とシリンダ１２とにより周縁部２２ａを挟持させて弁体としてのダイアフラム２２が設けられている。このようにボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２を挟持させることにより、ダイアフラム２２用の固定具を別途設ける構成に比べ部品点数の削減が図られる。ダイアフラム２２は、耐食性の優れたＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）により形成されている。ダイアフラム２２は、バルブ本体１６内の空間を上下に仕切っており、当該ダイアフラム２２により仕切られることによってボディ１１側の空間に通路領域２３が形成され、シリンダ１２及びカバー１３側の空間に作動領域２４が形成されている。 As shown in FIG. 2, a predetermined space is formed inside the valve body 16, and a diaphragm 22 as a valve body is provided in the space by sandwiching a peripheral edge 22 a between the body 11 and the cylinder 12. It has been. By sandwiching the diaphragm 22 between the body 11 and the cylinder 12 in this way, the number of parts can be reduced as compared with a configuration in which a fixture for the diaphragm 22 is separately provided. The diaphragm 22 is made of PTFE (polytetrafluoroethylene) having excellent corrosion resistance. The diaphragm 22 divides the space in the valve body 16 into upper and lower parts, and a partition region 23 is formed in the space on the body 11 side by being partitioned by the diaphragm 22, and the operation region 24 is formed in the space on the cylinder 12 and cover 13 side. Is formed.

通路領域２３には、薬液が流入する流入ポート２５及びその流入した薬液が流出する流出ポート２６が形成されているとともに、それら各ポート２５，２６を繋ぐようにして薬液通路２７が形成されている。薬液通路２７は、ボディ１１において上方に開放させて形成されており、ダイアフラム２２の作動状態に応じて閉鎖又は開放される。 In the passage area 23, an inflow port 25 into which the chemical liquid flows in and an outflow port 26 through which the chemical liquid flows in are formed, and a chemical liquid path 27 is formed so as to connect the ports 25 and 26. . The chemical liquid passage 27 is formed to open upward in the body 11, and is closed or opened according to the operating state of the diaphragm 22.

作動領域２４はダイアフラム２２を作動させるための空間であり、シリンダ１２内を挿通するようにして樹脂材料により形成されたピストンロッド２８が設けられている。ピストンロッド２８はその下端部がダイアフラム２２の中央部に螺設されている。ピストンロッド２８が設けられていることにより、作動領域２４は、カバー１３とピストンロッド２８との間の第１作動領域３１、ピストンロッド２８とシリンダ１２との間の第２作動領域３２、及びシリンダ１２とダイアフラム２２との間の第３作動領域３３に区画されている。 The operation region 24 is a space for operating the diaphragm 22, and is provided with a piston rod 28 formed of a resin material so as to be inserted through the cylinder 12. The lower end portion of the piston rod 28 is screwed to the center portion of the diaphragm 22. Since the piston rod 28 is provided, the operation region 24 includes a first operation region 31 between the cover 13 and the piston rod 28, a second operation region 32 between the piston rod 28 and the cylinder 12, and a cylinder. It is divided into a third operating region 33 between 12 and the diaphragm 22.

第１作動領域３１においてピストンロッド２８とカバー１３との間には、付勢部材としての金属製のスプリング３４が圧縮状態で設けられている。このスプリング３４によってピストンロッド２８には常に下向きの付勢力が加えられており、かかる付勢力が加えられた初期状態ではダイアフラム２２によって薬液通路２７が閉鎖されている。 In the first operation region 31, a metal spring 34 as a biasing member is provided in a compressed state between the piston rod 28 and the cover 13. A downward urging force is always applied to the piston rod 28 by the spring 34, and the chemical liquid passage 27 is closed by the diaphragm 22 in the initial state where the urging force is applied.

また、シリンダ１２には、第２作動領域３２に作動エアを供給するため、及びその供給した作動エアを排出するための操作ポート３５が形成されている。操作ポート３５から第２作動領域３２に作動エアが供給されることにより、ピストンロッド２８に対して上向きの力が加わり、当該ピストンロッド２８は付勢力に抗して上方へ移動する。これにより、ダイアフラム２２が上方に向けて変形し、薬液通路２７が開放される。なお、カバー１３にはエアの給排ポート３６が形成されており、ピストンロッド２８の動きに応じて第１作動領域３１の容積が拡張又は縮小されることとなるが、かかる容積の変化に合わせて給排ポート３６を介してエアが出入りするようになっている。 The cylinder 12 is formed with an operation port 35 for supplying operating air to the second operating region 32 and for discharging the supplied operating air. By supplying the operating air from the operation port 35 to the second operating region 32, an upward force is applied to the piston rod 28, and the piston rod 28 moves upward against the urging force. Thereby, the diaphragm 22 is deformed upward, and the chemical liquid passage 27 is opened. Note that an air supply / discharge port 36 is formed in the cover 13, and the volume of the first operation region 31 is expanded or reduced according to the movement of the piston rod 28. Thus, air enters and exits through the supply / discharge port 36.

以上説明したエアオペレイトバルブ１０は、第２作動領域３２内に作動エアが供給されていない状態ではピストンロッド２８が初期状態にあり、薬液通路２７はダイアフラム２２によって閉鎖されている。一方、第２作動領域３２内に作動エアが供給されることによりピストンロッド２８が上方へ移動しダイアフラム２２が上方へ変形することにより、薬液通路２７が開放される。その後、供給された作動エアを排出することにより、スプリング３４の付勢力によってピストンロッド２８が初期状態に復帰し、薬液通路２７がダイアフラム２２によって閉鎖される。 In the air operated valve 10 described above, the piston rod 28 is in the initial state when the operating air is not supplied into the second operating region 32, and the chemical liquid passage 27 is closed by the diaphragm 22. On the other hand, when the working air is supplied into the second working region 32, the piston rod 28 moves upward and the diaphragm 22 is deformed upward, whereby the chemical liquid passage 27 is opened. Thereafter, the supplied working air is discharged, whereby the piston rod 28 is returned to the initial state by the urging force of the spring 34, and the chemical liquid passage 27 is closed by the diaphragm 22.

以上詳述したように、本実施の形態によれば、以下の優れた効果を有する。 As described above in detail, the present embodiment has the following excellent effects.

エアオペレイトバルブ１０の各ボルト１５に、ガスバリア性に優れたポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成した。エアオペレイトバルブ１０は、塩酸などの酸性の薬液を扱う薬液供給システムにおいて使用されることがあり、エアオペレイトバルブ１０の薬液通路２７を酸性の薬液が通過することがある。この場合に、通過する薬液と接触するボディ１１及びダイアフラム２２は、耐食性に優れたフッ素樹脂により形成されているため、それらが酸性の薬液によって腐食するといった不都合が生じることはない。但し、酸性の薬液が揮発することによって生じる腐食性ガスはボディ１１やダイアフラム２２などを透過してしまうおそれがあり、その場合、各ボルト１５の周囲が腐食性雰囲気となり、これら各ボルト１５が腐食してしまう。各ボルト１５はボディ１１やシリンダ１２などを一体化させる機能を有するため、各ボルト１５に腐食が発生しその腐食が放置されると、その腐食が発生した位置にて破断しボディ１１やシリンダ１２が分離してしまうおそれがあり、分離してしまうと薬液が漏れ出してしまう。これに対して、上記のとおり各ボルト１５に、ガスバリア性に優れたポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成したことにより、腐食性ガスが各ボルト１５に接触することが抑制され、各ボルト１５の腐食の発生を抑制することができる。 A coating film 21 was formed on each bolt 15 of the air operated valve 10 with a polyparaxylylene resin having excellent gas barrier properties. The air operated valve 10 may be used in a chemical solution supply system that handles an acidic chemical solution such as hydrochloric acid, and the acidic chemical solution may pass through the chemical solution passage 27 of the air operated valve 10. In this case, since the body 11 and the diaphragm 22 that are in contact with the passing chemical solution are formed of a fluororesin having excellent corrosion resistance, there is no inconvenience that they are corroded by the acidic chemical solution. However, the corrosive gas generated by volatilization of the acidic chemical solution may permeate the body 11, the diaphragm 22, and the like. In this case, the surroundings of the bolts 15 become a corrosive atmosphere, and the bolts 15 are corroded. Resulting in. Since each bolt 15 has a function of integrating the body 11 and the cylinder 12, etc., if the corrosion occurs in each bolt 15 and the corrosion is left unattended, the body 11 and the cylinder 12 are broken at the position where the corrosion has occurred. May be separated, and if separated, the chemical solution leaks out. On the other hand, as described above, the coating film 21 is formed on each bolt 15 with the polyparaxylylene-based resin having excellent gas barrier properties, so that the corrosive gas is suppressed from coming into contact with each bolt 15. The occurrence of corrosion of the bolt 15 can be suppressed.

特に、本エアオペレイトバルブ１０では、ボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２が挟持され、ボディ１１の内側の壁面とダイアフラム２２との間に通路領域２３が形成されているため、ボディ１１とシリンダ１２との境界から薬液や当該薬液からのガスがしみ出すおそれがある。そして、これらボディ１１とシリンダ１２との境界を跨ぐようにして各ボルト１５が設けられているため、その跨いだ部分において腐食が発生してしまうおそれがある。これに対して、上記のとおり各ボルト１５にポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成したことにより、各ボルト１５の腐食の発生を抑制することができる。 In particular, in the present air operated valve 10, the diaphragm 22 is sandwiched between the body 11 and the cylinder 12, and the passage region 23 is formed between the inner wall surface of the body 11 and the diaphragm 22. There is a risk that a chemical solution or a gas from the chemical solution may ooze out from the boundary with 12. And since each volt | bolt 15 is provided so that the boundary of these bodies 11 and the cylinders 12 may be straddled, there exists a possibility that corrosion may generate | occur | produce in the straddled part. On the other hand, since the coating film 21 of the polyparaxylylene resin is formed on each bolt 15 as described above, the occurrence of corrosion of each bolt 15 can be suppressed.

透明度の高いポリパラキシリレン系樹脂によりコーティング膜２１を形成するとともに、エアオペレイトバルブ１０のバルブ本体１６を構成するボディ１１、シリンダ１２、カバー１３、及び取付板１４は透明性を有するＰＦＡによって形成した。したがって、バルブ本体１６の外部からボルト１５の周面の全体を容易に視認することができる。これにより、エアオペレイトバルブ１０が長期に亘って使用され、ボルト１５の腐食が発生したとしても、それを容易に把握することができる。 The coating film 21 is formed of a highly transparent polyparaxylylene resin, and the body 11, the cylinder 12, the cover 13, and the mounting plate 14 constituting the valve body 16 of the air operated valve 10 are made of transparent PFA. Formed. Therefore, the entire peripheral surface of the bolt 15 can be easily visually recognized from the outside of the valve body 16. Thereby, even if the air operated valve 10 is used for a long time and the corrosion of the bolt 15 occurs, it can be easily grasped.

化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成したことにより、スプレーや浸漬でのコーティング方法に比べ、コーティング膜２１の薄膜化が図られるとともに、膜厚の均一化が図られている。ボルト１５の雄ネジ部１５ａを含めてコーティング膜２１を形成する構成において、上記のとおりコーティング膜２１の薄膜化が図られていることにより、雄ネジ部１５ａの溝が埋められることはなく雌ネジ部材１９との嵌合は担保されている。 By forming the coating film 21 of the polyparaxylylene resin by chemical vapor deposition, the coating film 21 can be made thinner and the film thickness can be made uniform compared to the coating method by spraying or dipping. Yes. In the configuration in which the coating film 21 is formed including the male screw portion 15a of the bolt 15, the thinning of the coating film 21 is achieved as described above, so that the groove of the male screw portion 15a is not filled, and the female screw The fitting with the member 19 is secured.

また、スプレーや浸漬でのコーティング方法では、雄ネジ部１５ａにおいて膜厚の薄膜化及び均一化が図れないため、ボルト１５を締める際のトルクが安定しない。したがって、スプレーや浸漬でのコーティング方法では、雄ネジ部１５ａにマスキングを施し当該雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１を形成しないようにする必要が生じる。しかしながら、この場合、雄ネジ部１５ａにおいて腐食が生じるおそれがあり、さらにマスキングを施すことはコーティング作業時において手間となる。これに対して、化学蒸着法によってポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜２１を形成することにより、上記のとおり膜厚の薄膜化及び均一化が図られ、コーティング膜２１を雄ネジ部１５ａに形成したとしてもボルト１５を締める際のトルクが安定する。 Further, in the coating method by spraying or dipping, since the thickness of the male screw portion 15a cannot be reduced and uniform, the torque at the time of tightening the bolt 15 is not stable. Therefore, in the coating method by spraying or dipping, it is necessary to mask the male screw portion 15a so that the coating film 21 is not formed on the male screw portion 15a. However, in this case, corrosion may occur in the male screw portion 15a, and further masking is troublesome during the coating operation. On the other hand, by forming the coating film 21 of polyparaxylylene resin by chemical vapor deposition, the film thickness can be reduced and uniform as described above, and the coating film 21 is formed on the male screw portion 15a. Even if it does, the torque at the time of fastening the volt | bolt 15 will be stabilized.

なお、実施の形態は上記した内容に限定されず、例えば次のように実施してもよい。 The embodiment is not limited to the above contents, and may be implemented as follows, for example.

（１）上記実施の形態では、ボルト１５に対してコーティング膜２１を形成したが、かかるボルト１５に加えて又は代えて、他の金属製部品にコーティング膜２１を形成してもよい。例えば、スプリング３４に対してコーティング膜２１を形成してもよく、ワッシャ１８や雌ネジ部材１９にコーティング膜２１を形成してもよい。また、シリンダ１２，カバー１３，取付板１４，ピストンロッド２８などが金属製のエアオペレイトバルブ１０においては、それら金属製の部品に対してコーティング膜２１を形成してもよい。また、エアオペレイトバルブ１０などといった流体用機器を設置場所に固定するための固定具に対してコーティング膜２１を形成してもよい。また、全ての金属製の部品に対してコーティング膜２１を形成することにより、エアオペレイトバルブ１０における腐食の発生を効果的に抑制することができる。 (1) Although the coating film 21 is formed on the bolt 15 in the above embodiment, the coating film 21 may be formed on another metal part in addition to or instead of the bolt 15. For example, the coating film 21 may be formed on the spring 34, and the coating film 21 may be formed on the washer 18 and the female screw member 19. In the air operated valve 10 in which the cylinder 12, the cover 13, the mounting plate 14, the piston rod 28, etc. are made of metal, a coating film 21 may be formed on these metal parts. Further, the coating film 21 may be formed on a fixture for fixing a fluid device such as the air operated valve 10 at the installation location. Further, by forming the coating film 21 on all metal parts, the occurrence of corrosion in the air operated valve 10 can be effectively suppressed.

さらに、バルブ本体１６の外側の壁面、及び通路領域２３の壁面にコーティング膜２１を形成してもよい。かかる場合、バルブ本体１６外部からバルブ本体１６の内部に腐食性ガスが透過していくことが抑制されるとともに、通路領域２３内にある薬液が揮発して腐食性ガスが発生した場合にその腐食性ガスがボルト１５側や作動領域２４側に透過していくことが抑制される。 Further, the coating film 21 may be formed on the outer wall surface of the valve body 16 and the wall surface of the passage region 23. In such a case, the corrosive gas is prevented from permeating from the outside of the valve body 16 to the inside of the valve body 16, and the chemical solution in the passage region 23 volatilizes to generate corrosive gas. It is suppressed that sex gas permeate | transmits to the volt | bolt 15 side and the operation area | region 24 side.

（２）上記実施の形態では、ボディ１１，シリンダ１２，カバー１３，及び取付板１４の全てを、透明性を有する材料により形成したが、これを変更してもよい。例えば、ボディ１１のみを透明性を有する材料により形成し、その他のシリンダ１２，カバー１３，及び取付板１４を透明性を有しない材料により形成してもよい。当該構成であっても、ボディ１１を介してボルト１５の少なくとも一部をバルブ本体１６の外部から視認することができる。特に、ボディ１１とシリンダ１２とによりダイアフラム２２が挟持され、ボディ１１の内側の壁面とダイアフラム２２との間に通路領域２３が形成された構成においては、ボディ１１とシリンダ１２との境界から薬液や当該薬液からのガスがしみ出すおそれがあり、この場合、ボルト１５におけるボディ１１を挿通している部位にて腐食が発生し易いと考えられる。これに対して、少なくともボディ１１を透明性を有する材料により形成することで、かかる部位における腐食の発生をバルブ本体１６の外部から視認することができる。 (2) In the above embodiment, all of the body 11, the cylinder 12, the cover 13, and the mounting plate 14 are formed of a transparent material, but this may be changed. For example, only the body 11 may be formed of a material having transparency, and the other cylinders 12, the cover 13, and the mounting plate 14 may be formed of a material having no transparency. Even in this configuration, at least a part of the bolt 15 can be visually recognized from the outside of the valve body 16 through the body 11. In particular, in the configuration in which the diaphragm 22 is sandwiched between the body 11 and the cylinder 12 and the passage region 23 is formed between the inner wall surface of the body 11 and the diaphragm 22, the chemical solution and the like are introduced from the boundary between the body 11 and the cylinder 12. There is a possibility that gas from the chemical solution may ooze out. In this case, it is considered that corrosion is likely to occur at a portion of the bolt 15 through which the body 11 is inserted. On the other hand, by forming at least the body 11 from a material having transparency, it is possible to visually recognize the occurrence of corrosion at the site from the outside of the valve body 16.

（３）上記実施の形態では、取付板１４に金属製の雌ネジ部材１９を埋設したが、雌ネジ部材１９を設けるのではなく取付板１４などといったバルブ本体（機器本体）に雌ネジ部を形成してもよい。金属製の雌ネジ部材１９が設けられた構成においては、当該雌ネジ部材１９によりボルト１５の雄ネジ部１５ａが覆われるため、当該雄ネジ部１５ａを外部から視認することができない。これに対して、透明性を有する材料により形成されたバルブ本体に雌ネジ部を形成することにより、雄ネジ部１５ａを外部から視認することができる。 (3) In the above embodiment, the female female screw member 19 is embedded in the mounting plate 14, but the female screw member 19 is not provided in the mounting plate 14 but the female screw portion is provided in the valve main body (device main body). It may be formed. In the configuration in which the metal female screw member 19 is provided, the male screw portion 15a of the bolt 15 is covered by the female screw member 19, and therefore the male screw portion 15a cannot be visually recognized from the outside. On the other hand, the male screw portion 15a can be visually recognized from the outside by forming the female screw portion in the valve body formed of a transparent material.

（４）上記実施の形態では、雄ネジ部１５ａを含めたボルト１５の周面全体にコーティング膜２１を形成したが、雄ネジ部１５ａにはコーティング膜２１を形成しないようにしてもよい。つまり、コーティング膜２１の形成に際して雄ネジ部１５ａにマスキングを施し当該雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１が形成されないようにする。これにより、雄ネジ部１５ａと雌ネジ部材１９との嵌合に関してコーティング膜２１の影響がなくなり、ボルト１５を締める際のトルクをより安定させることができる。 (4) In the above embodiment, the coating film 21 is formed on the entire peripheral surface of the bolt 15 including the male screw portion 15a. However, the coating film 21 may not be formed on the male screw portion 15a. That is, when the coating film 21 is formed, the male screw portion 15a is masked so that the coating film 21 is not formed on the male screw portion 15a. Thereby, the influence of the coating film 21 on the fitting between the male screw portion 15a and the female screw member 19 is eliminated, and the torque when the bolt 15 is tightened can be further stabilized.

（５）コーティング膜２１を形成する材料は、ポリパラキシリレン又はその誘導体に限定されることはなく、所定のガスバリア性を有するとともに透明性を有する材料であればよい。例えば、ＰＦＡやＰＴＦＥなどといったフッ素樹脂、透明シリコーン、ガラスなどによりコーティング膜２１を形成してもよい。ＰＦＡによりコーティング膜２１を形成する構成においては、化学蒸着法ではなくスプレーや浸漬によりコーティング膜２１が形成される。また、スプレーや浸漬によりコーティング膜２１を形成する構成においては、薄膜化及び膜厚の均一化が図れないため、雄ネジ部１５ａにコーティング膜２１が形成されないようにする必要がある。 (5) The material for forming the coating film 21 is not limited to polyparaxylylene or a derivative thereof, and may be any material that has a predetermined gas barrier property and transparency. For example, the coating film 21 may be formed of a fluororesin such as PFA or PTFE, transparent silicone, or glass. In the configuration in which the coating film 21 is formed by PFA, the coating film 21 is formed not by chemical vapor deposition but by spraying or dipping. Further, in the configuration in which the coating film 21 is formed by spraying or dipping, it is necessary to prevent the coating film 21 from being formed on the male screw portion 15a because the film thickness and the film thickness cannot be made uniform.

（６）上記実施の形態では、取付板１４を含めてバルブ本体１６を構成したが、取付板１４を除いてバルブ本体１６を構成してもよい。つまり、ボディ１１、シリンダ１２、及びカバー１３を締結具によって一体化することでバルブ本体１６を構成するとともに、当該バルブ本体に対して上記締結具とは異なる締結具によって取付板１４を一体化させる構成としてもよい。 (6) In the above embodiment, the valve main body 16 is configured including the mounting plate 14, but the valve main body 16 may be configured excluding the mounting plate 14. That is, the valve body 16 is configured by integrating the body 11, the cylinder 12, and the cover 13 with a fastener, and the mounting plate 14 is integrated with the valve body by a fastener different from the fastener. It is good also as a structure.

（７）金属製の部品に対してコーティング膜を形成する構成をベローズ式のポンプに適用した場合の変形例を図４に示す。 (7) FIG. 4 shows a modification in the case where a structure for forming a coating film on a metal part is applied to a bellows type pump.

図４のポンプ４０は、ボディ４１とカバー４２とを有している。これらボディ４１とカバー４２とは、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡなどといったフッ素樹脂により形成されており、複数のボルト４３によって固定されてポンプ本体４４が形成されている。なお、ボディ４１のみが透明性を有する合成樹脂により形成され、カバー４２は透明性を有しない他の合成樹脂により形成された構成であってもよい。ポンプ本体４４の内部空間にはベローズ式仕切部材４５が収容されており、このベローズ式仕切部材４５によってポンプ領域４６と作動領域４７とが区画形成されている。ベローズ式仕切部材４５は、軸方向に伸縮自在のベローズ４５ａと、当該ベローズ４５ａの一端部に取り付けられた仕切板４５ｂとを有している。 The pump 40 in FIG. 4 has a body 41 and a cover 42. The body 41 and the cover 42 are made of a fluororesin such as PFA having transparency and excellent corrosion resistance, and are fixed by a plurality of bolts 43 to form a pump body 44. Note that only the body 41 may be formed of a synthetic resin having transparency, and the cover 42 may be formed of another synthetic resin having no transparency. A bellows-type partition member 45 is accommodated in the internal space of the pump body 44, and a pump region 46 and an operation region 47 are partitioned by the bellows-type partition member 45. The bellows-type partition member 45 includes a bellows 45a that is extendable in the axial direction and a partition plate 45b that is attached to one end of the bellows 45a.

ポンプ領域４６には、吸引ポート４６ａと吐出ポート４６ｂとが形成されているとともに、これら各ポート４６ａ，４６ｂを連通するポンプ通路４６ｃが形成されている。吸引ポート４６ａを介してポンプ通路４６ｃに薬液が充填され、この充填された薬液は吐出ポート４６ｂから吐出される。作動領域４７には、細長円柱状に形成されたロッド４８が設けられている。ロッド４８は、ボディ４１に対して摺動可能に挿通されている。ロッド４８が設けられていることにより、作動領域４７は、ボディ４１とカバー４２との間の第１作動領域４７ａと、ボディ４１とベローズ式仕切部材４５との間の第２作動領域４７ｂに区画されている。ロッド４８は、第１作動領域４７ａと第２作動領域４７ｂとの両方に突出しており、一端がベローズ式仕切部材４５の仕切板４５ｂに連結されているとともに、他端がバネ受け部４９に連結されている。バネ受け部４９とボディ４１の外壁面との間にスプリング５０が圧縮状態で設けられている。これにより、ロッド４８は、スプリング５０の付勢力により常に図の上方へ付勢されている。また、第２作動領域４７ｂには操作ポート５１が形成されており、この操作ポート５１を介して第２作動領域４７ｂに作動エアが供給されるとともに、その供給された作動エアが排出される。 In the pump region 46, a suction port 46a and a discharge port 46b are formed, and a pump passage 46c that connects these ports 46a and 46b is formed. The chemical solution is filled into the pump passage 46c through the suction port 46a, and the filled chemical solution is discharged from the discharge port 46b. The operating region 47 is provided with a rod 48 formed in an elongated cylindrical shape. The rod 48 is slidably inserted with respect to the body 41. By providing the rod 48, the operation region 47 is divided into a first operation region 47 a between the body 41 and the cover 42 and a second operation region 47 b between the body 41 and the bellows-type partition member 45. Has been. The rod 48 protrudes in both the first operating region 47 a and the second operating region 47 b, one end is connected to the partition plate 45 b of the bellows-type partition member 45, and the other end is connected to the spring receiving portion 49. Has been. A spring 50 is provided in a compressed state between the spring receiving portion 49 and the outer wall surface of the body 41. Thereby, the rod 48 is always urged upward in the figure by the urging force of the spring 50. In addition, an operation port 51 is formed in the second operation region 47b. The operation air is supplied to the second operation region 47b via the operation port 51, and the supplied operation air is discharged.

第２作動領域４７ｂに作動エアが供給されていない状態では、スプリング５０の付勢力によりベローズ４５ａが収縮状態とされ、ポンプ通路４６ｃ内の容積が増加する。これにより、ポンプ通路４６ｃ内への薬液の充填が可能となる。また、第２作動領域４７ｂに作動エアが供給された状態では、スプリング５０の付勢力に抗してベローズ４５ａが伸張されてポンプ通路４６ｃ内の容積が減少する。これにより、ポンプ通路４６ｃ内に充填されている薬液が吐出される。 In a state where the operating air is not supplied to the second operating region 47b, the bellows 45a is contracted by the biasing force of the spring 50, and the volume in the pump passage 46c increases. Thereby, the chemical liquid can be filled into the pump passage 46c. Further, in the state where the operating air is supplied to the second operating region 47b, the bellows 45a is extended against the biasing force of the spring 50, and the volume in the pump passage 46c is reduced. Thereby, the chemical | medical solution with which the pump channel | path 46c is filled is discharged.

上記構成において、各ボルト４３には、上記実施の形態と同様に、化学蒸着法によりポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜が形成されている。これにより、ベローズ式のポンプ４０において上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。なお、コーティング膜を形成する対象は、各ボルト４３に限定されることはなく、例えば、スプリング５０にコーティング膜を形成してもよい。また、例えば、ボディ４１，カバー４２，ロッド４８などが金属製の構成においては、それら金属製の部品にコーティング膜を形成してもよい。 In the above-described configuration, a coating film of polyparaxylylene resin is formed on each bolt 43 by chemical vapor deposition as in the above embodiment. Thereby, in the bellows type pump 40, there can exist an effect similar to the said embodiment. In addition, the object which forms a coating film is not limited to each bolt 43, For example, you may form a coating film in the spring 50. FIG. For example, in the case where the body 41, the cover 42, the rod 48, etc. are made of metal, a coating film may be formed on these metal parts.

（８）金属製の部品に対してコーティング膜を形成する構成をダイアフラム式のポンプに適用した場合の変形例を図５に示す。 (8) FIG. 5 shows a modified example in which a configuration in which a coating film is formed on a metal part is applied to a diaphragm pump.

図５のポンプ６０は、第１ボディ６１、第２ボディ６２、及びカバー６３を有している。これら各ボディ６１，６２及びカバー６３は、透明性を有し耐食性に優れたＰＦＡなどといったフッ素樹脂により形成されており、複数のボルト６４によって固定されてポンプ本体６５が形成されている。なお、第１ボディ６１のみが透明性を有する合成樹脂により形成され、第２ボディ６２やカバー６３は透明性を有しない他の合成樹脂により形成された構成であってもよい。ポンプ本体６５の内部空間には第１ボディ６１と第２ボディ６２とにより周縁を挟持させてＰＴＦＥ製のダイアフラム６６が収容されており、このダイアフラム６６によってポンプ領域６７と作動領域６８とが区画形成されている。 The pump 60 in FIG. 5 includes a first body 61, a second body 62, and a cover 63. Each of the bodies 61 and 62 and the cover 63 is made of a fluororesin such as PFA having transparency and excellent corrosion resistance, and is fixed by a plurality of bolts 64 to form a pump body 65. Note that only the first body 61 may be formed of a synthetic resin having transparency, and the second body 62 and the cover 63 may be formed of another synthetic resin having no transparency. A diaphragm 66 made of PTFE is accommodated in the internal space of the pump main body 65 with the periphery between the first body 61 and the second body 62, and the pump region 67 and the operation region 68 are partitioned by the diaphragm 66. Has been.

ポンプ領域６７には、吸引ポート６７ａと吐出ポート６７ｂとが形成されているとともに、これら各ポート６７ａ，６７ｂを連通するポンプ通路６７ｃが形成されている。吸引ポート６７ａを介してポンプ通路６７ｃに薬液が充填され、この充填された薬液は吐出ポート６７ｂから吐出される。作動領域６８には、細長円柱状に形成されたロッド６９が設けられている。ロッド６９は、第２ボディ６２に対して摺動可能に挿通されている。ロッド６９が設けられていることにより、作動領域６８は、第２ボディ６２とカバー６３との間の第１作動領域６８ａと、第２ボディ６２とダイアフラム６６との間の第２作動領域６８ｂに区画されている。ロッド６９は、第１作動領域６８ａと第２作動領域６８ｂとの両方に突出しており、一端がダイアフラム６６に連結されているとともに、他端がバネ受け部７０に連結されている。第１作動領域６８ａにおいては、バネ受け部７０と第２ボディ６２の外壁面との間にスプリング７１が圧縮状態で設けられている。これにより、ロッド６９は、スプリング７１の付勢力により常に図の上方へ付勢されている。また、第２作動領域６８ｂには操作ポート７２が形成されており、この操作ポート７２を介して第２作動領域６８ｂに作動エアが供給されるとともに、その供給された作動エアが排出される。 In the pump region 67, a suction port 67a and a discharge port 67b are formed, and a pump passage 67c that connects these ports 67a and 67b is formed. The chemical solution is filled into the pump passage 67c through the suction port 67a, and the filled chemical solution is discharged from the discharge port 67b. The operating region 68 is provided with a rod 69 formed in an elongated cylindrical shape. The rod 69 is slidably inserted into the second body 62. By providing the rod 69, the operation region 68 is divided into a first operation region 68 a between the second body 62 and the cover 63 and a second operation region 68 b between the second body 62 and the diaphragm 66. It is partitioned. The rod 69 protrudes in both the first operation region 68 a and the second operation region 68 b, and one end is connected to the diaphragm 66 and the other end is connected to the spring receiving portion 70. In the first operating region 68a, the spring 71 is provided in a compressed state between the spring receiving portion 70 and the outer wall surface of the second body 62. Thereby, the rod 69 is always urged upward in the figure by the urging force of the spring 71. Further, an operation port 72 is formed in the second operation region 68b, and the operation air is supplied to the second operation region 68b via the operation port 72 and the supplied operation air is discharged.

第２作動領域６８ｂに作動エアが供給されていない状態では、スプリング７１の付勢力によりダイアフラム６６が図の上方に撓み変形し、ポンプ通路６７ｃ内の容積が増加する。これにより、ポンプ通路６７ｃ内への薬液の充填が可能となる。また、第２作動領域６８ｂに作動エアが供給された状態では、スプリング７１の付勢力に抗してダイアフラム６６が図の下方に撓み変形し、ポンプ通路６７ｃ内の容積が減少する。これにより、ポンプ通路６７ｃ内に充填されている薬液が吐出される。 In a state in which no working air is supplied to the second working region 68b, the diaphragm 66 is bent upward by the biasing force of the spring 71, and the volume in the pump passage 67c increases. Thereby, the chemical liquid can be filled into the pump passage 67c. Further, in a state where the operating air is supplied to the second operating region 68b, the diaphragm 66 is bent downward and deforms against the biasing force of the spring 71, and the volume in the pump passage 67c is reduced. Thereby, the chemical | medical solution with which the pump channel | path 67c is filled is discharged.

上記構成において、各ボルト６４には、上記実施の形態と同様に、化学蒸着法によりポリパラキシリレン系樹脂のコーティング膜が形成されている。これにより、ダイアフラム式のポンプ６０において上記実施の形態と同様の効果を奏することができる。なお、コーティング膜を形成する対象は、各ボルト６４に限定されることはなく、例えば、スプリング７１にコーティング膜を形成してもよい。また、例えば、第１ボディ６１，第２ボディ６２，カバー６３，ロッド６９などが金属製の構成においては、それら金属製の部品にコーティング膜を形成してもよい。 In the above configuration, a coating film of polyparaxylylene resin is formed on each bolt 64 by chemical vapor deposition, as in the above embodiment. Thereby, in the diaphragm type pump 60, there can exist an effect similar to the said embodiment. In addition, the object which forms a coating film is not limited to each volt | bolt 64, For example, you may form a coating film in the spring 71. FIG. For example, in the case where the first body 61, the second body 62, the cover 63, the rod 69, and the like are made of metal, a coating film may be formed on these metal parts.

（９）コーティング膜の構成及びそれに関連した構成を、上記実施の形態におけるエアオペレイトバルブ１０や上記（７），（８）のポンプ４０，６０以外の流体用機器に対して適用してもよい。例えば、手動バルブや、レギュレータ等に対して適用してもよい。また、操作ポートに対して空気以外の窒素等の気体を供給するエアオペレイトバルブやポンプなどに対して適用してもよい。また、半導体製造工程におけるフォトレジスト加工のエッチング等に用いられる腐食性ガスなどといったガス用のバルブなどに対して適用してもよい。 (9) Even if the configuration of the coating film and the configuration related thereto are applied to the fluid operated equipment other than the air operated valve 10 and the pumps 40, 60 of the above (7), (8). Good. For example, you may apply with respect to a manual valve, a regulator, etc. Further, the present invention may be applied to an air operated valve or a pump that supplies a gas such as nitrogen other than air to the operation port. Further, the present invention may be applied to a gas valve such as a corrosive gas used for etching of photoresist processing in a semiconductor manufacturing process.

エアオペレイトバルブの平面図である。It is a top view of an air operated valve. 図１のＡ―Ａ線断面図である。It is the sectional view on the AA line of FIG. 図１のＢ−Ｂ線断面図である。It is the BB sectional view taken on the line of FIG. ベローズ式のポンプの概略を示す構成図である。It is a block diagram which shows the outline of a bellows type pump. ダイアフラム式のポンプの概略を示す構成図である。It is a block diagram which shows the outline of a diaphragm type pump.

符号の説明Explanation of symbols

１０…エアオペレイトバルブ、１１…第１ブロックとしてのボディ、１２…第２ブロックとしてのシリンダ、１３…カバー、１４…取付板、１５…ネジ部材としてのボルト、１５ａ…雄ネジ部、１６…機器本体としてのバルブ本体、２１…コーティング膜、２２…仕切部材としてのダイアフラム、２３…通路領域、２４…作動領域、２５…流入部としての流入ポート、２６…流出部としての流出ポート、４０，６０…ポンプ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Air operated valve, 11 ... Body as 1st block, 12 ... Cylinder as 2nd block, 13 ... Cover, 14 ... Mounting plate, 15 ... Bolt as screw member, 15a ... Male thread part, 16 ... Valve body as device body, 21 ... coating film, 22 ... diaphragm as partition member, 23 ... passage region, 24 ... operation region, 25 ... inflow port as inflow portion, 26 ... outflow port as outflow portion, 40, 60: Pump.

Claims

複数のブロックが一体化されてなる機器本体と、
機器本体の内部空間に設けられ、流体が流入する流入部及びその流体が流出する流出部を有する流体通路領域と、
前記内部空間において仕切部材により前記流体通路領域から仕切られてなり、当該仕切部材を作動させて前記流体通路領域における前記流体の流入及び流出の少なくとも一方を行わせるための作動領域とを備え、
前記複数のブロックとして、前記流体通路領域を形成する第１ブロックと、前記作動領域を形成する第２ブロックとを備え、
ネジ溝が形成されたネジ部を有するネジ部材を、前記第１ブロック及び前記第２ブロックに対して挿通することによりこれら両ブロックを一体化させ、
ガスバリア性を有するとともに透明性を有するようにポリパラキシリレン又はその誘導体により形成されたコーティング膜を、前記ネジ溝を含めるようにして前記ネジ部材の周面に形成したことを特徴とする流体用機器。 A device body formed by integrating a plurality of blocks;
A fluid passage region provided in an internal space of the device main body and having an inflow portion into which a fluid flows and an outflow portion from which the fluid flows out;
An operating region that is partitioned from the fluid passage region by a partition member in the internal space, and that operates the partition member to perform at least one of inflow and outflow of the fluid in the fluid passage region;
As the plurality of blocks, a first block that forms the fluid passage region, and a second block that forms the working region,
By inserting a screw member having a threaded portion formed with a thread groove into the first block and the second block, these both blocks are integrated,
A coating film formed of polyparaxylylene or a derivative thereof so as to have gas barrier properties and transparency is formed on the peripheral surface of the screw member so as to include the screw groove . machine.

少なくとも前記第１ブロックを透明性を有する材料により形成したことを特徴とする請求項１に記載の流体用機器。The fluid device according to claim 1, wherein at least the first block is formed of a transparent material.

前記第１ブロックと前記第２ブロックとで前記仕切部材の周縁部を挟むとともに、前記ネジ部材によりそれら第１，第２ブロックを締結することで、第１，第２ブロックにより前記仕切部材を挟持する構成とし、第１ブロックの内側の壁面と前記仕切部材との間に前記流体通路領域を形成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の流体用機器。While sandwiching the periphery of the partition member between the first block and the second block, the first and second blocks are sandwiched by the first and second blocks by fastening the first and second blocks with the screw members. The fluid device according to claim 1, wherein the fluid passage region is formed between the inner wall surface of the first block and the partition member.

化学蒸着法により、前記コーティング膜を形成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１に記載の流体用機器。The fluidic device according to any one of claims 1 to 3, wherein the coating film is formed by chemical vapor deposition.