JP4778444B2 - 半導体装置及びその製造方法、配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ並びに電子機器 - Google Patents
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-
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-
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-
- H—ELECTRICITY
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0271—Arrangements for reducing stress or warp in rigid printed circuit boards, e.g. caused by loads, vibrations or differences in thermal expansion
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/02—Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
- H05K2201/0203—Fillers and particles
- H05K2201/0206—Materials
- H05K2201/0212—Resin particles
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/244—Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
2;LSIチップ
2a;能動面
3;端子パッド
4;パッシベーション膜
4a;開口部
5;複合バリアメタル層
6;金属母相
7;低弾性率粒子
12;密着強化層
14;脱離防止層
17;複合バリアメタル層
18、20;低弾性率粒子プア層
19;低弾性率粒子リッチ層
21、26、27、28、29;配線基板
22;配線基板本体
22a;搭載面
23;端子パッド
24;ソルダーレジスト
24a;開口部
31、36、38、39、40、41、42、43;半導体パッケージ
32;配線基板
33;バリアメタル層
34;半田バンプ
37;金属間化合物層
44;コアボール
45;半田層
46;半田ボール
47;半田ペースト
101;テープ
102;金属パッド
103;配線基板
104;金属パッド
105;半田ボール
106;球体
107;密着金属殻
108;半田金属殻
109;半田ペースト
110;樹脂ボール
111;半田
112;耐熱性樹脂粉末
113;フレックス接合材
121;電子部品
122;サブ基板
123;電極
124;バンプ
125;フリップチップ
126;バンド
127;スルーホール
128;導電性樹脂層
129;金属めっき層
130;半田バンプ
131;電子部品
132;電極
133;導電バンプ
134;ゴム状弾性樹脂
135;導電フィラー
141;半導体チップ
142;半田バンプ
143;ポスト
144;応力緩衝材
145;電極パッド
146;封止樹脂
151;Siウエハ
152;絶縁層
153;樹脂製突部
154;Alパッド
155;導電層
156;ポスト
157;半田バンプ
158;封止樹脂層
159;溝
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る半導体装置1においては、半導体チップとしてのLSI(Large Scale Integrated circuit:大規模集積回路)チップ2が設けられている。LSIチップ2はシリコンチップの表面にLSIが形成されたものであり、その能動面2aには例えばアルミニウム(Al)からなる端子パッド3が形成されている。また、LSIチップ2の能動面2a上にはパッシベーション膜4が設けられており、パッシベーション膜4における端子パッド3の直上域には、開口部4aが形成されている。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法の実施形態である。図1に示すように、先ず、シリコンウエハの表面にLSI(図示せず)を形成し、その能動面にAlからなる端子パッド3を形成する。次に、このシリコンウエハの能動面上にパッシベーション膜4を形成する。そして、パッシベーション膜4における端子パッド3の直上域に開口部4aを形成し、端子パッド3を露出させる。次に、ジンケート処理を施し、端子パッド3の表面を亜鉛(Zn)で被覆する。次に、このシリコンウエハを、シリコーン樹脂を含有させ界面活性剤を添加した無電解NiPめっき液中に浸漬する。これにより、パッシベーション膜4の開口部4a内、即ち端子パッド3上にNiP層が堆積するが、このときNiP層内にシリコーン樹脂が取り込まれ、NiPからなる金属母相6とシリコーン樹脂からなる低弾性率粒子7とが複合共析する。これにより、複合バリアメタル層5が形成される。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。図2は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図2に示すように、本実施形態に係る半導体装置11においては、前述の第1の実施形態に係る半導体装置1(図1参照)と比較して、端子パッド3と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法の実施形態である。図2に示すように、本実施形態においては、ジンケート処理の後に、シリコンウエハを、低弾性率粒子を含まない無電解NiPめっき浴に浸漬し、NiP層を例えば0.1μm以上、例えば0.5μmの厚さに形成することにより、密着強化層12を形成する。この密着強化層12の厚さは、めっき時間及びめっき温度等の条件により任意に制御することができる。その後、前述の第2の実施形態と同様な方法により、複合バリアメタル層5を形成する。本実施形態における上記以外の構成及び効果は、前述の第2の実施形態と同様である。
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。図3は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図であり、図4は、脱離防止層が設けられていない半導体装置を示す一部拡大断面図であり、図5は、本実施形態に係る半導体装置を示す一部拡大断面図である。図3に示すように、本実施形態に係る半導体装置13においては、前述の第1の実施形態に係る半導体装置1(図1参照)と比較して、複合バリアメタル層5の表面上に、低弾性率粒子7の脱落を防止する脱離防止層14が設けられている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、本発明の第6の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の第5の実施形態に係る半導体装置の製造方法の実施形態である。図3に示すように、本実施形態においては、複合バリアメタル層5を形成した後に、シリコンウエハを、低弾性率粒子を含まない無電解NiPめっき浴に浸漬させ、NiP層を例えば2μmの厚さに形成することにより、NiPからなる脱離防止層14を形成する。この脱離防止層14の厚さはめっき時間及びめっき温度等の条件により、任意に制御することができる。本実施形態における上記以外の構成及び効果は、前述の第2の実施形態と同様である。
次に、本発明の第7の実施形態について説明する。図6は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図6に示すように、本実施形態は、前述の第3の実施形態と第5の実施形態とを組み合わせた実施形態である。即ち、本実施形態に係る半導体装置15においては、端子パッド3と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられており、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る半導体装置15の製造方法は、前述の第4及び第6の実施形態を組み合わせた方法である。即ち、3つの無電解NiPめっき浴にシリコンウエハを順次浸漬することにより、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14を順次形成する。
次に、本発明の第8の実施形態について説明する。図7は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図7に示すように、本実施形態に係る半導体装置16の構成は、前述の第7の実施形態に係る半導体装置15の構成と類似しているが、密着強化層12と複合バリアメタル層5との界面、及び複合バリアメタル層5と脱離防止層14との界面が明瞭になっていない点が異なっている。即ち、本実施形態においては、前述の第7の実施形態における密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14からなる積層膜の替わりに、複合バリアメタル層17が設けられており、この複合バリアメタル層17においては、端子パッド3側から順に、低弾性率粒子プア層18、低弾性率粒子リッチ層19、低弾性率粒子プア層20が積層されている。但し、各層間に明確な境界は存在しない。そして、低弾性率粒子7の含有率が、低弾性率粒子プア層18内では低く、低弾性率粒子プア層18から低弾性率粒子リッチ層19に向かうにつれて増加し、低弾性率粒子リッチ層19において略一定の最大値となり、低弾性率粒子リッチ層19から低弾性率粒子プア層20に向かうにつれて減少し、低弾性率粒子プア層20内にでは再び低くなっている。即ち、複合バリアメタル層17における低弾性率粒子7の含有率は複合バリアメタル層17の膜厚方向に沿って連続的に変化しており、複合バリアメタル層17の下層部(低弾性率粒子プア層18)及び上層部(低弾性率粒子プア層20)における低弾性率粒子7の含有率は、前記下層部と上層部との間の中間部(低弾性率粒子リッチ層19)における低弾性率粒子7の含有率よりも低くなっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、本発明の第9の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の第8の実施形態に係る半導体装置の製造方法の実施形態である。図7に示すように、端子パッド3の表面にジンケート処理を施した後、シリコンウエハを、シリコーン樹脂を含有させ界面活性剤を添加した無電解NiPめっき液中に浸漬する。このとき、前述の第7の実施形態においては、3つの無電解NiPめっき浴にシリコンウエハを順次浸漬し、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14を順次形成するが、本実施形態においては1つの無電解NiPめっき浴にシリコンウエハを浸漬し、複合バリアメタル層17の成膜中に成膜条件を変化させることにより、1つの無電解NiPめっき浴中において、低弾性率粒子プア層18、低弾性率粒子リッチ層19及び低弾性率粒子プア層20がこの順に積層された複合バリアメタル層17を形成する。
次に、本発明の第10の実施形態について説明する。図8は、本実施形態に係る配線基板を示す断面図である。本実施形態は配線基板に複合バリアメタル層を形成した実施形態である。図8に示すように、本実施形態に係る配線基板21においては、例えば樹脂からなる配線基板本体22が設けられており、この配線基板本体22における半導体装置の搭載面22aに、例えばAlからなる端子パッド23が形成されている。また、配線基板本体22の搭載面22a上には、ソルダーレジスト24が設けられており、ソルダーレジスト24における端子パッド23の直上域には、開口部24aが形成されている。端子パッド23上、即ち開口部24a内には、複合バリアメタル層5が設けられている。複合バリアメタル層5の構成は、前述の第1の実施形態における複合バリアメタル層5と同じである。
次に、本発明の第11の実施形態について説明する。本実施形態は、前述の第10の実施形態に係る配線基板の製造方法の実施形態である。図8に示すように、先ず、例えば樹脂からなる配線基板本体22を用意し、必要な配線等を形成した後、その半導体装置搭載面22aに、Alからなる端子パッド23を形成する。次に、この配線基板本体22の搭載面22a上にソルダーレジスト24を形成する。そして、ソルダーレジスト24における端子パッド23の直上域に開口部24aを形成し、端子パッド23を露出させる。
次に、本発明の第12の実施形態について説明する。図9は、本実施形態に係る配線基板を示す断面図である。図9に示すように、本実施形態に係る配線基板26は、前述の第10の実施形態に係る配線基板21(図8参照)と比較して、端子パッド23と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられている点が異なっている。密着強化層12の構成は、前述の第3の実施形態における密着強化層12(図2参照)と同様である。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第10の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る配線基板26の製造方法は、前述の第11の実施形態に示す配線基板の製造方法に対して、前述の第4の実施形態に示す密着強化層12の形成方法を付加したものである。本実施形態の効果は、前述の第10の実施形態の効果に、前述の第3の実施形態の効果を付加したものである。
次に、本発明の第13の実施形態について説明する。図10は、本実施形態に係る配線基板を示す断面図である。図10に示すように、本実施形態に係る配線基板27は、前述の第10の実施形態に係る配線基板21(図8参照)と比較して、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられている点が異なっている。脱離防止層14の構成は、前述の第5の実施形態における脱離防止層14(図3参照)と同様である。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第10の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る配線基板27の製造方法は、前述の第11の実施形態に示す配線基板の製造方法に対して、前述の第6の実施形態に示す脱離防止層14の形成方法を付加したものである。本実施形態の効果は、前述の第10の実施形態の効果に、前述の第5の実施形態の効果を付加したものである。
次に、本発明の第14の実施形態について説明する。図11は、本実施形態に係る配線基板を示す断面図である。図11に示すように、本実施形態に係る配線基板28は、前述の第10の実施形態に係る配線基板21(図8参照)と比較して、端子パッド23と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられており、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられている点が異なっている。密着強化層12の構成は、前述の第3の実施形態における密着強化層12(図2参照)と同様であり、脱離防止層14の構成は、前述の第5の実施形態における脱離防止層14(図3参照)と同様である。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第10の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る配線基板28の製造方法は、前述の第11の実施形態に示す配線基板の製造方法に対して、前述の第4の実施形態に示す密着強化層12の形成方法及び前述の第6の実施形態に示す脱離防止層14の形成方法を付加したものである。本実施形態の効果は、前述の第10の実施形態の効果に、前述の第3及び第5の実施形態の効果を付加したものである。
次に、本発明の第15の実施形態について説明する。図12は、本実施形態に係る配線基板を示す断面図である。図12に示すように、本実施形態に係る配線基板29は、前述の第14の実施形態に係る配線基板28(図11参照)と比較して、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14からなる積層膜の替わりに、複合バリアメタル層17が設けられている点が異なっている。複合バリアメタル層17の構成は、前述の第8の実施形態における複合バリアメタル層17(図7参照)と同様である。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第10の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る配線基板29の製造方法は、前述の第11の実施形態に示す配線基板の製造方法において、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14からなる積層膜を形成する替わりに、前述の第9の実施形態に示す方法によって、複合バリアメタル層17を形成するものである。本実施形態の効果は、前述の第10の実施形態の効果に、前述の第8の実施形態の効果を付加したものである。
次に、本発明の第16の実施形態について説明する。図13は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図13に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ31においては、前述の第1の実施形態に係る半導体装置1が設けられており、この半導体装置1が、配線基板32に実装されている。なお、半導体装置1の構成は、前述の第1の実施形態において説明したとおりである。
次に、本発明の第17の実施形態について説明する。図14は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図14に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ36は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、複合バリアメタル層5の表面に金属間化合物層37が形成されており、この金属間化合物層37内にも低弾性率粒子7が含有されている点が異なっている。金属間化合物層37は、複合バリアメタル層5の金属母相6を形成するNiPと、半田バンプ34を形成する半田とが合金化して形成されたものである。
次に、本発明の第18の実施形態について説明する。図15は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図15に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ38は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、半導体装置として前述の第3の実施形態に係る半導体装置11(図2参照)、即ち、端子パッド3と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられた半導体装置を設けている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第16の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る半導体パッケージ38は、前述の第16の実施形態の製造方法に対して、前述の第4の実施形態における密着強化層12の形成工程を付加することにより製造することができる。本実施形態における効果は、前述の第3の実施形態と同様である。
次に、本発明の第19の実施形態について説明する。図16は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図16に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ39は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、半導体装置として前述の第5の実施形態に係る半導体装置13(図3参照)、即ち、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられた半導体装置を設けている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第16の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る半導体パッケージ39は、前述の第16の実施形態の製造方法に対して、前述の第6の実施形態における脱離防止層14の形成工程を付加することにより製造することができる。本実施形態における効果は、前述の第5の実施形態と同様である。
次に、本発明の第20の実施形態について説明する。図17は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図17に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ40は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、半導体装置として前述の第7の実施形態に係る半導体装置15(図6参照)、即ち、端子パッド3と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられ、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられた半導体装置を設けている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第16の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る半導体パッケージ40は、前述の第16の実施形態の製造方法に対して、前述の第4の実施形態における密着強化層12の形成工程、及び前述の第6の実施形態における脱離防止層14の形成工程を付加することにより製造することができる。本実施形態における効果は、前述の第7の実施形態と同様である。
次に、本発明の第21の実施形態について説明する。図18は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図18に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ41は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、半導体装置として前述の第8の実施形態に係る半導体装置16(図7参照)、即ち、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14の替わりに、低弾性率粒子7の含有率を膜厚方向において連続的に異ならせた複合バリアメタル層17を備えた半導体装置を設けている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第16の実施形態と同様である。また、本実施形態に係る半導体パッケージ41は、前述の第16の実施形態の製造方法に対して、密着強化層12、複合バリアメタル層5及び脱離防止層14の形成工程の替わりに、前述の第9の実施形態における複合バリアメタル層17の形成工程を実施することにより製造することができる。本実施形態における効果は、前述の第8の実施形態と同様である。
次に、本発明の第22の実施形態について説明する。図19は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図19に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ42は、前述の第16の実施形態に係る半導体パッケージ31と比較して、半導体装置として前述の第7の実施形態に係る半導体装置15(図6参照)、即ち、端子パッド3と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられ、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられた半導体装置を設け、配線基板として前述の第14の実施形態に係る配線基板28(図11参照)、即ち、端子パッド23と複合バリアメタル層5との間に密着強化層12が設けられ、複合バリアメタル層5上に脱離防止層14が設けられた配線基板が設けられている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第16の実施形態と同様である。
次に、本発明の第23の実施形態について説明する。図20は、本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面図である。図20に示すように、本実施形態に係る半導体パッケージ43は、前述の第22の実施形態に係る半導体パッケージ42と比較して、半田バンプ34内に、樹脂製のコアボール44の表面を半田層45で被覆した半田ボール46が設けられており、半田バンプ34を形成する半田ペースト47内にも、低弾性率粒子7が分散されている点が異なっている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第22の実施形態と同様である。
次に、本発明の第24の実施形態について説明する。本実施形態に係る電子機器は、前述の第1、3、5、7、8の実施形態に係る半導体装置、前述の第10、12乃至15の実施形態に係る配線基板、及び前述の第16乃至23の実施形態に係る半導体パッケージのうち、いずれかを備えた電子機器である。本実施形態に係る電子機器は、例えば、携帯電話、ノートパソコン、デスクトップパソコン、液晶デバイス、インターポーザー又はモジュールである。本実施形態によれば、熱応力緩和性及び耐落下衝撃性が優れ信頼性が高い電子機器を得ることができる。
Claims (31)
- 表面に端子パッドが設けられた半導体チップと、前記端子パッド上に設けられたバリアメタル層と、を有し、前記バリアメタル層が、導電性材料からなる母相と、この母相中に分散され前記母相よりも弾性率が低い材料からなる複数の低弾性率粒子と、を有することを特徴とする半導体装置。
- 前記端子パッドと前記バリアメタル層との間に設けられ導電性材料からなる密着強化層を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記密着強化層が前記母相を形成する導電性材料と同じ材料により形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記バリアメタル層上に設けられ導電性材料からなる脱離防止層を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記脱離防止層が前記母相を形成する導電性材料と同じ材料により形成されていることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記バリアメタル層における前記低弾性率粒子の含有率が前記バリアメタル層の膜厚方向において連続的に変化しており、前記バリアメタル層の下層部及び上層部における前記低弾性率粒子の含有率が、前記下層部と前記上層部との間の中間部における前記低弾性率粒子の含有率よりも低くなっていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記母相を形成する導電性材料が、Ni、Cu、Fe、Co、Pdからなる群から選択された1種の金属又は1種以上の金属を含む合金であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記母相を形成する導電性材料がNiPであることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記低弾性率粒子が、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、ニトリル樹脂及びウレタン樹脂からなる群から選択された1種又は2種以上の樹脂により形成されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 表面に端子パッドが設けられた配線基板本体と、前記端子パッド上に設けられたバリアメタル層と、を有し、前記バリアメタル層が、導電性材料からなる母相と、この母相中に分散され前記母相よりも弾性率が低い材料からなる複数の低弾性率粒子と、を有することを特徴とする配線基板。
- 前記端子パッドと前記バリアメタル層との間に設けられ導電性材料からなる密着強化層を有することを特徴とする請求項10に記載の配線基板。
- 前記密着強化層が前記母相を形成する導電性材料と同じ材料により形成されていることを特徴とする請求項11に記載の配線基板。
- 前記バリアメタル層上に設けられ導電性材料からなる脱離防止層を有することを特徴とする請求項10に記載の配線基板。
- 前記脱離防止層が前記母相を形成する導電性材料と同じ材料により形成されていることを特徴とする請求項13に記載の配線基板。
- 前記バリアメタル層における前記低弾性率粒子の含有率が前記バリアメタル層の膜厚方向において連続的に変化しており、前記バリアメタル層の下層部及び上層部における前記低弾性率粒子の含有率が、前記下層部と前記上層部との間の中間部における前記低弾性率粒子の含有率よりも低くなっていることを特徴とする請求項10に記載の配線基板。
- 前記母相を形成する導電性材料が、Ni、Cu、Fe、Co、Pdからなる群から選択された1種の金属又は1種以上の金属を含む合金であることを特徴とする請求項10乃至15のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記母相を形成する導電性材料がNiPであることを特徴とする請求項16に記載の配線基板。
- 前記低弾性率粒子が、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、アクリル樹脂、ニトリル樹脂及びウレタン樹脂からなる群から選択された1種又は2種以上の樹脂により形成されていることを特徴とする請求項10乃至17のいずれか1項に記載の配線基板。
- 配線基板と、この配線基板に実装された半導体装置と、前記半導体装置の端子パッドを前記配線基板の端子パッドに接続する半田バンプと、を有し、前記半導体装置が、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置であることを特徴とする半導体パッケージ。
- 配線基板と、この配線基板に実装された半導体装置と、前記半導体装置の端子パッドを前記配線基板の端子パッドに接続する半田バンプと、を有し、前記配線基板が、請求項10乃至18のいずれか1項に記載の配線基板であることを特徴とする半導体パッケージ。
- 配線基板と、この配線基板に実装された半導体装置と、前記半導体装置の端子パッドを前記配線基板の端子パッドに接続する半田バンプと、を有し、前記半導体装置が、請求項1乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置であり、前記配線基板が、請求項10乃至18のいずれか1項に記載の配線基板であることを特徴とする半導体パッケージ。
- 前記バリアメタル層と前記半田バンプとの間に、前記母相を形成する導電性材料と前記半田バンプを形成する半田とが合金化して形成された金属間化合物層が形成されており、前記金属間化合物層中にも前記低弾性率粒子が分散されていることを特徴とする請求項19乃至21のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 前記半田バンプ中に配置された樹脂部材を有することを特徴とする請求項19乃至22のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
- 請求項19乃至23のいずれか1項に記載の半導体パッケージを有することを特徴とする電子機器。
- 携帯電話、ノートパソコン、デスクトップパソコン、液晶デバイス、インターポーザー又はモジュールであることを特徴とする請求項24に記載の電子機器。
- 半導体ウエハの表面に形成された端子パッドに、低弾性率粒子を含有しためっき液によりめっきを施すことにより、導電性材料からなる母相中に前記母相よりも弾性率が低い材料からなる複数の低弾性率粒子が分散されたバリアメタル層を形成する工程と、前記半導体ウエハをダイシングして複数の半導体チップに切り分ける工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル層を形成する工程において、1つのめっき浴中に前記半導体ウエハを浸漬し、前記バリアメタル層の堆積中に前記めっき浴の温度、pH又は撹拌条件を変化させることにより、前記バリアメタル層における前記低弾性率粒子の含有率を前記バリアメタル層の膜厚方向において連続的に変化させ、前記バリアメタル層の下層部及び上層部における前記低弾性率粒子の含有率を、前記下層部と前記上層部との間の中間部における前記低弾性率粒子の含有率よりも低くすることを特徴とする請求項26に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル層を形成する工程が、前記めっき浴の温度を第1の温度として前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、前記めっき浴の温度を前記第1の温度からこの第1の温度よりも高い第2の温度に変化させて前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、前記めっき浴の温度を前記第2の温度からこの第2の温度よりも低い第3の温度に変化させて前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、を有することを特徴とする請求項27に記載の半導体装置の製造方法。
- 配線基板本体の表面に形成された端子パッドに、低弾性率粒子を含有しためっき液によりめっきを施すことにより、導電性材料からなる母相中に前記母相よりも弾性率が低い材料からなる複数の低弾性率粒子が分散されたバリアメタル層を形成する工程を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記バリアメタル層を形成する工程において、1つのめっき浴中に前記配線基板本体を浸漬し、前記バリアメタル層の堆積中に前記めっき浴の温度、pH又は撹拌条件を変化させることにより、前記バリアメタル層における前記低弾性率粒子の含有率を前記バリアメタル層の膜厚方向において連続的に変化させ、前記バリアメタル層の下層部及び上層部における前記低弾性率粒子の含有率を、前記下層部と前記上層部との間の中間部における前記低弾性率粒子の含有率よりも低くすることを特徴とする請求項29に記載の配線基板の製造方法。
- 前記バリアメタル層を形成する工程が、前記めっき浴の温度を第1の温度として前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、前記めっき浴の温度を前記第1の温度からこの第1の温度よりも高い第2の温度に変化させて前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、前記めっき浴の温度を前記第2の温度からこの第2の温度よりも低い第3の温度に変化させて前記バリアメタル層の堆積を行う工程と、を有することを特徴とする請求項30に記載の配線基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006547877A JP4778444B2 (ja) | 2004-11-25 | 2005-11-25 | 半導体装置及びその製造方法、配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ並びに電子機器 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004341002 | 2004-11-25 | ||
JP2004341002 | 2004-11-25 | ||
PCT/JP2005/021729 WO2006057360A1 (ja) | 2004-11-25 | 2005-11-25 | 半導体装置及びその製造方法、配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ並びに電子機器 |
JP2006547877A JP4778444B2 (ja) | 2004-11-25 | 2005-11-25 | 半導体装置及びその製造方法、配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ並びに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006057360A1 JPWO2006057360A1 (ja) | 2008-06-05 |
JP4778444B2 true JP4778444B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=36498093
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006547877A Expired - Fee Related JP4778444B2 (ja) | 2004-11-25 | 2005-11-25 | 半導体装置及びその製造方法、配線基板及びその製造方法、半導体パッケージ並びに電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20080001288A1 (ja) |
JP (1) | JP4778444B2 (ja) |
CN (1) | CN100468674C (ja) |
WO (1) | WO2006057360A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102005044510B4 (de) * | 2005-09-16 | 2011-03-17 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauteil mit Vorderseitenmetallisierung sowie Verfahren zu dessen Herstellung und Leistungsdiode |
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TWI484610B (zh) * | 2012-07-09 | 2015-05-11 | 矽品精密工業股份有限公司 | 半導體結構之製法與導電凸塊 |
TWI621132B (zh) * | 2015-12-10 | 2018-04-11 | 南茂科技股份有限公司 | 凸塊結構與其製作方法 |
CN107644930B (zh) * | 2016-07-20 | 2019-12-27 | 深圳市瑞丰光电子股份有限公司 | Led支架及具有其的led器件、led灯具 |
KR20180093464A (ko) * | 2017-02-13 | 2018-08-22 | 삼성전기주식회사 | 공통 모드 필터 |
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JP7197933B2 (ja) * | 2021-05-27 | 2022-12-28 | 石原ケミカル株式会社 | アンダーバリアメタルとソルダー層とを含む構造体 |
JP2023048283A (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-07 | Tdk株式会社 | 金属端子付き電子部品 |
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---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-11-25 JP JP2006547877A patent/JP4778444B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-11-25 US US11/720,066 patent/US20080001288A1/en not_active Abandoned
- 2005-11-25 WO PCT/JP2005/021729 patent/WO2006057360A1/ja active Application Filing
- 2005-11-25 CN CNB2005800403675A patent/CN100468674C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-08-23 US US13/216,118 patent/US20110304029A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2006057360A1 (ja) | 2008-06-05 |
US20110304029A1 (en) | 2011-12-15 |
CN100468674C (zh) | 2009-03-11 |
WO2006057360A1 (ja) | 2006-06-01 |
CN101076884A (zh) | 2007-11-21 |
US20080001288A1 (en) | 2008-01-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080609 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110701 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |