JP4775802B2 - ひずみゲージの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の製造方法によれば、ポリイミドフィルムからなるゲージベースと、該ゲージベースの一方の表面に形成された薄膜状のひずみ受感部とを備えるひずみゲージにおいて、該ゲージベースの該ひずみ受感部と同一表面上に、該ひずみ受感部と一体的に連設されたひずみ検知用延長リード部と、該ひずみ受感部が設置される部分の温度を検知する薄膜状の温度検知手段と、該温度検知手段と一体的に連設された温度検知用延長リード部とを備え、該ひずみ検知用延長リード及び該温度検知用延長リードは該ひずみ受感部が設置される部分の外部でひずみ検知用ゲージリード及び温度検知用ゲージリードに接続可能な長さを備えるひずみゲージを製造することができる。
〔第1の態様〕
まず、本実施形態の第1の態様のひずみゲージ1aについて説明する。図1及び図2に示すように、本実施形態の第1の態様のひずみゲージ1aは、ポリイミドフィルムからなるゲージベース2と、ゲージベース2の一方の表面に形成された薄膜状のひずみ受感部3と、ゲージベース2のひずみ受感部3と同一表面上に、ひずみ受感部3と一体的に連設されたひずみ検知用延長リード部4とを備え、ひずみ受感部3及びひずみ検知用延長リード部4は、ラミネートフィルム5によって被覆されている。ひずみゲージ1aにおいて、ひずみ受感部3は櫛歯形状部3a,3bが互いに入り組んだ構造を備えている。
〔第2の態様〕
次に、本実施形態の第2の態様のひずみゲージ1cについて説明する。図5及び図6に示すように、本実施形態の第2の態様のひずみゲージ1cは、ポリイミドフィルムからなるゲージベース2と、ゲージベース2の一方の表面に形成されたひずみ受感部3及びひずみ検知用延長リード部4と、温度検知手段21と、温度検知手段21と一体的に連設された温度検知用延長リード部22とを備え、ひずみ受感部3、ひずみ検知用延長リード部4、温度検知手段21、温度検知用延長リード部22は、ラミネートフィルム5によって被覆されている。
Claims (1)
- 支持体上にポリイミド樹脂溶液を塗布してポリイミド樹脂溶液層を形成する工程と、
該ポリイミド樹脂溶液層上に、ひずみ受感部と該ひずみ受感部に連設されるひずみ検知用延長リード部とを形成する第1の金属箔と、該ひずみ受感部が設置される部分の温度を検知する温度検知手段と温度検知用延長リード部とを形成する第2の金属箔とを、該ポリイミド樹脂溶液層の中央で互いに接するように接着する工程と、
該ポリイミド樹脂溶液層を硬化させてポリイミドフィルムを形成する工程と、
両金属箔をエッチングして該ひずみ受感部及び該ひずみ検知用延長リード部と、温度検知手段及び温度検知用延長リード部とを同時に形成する工程と、
該ポリイミドフィルムから該支持体を剥離する工程と、を備えることを特徴とするひずみゲージの製造方法。
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