JP4770449B2 - 光導波路型デバイス、温度計測装置および温度計測方法 - Google Patents
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- 基板上に第1光導波路,第2光導波路,第3光導波路および第4光導波路が形成され、
前記第1光導波路と前記第2光導波路とが第1光カプラおよび第2光カプラそれぞれにおいて光結合されて第1のマッハツェンダ干渉計を構成し、
前記第1光カプラと前記第2光カプラとの間において前記第2光導波路の一部区間(長さL2)のコアの屈折率の温度依存性が前記第2光導波路の他の光導波路部分と異なり、
前記第3光導波路と前記第4光導波路とが第3光カプラおよび第4光カプラそれぞれにおいて光結合されて第2のマッハツェンダ干渉計を構成し、
前記第3光カプラと前記第4光カプラとの間において前記第4光導波路の一部区間(長さL4、ただし、L2≠L4)のコアの屈折率の温度依存性が前記第4光導波路の他の光導波路部分と異なり、
前記第2光導波路の前記一部区間および前記第4光導波路の前記一部区間それぞれのコアが同一の液体からなり、
前記第2光導波路の前記一部区間および前記第4光導波路の前記一部区間それぞれにおいて、コア部分に液体を注入出する為の少なくとも2つの注入出孔が、コアからオーバークラッドを貫通して上面まで設けられている、
ことを特徴とする光導波路型デバイス。 - 前記第2光導波路の前記一部区間および前記第4光導波路の前記一部区間それぞれにおいて、オーバークラッド上の各々の注入出孔の開口部の周囲に液溜まりが設けられている、ことを特徴とする請求項1記載の光導波路型デバイス。
- 請求項1または2に記載の光導波路型デバイスと、
光を出力する光源部と、
前記光源部から出力された光を前記光導波路型デバイスの前記第1光導波路および前記第2光導波路の何れか一方の一端に入射させるとともに、前記光源部から出力された光を前記光導波路型デバイスの前記第3光導波路および前記第4光導波路の何れか一方の一端に入射させる入射光学系と、
前記光導波路型デバイスの前記第1光導波路,前記第2光導波路,前記第3光導波路および前記第4光導波路それぞれの他端から出射される光のパワーを検出する検出部と、
前記光導波路型デバイスの前記第1光導波路,前記第2光導波路,前記第3光導波路および前記第4光導波路それぞれの他端から前記検出部へ光を導く出射光学系と、
前記検出部による検出結果に基づいて前記光導波路型デバイスの温度を求める解析部と、
を備えることを特徴とする温度計測装置。 - 前記入射光学系および前記出射光学系それぞれが、前記光導波路型デバイスに対して光を入出射する光ファイバを含む、ことを特徴とする請求項3記載の温度計測装置。
- 請求項1または2に記載の光導波路型デバイスを用い、
前記第1光導波路および前記第2光導波路の何れか一方の一端に光を入射させて、前記第1マッハツェンダ干渉計を経て前記第1光導波路の他端から出射する光のパワーP1を検出するとともに、前記第1マッハツェンダ干渉計を経て前記第2光導波路の他端から出射する光のパワーP2を検出し、
前記第3光導波路および前記第4光導波路の何れか一方の一端に光を入射させて、前記第2マッハツェンダ干渉計を経て前記第3光導波路の他端から出射する光のパワーP3を検出するとともに、前記第2マッハツェンダ干渉計を経て前記第4光導波路の他端から出射する光のパワーP4を検出し、
これら4つの光パワーP1〜P4に基づいて前記光導波路型デバイスの温度を計測する、
ことを特徴とする温度計測方法。 - 光ファイバを用いて前記光導波路型デバイスに対して光を入出射することを特徴とする請求項5記載の温度計測方法。
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