JP4767605B2 - ハース機構及び成膜装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明によるハース機構を備える成膜装置の第1実施形態の構成を示す側面断面図である。本実施形態の成膜装置1は、いわゆるイオンプレーティング装置である。なお、図1には、説明を容易にする為にXYZ直交座標系も示されている。
次に、本発明によるハース機構の第2実施形態について説明する。図9は、本実施形態によるハース機構2aの構成を示す側面断面図である。本実施形態のハース機構2aが上記第1実施形態のハース機構2と相違する点は、材料保管部12及び材料移送機構15(図2参照)を備えていないこと、及びハース搭載テーブル22a上の複数のハース部材211〜214がそれぞれ固形成膜材料Ma1〜Ma4を予め導入し、保持していることである。
Claims (10)
- 上下方向に貫通しており固形成膜材料を導入するための導入孔を有するハース部材を、成膜装置の真空容器内の材料保持位置に供給するハース機構であって、
前記真空容器内に設けられ、前記ハース部材を搭載可能であって、前記ハース部材を前記材料保持位置の下方へ移動可能なハース搭載部と、
前記材料保持位置の下方において上下方向に移動可能に設けられ、前記ハース搭載部上に搭載された前記ハース部材を前記材料保持位置へ押し上げるハース押上げ部材と、
前記材料保持位置の下方において上下方向に移動可能に設けられ、前記固形成膜材料を押し上げる材料押上げ部材と
を備えることを特徴とする、ハース機構。 - 前記ハース搭載部が、上下方向に貫通する貫通孔を有し、
前記ハース押上げ部材が、前記ハース搭載部の前記貫通孔を通って前記ハース部材を押し上げることを特徴とする、請求項1に記載のハース機構。 - 前記ハース搭載部が、前記貫通孔の内径が上端へ向けて拡大されてなり前記ハース部材を位置決めするハース受け部を更に有することを特徴とする、請求項2に記載のハース機構。
- 前記ハース搭載部が、前記ハース部材とは別のハース部材を更に搭載可能であり、各ハース部材を前記材料保持位置の下方へ順次移動可能であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のハース機構。
- 前記ハース押上げ部材が上下方向に延びた筒状をしており、
前記材料押上げ部材が上下方向に延びた形状をしており、
前記材料押上げ部材が前記ハース押上げ部材の内側に配置されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のハース機構。 - 前記ハース部材が、前記導入孔の内径が下端へ向けて拡大されてなる受け口を有し、
前記ハース押上げ部材の上端が、前記ハース部材の前記受け口と嵌合可能であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のハース機構。 - 前記ハース部材が、前記導入孔内に前記固形成膜材料を導入した状態で前記ハース搭載部上に搭載されることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載のハース機構。
- 前記ハース搭載部が、前記ハース部材とは別のハース部材を更に搭載可能であり、各ハース部材を前記材料保持位置の下方へ順次移動可能であるとともに、
前記別のハース部材が、前記ハース部材に導入された前記固形成膜材料とは異なる固形成膜材料を導入孔内に導入した状態で前記ハース搭載部上に搭載されることを特徴とする、請求項7に記載のハース機構。 - 固形成膜材料を被処理物に付着させることにより成膜を行う成膜装置であって、
真空容器内において前記固形成膜材料を保持する請求項1〜6のいずれか一項に記載のハース機構と、
真空容器内に設けられ、前記固形成膜材料を保管する材料保管部と、
前記固形成膜材料を前記材料保管部から前記材料保持位置の下方に移送する材料移送機構と
を備えることを特徴とする、成膜装置。 - 前記ハース押上げ部材が、上下方向に延びる筒状であるとともに、前記固形成膜材料を内側へ受け入れるための開口を側壁に有しており、
前記材料押上げ部材が、上下方向に延びた形状であり前記ハース押上げ部材の内側に配置されることを特徴とする、請求項9に記載の成膜装置。
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