JP4760906B2 - 液中物質検出方法及び液中物質検出センサ - Google Patents
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Description
2a〜2m…センシング用発振回路
3a〜3n…リファレンス用発振回路
4a,4m…センシング用SAW素子
5a,5n…第1の増幅用素子
6a,6m…リファレンス用SAW素子
7a,7n…第2の増幅用素子
8…圧電基板
9…IDT
10…反応膜
11…圧電基板
12…IDT
13…発振回路装置
14…制御装置
15…周波数カウンタ
16…記録手段
Claims (8)
- IDTと、該IDTを覆うように形成されており、かつ液体中の物質と反応する反応膜とを有するセンシング部が設けられているセンシング用SAW素子と、該センシング用SAW素子に接続されている第1の増幅用素子とを含むセンシング用発振回路と、
IDTを有し、該IDTを覆う反応膜が形成されていないリファレンス用SAW素子と、該リファレンス用SAW素子に接続されている第2の増幅用素子とを含むリファレンス用発振回路と、
前記センシング用発振回路及び前記リファレンス用発振回路の発振回路出力を記録する記録手段とを備える液中物質検出センサを用いた液中物質検出方法であって、
前記センシング用発振回路がm個(mは2以上の整数)、前記リファレンス用発振回路がn個(nは2以上の整数)が備えられており、
前記m個のセンシング用発振回路の出力周波数fs1〜fsm及び前記n個のリファレンス用発振回路の出力周波数fr1〜frnを記録する第1のステップと、
前記m個のセンシング用発振回路の出力周波数(fs1〜fsm)及びn個のリファレンス用発振回路の出力周波数(fr1〜frn)の周波数ドリフト(ppm/分)を計測する第2のステップと、
前記第2のステップで計測された周波数ドリフトが所定の範囲内である場合に、前記センシング用発振回路及びリファレンス用発振回路が合格であり、周波数ドリフトが前記所定の範囲外である場合に不合格であると判断する第3のステップと、
前記第3のステップで合格と判断されたセンシング用発振回路及びリファレンス用発振回路から所望とする特性に近い少なくとも1つのセンシング用発振回路及び少なくとも1つのリファレンス用発振回路をそれぞれ選択する第4のステップと、
前記液中物質検出センサに、検出対象物質を含む液体を接触させて、第4のステップで選択されたセンシング用発振回路の出力周波数と、リファレンス用発振回路の出力周波数とを比較し、検出対象物質を検出する第5のステップとを備えることを特徴とする、液中物質検出方法。 - 前記第3のステップで不合格であると判断された後に、不合格と判断されたセンシング用発振回路及びリファレンス用発振回路を以降のステップにおいて用いないことを特徴とする、請求項1に記載の液中物質検出方法。
- 前記第3のステップにおいて、前記周波数ドリフトの所定の範囲が−10ppm/分より大きく、0ppm/分未満の範囲である、請求項1または2に記載の液中物質検出方法。
- 前記第3のステップにおいて、前記センシング用発振回路及びリファレンス用発振回路は、それぞれ、周波数ドリフトの値が小さい順から少なくとも1つのセンシング用発振回路及びリファレンス用発振回路が選択される、請求項3に記載の液中物質検出方法。
- 前記第5のステップにおいて、前記リファレンス用発振回路の出力周波数の平均値と、前記センシング用発振回路の出力周波数の平均値と、検出対象物質による前記センシング用発振回路の出力変化とを用いて、検出対象物質が検出される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の液中物質検出方法。
- 前記第3のステップ及び前記第4のステップにより、m個のセンシング用発振回路及びn個のリファレンス用発振回路の中から、それぞれ、もっとも周波数ドリフトが小さいセンシング用発振回路及びリファレンス用発振回路をそれぞれ1つずつ選択する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の液中物質検出方法。
- 前記第4のステップと前記第5のステップとの間において、選択されたセンシング用発振回路の出力周波数をセンシング周波数fsとし、選択されたリファレンス用発振回路の出力周波数をリファレンス周波数frとしたときに、周波数差fd=fs−frを演算する第6のステップと、
前記周波数差fdが所定の範囲内である場合に、センシング感度が良であり、周波数差fdが該所定の範囲外である場合にセンシング感度が不良であると判断する第7のステップとをさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の液中物質検出方法。 - 前記第7のステップにおいて、前記周波数差fdの前記所定の範囲が、−5(ppm/分)<fd<5(ppm/分)である、請求項7に記載の液中物質検出方法。
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