JP4758432B2 - Work storage device - Google Patents

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Description

本発明は、ガラス基板等のワークを収納カセットに収納するワーク収納装置に関するものである。   The present invention relates to a work storage device that stores a work such as a glass substrate in a storage cassette.

薄型ディスプレイの製造に使用されるガラス基板等の方形板状のワークは、収納カセット内に多段に収納される。そして、ワークの処理時には収納カセットから移載装置によりワークが一枚ずつ取り出されて処理装置等へ搬送され、また、処理済みのワークは移載装置により再び収納カセットへ搬入される。このような設備では、収納カセットと移載装置間でワークの受渡しを行なう装置が必要となる。   A rectangular plate-like workpiece such as a glass substrate used for manufacturing a thin display is stored in multiple stages in a storage cassette. When processing the workpieces, the workpieces are taken out one by one from the storage cassette by the transfer device and conveyed to the processing device or the like, and the processed workpieces are again carried into the storage cassette by the transfer device. In such facilities, a device for transferring workpieces between the storage cassette and the transfer device is required.

この種の装置として、例えば、特開２００５−７５６４３号公報には収納カセットの下方にエア噴出装置とローラコンベアとを配設し、収納カセットの下段側から順次ワークを収納カセット外へ搬出する装置が開示されている。この装置では収納カセットを降下し、エア噴出装置からエアを噴出することで、収納カセット内のワークを各段の載置部から浮遊させ、ワークの端縁を押圧してその位置決めが行なわれる。ワークの位置決めの後、エア噴出装置が降下することでワークがローラコンベア上に載置され、ローラコンベアによりワークが収納カセット外へ搬出される。   As an apparatus of this type, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-75643, an air ejection device and a roller conveyor are disposed below the storage cassette, and the work is sequentially carried out of the storage cassette from the lower side of the storage cassette. Is disclosed. In this apparatus, the storage cassette is lowered and air is ejected from the air ejection device, so that the work in the storage cassette is floated from the mounting portion of each stage, and the edge of the work is pressed and positioned. After the positioning of the workpiece, the air ejection device descends so that the workpiece is placed on the roller conveyor, and the workpiece is carried out of the storage cassette by the roller conveyor.

しかし、浮遊状態のワークは不安定な状態であるため、ワークに外力が作用するとワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。例えば、特開２００５−７５６４３号公報に記載の装置のようにワークが浮遊状態でその位置決めを行なおうとすると、位置決め装置によりワークの端縁が押圧された時にワークが滑るようにして周囲の部材に衝突し、ワークを損傷する虞がある。また、特開２００５−７５６４３号公報には記載されていないが、浮遊状態にあるワークの端部を移載装置が保持して収納カセット外へ排出する構成を採用した場合においても、移載装置がワークの端部を保持する際に、ワークの滑りが生じる虞がある。   However, since the floating workpiece is in an unstable state, when an external force is applied to the workpiece, the workpiece may slide and collide with surrounding members to damage the workpiece. For example, if the workpiece is to be positioned in a floating state as in the device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-75643, the workpiece is slid when the edge of the workpiece is pressed by the positioning device. May cause damage to the workpiece. Also, although not described in Japanese Patent Laid-Open No. 2005-75643, the transfer device can be used even when a configuration is adopted in which the transfer device holds and discharges the end of the floating workpiece out of the storage cassette. However, there is a possibility that the workpiece slips when holding the end portion of the workpiece.

そこで、本発明の目的は、ワークをエアにより浮遊状態とする際、ワークをより安定して浮遊させることにある。   Accordingly, an object of the present invention is to more stably float a workpiece when the workpiece is floated by air.

本発明によれば、エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、前記エア噴出手段の前記上面から突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設け、前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着パッドであり、前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とするワーク収納装置が提供される。 According to the present invention, has a top surface of the air jets is horizontal which is plurally formed, the air ejected from said ejection port, air to float on the top surface of the rectangular plate-shaped workpiece in horizontal posture formation and ejection means, multiple stages are formed in the vertical direction, a plurality of mounting portion in which the workpiece is placed in a horizontal position with said air ejection means has an opening capable of passing, the carry-out port of the workpiece A storage cassette disposed above the air ejection means, and the storage cassette and the air ejection means relative to each other. Lifting and lowering means that moves up and down in the vertical direction, the air jetting means is caused to enter the storage cassette by the lifting and lowering operation by the lifting means, and the work ejected from the storage cassette to the outside is moved by the air jetting means. In the work storage device to float from portion, said protruding from the upper surface of the air ejection means, abutting the pad on the underside of the workpiece in a floating state, the pad, the work in the floating state by suction of air There is provided a work storage device that is further provided with a moving pad for moving the suction pad in the unloading direction of the work.

このワーク収納装置では前記パッドが浮遊状態にあるワークの急激な移動に抵抗する。従って、浮遊状態にあるワークに対して外力が作用しても、ワークの滑りを低減し、ワークをより安定して浮遊させることができる。また、前記吸着パッドによりワークが支持されるので、ワークの滑りをより一層低減し、ワークをより安定して浮遊させることができる。更に、前記移動手段による前記吸着パッドの移動により、ワークを前記収納カセットから一定量搬出することができ、移載装置へのワークの受渡しが円滑に行なえる。 In this work storage device, the pad resists rapid movement of the work in a floating state. Therefore, even when an external force is applied to the workpiece in the floating state, the workpiece slip can be reduced and the workpiece can be floated more stably. In addition, since the workpiece is supported by the suction pad, it is possible to further reduce the slip of the workpiece and to float the workpiece more stably. Furthermore, a certain amount of work can be carried out from the storage cassette by moving the suction pad by the moving means, so that the work can be delivered smoothly to the transfer device.

本発明においては、前記吸着パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けることもできる。ワークが搬出される際、前記パッドを降下させることでワークの下面にパッドが擦れてワークを傷付けることを防止できる。 In the present invention, it is possible to further provide pad lifting / lowering means for lifting / lowering the suction pad between a protruding position protruding from the upper surface of the air ejection means and a non-projecting position. When the work is carried out, the pad can be lowered to prevent the pad from rubbing against the lower surface of the work and damaging the work.

また、本発明においては、前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けることもできる。ワークをより安定して一定量搬出することができる。   In the present invention, an auxiliary roller that protrudes from the upper surface of the air ejection unit and contacts the lower surface of the workpiece that moves as the suction pad is moved by the moving unit may be further provided. A certain amount of work can be carried out more stably.

また、本発明においては、前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、更に、前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することもできる。前記吸着パッドと前記補助ローラとがワークの搬出方向に離間して設けられることで、ワークを更に安定して一定量搬出することができる。また、前記吸着パッドと前記補助ローラとを同期的に昇降することで、前記補助ローラを必要な時にのみ、前記突出位置へ位置させることができる。   Further, in the present invention, the suction pad and the auxiliary roller are provided apart from each other in the work unloading direction, and further, the suction pad is disposed at a protruding position that protrudes from the upper surface of the air ejection means. A suction pad lifting and lowering means that lifts and lowers between a protruding position; and an auxiliary roller lifting and lowering means that lifts and lowers the auxiliary roller between a protruding position that protrudes from the upper surface of the air ejection means and a non-projecting position. The suction pad and the auxiliary roller can be moved up and down synchronously. By providing the suction pad and the auxiliary roller so as to be separated from each other in the work unloading direction, the work can be unloaded more stably. In addition, by moving the suction pad and the auxiliary roller up and down synchronously, the auxiliary roller can be positioned at the protruding position only when necessary.

また、本発明においては、浮遊状態にある前記ワークの端縁を水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えることが望ましい。本発明では前記パッドを設けたことにより、ワークの端縁を押圧してもワークの滑りを低減し、ワークを損傷することなくその位置決めが行なえる。 In the present invention, it is desirable that the edge of the workpiece which is in a floating state by pressing the horizontal direction comprises a positioning means for positioning the workpiece. In the present invention, by providing the pad, even if the edge of the workpiece is pressed, the slip of the workpiece is reduced, and the workpiece can be positioned without damaging the workpiece.

本発明のその他の特徴及び利点は、添付図面を参照とした以下の説明により明らかになるであろう。なお、添付図面においては、同じ若しくは同様の構成には、同じ参照番号を付す。   Other features and advantages of the present invention will become apparent from the following description with reference to the accompanying drawings. In the accompanying drawings, the same or similar components are denoted by the same reference numerals.

添付図面は明細書に含まれ、その一部を構成し、本発明の実施の形態を示し、その記述と共に本発明の原理を説明するために用いられる。
本発明の一実施形態に係るワーク収納装置Ａを用いた、ワーク処理設備１００のレイアイトを示す平面図である。 移載装置Ｃの外観斜視図である。 ワーク収納装置Ａの外観斜視図である。 収納カセット２０の外観斜視図である。 １段分の載置部を示す図である。 昇降装置３０の外観斜視図である。 昇降ユニット３１の分解斜視図である。 エア噴出装置１０の外観斜視図である。 図９は位置決め装置４０の外観斜視図である。 ワーク収納装置Ａの制御部５０の構成を示すブロック図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 ワーク収納装置Ａの動作説明図である。 収納カセット２０’の外観斜視図である。 搬入出口２４側の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。 搬入出口２４側の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。 The accompanying drawings are included in the specification, constitute a part thereof, show an embodiment of the present invention, and are used to explain the principle of the present invention together with the description.
It is a top view which shows the layout of the workpiece processing equipment 100 using the workpiece | work storage apparatus A which concerns on one Embodiment of this invention. 2 is an external perspective view of a transfer device C. FIG. 2 is an external perspective view of a work storage device A. FIG. 2 is an external perspective view of a storage cassette 20. FIG. It is a figure which shows the mounting part for 1 step | paragraph. 2 is an external perspective view of the lifting device 30. FIG. 4 is an exploded perspective view of the lifting unit 31. FIG. 1 is an external perspective view of an air ejection device 10. FIG. FIG. 9 is an external perspective view of the positioning device 40. It is a block diagram which shows the structure of the control part 50 of the workpiece | work storage apparatus A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. FIG. 10 is an operation explanatory diagram of the work storage device A. It is an external appearance perspective view of storage cassette 20 '. It is an expanded sectional view near the comb teeth 26a on the carry-in / out port 24 side. It is an expanded sectional view near the comb teeth 26a on the carry-in / out port 24 side.

以下、本発明を適用した基板搬出入装置の実施の形態を図を参照して説明する。   Embodiments of a substrate carry-in / out apparatus to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.

＜設備の全体構成＞
図１は本発明の一実施形態に係るワーク収納装置Ａを用いた、ワーク処理設備１００のレイアイトを示す平面図である。なお、各図においてＸ、Ｙは相互に直交する水平方向、Ｚは鉛直方向を示す。ワーク処理設備１００はワークとして方形板状のガラス基板を処理する設備であって、ワーク収納装置Ａと、処理装置Ｂと、移載装置Ｃと、を備える。<Overall configuration of equipment>
FIG. 1 is a plan view showing a layout of a work processing facility 100 using a work storage device A according to an embodiment of the present invention. In each figure, X and Y indicate horizontal directions orthogonal to each other, and Z indicates a vertical direction. The workpiece processing facility 100 is a facility for processing a rectangular plate-shaped glass substrate as a workpiece, and includes a workpiece storage device A, a processing device B, and a transfer device C.

移載装置ＣはＹ方向に延びるレール１上を移動可能である。また、移載装置Ｃは、図１において矢印で示すように、ワーク収納装置Ａ及び処理装置Ｂに対してＸ方向にガラス基板を搬入出可能である。図１では複数の処理装置Ｂが図示されているが、各処理装置Ｂの処理内容は異なる内容としてもよいし、同じ内容であってもよい。係る構成からなるワーク処理設備１００では、未処理のガラス基板がワーク収納装置Ａから移載装置Ｃを介して処理装置Ｂへ搬送され、また、処理済のガラス基板が処理装置Ｂから移載装置Ｃを介してワーク収納装置Ａへ戻されることになる。   The transfer device C is movable on the rail 1 extending in the Y direction. Moreover, the transfer apparatus C can carry in and out a glass substrate to the X direction with respect to the workpiece | work storage apparatus A and the processing apparatus B, as shown by the arrow in FIG. Although a plurality of processing apparatuses B are illustrated in FIG. 1, the processing contents of each processing apparatus B may be different contents or the same contents. In the workpiece processing equipment 100 having such a configuration, an unprocessed glass substrate is transferred from the workpiece storage device A to the processing device B via the transfer device C, and a processed glass substrate is transferred from the processing device B to the transfer device. It is returned to the work storage device A via C.

＜移載装置Ｃの構成＞
図２は本実施形態における移載装置Ｃの外観斜視図である。図２に示す移載装置Ｃは一例であり、ワーク収納装置Ａと共に用いられる移載装置Ｃとしては種々のものが採用可能である。移載装置Ｃは、支持テーブル２と、支持テーブル２の左右の側部にそれぞれ設けられた一対のリニアガイド３と、リニアガイド３に沿って移動する一対のハンドユニット４と、支持テーブル２を支持すると共に移載装置Ｃ全体をレール１に沿ってＹ方向に往復移動させる走行ユニット５と、を備える。<Configuration of transfer device C>
FIG. 2 is an external perspective view of the transfer device C in the present embodiment. The transfer device C shown in FIG. 2 is an example, and various devices can be used as the transfer device C used together with the work storage device A. The transfer device C includes a support table 2, a pair of linear guides 3 provided on the left and right sides of the support table 2, a pair of hand units 4 that move along the linear guide 3, and the support table 2. And a traveling unit 5 that supports and reciprocates the entire transfer device C along the rail 1 in the Y direction.

支持テーブル２の上面には、エアの噴出を行なう複数の噴出口２ａが形成されており、不図示のエア供給装置（例えばコンプレッサ）から供給されるエアーを噴出する。リニアガイド３はリニアモータ形式でハンドユニット４をＸ方向に往復移動させる。ハンドユニット４は、その先端部の上面にエアの吸引口４ａが形成されており、不図示のエア吸引装置（例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。走行ユニット５は移載装置Ｃ全体をレール１に沿って移動させる駆動輪５ａ並びに当該駆動輪を回転させるモータ等の駆動手段を備える。   The upper surface of the support table 2 is formed with a plurality of jet outlets 2a for jetting air, and jets air supplied from an air supply device (not shown) (for example, a compressor). The linear guide 3 reciprocates the hand unit 4 in the X direction in the form of a linear motor. The hand unit 4 has an air suction port 4a formed on the top surface of the tip, and sucks air by an air suction device (not shown) (for example, a compressor). The traveling unit 5 includes driving wheels 5a that move the entire transfer device C along the rails 1 and driving means such as a motor that rotates the driving wheels.

係る構成からなる移載装置Ｃの動作について説明する。まず、ワーク収納装置Ａからガラス基板を受け取り、処理装置Ｂへ搬送する場合には、走行ユニット５により移載装置Ｃをワーク収納装置Ａと向かい合う位置に移動する。続いてハンドユニット４を＋Ｘ方向の端部に移動させ、吸引口４ａからエアを吸引し、ワーク収納装置Ａに収納されたガラス基板の端部を保持する。次に噴出口２ａからエアを噴出させ、ガラス基板を保持したハンドユニット４を−Ｘ方向に移動し、支持テーブル２上にガラス基板を移動させる。噴出口２ａからのエアの噴出により、ガラス基板は支持テーブル２上で浮遊状態にある。   The operation of the transfer apparatus C having such a configuration will be described. First, when a glass substrate is received from the work storage device A and transported to the processing device B, the transfer unit C is moved to a position facing the work storage device A by the traveling unit 5. Subsequently, the hand unit 4 is moved to the end in the + X direction, air is sucked from the suction port 4a, and the end of the glass substrate stored in the work storage device A is held. Next, air is ejected from the ejection port 2 a, the hand unit 4 holding the glass substrate is moved in the −X direction, and the glass substrate is moved onto the support table 2. The glass substrate is in a floating state on the support table 2 by the ejection of air from the ejection port 2a.

次に、走行ユニット５により移載装置Ｃをガラス基板の搬送先の処理装置Ｂと向かい合う位置に移動する。続いてハンドユニット４を＋Ｘ方向の端部に再び移動させ、ガラス基板を処理装置Ｂへ受け渡す。そして、噴出口２ａからのエアの噴出、吸引口４ａからのエアの吸引を停止し、一単位の処理が終了する。処理装置Ｂからガラス基板を受け取り、ワーク収納装置Ａへ搬送する場合にはこの逆の手順となる。   Next, the transfer unit C is moved by the traveling unit 5 to a position facing the processing apparatus B that is the transport destination of the glass substrate. Subsequently, the hand unit 4 is moved again to the end in the + X direction, and the glass substrate is transferred to the processing apparatus B. Then, the ejection of air from the ejection port 2a and the suction of air from the suction port 4a are stopped, and one unit of processing is completed. When a glass substrate is received from the processing apparatus B and conveyed to the work storage apparatus A, the reverse procedure is performed.

＜ワーク収納装置Ａの構成＞
図３はワーク収納装置Ａの外観斜視図である。ワーク収納装置Ａは、エア噴出装置１０と、エア噴出装置１０の上方に配設される収納カセット２０と、昇降装置３０と、位置決め装置４０と、を備える。<Configuration of work storage device A>
FIG. 3 is an external perspective view of the work storage device A. FIG. The workpiece storage device A includes an air ejection device 10, a storage cassette 20 disposed above the air ejection device 10, an elevating device 30, and a positioning device 40.

＜収納カセット＞
図４は収納カセット２０の外観斜視図である。収納カセット２０はガラス基板を上下方向（Ｚ方向）に多段に収納可能なカセットである。なお、図３及び図４はガラス基板が未収納の状態を示している。本実施形態の場合、収納カセット２０は複数の柱部材２１ａ、２１ｂと、梁部材２２ａ乃至２２ｇと、により略直方体形状のフレーム体をなしている。<Storage cassette>
FIG. 4 is an external perspective view of the storage cassette 20. The storage cassette 20 is a cassette capable of storing glass substrates in multiple stages in the vertical direction (Z direction). 3 and 4 show a state in which the glass substrate is not accommodated. In the case of this embodiment, the storage cassette 20 forms a substantially rectangular parallelepiped frame body by a plurality of column members 21a and 21b and beam members 22a to 22g.

柱部材２１ｂは、Ｘ方向に複数配設されると共に、Ｙ方向に離間して同数配設され、Ｙ方向の各柱部材２１ｂ間及び各柱部材２１ａ間には上下方向（Ｚ方向）に所定のピッチで複数のワイヤ２３が張設されている。このワイヤ２３によりガラス基板が略水平姿勢で載置される載置部が上下方向に複数段形成される。図５は１段分の載置部を示す図である。各段の載置部は、同じ高さにてＸ方向に離間して複数配設されたワイヤ２３により形成され、ガラス基板Ｗはワイヤ２３上に載置される。各ワイヤ２３間と、Ｘ方向両端のワイヤ２３の外方とは、それぞれ後述するエア噴出装置１０が通過可能な開口部２３ａを形成する。本実施形態では載置部をワイヤにより形成したが、他の方式ももちろん採用可能である。但し、ワイヤの使用により、収納される基板間の間隔を小さくすることができ、収納カセット２００の収納効率を高めることができる。   A plurality of column members 21b are arranged in the X direction, and are arranged in the same number apart in the Y direction. The column members 21b are arranged in the vertical direction (Z direction) between the column members 21b in the Y direction and between the column members 21a. A plurality of wires 23 are stretched at a pitch of. The wire 23 forms a plurality of stages in the vertical direction on which the glass substrate is placed in a substantially horizontal posture. FIG. 5 is a diagram showing the placement unit for one stage. Each stage mounting portion is formed by a plurality of wires 23 spaced apart in the X direction at the same height, and the glass substrate W is placed on the wires 23. Between each wire 23 and the outside of the wire 23 at both ends in the X direction form an opening 23a through which an air ejection device 10 to be described later can pass. In the present embodiment, the mounting portion is formed of a wire, but other methods can of course be employed. However, by using the wire, the interval between the substrates to be stored can be reduced, and the storage efficiency of the storage cassette 200 can be increased.

図４に戻り、収納カセット２０の互いに対向するＸ方向の両側部は、それぞれ張り部材２２ａと柱部材２１ａとにより門型に開放しており、−Ｘ方向の側部はガラス基板の搬入出口２４を形成している。収納カセット２０の底部は、一対の梁部材２２ｄ、複数の梁部材２２ｂ及び一つの梁部材２２ｆにより構成されており、これらの間や梁部材２２ｄの両端部近傍が後述するエア噴出装置１０が通過可能な進入口２５を形成している。   Returning to FIG. 4, both side portions of the storage cassette 20 facing each other in the X direction are opened in a portal shape by the tension member 22 a and the column member 21 a, respectively, and the side portion in the −X direction is a glass substrate loading / unloading port 24. Is forming. The bottom portion of the storage cassette 20 is composed of a pair of beam members 22d, a plurality of beam members 22b, and one beam member 22f, and an air ejection device 10 described later passes between these and the vicinity of both ends of the beam member 22d. A possible entrance 25 is formed.

＜昇降装置＞
図６は昇降装置３０の外観斜視図、図７は昇降ユニット３１の分解斜視図である。昇降装置３０は収納カセット２０とエア噴出装置１０とを相対的に上下に昇降させる装置である。本実施形態ではエア噴出装置１０を固定とし、収納カセット２０を昇降させるが、収納カセット２０を固定とし、エア噴出装置１０を昇降させる構成も採用できる。<Elevating device>
FIG. 6 is an external perspective view of the lifting device 30, and FIG. 7 is an exploded perspective view of the lifting unit 31. The lifting device 30 is a device that moves the storage cassette 20 and the air ejection device 10 up and down relatively. In this embodiment, the air ejection device 10 is fixed and the storage cassette 20 is moved up and down. However, a configuration in which the storage cassette 20 is fixed and the air ejection device 10 is moved up and down can also be adopted.

本実施形態の場合、昇降装置３０は収納カセット２０を挟むように収納カセット２０の互いに対向するＹ方向の両側部にそれぞれ配設され、収納カセット２０を片持ち支持する一対の昇降ユニット３１から構成される。この構成によれば、昇降ユニット３１をより薄型化でき、ワーク収納装置Ａ全体の設置スペースをより小さくできる。また、ガラス基板の搬入出口、エア噴出装置１０のスペースをより広く確保できる。   In the case of the present embodiment, the elevating device 30 includes a pair of elevating units 31 that are disposed on both sides of the storage cassette 20 facing each other in the Y direction so as to sandwich the storage cassette 20 and cantilever the storage cassette 20. Is done. According to this configuration, the elevating unit 31 can be made thinner, and the installation space for the entire work storage device A can be made smaller. Further, it is possible to secure a wider space for the glass substrate carry-in / out port and the air ejection device 10.

昇降ユニット３１は、収納カセット２０の底部の梁部材２２ｄが載置されるビーム部材３１１を備える。各昇降ユニット３１の各ビーム部材３１１が同期的に上下方向（Ｚ方向）に移動することで収納カセット２０が昇降される。昇降ユニット３１は上下方向に延びる支柱３１２を備え、支柱３１２の内側表面には上下方向に延びる一対のレール部材３１３及びラック３１４が固定されている。各昇降ユニット３１間には、支柱３１２の上端に梁部材３２が架設されている。   The elevating unit 31 includes a beam member 311 on which the beam member 22d at the bottom of the storage cassette 20 is placed. The storage cassette 20 is moved up and down as the beam members 311 of the lift units 31 move in the vertical direction (Z direction) synchronously. The elevating unit 31 includes a column 312 extending in the vertical direction, and a pair of rail members 313 and a rack 314 extending in the vertical direction are fixed to the inner surface of the column 312. A beam member 32 is installed on the upper end of the column 312 between the elevating units 31.

ビーム部材３１１は支持板３１５の一側面にブラケット３１５ａを介して固定されて支持される。支持板３１５の他側面にはレール部材３１３に沿って移動可能な４つのスライド部材３１６が固定され、ビーム部材３１１及び支持板３１５はレール部材３１３の案内により上下に移動する。駆動ユニット３１７はモータ３１７ａと減速機３１７ｂとから構成されており、支持板３１８の一側面に固定されて支持されている。減速機３１７ｂの出力軸は支持板３１８を貫通して支持板３１８の他側面に配設されたピニオン３１９ａに接続されている。   The beam member 311 is supported by being fixed to one side surface of the support plate 315 via a bracket 315a. Four slide members 316 movable along the rail member 313 are fixed to the other side surface of the support plate 315, and the beam member 311 and the support plate 315 move up and down by the guide of the rail member 313. The drive unit 317 includes a motor 317a and a speed reducer 317b, and is fixed to and supported by one side surface of the support plate 318. The output shaft of the speed reducer 317b passes through the support plate 318 and is connected to a pinion 319a disposed on the other side of the support plate 318.

支持板３１５と支持板３１８とは所定の間隔を置いて相互に固定され、支持板３１５と支持板３１８との空隙にはピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄが配設されている。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは支持板３１５と支持板３１８との間で回転可能に軸支され、ピニオン３１９ｂ及びピニオン３１９ｄは、ピニオン３１９ａの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｃはピニオン３１９ｂの回転に従動して回転する。ピニオン３１９ｂ乃至３１９ｄは相互に同じ仕様のピニオンであり、２つのピニオン３１９ｃ及び３１９ｄは各ラック３１４と噛み合っている。   The support plate 315 and the support plate 318 are fixed to each other at a predetermined interval, and pinions 319b to 319d are disposed in the gap between the support plate 315 and the support plate 318. The pinions 319b to 319d are rotatably supported between the support plate 315 and the support plate 318, and the pinion 319b and the pinion 319d rotate following the rotation of the pinion 319a. The pinion 319c rotates following the rotation of the pinion 319b. The pinions 319b to 319d are pinions having the same specifications, and the two pinions 319c and 319d are engaged with each rack 314.

しかして、駆動ユニット３１７を駆動するとピニオン３１９ａが回転し、その駆動力により、駆動ユニット３１７、支持板３１５及び３１８、スライド部材３１６、及び、ビーム部材３１１が一体となって上方又は下方へ移動することになり、ビーム部材３１１上に載置された収納カセット２０を昇降することができる。各昇降ユニット３１には、互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれを検出するセンサ３１１ａがビーム部材３１１の端部に設けられている。   Thus, when the drive unit 317 is driven, the pinion 319a rotates, and the drive unit 317, the support plates 315 and 318, the slide member 316, and the beam member 311 move together upward or downward by the drive force. As a result, the storage cassette 20 placed on the beam member 311 can be moved up and down. Each lifting / lowering unit 31 is provided with a sensor 311 a at the end of the beam member 311 for detecting a shift in the lifting height of the beam members 311.

センサ３１１ａは例えば発光部と受光部とを備えた光センサであり、図６に示すように相互に光をＹ方向に照射してこれを受光したか否かを判定する。受光した場合は互いのビーム部材３１１の昇降高さのずれがないことになり、受光しない場合は昇降高さにずれがあることになる。昇降高さのずれがセンサ３１１ａで検出されると、モータ３１７ａの制御によりずれが解消されるよう制御される。センサ３１１ａを設けてビーム部材３１１の昇降高さのずれを制御することで、昇降時に収納カセット２０が傾くことを防止し、収納カセット２０をより安定して昇降することができる。   The sensor 311a is, for example, an optical sensor including a light emitting unit and a light receiving unit, and determines whether or not the light has been received by irradiating light in the Y direction as shown in FIG. When the light is received, there is no deviation in the elevation height of the beam members 311. When there is no light reception, there is a deviation in the elevation height. When the shift in the elevation height is detected by the sensor 311a, the control is performed so that the shift is eliminated by the control of the motor 317a. By providing the sensor 311a and controlling the shift in the elevation height of the beam member 311, it is possible to prevent the storage cassette 20 from being inclined during the elevation and to raise and lower the storage cassette 20 more stably.

なお、各ビーム部材３１１に設けられる２つのセンサ３１１ａは、その一方が発光部と受光部とのいずれか一方を、その他方が発光部と受光部との他方を、有する構成としてもよい。また、光センサに限られず、他のセンサも採用可能である。   The two sensors 311a provided in each beam member 311 may have a configuration in which one of the light emitting unit and the light receiving unit is provided and the other has the other of the light emitting unit and the light receiving unit. Moreover, it is not restricted to an optical sensor, Other sensors are also employable.

＜エア噴出装置＞
図８はエア噴出装置１０の外観斜視図である。本実施形態の場合、エア噴出装置１０は複数のエア噴出ユニット１１から構成されており、各エア噴出ユニット１１は収納カセット２０の昇降時に収納カセット２０と干渉しないよう、進入口２５、開口部２３ａを通過可能な大きさ、位置に設定されている。各エア噴出ユニット１１は、エアの噴出口１１１ａが複数形成された略水平の上面１１１を有する。各エア噴出ユニット１１の各上面１１１は略同一水平面上に位置している。噴出口１１１ａは不図示のエア供給装置（例えばコンプレッサ）から供給されるエアーを噴出し、収納カセット２０に収納されているガラス基板を略水平姿勢で上面１１１上で浮遊させる。<Air ejection device>
FIG. 8 is an external perspective view of the air ejection device 10. In the case of this embodiment, the air ejection device 10 is composed of a plurality of air ejection units 11, and each air ejection unit 11 does not interfere with the storage cassette 20 when the storage cassette 20 is raised and lowered, and the entrance 25 and the opening 23 a. It is set to a size and position that can pass through. Each air ejection unit 11 has a substantially horizontal upper surface 111 on which a plurality of air ejection ports 111a are formed. Each upper surface 111 of each air ejection unit 11 is located on substantially the same horizontal plane. The ejection port 111a ejects air supplied from an air supply device (not shown) (for example, a compressor), and floats the glass substrate stored in the storage cassette 20 on the upper surface 111 in a substantially horizontal posture.

各エア噴出ユニット１１のうち、−Ｘ方向側の最端部に位置する２つのエア噴出ユニット１１の各底部内方側にはリニアガイド１２が設けられている。各リニアガイド１２はリニアモータ形式で、エア噴出ユニット１１の側部に配設されたエアアクチュエータ１３をＸ方向に往復させる。エアアクチュエータ１３はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Ｚ方向）に伸縮するアクチュエータであり、そのロッド部には吸着パッド１４が取り付けられている。吸着パッド１４の上面にはエアの吸引口１４ａが複数設けられており不図示のエア吸引装置（例えばコンプレッサ）によりエアを吸引する。   A linear guide 12 is provided on the inner side of the bottom of each of the two air ejection units 11 located at the extreme end on the −X direction side among the air ejection units 11. Each linear guide 12 is of a linear motor type and reciprocates an air actuator 13 disposed on the side of the air ejection unit 11 in the X direction. The air actuator 13 is an actuator that expands and contracts in the vertical direction (Z direction) by moving the rod portion up and down, and a suction pad 14 is attached to the rod portion. A plurality of air suction ports 14a are provided on the upper surface of the suction pad 14, and air is sucked by an air suction device (not shown) (for example, a compressor).

吸着パッド１４はその上面がエア噴出ユニット１１の上面１１１から突出した突出位置と、その上面が上面１１１と略面一か或いは上面１１１よりも低い非突出位置との間で、エアアクチュエータ１３により昇降される。突出位置における吸着パッド１４の上面の、上面１１１からの突出量はガラス基板の上面１１１からの浮遊量と略同じに設定され、吸着パッド１４が突出位置に位置する場合、吸着パッド１４の上面がエア噴出ユニット１１の上面１１１上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。   The suction pad 14 is moved up and down by the air actuator 13 between a protruding position where the upper surface protrudes from the upper surface 111 of the air ejection unit 11 and a non-projecting position where the upper surface is substantially flush with the upper surface 111 or lower than the upper surface 111. Is done. The protruding amount of the upper surface of the suction pad 14 at the protruding position from the upper surface 111 is set to be substantially the same as the floating amount from the upper surface 111 of the glass substrate, and when the suction pad 14 is located at the protruding position, the upper surface of the suction pad 14 is It abuts on the lower surface of the glass substrate in a floating state on the upper surface 111 of the air ejection unit 11.

なお、吸着パッド１４を昇降する手段としては、エアアクチュエータ１３に限られず、他の昇降手段も採用可能である。また、リニアガイド１２は吸着パッド１４をガラス基板の搬送方向（−Ｘ方向）に移動させる移動手段として機能するが、このような移動手段としてはリニアガイド１２以外の手段も採用可能である。   In addition, as a means to raise / lower the suction pad 14, it is not restricted to the air actuator 13, Other raising / lowering means is also employable. In addition, the linear guide 12 functions as a moving unit that moves the suction pad 14 in the conveyance direction (−X direction) of the glass substrate. However, as the moving unit, means other than the linear guide 12 can be used.

次に、各エア噴出ユニット１１のうち、＋Ｘ方向側の最端部から２番目に位置する２つのエア噴出ユニット１１の各底部内方側にはブラケット１５がそれぞれ設けられ、各ブラケット１５にはエアアクチュエータ１６が取り付けられている。エアアクチュエータ１６はロッド部を上下に移動させることで上下方向（Ｚ方向）に伸縮するアクチュエータであり、そのロッド部には補助ローラ１７が取り付けられている。補助ローラ１７は駆動力を持たないフリーローラである。本実施形態では、吸着パッド１４と補助ローラ１７とは、ガラス基板の搬出方向に離間した位置にそれぞれ位置している。   Next, among the air ejection units 11, brackets 15 are provided on the inner sides of the bottoms of the two air ejection units 11 located second from the extreme end on the + X direction side. An air actuator 16 is attached. The air actuator 16 is an actuator that expands and contracts in the vertical direction (Z direction) by moving the rod portion up and down, and an auxiliary roller 17 is attached to the rod portion. The auxiliary roller 17 is a free roller having no driving force. In the present embodiment, the suction pad 14 and the auxiliary roller 17 are located at positions separated from each other in the carry-out direction of the glass substrate.

補助ローラ１７はその上端がエア噴出ユニット１１の上面１１１から突出した突出位置と、その上端が上面１１１と略面一か或いは上面１１１よりも低い非突出位置との間で、エアアクチュエータ１６により昇降される。突出位置における補助ローラ１７の上端の、上面１１１からの突出量はガラス基板の上面１１１からの浮遊量と略同じに設定され、補助ローラ１７が突出位置に位置する場合、補助ローラ１７の上端がエア噴出ユニット１１の上面１１１上で浮遊状態にあるガラス基板の下面に当接する。本実施形態の場合、補助ローラ１７は吸着パッド１４の昇降と同期的に昇降する。なお、補助ローラ１７を昇降する手段としては、エアアクチュエータ１６に限られず、他の昇降手段も採用可能である。   The auxiliary roller 17 is moved up and down by the air actuator 16 between a protruding position in which the upper end protrudes from the upper surface 111 of the air ejection unit 11 and a non-projecting position in which the upper end is substantially flush with the upper surface 111 or lower than the upper surface 111. Is done. The protruding amount of the upper end of the auxiliary roller 17 at the protruding position from the upper surface 111 is set to be substantially the same as the floating amount from the upper surface 111 of the glass substrate, and when the auxiliary roller 17 is positioned at the protruding position, the upper end of the auxiliary roller 17 is It abuts on the lower surface of the glass substrate in a floating state on the upper surface 111 of the air ejection unit 11. In the case of this embodiment, the auxiliary roller 17 moves up and down synchronously with the lifting and lowering of the suction pad 14. The means for raising and lowering the auxiliary roller 17 is not limited to the air actuator 16, and other raising and lowering means can be employed.

＜位置決め装置＞
図９は位置決め装置４０の外観斜視図である。本実施形態の場合、位置決め装置４０は４基配設されている。４基の位置決め装置４０は、それぞれ２つが１組となる。１組の位置決め装置４０は互いに向かい合うようにＹ方向に離間して配設されている。そして、２組の位置決め装置４０はＸ方向に離間して配設されている。<Positioning device>
FIG. 9 is an external perspective view of the positioning device 40. In the case of this embodiment, four positioning devices 40 are provided. Each of the four positioning devices 40 is a set. The set of positioning devices 40 are arranged in the Y direction so as to face each other. The two sets of positioning devices 40 are spaced apart in the X direction.

各位置決め装置４０はガラス基板の端縁（本実施形態の場合、Ｙ方向の両端辺）を略水平方向に押圧する円形のローラ４１と、ローラ４１をＹ方向に往復移動させるプッシャ４２と、を備える。プッシャ４２はここではＹ方向に伸縮するエアアクチュエータである。ローラ４１はプッシャ４２の先端部分に回転自在に軸支されている。   Each positioning device 40 includes a circular roller 41 that presses the edges of the glass substrate (both ends in the Y direction in the case of this embodiment) in a substantially horizontal direction, and a pusher 42 that reciprocates the roller 41 in the Y direction. Prepare. Here, the pusher 42 is an air actuator that expands and contracts in the Y direction. The roller 41 is rotatably supported at the tip of the pusher 42.

＜制御部＞
図１０はワーク収納装置Ａの制御部５０の構成を示すブロック図である。制御部５０はワーク収納装置Ａの全体の制御を司るＣＰＵ５１と、ＣＰＵ５１のワークエリアを提供すると共に、可変データ等が記憶されるＲＡＭ５２と、制御プログラム、制御データ等の固定的なデータが記憶されるＲＯＭ５３と、を備える。ＲＡＭ５２、ＲＯＭ５３は他の記憶手段を採用可能である。<Control unit>
FIG. 10 is a block diagram showing the configuration of the control unit 50 of the workpiece storage device A. As shown in FIG. The control unit 50 provides a CPU 51 for controlling the entire work storage device A, a work area for the CPU 51, a RAM 52 for storing variable data and the like, and fixed data such as control programs and control data. ROM 53. The RAM 52 and ROM 53 can employ other storage means.

入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５４は、ＣＰＵ５１とセンサ３１１ａとのインターフェースであり、入力Ｉ／Ｆ５４を介してＣＰＵ５１はセンサ３１１ａの検出結果を取得する。出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）５５は、ＣＰＵ５１とモータ３１７ａ、リニアガイド１２及び制御弁とのインターフェースであり、出力Ｉ／Ｆ５５を介してＣＰＵ４１はモータ３１７ａ、リニアガイド１２及び制御弁を制御する。制御弁は、各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからのエアの噴出の有無、吸着パッド１４の吸引口１４ａのエアの吸引の有無、エアアクチュエータ１３及び１６の作動、プッシャ４２の作動を切替える制御弁である。   The input interface (I / F) 54 is an interface between the CPU 51 and the sensor 311a, and the CPU 51 acquires the detection result of the sensor 311a via the input I / F 54. The output interface (I / F) 55 is an interface between the CPU 51 and the motor 317a, the linear guide 12 and the control valve. The CPU 41 controls the motor 317a, the linear guide 12 and the control valve via the output I / F 55. The control valve switches the presence / absence of air ejection from the ejection port 111a of each air ejection unit 11, the presence / absence of air suction from the suction port 14a of the suction pad 14, the operation of the air actuators 13 and 16, and the operation of the pusher 42. It is a valve.

通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）５６はワーク処理設備１００全体を制御するホストコンピュータ６とＣＰＵ５１とのインターフェースであり、ＣＰＵ５１はホストコンピュータ６からの指令に応じてワーク収納装置Ａを制御することになる。   A communication interface (I / F) 56 is an interface between the host computer 6 that controls the entire work processing facility 100 and the CPU 51, and the CPU 51 controls the work storage device A in response to a command from the host computer 6.

＜ワーク収納装置Ａの動作＞
ワーク収納装置Ａにおけるガラス基板の搬出時の動作について説明する。図１１乃至図１９はワーク収納装置Ａの動作説明図である。図１１及び図１５はエア噴出装置１０及び収納カセット２０の平面視図であり、図１２乃至図１４及び図１６乃至１９は図１１の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。各図においては要部のみ図示し、ワイヤ２３等は省略されている。<Operation of Work Storage Device A>
The operation at the time of carrying out the glass substrate in the work storage device A will be described. 11 to 19 are explanatory views of the operation of the work storage device A. FIG. FIGS. 11 and 15 are plan views of the air ejection device 10 and the storage cassette 20, and FIGS. 12 to 14 and FIGS. 16 to 19 are cross-sectional views taken along line II in FIG. In each figure, only the main part is shown, and the wires 23 and the like are omitted.

本実施形態では昇降装置３０による昇降動作によってエア噴出装置１０を収納カセット２０内に進入させ、エア噴出装置１０により載置部上（つまり、各段のワイヤ２３上）のガラス基板を載置部から浮遊させる。そして、移載装置Ｃのハンドユニット４が浮遊状態にあるガラス基板を抜き取るようにして収納カセット２０外へ搬出する。   In the present embodiment, the air ejection device 10 is moved into the storage cassette 20 by the lifting operation by the lifting device 30, and the glass substrate on the placement portion (that is, on the wire 23 of each stage) is placed by the air ejection device 10. Float from. Then, the hand unit 4 of the transfer apparatus C is carried out of the storage cassette 20 so as to extract the glass substrate in a floating state.

図１２は収納カセット２０がエア噴出装置１０の上方を位置しており、未だエア噴出装置１０が収納カセット２０内に進入していない状態を示す。図１２に示す収納カセット２０の各段にはガラス基板Ｗが載置されている。ガラス基板Ｗは、より下段のものから搬出される。図１２のように収納カセット２０にガラス基板Ｗが満杯の状態の場合、最下段のガラス基板Ｗが最初に搬出される。   FIG. 12 shows a state in which the storage cassette 20 is positioned above the air ejection device 10 and the air ejection device 10 has not yet entered the storage cassette 20. A glass substrate W is placed on each stage of the storage cassette 20 shown in FIG. The glass substrate W is carried out from the lower one. When the glass substrate W is full in the storage cassette 20 as shown in FIG. 12, the lowermost glass substrate W is carried out first.

まず、図１３に示すように各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからエアを噴出する。また、エアアクチュエータ１３及び１６により、＋Ｘ方向の端部にある吸着パッド１４及び補助ローラ１７をそれぞれ突出位置へ上昇させ、吸引口１４ａからのエアの吸引を行なう。図１３において線Ｌ１は各エア噴出ユニット１１の各上面１１１のＺ方向の位置（高さ）を示し、線Ｌ２は吸着パッド１４の上面及び補助ローラ１７の上端のＺ方向の位置（高さ）を示している。   First, as shown in FIG. 13, air is ejected from the ejection port 111 a of each air ejection unit 11. Further, the suction pads 14 and the auxiliary roller 17 at the ends in the + X direction are raised to the protruding positions by the air actuators 13 and 16, respectively, and air is sucked from the suction port 14a. In FIG. 13, a line L1 indicates the position (height) in the Z direction of each upper surface 111 of each air ejection unit 11, and a line L2 indicates the position (height) in the Z direction of the upper surface of the suction pad 14 and the upper end of the auxiliary roller 17. Is shown.

次に、昇降装置３０により収納カセット２０を図１４に示すように降下させてエア噴出装置１０を収納カセット２０内に進入させ、各エア噴出ユニット１１の上面１１１が最下段の載置部と略同じ高さに位置するようにする。すると、噴出口１１１ａからのエアの噴出により最下段の載置部に載置されていたガラス基板Ｗが浮遊し、浮遊状態になる。同時に、吸着パッド１４の上面がガラス基板Ｗの下面に当接し、吸引口１４ａからのエアの吸引によりガラス基板Ｗは吸着パッド１４に吸着する。吸着パッド１４はガラス基板Ｗの極一部を吸着するものであるため、ガラス基板Ｗを固定してしまうほどのものではない。また、補助ローラ１７の上端がガラス基板Ｗの下面に当接する。   Next, the storage cassette 20 is lowered by the elevating device 30 as shown in FIG. 14 to cause the air ejection device 10 to enter the storage cassette 20, and the upper surface 111 of each air ejection unit 11 is substantially the same as the lowermost mounting portion. Make sure they are at the same height. As a result, the glass substrate W placed on the lowermost placing portion floats due to the ejection of air from the ejection port 111a and enters a floating state. At the same time, the upper surface of the suction pad 14 comes into contact with the lower surface of the glass substrate W, and the glass substrate W is attracted to the suction pad 14 by suction of air from the suction port 14a. Since the suction pad 14 sucks a very small part of the glass substrate W, it is not enough to fix the glass substrate W. Further, the upper end of the auxiliary roller 17 comes into contact with the lower surface of the glass substrate W.

次に、図１５に示すように位置決め装置４０のプッシャ４２を駆動して、ローラ４１を収納カセット２０に向けてＹ方向に移動させる。ローラ４１のＺ方向の高さは各エア噴出ユニット１１の上面１１１の高さよりも僅かに上方に設定されており、ローラ４１が収納カセット２０内に入り込んで浮遊状態にあるガラス基板Ｗの端縁を押圧する。これにより、浮遊状態にあるガラス基板Ｗの位置決めがなされる。位置決め後、ローラ４１は元の位置へ戻る。   Next, as shown in FIG. 15, the pusher 42 of the positioning device 40 is driven to move the roller 41 toward the storage cassette 20 in the Y direction. The height of the roller 41 in the Z direction is set slightly higher than the height of the upper surface 111 of each air ejection unit 11, and the edge of the glass substrate W in which the roller 41 enters the storage cassette 20 and is in a floating state. Press. Thereby, the glass substrate W in a floating state is positioned. After positioning, the roller 41 returns to the original position.

ローラ４１がガラス基板Ｗを押圧するとガラス基板Ｗへ各ローラ４１の当り方次第で急激にガラス基板Ｗを移動させ、ガラス基板Ｗが滑る虞がある。しかし、本実施形態ではガラス基板Ｗが吸着パッド１４に吸着されているので、吸着パッド１４によりガラス基板Ｗが支持され、ガラス基板Ｗの急激な移動に抵抗する。従って、ガラス基板Ｗの滑りを低減し、ガラス基板Ｗをより安定して浮遊させることができる。   When the roller 41 presses the glass substrate W, the glass substrate W is suddenly moved to the glass substrate W depending on how each roller 41 hits, and the glass substrate W may slide. However, in this embodiment, since the glass substrate W is adsorbed by the suction pad 14, the glass substrate W is supported by the suction pad 14 and resists rapid movement of the glass substrate W. Therefore, the slip of the glass substrate W can be reduced and the glass substrate W can be floated more stably.

ガラス基板Ｗの位置決めが終了すると、図１６に示すようにリニアガイド１３を駆動し、吸着パッド１４を−Ｘ方向（ガラス基板Ｗの排出方向）に移動させる。ガラス基板１４は吸着パッド１４に吸着され、かつ、各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからエアが噴出されて浮遊状態にあるので、ガラス基板１４は吸着パッド１４の移動に従って、−Ｘ方向に移動する。この結果、図１６に示すようにガラス基板１４の一部が収納カセット２０から飛び出した状態となる。ガラス基板Ｗが移動する際、吸着パッド１４に対して搬出方向に離間して設けられた補助ローラ１７がガラス基板Ｗの移動方向の後方部分を支持するので、ガラス基板Ｗをより安定して移動させることができる。   When the positioning of the glass substrate W is completed, the linear guide 13 is driven as shown in FIG. 16, and the suction pad 14 is moved in the −X direction (the discharge direction of the glass substrate W). Since the glass substrate 14 is adsorbed by the suction pad 14 and air is ejected from the ejection port 111a of each air ejection unit 11, the glass substrate 14 moves in the −X direction as the suction pad 14 moves. To do. As a result, a part of the glass substrate 14 protrudes from the storage cassette 20 as shown in FIG. When the glass substrate W moves, the auxiliary roller 17 provided apart from the suction pad 14 in the carry-out direction supports the rear portion in the moving direction of the glass substrate W, so that the glass substrate W moves more stably. Can be made.

次に、図１７に示すように移載装置Ｃのハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取りに来る。ハンドユニット４はその吸引口４ａからエアを吸引することでガラス基板Ｗの端部の下面を吸着保持する。ガラス基板Ｗが吸着パッド１４に吸着されているので、ハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取りに来る際、ガラス基板Ｗが滑ることが防止される。ハンドユニット４がガラス基板Ｗの端部を保持すると、吸着パッド１４の吸引口１４ａからのエアの吸引を停止し、吸着パッド１４によるガラス基板Ｗの吸着を解除する。更に、エアアクチュエータ１３及び１６を作動して吸着パッド１４及び補助ローラ１６をそれぞれ非突出位置に移動する。各エア噴出ユニット１１の噴出口１１１ａからのエアの噴出は継続する。   Next, as shown in FIG. 17, the hand unit 4 of the transfer apparatus C comes to receive the glass substrate W. The hand unit 4 sucks and holds the lower surface of the end portion of the glass substrate W by sucking air from the suction port 4a. Since the glass substrate W is adsorbed by the suction pad 14, the glass substrate W is prevented from slipping when the hand unit 4 comes to receive the glass substrate W. When the hand unit 4 holds the end of the glass substrate W, the suction of air from the suction port 14a of the suction pad 14 is stopped, and the suction of the glass substrate W by the suction pad 14 is released. Further, the air actuators 13 and 16 are operated to move the suction pad 14 and the auxiliary roller 16 to the non-projecting positions, respectively. The ejection of air from the ejection port 111a of each air ejection unit 11 continues.

続いて図１８に示すように移載装置Ｃのハンドユニット４を−Ｘ方向に移動して、収納カセット２０からガラス基板Ｗを抜き取るようにして搬出する。また、リニアガイド１２を作動して吸着パッド１４を＋Ｘ方向に移動し、元の位置へ戻す。このようにして１枚のガラス基板Ｗの搬出が終了する。   Subsequently, as shown in FIG. 18, the hand unit 4 of the transfer apparatus C is moved in the −X direction, and the glass substrate W is removed from the storage cassette 20 and carried out. Further, the linear guide 12 is operated to move the suction pad 14 in the + X direction and return to the original position. In this way, carrying out of one glass substrate W is completed.

ハンドユニット４がガラス基板Ｗを抜き取る際、吸着パッド１４は非突出位置にあるので、ガラス基板Ｗの下面に吸着パッド１４が擦れてガラス基板Ｗを傷つけることが防止されると共に、吸着パッド１４を早期に元の位置に戻して次のガラス基板Ｗの搬出の準備を行うことができる。   When the hand unit 4 pulls out the glass substrate W, since the suction pad 14 is in the non-projecting position, the suction pad 14 is prevented from being rubbed against the lower surface of the glass substrate W to damage the glass substrate W, and the suction pad 14 is removed. It is possible to prepare for unloading the next glass substrate W by returning it to the original position at an early stage.

また、ガラス基板Ｗを収納カセット２０から移載装置Ｃへ受け渡す際、ガラス基板Ｗが図１７に示したように収納カセット２０一定量搬出された状態で、ハンドユニット４がガラス基板Ｗを受け取ることができるので、ハンドユニット４が収納カセット２０内に入り込む必要がなく、移載装置Ｃへのワークの受渡しが円滑に行なえる。つまり、本実施形態の吸着パッド１４は、吸着パッド１４が移動することで、ガラス基板Ｗの滑り防止だけではなく、ガラス基板Ｗの一定量の搬出による移載装置Ｃへのワークの受渡しの円滑化をもなし得る。   Further, when the glass substrate W is transferred from the storage cassette 20 to the transfer device C, the hand unit 4 receives the glass substrate W in a state in which a certain amount of the glass cassette W is unloaded as shown in FIG. Therefore, it is not necessary for the hand unit 4 to enter the storage cassette 20, and the transfer of the workpiece to the transfer device C can be performed smoothly. That is, the suction pad 14 according to the present embodiment not only prevents the glass substrate W from slipping due to the movement of the suction pad 14 but also smoothly transfers the workpiece to the transfer device C by carrying out a certain amount of the glass substrate W. Can also be realized.

更に、吸着パッド１４と補助ローラ１７の昇降を同期的に行なうことで、補助ローラ１７はガラス基板Ｗの補助的な支持が必要な時にのみ、エア噴出ユニット１１の上面１１１から突出させることができる。   Furthermore, by moving the suction pad 14 and the auxiliary roller 17 up and down synchronously, the auxiliary roller 17 can be protruded from the upper surface 111 of the air ejection unit 11 only when auxiliary support of the glass substrate W is necessary. .

以後、収納カセット２０を順次降下させ、同様の手順を繰り返すことによりガラス基板Ｗが順次搬出されることになる。図１９は中段の載置部までガラス基板Ｗの搬出が終了した状態を示す図であり、収納カセット２０が降下することに従って、エア噴出装置１０が収納カセット２０内へより進入していくことになる。また、移載装置Ｃから収納カセット２０へガラス基板Ｗを搬入する場合は、上述した搬出時と概ね逆の動作にて行なうことができ、収納カセット２０を順次上昇させて上段の載置部から順にガラス基板Ｗを搬入していくことになる。   Thereafter, the storage cassette 20 is sequentially lowered, and the glass substrate W is sequentially carried out by repeating the same procedure. FIG. 19 is a view showing a state where the glass substrate W has been unloaded to the middle stage mounting portion, and the air ejection device 10 enters more into the storage cassette 20 as the storage cassette 20 descends. Become. In addition, when the glass substrate W is carried into the storage cassette 20 from the transfer device C, it can be performed in substantially the reverse operation as in the above-described unloading, and the storage cassette 20 is lifted sequentially from the upper placement portion. The glass substrate W is carried in in order.

＜収納カセットの他の例＞
収納カセット２０はフォークリフト等に搭載されて搬送され、昇降装置３０のビーム部材３１１上に載置される。収納カセット２０を搬送する際、振動により収納カセット２０内に収納されたガラス基板が搬出入口２４から飛び出してしまう場合がある。図２０はこのような問題を解決する収納カセット２０’の外観斜視図である。図２０において、上述した収納カセット２０と同じ構成については同じ符号を付し、説明を省略する。<Other examples of storage cassettes>
The storage cassette 20 is carried on a forklift or the like, and is placed on the beam member 311 of the lifting device 30. When the storage cassette 20 is transported, the glass substrate stored in the storage cassette 20 may jump out of the carry-in / out port 24 due to vibration. FIG. 20 is an external perspective view of a storage cassette 20 ′ that solves such a problem. In FIG. 20, the same components as those of the storage cassette 20 described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

収納カセット２０’は、収納カセット２０の梁部材２２ｄ及び２２ｅがそれぞれ±Ｘ方向に延長された梁部材２２ｄ’及び２２ｅ’を備えており、これらの両端部にはそれぞれ規制部材２６が設けられている。規制部材２６は、例えば、可撓性を有する樹脂等からなり、方形枠状の本体部分からＹ方向に突出した複数の櫛歯２６ａを有する。櫛歯２６ａは上下方向（Ｚ方向）に、収納カセット２０’の各載置部の配設ピッチと同ピッチで配設され、そのＺ方向の幅はガラス基板Ｗの厚さと略同じである。   The storage cassette 20 ′ includes beam members 22 d ′ and 22 e ′ in which the beam members 22 d and 22 e of the storage cassette 20 are extended in the ± X directions, respectively, and restriction members 26 are provided at both ends thereof. Yes. The restricting member 26 is made of, for example, a flexible resin and has a plurality of comb teeth 26a protruding in the Y direction from a rectangular frame-shaped main body portion. The comb teeth 26a are arranged in the vertical direction (Z direction) at the same pitch as the placement pitch of each placement portion of the storage cassette 20 ', and the width in the Z direction is substantially the same as the thickness of the glass substrate W.

図２１及び図２２は、−Ｘ側の規制部材２６の櫛歯２６ａ近傍の拡大断面図である。図２１はガラス基板Ｗが収納カセット２０’内で載置部上に載置状態にある場合を示している。同図に示すように、ガラス基板Ｗの−Ｘ方向には櫛歯２６ａが存在しており、ガラス基板Ｗが−Ｘ方向に移動して排出されようとすると櫛歯２６ａに干渉する。これにより、ガラス基板Ｗが収納カセット２０’の搬送時の振動等により搬出方向（−Ｘ方向）に移動することが規制される。なお、図２０の＋Ｘ側の規制部材２６も同様に、ガラス基板Ｗが収納カセット２０’の搬送時の振動等により＋Ｘ方向に移動することを規制する。   21 and 22 are enlarged sectional views of the vicinity of the comb teeth 26a of the regulating member 26 on the -X side. FIG. 21 shows a case where the glass substrate W is placed on the placement portion in the storage cassette 20 ′. As shown in the figure, there are comb teeth 26a in the -X direction of the glass substrate W. When the glass substrate W moves in the -X direction and is about to be ejected, it interferes with the comb teeth 26a. As a result, the glass substrate W is restricted from moving in the unloading direction (−X direction) due to vibration or the like when the storage cassette 20 ′ is transported. Similarly, the + X-side restricting member 26 in FIG. 20 also restricts the glass substrate W from moving in the + X direction due to vibrations or the like during conveyance of the storage cassette 20 ′.

次に、図２２はガラス基板Ｗのうちの一つが収納カセット２０’内で載置部上で浮遊している場合を示している。つまり、同図の最下段のガラス基板Ｗは搬出されようとしている状態である。ガラス基板Ｗが浮遊することにより、ガラス基板Ｗは櫛歯２６ａ間の隙間を通過できることになり、規制部材２６は浮遊状態にあるガラス基板Ｗが搬出方向（−Ｘ方向）に移動することは規制しない。   Next, FIG. 22 shows a case where one of the glass substrates W is floating on the mounting portion in the storage cassette 20 ′. That is, the lowermost glass substrate W in the figure is in a state of being carried out. When the glass substrate W floats, the glass substrate W can pass through the gaps between the comb teeth 26a, and the restricting member 26 restricts the floating glass substrate W from moving in the unloading direction (−X direction). do not do.

なお、上述した移載装置Ｃのハンドユニット４のように、ガラス基板の端部を保持して排出する方式の場合、従来ではハンドユニットが収納カセット内に少し入り込んでガラス基板を保持する必要があったが、本実施形態のように規制部材２６を設けた構成ではハンドユニットと規制部材２６とが干渉してハンドユニッ４が収納カセット２０’内に入り込めない。   In the case of the method of holding and discharging the end of the glass substrate as in the hand unit 4 of the transfer device C described above, conventionally, the hand unit needs to enter the storage cassette and hold the glass substrate. However, in the configuration in which the restriction member 26 is provided as in the present embodiment, the hand unit 4 and the restriction member 26 interfere with each other so that the hand unit 4 cannot enter the storage cassette 20 ′.

しかしながら、本実施形態では吸着パッド１４の移動により、ガラス基板Ｗを収納カセット２０’から一定量飛び出させることができ、ハンドユニッ４が収納カセット２０’内に入り込む必要がない。従って、規制部材２６を設けた収納カセット２０’にも対応できる。   However, in this embodiment, the glass substrate W can jump out of the storage cassette 20 'by moving the suction pad 14, and the hand unit 4 does not need to enter the storage cassette 20'. Accordingly, it is possible to deal with the storage cassette 20 ′ provided with the regulating member 26.

＜他の実施形態＞
上記実施形態では吸着機能を持つ吸着パッド１４を採用したが、ガラス基板の滑り防止には必ずしも吸着機能を有するパッドである必要はなく、ガラス基板Ｗの急激な移動（滑り）に抵抗するパッドであればよい。例えば、上面にゴムやフェルト布等を有するパッドであってもよい。尤も、吸着パッド１４のように吸着機能を有するパッドの方が、ガラス基板の滑り防止に効果的であることは言うまでも無い。<Other embodiments>
In the above-described embodiment, the suction pad 14 having the suction function is used. However, it is not always necessary to use the pad having the suction function to prevent the glass substrate from slipping, and the pad resists sudden movement (slip) of the glass substrate W. I just need it. For example, a pad having rubber or felt cloth on the upper surface may be used. Needless to say, a pad having a suction function such as the suction pad 14 is more effective in preventing slippage of the glass substrate.

本願発明は上記実施の形態に限定されるものでなく、また本願発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更や修正が可能であるため、本願発明の範囲は以下の請求の範囲によって規定されるべきである。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is defined by the following claims. Should.

Claims (5)

エアの噴出口が複数形成された水平の上面を有し、前記噴出口からのエアの噴出により、方形板状のワークを水平姿勢で前記上面上で浮遊させるエア噴出手段と、
上下方向に多段に形成され、前記エア噴出手段が通過可能な開口部を有すると共に前記ワークが水平姿勢で載置される複数の載置部と、前記ワークの搬出口を形成する側部と、前記エア噴出手段が通過可能な進入口を形成する底部と、を備え、前記エア噴出手段の上方に配設される収納カセットと、
前記収納カセットと前記エア噴出手段とを相対的に上下に昇降させる昇降手段と、を備え、
前記昇降手段による昇降動作によって前記エア噴出手段を前記収納カセット内に進入させ、前記収納カセットから外部へ搬出する前記ワークを前記エア噴出手段により前記載置部から浮遊させるワーク収納装置において、
前記エア噴出手段の前記上面から突出して、浮遊状態にある前記ワークの下面に当接するパッドを設け、
前記パッドが、エアの吸引により浮遊状態にある前記ワークの下面に吸着する吸着パッドであり、
前記吸着パッドを前記ワークの搬出方向に移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とするワーク収納装置。Has an upper surface of the spout is more formed horizontal air, the air ejection from the ejection port, and an air jetting means to float on the top surface of the rectangular plate-shaped workpiece in horizontal position,
Multiple stages are formed in the vertical direction, a plurality of mounting portion in which the workpiece is placed in a horizontal position with said air ejection means has an opening capable of passing, and side to form a carry-out port of the workpiece A bottom portion forming an entrance through which the air ejection means can pass, and a storage cassette disposed above the air ejection means,
Elevating means for elevating the storage cassette and the air ejection means up and down relatively,
In the workpiece storage apparatus in which the air ejection unit is caused to enter the storage cassette by the lifting operation by the lifting unit, and the work to be carried out from the storage cassette to the outside is floated from the placement unit by the air ejection unit.
Providing a pad that protrudes from the upper surface of the air ejection means and contacts the lower surface of the workpiece in a floating state ,
The pad is a suction pad that sucks on the lower surface of the workpiece in a floating state by suction of air,
A work storage device , further comprising a moving means for moving the suction pad in the work unloading direction . 前記吸着パッドを前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降するパッド昇降手段を更に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。The work storage device according to claim 1, further comprising pad lifting / lowering means for lifting / lowering the suction pad between a protruding position protruding from the upper surface of the air ejection means and a non-projecting position. 前記エア噴出手段の前記上面から突出して、前記移動手段による前記吸着パッドの移動に伴い移動する前記ワークの下面に当接する補助ローラを更に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。The workpiece storage according to claim 1 , further comprising an auxiliary roller that protrudes from the upper surface of the air jetting unit and contacts the lower surface of the workpiece that moves as the suction pad is moved by the moving unit. apparatus. 前記吸着パッドと前記補助ローラとは前記ワークの搬出方向に離間して設けられ、
更に、
前記吸着パッドを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する吸着パッド昇降手段と、
前記補助ローラを、前記エア噴出手段の前記上面から突出する突出位置と、非突出位置との間で昇降する補助ローラ昇降手段と、を備え、
前記吸着パッドと前記補助ローラとは同期的に昇降することを特徴とする請求項３に記載のワーク収納装置。The suction pad and the auxiliary roller are provided apart in the work unloading direction,
Furthermore,
Suction pad elevating means for elevating the suction pad between a protruding position protruding from the upper surface of the air ejection means and a non-projecting position;
An auxiliary roller elevating means for elevating the auxiliary roller between a projecting position projecting from the upper surface of the air ejection means and a non-projecting position;
The workpiece storage device according to claim 3 , wherein the suction pad and the auxiliary roller move up and down synchronously. 浮遊状態にある前記ワークの端縁を水平方向に押圧して前記ワークを位置決めする位置決め手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載のワーク収納装置。Workpiece storage device according to the edge of the workpiece which is in a floating state to claim 1, characterized in that by pressing the horizontal direction with a positioning means for positioning the workpiece.
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