JP4758276B2 - 電力供給システム及びシステム電源 - Google Patents

Description

本発明は、ＤＣスパッター装置等に用いられる電力供給システム及び当該システムに用いられるシステム電源に関するものである。特に、システム電源を複数台接続して電力供給システムを構成する際に、一のシステム電源は他のシステム電源の出力を制御するマスター機としての機能し、他のシステム電源はマスター機により制御されるスレーブ機として機能し、システム電源間の接続ケーブルを介してＩＤの自動付与を行うシステム電源に関する。

半導体プロセスの成膜装置としてＤＣスパッター装置等が用いられている。これらの装置の電源として、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）によりその出力が制御されるシステム電源が用いられている。スパッター装置等は、その用途等に応じて必要とする電力が異なる。そのために、従前は各装置に応じた専用電源が用いられていた。しかし、装置の種類や規模に応じた多様なニーズに対応することができるようにするためには、装置に応じた専用電源を作成するよりも、同一種類のシステム電源を必要に応じて複数台接続して電力供給システムを構成したほうが、フレキシブルにかつコストを低減させて提供することができる。

図４は、従来から知られているこの種の電力供給システムを示すブロック図である。システム電源１００ａには、電力を供給する電源１０２ａと、この電源１０２ａの出力を制御する制御手段１１０ａと、制御手段１１０ａに含まれるＣＰＵ１０１ａと、このＣＰＵ１０１ａのマスター機能又はスレーブ機能を選択するための制御端１０４ａに接続するスイッチ１０５ａと、システム電源１００ａを識別するためのＩＤを入力するディップスイッチ１１１ａから構成されている。システム電源１００ａは、制御手段１１０ａの制御端１０４ａの電位がＨレベルのときは他のシステム電源の出力を制御するマスター・システム電源として機能し、制御端１０４ａの電位がＬレベルのときは他のシステム電源によりその出力が制御されるスレーブ・システム電源として機能する。

システム電源１００ｂ及びシステム電源１００ｃはシステム電源１００ａと同一のハードウエアを備えている。そして、これらのシステム電源の出力は、出力端子１０６ａ、１０６ｂ及び１０６ｃを介して出力配線１０８へ与えられ、スパッター装置等へ出力される。また、各システム電源の制御手段は制御端子１０７ａ、１０７ｂ、１０７ｃを介して制御線１０９により互いに接続されている。

システム電源１００ａにおいては、制御端１０４ａにはプルアップ抵抗を介して配線１０３ａによりＨレベルの電位が与えられている。スイッチ１０５ａはオフの状態となっているためＣＰＵ１０１ａの制御端１０４ａにはＨレベルの電位が与えられている。そのために、システム電源１００ａは他のシステム電源の出力を制御するマスター・システム電源として機能する。

一方、システム電源１００ｂ及び１００ｃのスイッチ１０５ｂ及び１０５ｃはオンの状態であり、制御端１０４ｂ及び制御端１０４ｃにはそれぞれグランド（ＧＮＤ）のＬレベルの電位が与えられ、システム電源１００ｂ及びシステム電源１００ｃはスレーブ・システム電源として機能し、制御手段１１０ａにより制御線１０９を介して制御されるように構成されている。

このように、マスター機及びスレーブ機のハードウエアの共通化を図り、スイッチによるマスター・システム電源とスレーブ・システム電源とを切替えることにより、例えばマスター・システム電源が故障した場合でもスイッチを切替えてその代替を容易に行うことが出来る。

また、各システム電源１００ａ、１００ｂ、１００ｃは、ディップスイッチ１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃにより他のシステム電源と識別するためのＩＤを手動で入力することができるように構成されている。
特開２０００−２０９７８１号公報

しかしながら上記の公知例においては、スイッチによるマスター機及びスレーブ機の切替を容易に行うことが出来る反面、１台をマスター・システム電源とし、他をスレーブ・システム電源にセットすべきところを、複数台のシステム電源をマスター・システム電源にセットしたり、全部をスレーブ・システム電源にセットする、というような人為的なミスが発生し易い、という課題があった。

また、使用するシステム電源が増加するに従い、全てのシステム電源が適正に接続されているか否か外部から判別し難い、という課題があった。

また、各システム電源を識別するためのＩＤを手動で入力するために、人為的な入力ミスが発生する、という課題があった。

本発明においては上記課題を解決するために以下の手段を講じた。

（１）本発明の電力供給システムにおいては、電力を供給する電源と前記供給する電力の制御を行う制御手段とを有するシステム電源を複数台備え、前記各システム電源は、前記電力を供給する出力端子を共通に接続し、前記システム電源を識別するためのＩＤの入出力を行う通信端子を通信ケーブルにより共通に接続される電力供給システムであって、前記複数台のシステム電源は接続確認用ケーブルを介して直列に接続され、前記直列に接続するシステム電源のうち、前段のシステム電源の制御手段は、後段のシステム電源に対して前記接続確認用ケーブルを介して接続を確認するための確認信号を送信する確認信号送信手段を有し、前記後段のシステム電源の制御手段は、前記前段のシステム電源に対して前記接続確認用ケーブルを介して前記確認信号を受信した旨の返答信号を送信する返答信号送信手段を有し、前記前段のシステム電源の制御手段は、前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信したことを契機として、前記後段のシステム電源のＩＤを前記通信ケーブルを介して送信するＩＤ送信手段を有することを特徴としている。

（２）上記（１）の電力供給システムにおいて、前記前段のシステム電源の制御手段は、前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信したことを契機として、前記後段のシステム電源に対してＩＤの送信中であることを表すＩＤ送信通知を前記接続確認用ケーブルを介して送信するＩＤ送信通知送信手段を有することを特徴としている。

（３）上記（１）又は（２）の電力供給システムにおいて、前記接続確認用ケーブルを介して直列接続するシステム電源の先頭のシステム電源をマスター機とし、前記マスター機の制御手段は、前記前段のシステム電源から前記通信ケーブルを介して送信された後段のシステム電源のＩＤを記憶する記憶手段と、前記前段のシステム電源が前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信していないことを検知して、前記後段のシステム電源のＩＤを含む診断信号を前記通信ケーブルを介して送信する診断信号送信手段と、前記診断信号を受信した前記後段のシステム電源が前記接続確認用ケーブルを介して送信する診断受通知を受信する診断受通知受信手段と、を備えていることを特徴としている。

（４）上記（３）の電力供給システムにおいて、前記マスター機の制御手段は、前記制御手段が前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信していないことを検知した場合であって、前記マスター機の前記診断受通知受信手段が、前記診断受通知を受信したことを検知したときは前記後段システムが故障していることを認定し、前記診断受通知を受信したことを検知しないときは前記後段のシステム電源が接続されていないことを認定する認定手段を備え、前記マスター機は、前記認定手段が認定した結果又は／及びシステム電源の総台数を表示する表示手段を備えていることを特徴としている。

（５）上記（１）〜（４）のいずれか１の電力供給システムにおいて、前記システム電源は、前記接続確認用ケーブルと接続する接続確認用コネクタを有し、前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を出力する第１接続ピンと、前記返答信号を入力する第２接続ピンと、前記確認信号を入力する第３接続ピンと、前記返答信号を出力する第４接続ピンとを有することを特徴としている。

（６）上記（１）〜（５）のいずれか１の電力供給システムにおいて、前記接続確認用コネクタは、前記ＩＤ送信通知を出力又は入力する第５接続ピンを有することを特徴としている。

（７）本発明のシステム電源においては、電力を供給する電源と、前記供給する電力を制御するための制御手段と、他のシステム電源との接続を確認するための接続確認用コネクタと、ＩＤの送受信を行う通信用コネクタとを備えたシステム電源であって、前記制御手段は、前記接続確認用コネクタを介して一のシステム電源に対して接続確認の確認信号を送信する確認信号送信手段と、前記接続確認用コネクタを介して前記一のシステム電源から前記確認信号を受信した旨の返答信号を受信する返答信号受信手段と、前記返答信号受信手段が前記返答信号を受信したことを契機として、前記通信用コネクタを介して前記一のシステム電源のＩＤを送信するＩＤ送信手段と、を備えていることを特徴としている。

（８）上記（７）のシステム電源においては、前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を出力する第１接続ピンと、前記返答信号を入力する第２接続ピンとを備えていることを特徴としている。

（９）上記（７）又は（８）のシステム電源においては、前記制御手段は、前記接続確認用コネクタを介して他の一のシステム電源から接続確認の確認信号を受信する確認信号受信手段と、前記接続確認用コネクタを介して前記他の一のシステム電源に対して前記確認信号を受信した旨の返答信号を送信する返答信号送信手段と、前記返答信号送信手段が前記返答信号を送信した後に、前記通信用コネクタを介して前記他の一のシステム電源から自システム電源のＩＤを受信するＩＤ受信手段と、を備えていることを特徴としている。

（１０）上記（９）のシステム電源においては、前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を入力する第３接続ピンと、前記返答信号を出力する第４接続ピンとを備えていることを特徴としている。

（１１）上記（７）〜（１０）のいずれか１のシステム電源においては、前記接続確認用コネクタは、前記通信用コネクタが前記ＩＤを送信中であることを表すＩＤ送信通知を出力又は入力する第５接続ピンを備えていることを特徴としている。

本発明の電力供給システムによれば、複数台のシステム電源が接続確認用ケーブルを介して直列に接続している。これにより、未接続のシステム電源は外部から容易に視認することができるので、接続し忘れ等の人為的ミスを事前に防止することができるという利点を有する。

また、前段のシステム電源の制御手段は、後段のシステム電源に対してこの接続確認用ケーブルを介して接続を確認するための確認信号を送信する確認信号送信手段を有し、後段のシステム電源の制御手段は、上記確認信号を受信した旨の返答信号を上記前段のシステム電源に送信する返答信号送信手段を有し、前段システム電源の制御手段は、後段のシステム電源から上記返答信号を受信したときに、通信ケーブルを介して後段のシステム電源のＩＤを送信するＩＤ送信手段を有している。これにより、前段のシステム電源が後段のシステム電源に対して自システム電源とは異なるＩＤを順次自動的に付与することができ、各システム電源に対するＩＤ付与ミスを防止することができる、という利点を有する。

本発明のシステム電源によれば、他のシステム電源との接続を確認するための接続確認用コネクタとＩＤの送受信を行うための通信用コネクタとを備え、制御回路は、一のシステム電源に対して接続確認信号を送信するための確認信号送信手段と、上記一のシステム電源から返答信号を入力するための返答信号受信手段とを備え、返答信号受信手段を受信したことを契機として当該一のシステム電源に対してＩＤを送信するＩＤ送信手段を備えている。そして、確認信号や返答信号は接続確認用コネクタを介して送受信し、ＩＤは通信用コネクタを介して送信するようにした。これにより、接続確認用コネクタに接続確認用ケーブルが設置されているかどうかを外部から容易に視認することができ、人為的な接続ミスを事前に防止することができる、という利点を有する。また、自システム電源の次に接続されている一のシステム電源に対してＩＤを自動的に割り付けることができるので同一のＩＤを割り付けるなどの人為的なＩＤ付与ミスを防止することができる、という利点を有する。

その他本発明の効果は各実施の形態の説明において説明する。

本実施の形態に係る電力供給システムは、複数台のシステム電源の出力を共通に接続してスパッター装置等へ電力を供給する。各システム電源はＲＳ４８５等からなる通信ケーブルにより共通に接続されている。また、接続確認用ケーブルを介して各システム電源は直列に接続されている。各システム電源は、電力を供給するための電源と、電源の電力供給の制御及び他のシステム電源との接続を確立するための制御手段とを備えている。そして、直接接続するシステム電源のうち、前段のシステム電源の制御手段は後段のシステム電源に対して上記接続確認用ケーブルを介して接続を確認するための確認信号を送信する確認信号送信手段を有している。後段のシステム電源の制御手段は、上記確認信号を前段のシステム電源から受信したときは、その受信した旨の返答信号を送信するための返答信号送信手段を有している。また、前段のシステム電源の制御手段は、後段のシステム電源から返答信号を受信するための返答信号受信手段を有している。

即ち、前段のシステム電源が後段のシステム電源に対して送信した確認信号に応じて後段のシステム電源が返答信号を前段のシステム電源に送信し、前段のシステム電源が返答信号を受信することにより、自システム電源以降にシステム電源が接続されていることが確認される。前段のシステム電源は、返答信号を受信した後に後段のシステム電源に対して通信ケーブルを介して後段のシステム電源のＩＤを送信するＩＤ送信手段を有している。前段のシステム電源のＩＤ送信手段は自システム電源のＩＤとは異なるＩＤを後段のシステム電源に対して送信する。複数台のシステム電源が上記操作を順次行うので、全システム電源に対して互いに異なるＩＤを自動的に付与することが可能となる。従って、各システム電源に対し手動で入力する場合と比較して、確実にＩＤを割り付けることができる。また、接続確認用ケーブルは各システム電源を直列に接続するので、外部から容易に接続ケーブルの接続状態を視認することができ、人為的接続ミスの防止も容易となる。

また、前段のシステム電源の制御手段はＩＤ送信通知送信手段を有する。前段のシステム電源が後段のシステム電源から返答信号を受信したときは、前段のＩＤ送信通知送信手段は後段のシステム電源を含む他のシステム電源に対してＩＤを送信中であることを表すＩＤ送信通知を接続確認用ケーブルを介して送信する。他のシステム電源はＩＤ送信通知を受信するためのＩＤ送信通知受信手段を備えており、いずれかのシステム電源からＩＤ送信通知が送信されていることを受信したときは、通信ケーブルに対して信号の送信を行わない。これにより、ＩＤが送信されている通信ケーブルにおいて混信を防止することができる。

また、直列接続するシステム電源の先頭のシステム電源をマスター機とする。マスター機の制御手段は、前段のシステム電源から通信ケーブルを介して送信された後段のシステム電源のＩＤを記憶手段に記憶する。従って、マスター機においては、他の全てのシステム電源のＩＤが記録される。更にマスター機の制御手段は、前段のシステム電源から確認信号が送信され、後段のシステム電源から返答信号が送信されていないことを検知した場合において、当該後段のシステム電源が実際に接続されていないかどうかを診断するための診断信号を、通信ケーブルを介して送信する診断信号送信手段と、後段のシステム電源が接続されている場合に当該後段のシステム電源から送信される診断受通知を受信するための診断受通知受信手段とを備えている。

後段のシステム電源から返答信号が送信されていない場合とは、後段のシステム電源が存在しないか、存在しても故障しているかのいずれかの場合である。通信ケーブルを介して送信する診断信号を受信した後段のシステム電源は、接続確認用ケーブルを介して診断受通知を送信する。この診断受通知をマスター機が受信するか否かにより、後段のシステム電源が故障しているか、あるいは存在しないかを判別することができる。

そこで、マスター機の制御手段は上記判別を行うための認定手段を備えており、マスター機はその認定結果を表示する表示手段を備えている。マスター機の制御手段が後段のシステム電源から返答信号を受信しないことを検知した場合であって、マスター機の診断信号送信手段から送信された診断信号を後段のシステム電源が受信して診断受通知を送信した場合は、後段のシステム電源が故障している場合である。マスター機の認定手段は、マスター機の診断受通知受信手段が当該診断受通知を受信したときは、後段のシステム電源は存在するが故障していると認定する。また、マスター機の認定手段は、マスター機の診断受通知受信手段が当該診断受通知を受信しないときは、後段のシステム電源が存在しないことを認定する。マスター機の表示手段は電力供給システムを構成するシステム電源の総台数を表示すると共にその診断結果を表示する。このように、マスター機によりシステム電源の接続状態の確認及び故障しているか否かの診断を自動で行うことができる。

また、各システム電源は接続確認ケーブルと接続する接続確認用コネクタを有している。各システム電源の接続確認用コネクタは、後段のシステム電源に確認信号を出力するための第１接続ピンと、後段のシステム電源から返答信号を入力するための第２接続ピンと、前段のシステム電源から確認信号を入力するための第３接続ピンと、前段のシステム電源に対して返答信号を出力するための第４接続ピンとを備えている。これらの接続ピンを備える接続確認用コネクタは接続ケーブルにより他のシステム電源と接続する。従って、この接続ケーブルを視認することにより、システム電源の接続状態を容易に確認することができ、接続忘れ等の人為的なミスを防止することができる。

また、各システム電源の接続確認用コネクタは、ＩＤ送信通知を出力又は入力するための第５接続ピンを備えている。なお、第５接続ピンは各システム電源間において共通接続する。従って、いずれかのシステム電源の第５接続ピンにＩＤ送信通知が出力された場合には、いずれのシステム電源においてもこれを入力することができる。その結果、ＩＤを、通信ケーブルを介して送信しているシステム電源以外のシステム電源は、通信ケーブルを使用したデータ送信を禁止するように設定することができる。この結果、前段のシステム電源から後段のシステム電源へＩＤの送信を混信することなく確実に行うことができる。

本実施の形態に係るシステム電源は、電力を供給する電源と、この電源の供給する電力を制御するための制御手段と、他のシステム電源との接続を確認するための接続確認用コネクタと、ＩＤの送受信を行う通信用コネクタを備えている。なお、制御手段は電力供給を制御する他に他のシステム電源との接続の確認及びＩＤの送受信等の制御も行う。

制御手段は、一のシステム電源に対して接続確認の確認信号を送信するための確認信号送信手段と、当該一のシステム電源から確認信号を受信した旨の返答信号を受信するための返答信号受信手段を備えている。これにより、他のシステム電源との接続を確立する。そして制御手段は、返答信号受信手段が返答信号を受信したことを契機として、通信用コネクタを介して当該一のシステム電源に対して自システム電源とは異なるＩＤを送信するためのＩＤ送信手段を備えている。例えば自システム電源のＩＤが１０である場合には、当該一のシステム電源に対しては１１のＩＤを送信する。このように他のシステム電源との接続を確立し且つ他のシステム電源に対してＩＤの自動付与機能を備えることにより、他のシステム電源との接続忘れやＩＤ入力ミス等の人為的なミスを防止することができる。

また、接続確認用コネクタは、確認信号送信手段から送信する確認信号を他のシステム電源に出力するための第１接続ピンと、他のシステム電源から受信する返答信号を入力するための第２接続ピンを備えている。これらの接続ピンは他のシステム電源の接続ピンと接続確認用ケーブルを介して接続される。これにより、他のシステム電源との接続を容易に視認することができ、接続忘れ等の人為的ミスを防止することができる。

また、制御回路は、更に他の一のシステム電源から接続確認の確認信号を受信するための確認信号受信手段と、当該他の一のシステム電源に対して確認信号を受信した旨の返答信号を送信するための返答信号送信手段を備えている。また、当該他の一のシステム電源に対して返答信号を送信した後に、当該他の一のシステム電源から自システム電源のＩＤを、通信用コネクタを介して受信するためのＩＤ受信手段を備えている。このように他の一のシステム電源の接続を確立し且つ当該他の一のシステム電源からＩＤの自動受領機能を備えることにより、接続忘れやＩＤ割付ミス等の人為的なミスを防止することができる。

また、接続確認用コネクタは、他の一のシステム電源から受信する確認信号を入力するための第３接続ピンと、返答信号送信手段から送信する返答信号を他の一のシステム電源に出力するための第４接続ピンを備えている。これらの接続ピンは他の一のシステム電源の接続ピンと接続確認用ケーブルを介して接続される。これにより、他の一のシステム電源との接続を容易に視認することができ、接続忘れ等の人為的ミスを防止することができる。

また、システム電源の接続確認用コネクタは、通信用コネクタを介してＩＤを受信中であることを表すＩＤ送信通知を出力又は入力する第５接続ピンを備えている。この第５接続ピンを介してＩＤ送信通知を出力することにより、通信コネクタを介してＩＤを受信する際に混信を防止することができる。

以下、図面を用いて本実施の形態を詳細に説明する。なお、同一の符号は同一の部分又は同一の機能を表す。

図１は本実施の形態に係る電力供給システム１を表すブロック図であり、３台のシステム電源により構成されている。システム電源２ａは、制御手段３ａと、制御手段３ａによって供給する電力が制御される電源４ａと、他のシステム電源との接続確認用コネクタ１６ａと、電力を外部へ供給するための出力端子９ａを有する出力コネクタ１７ａと、システム電源を識別するためのＩＤ等のデータを入出力するための通信端子１０ａを有する通信用コネクタ１８ａと、システム電源の状態等を表示するための表示手段５ａを備えている。

接続確認用コネクタ１６ａは、制御手段３ａの第１ノード２１ａと接続し、確認信号を出力する第１接続ピン１１ａと、制御手段３ａの第２ノード２２ａと接続し、返答信号を入力するための第２接続ピン１２ａと、制御手段３ａの第３ノード２３ａと接続し、確認信号を入力するための第３接続ピン１３ａと、制御手段３ａの第４ノード２４ａと接続し、返答信号を出力するための第４接続ピン１４ａと、制御手段３ａの第５ノード２５ａと接続し、ＩＤ送信通知や診断受通知の入出力するための第５接続ピン１５ａとを備えている。各接続ピン及び各ノードの電位は抵抗８ａを介して電源ライン７ａに接続してプルアップされている。

制御手段３ａは、システム電源２ａの全体の動作を制御するＣＰＵと、このＣＰＵにより制御される供給電力制御手段と、確認信号送信手段と、返答信号受信手段と、確認信号受信手段と、返答信号送信手段と、ＩＤ送信通知送信手段と、ＩＤ送信通知受信手段と、診断受通知送信手段と、診断受通知受信手段と、ＩＤ送信手段と、ＩＤ受信手段と、終端信号送信手段と、終端信号受信手段と、診断信号送信手段と、診断信号受信手段と、認定手段と、ＩＤ記憶手段と、表示駆動手段等を備えている。供給電力制御手段は出力端子９ａから出力される電力を制御する。確認信号送信手段は第１ノード２１ａの電位をＬレベルに設定して後段のシステム電源に対して確認信号を送信する。返答信号受信手段は第２ノード２２ａの電位がＬレベルになったことを検出して後段のシステム電源から返答信号を受信する。確認信号受信手段は第３ノード２３ａの電位がＬレベルになったことを検出して前段のシステム電源から確認信号を受信する。返答信号送信手段は第４ノード２４ａの電位をＬレベルに設定して前段のシステム電源に対して返答信号を送信する。

ＩＤ送信通知送信手段は、所定期間において第６ノード２６ａの電位をＨレベルにしてトランジスタ６ａのソースとドレインを電気的に導通させ、トランジスタ６ａをオンし、第５接続ピン１５ａの電位をＬレベルに設定して、通信端子１０ａからＩＤが送信されていることを他のシステム電源に通知するためのＩＤ送信通知を送信する。ＩＤ送信通知受信手段は、所定期間において第５ノード２５ａの電位がＬレベルになったことを検出してＩＤ送信通知を受信する。診断受通知送信手段は、通信端子１０ａから診断信号を入力したことを契機として第６ノード２６ａの電位をＨレベルにしてトランジスタ６ａをオンし、第５接続ピン１５ａの電位をＬレベルに設定して診断信号を受けた旨の診断受通知を送信する。診断受通知受信手段は、通信端子１０ａから診断信号を出力した後に第５ノード２５ａの電位がＬレベルになったことを検出して診断受通知を受信する。

ＩＤ送信手段は、通信端子１０ａを介して他のシステム電源に対して後段のシステム電源のＩＤを送信する。ＩＤ受信手段は、通信端子１０ａを介して他のシステム電源から自システム電源のＩＤを受信し、ＩＤ記憶手段に記憶する。なお、システム電源２ａが他のシステム電源を制御するマスター機として機能する場合には、他のシステム電源のＩＤを全て記憶する。終端信号送信手段は、システム電源２ａが前段のシステム電源である場合であって、後段のシステム電源から返答信号を受信しない場合に通信端子１０ａを介して終端信号を送信する。終端信号受信手段は、システム電源２ａがマスター機として機能する場合に通信端子１０ａを介して終端信号を受信する。診断信号送信手段は、システム電源２ａがマスター機として機能する場合であって、終端信号受信手段が終端信号を受信した場合に、通信端子１０ａを介して確認信号を送信する。診断信号受信手段は、通信端子１０ａを介してマスター機から診断信号を受信する。認定手段は、システム電源２ａがマスター機である場合に、診断受通知受信手段が診断受通知を受信しない場合に更なるシステム電源が接続されていないこと、また、診断受通知を受信した場合に更なるシステム電源が接続されているが故障している旨の診断を行う。ＩＤ記憶手段は、前段のシステム電源から通信端子１０ａを介してＩＤ受信手段が受信した自システム電源のＩＤを記憶する。システム電源２ａがマスター機である場合には、自システム電源のＩＤの他に電力供給システム１を構成する全てのシステム電源のＩＤを記憶する。また、表示手段は、電力供給システム１を構成するシステム電源の総接続台数や、故障システム電源等の表示を行う。

システム電源２ｂ及びシステム電源２ｃは、上記システム電源２ａと同じ構成を備えている。各システム電源２ａ、２ｂ、２ｃの電力を供給するための各出力端子９ａ、９ｂ、９ｃは共通接続され、スパッタリング装置等へ電力を供給する。各システム電源２ａ、２ｂ、２ｃの通信端子１０ａ、１０ｂ、１０ｃは通信ケーブル１９により共通接続され、システム電源間においてＩＤ等の送受信を行う。システム電源２ａとシステム電源２ｂとは接続確認用ケーブル２０ａにより接続され、システム電源２ｂとシステム電源２ｃとは接続確認用ケーブル２０ｂにより接続される。詳細には、システム電源２ａの第１接続ピン１１ａは、システム電源２ｂの第３接続ピン１３ｂと接続し、確認信号を出力する。システム電源２ａの第２接続ピン１２ａは、システム電源２ｂの第４接続ピン１４ｂと接続し、返答信号を入力する。システム電源２ａの第５接続ピン１５ａは、システム電源２ｂの第５接続ピン１５ｂ及びシステム電源２ｃの第５接続ピン１５ｃと接続してＩＤ送信通知及び診断受通知を入出力する。即ち各システム電源の第５接続ピンは接続確認用ケーブル２０ａ、２０ｂを介して共通接続する。システム電源２ｂの第１接続ピン１１ｂはシステム電源２ｃの第３接続ピン１３ｃと接続し、確認信号を出力する。システム電源２ｂの第２接続ピン１２ｂはシステム電源２ｃの第４接続ピン１４ｃと接続し、返答信号を入力する。

上記実施の形態では３台のシステム電源の例について説明しているが、更に多数のシステム電源を用いた電力供給システムの場合もケーブルの接続は上記と同様である。各システム電源は第１接続ピンから第４接続ピンに関して直列接続となる。この場合に、先頭のシステム電源２ａをマスター機とし、その他のシステム電源２ｂ及びシステム電源２ｃをスレーブ機とし、マスター機が電力供給システム１の全体の管理を行う。具体的には、スレーブ機に割り付けられたＩＤの管理やスレーブ機の台数、スレーブ機の故障や未接続の確認処理等を行う。

図２は電力供給システム１の接続確認及びＩＤ割付動作を表すフローチャート図である。以下図２のフローチャート図を用いて電力供給システム１の動作を説明する。ここで、システム電源２ａをマスター機とし（以下マスター機Ｍという）、システム電源２ｂ及びシステム電源２ｃをスレーブ機とし（以下スレーブ機Ｖｎという、ｎは１、２、３等の整数）、システム電源２ｂをスレーブ機Ｖ１、システム電源２ｃをスレーブ機Ｖ２、第ｎ番目をスレーブ機Ｖｎとする。

マスター機Ｍの制御手段３ａの確認信号送信手段は、第１ノード２１ａの電位をＬレベルに設定してスレーブ機Ｖ１へ確認信号を送信する（ステップＳ１）。当該確認信号は第１接続ピン１１ａから出力されて接続確認用ケーブル２０ａを介してスレーブ機Ｖ１の第３接続ピンにより入力される。その結果、スレーブ機Ｖ１の第３ノード２３ｂはＨレベルからＬレベルへ変化する。スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂの確認信号受信手段は第３ノード２３ｂがＨレベルからＬレベルへ変化したことを検出して当該確認信号を受信する。スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂの返答信号送信手段は第４ノード２４ｂの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させて確認信号を受信した旨の返答信号を送信する。当該返答信号はスレーブ機Ｖ１の第４接続ピン１４ｂから出力され、接続確認用ケーブル２０ａを介してマスター機Ｍの第２接続ピン１２ａにより入力され、第２ノード２２ａの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させる。マスター機Ｍの制御手段３ａの返答信号受信手段は第２ノード２２ａがＨレベルからＬレベルに変化したことを検出して（ステップＳ２のＹＥＳ）、制御手段３ａのＩＤ送信手段は通信端子１０ａを介して通信ケーブル１９にスレーブ機Ｖ１のＩＤである１を送信する。

同時に、制御手段３ａのＩＤ送信通知送信手段は、第６ノード２６ａの電位をＬレベルからＨレベルへ変化させてトランジスタ６ａをオンし、第５ノード２５ａの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させてＩＤを送信中であることを表すＩＤ送信通知を送信する。当該ＩＤ送信通知は第５接続ピン１５ａから他のシステム電源に対して出力される（ステップＳ３）。ＩＤ送信通知が送信されている間、他のシステム電源（この場合はスレーブ機Ｖ１及びスレーブ機Ｖ２）は通信ケーブル１９へ信号の出力を禁止する。スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂのＩＤ受信手段は、通信端子１０ｂを介して自システム電源のＩＤである１を受信し（ステップＳ４）、ＩＤ記憶手段に格納する。

マスター機Ｍの返答信号受信手段がスレーブ機Ｖ１から返答信号を受信しないときは（ステップＳ２のＮＯ）、制御手段３ａの診断信号送信手段は、通信端子１０ａを介して診断信号を送信する（ステップＳ５）。マスター機Ｍの制御手段３ａの診断受通知受信手段が、第５ノード２５ａがＨレベルを維持していることを検出した場合は（ステップＳ６のＮＯ）、制御手段３ａの認定手段はスレーブ機Ｖ１が接続されておらず、マスター機Ｍのみであることを認定する（ステップＳ８）。表示手段５ａは当該認定結果又は電力供給システムを構成するシステム電源の総台数（この場合は１台）を表示し、制御手段３ａは処理を終了する。一方、制御手段３ａの診断受通知受信手段が、第５ノード２５ａがＨレベルからＬレベルへ変化したことを検出した場合は（ステップＳ６のＹＥＳ）、制御手段３ａの認定手段はスレーブ機Ｖ１が接続されているが故障していること認定する（ステップＳ７）。ＣＰＵ３０ａは、表示Ｉ／Ｆ３４ａを介して表示手段５ａに当該結果を表示させ、処理を終了する。

次に、スレーブ機Ｖ１の確認信号送信手段は、第１ノード２１ｂの電位をＬレベルに設定してスレーブ機Ｖ２へ確認信号を送信する（ステップＳ９）。当該確認信号はスレーブ機Ｖ１の第１接続ピン１１ｂから出力されてスレーブ機Ｖ２の第３接続ピン１３ｃにより入力され、スレーブ機Ｖ２の第３ノード２３ｃはＨレベルからＬレベルへ変化する。スレーブ機Ｖ２の制御手段３ｃの確認信号受信手段は第３ノード２３ｃがＨレベルからＬレベルへ変化したことを検出して当該確認信号を受信する。スレーブ機Ｖ２の制御手段３ｃの返答信号送信手段は第４ノード２４ｃの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させて確認信号を受信した旨の返答信号を送信する。スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂの返答信号受信手段は第２ノード２２ｂの電位がＨレベルからＬレベルへ変化したことを検出して（ステップＳ１０のＹＥＳ）、スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂのＩＤ送信手段は通信端子１０ｂを介して通信ケーブル１９にスレーブ機Ｖ２のＩＤであり、スレーブ機Ｖ１のＩＤに１を加えた２（ＩＤ＝ＩＤ＋１）を送信する（ステップＳ１１）。同時に、制御手段３ｂのＩＤ送信通知手段は第６ノード２６ｂの電位をＬレベルからＨレベルへ変化させてトランジスタ６ｂをオンし、第５ノード２５ｂの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させて第５接続ピン１５ｂを介して他のシステム電源に対してＩＤ送信通知を送信する（ステップＳ１１）。

スレーブ機Ｖ２の制御手段３ｃのＩＤ受信手段は通信端子１０ｃを介して自システム電源のＩＤである２を受信し（ステップＳ１２）、当該ＩＤをＩＤ記憶手段に格納する。また、マスター機ＭのＩＤ受信手段は通信端子１０ａを介してスレーブ機Ｖ２のＩＤである２を受信し、当該ＩＤをＩＤ記憶手段に格納する。ＩＤの送信を終了したスレーブ機Ｖ１のＩＤ送信通知送信手段は第６ノード２６ｂの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させてトランジスタ６ｂをオフにし、第５ノード２５ｂ及び第５接続ピン１５ｂをＨレベルからＬレベルへ変化させてＩＤ送信通知を中止する。スレーブ機Ｖ２がＩＤを受信した後は、ｎに１を加算して（ステップＳ１３）ステップＳ９から同じ処理を繰り返す。即ち、スレーブ機Ｖ２の制御手段３ｃの確認信号送信手段は、第１ノード２１ｃの電位をＬレベルに設定してスレーブ機Ｖ３へ確認信号を送信する（ステップＳ９）。スレーブ機がｎ台接続されている場合にはこれをｎ回繰り返すことになる。

次に、スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂの確認信号送信手段が確認信号をスレーブ機Ｖ２へ送信後に、制御手段３ｂの返答信号受信手段がスレーブ機Ｖ２から返答信号を受信しない場合（ステップＳ１０のＮＯ）について説明する。スレーブ機Ｖ１がスレーブ機Ｖ２から返答信号を受信しない場合とは、スレーブ機Ｖ２が接続されていないか、又は、接続されているが故障している場合である。スレーブ機Ｖ１の返答信号受信手段がスレーブ機Ｖ２から返答信号を受信しないときは（ステップＳ１０のＮＯ）、スレーブ機Ｖ１の制御手段３ｂの終端信号送信手段が通信端子１０ｂを介してマスター機Ｍへ終端信号を送信する（ステップＳ１４）。マスター機Ｍの制御手段３ａの終端信号受信手段は通信端子１０ａを介して終端信号を検出すると、制御手段３ａの診断信号送信手段は、通信端子１０ａを介して診断信号を送信する（ステップＳ１５）。そして、マスター機Ｍの制御手段３ａの診断受通知受信手段は、第５ノード２５ａがＨレベルを維持していることを検出すると（ステップＳ１６のＮＯ）、制御手段３ａの認定手段はスレーブ機Ｖ２が接続されていないことを認定し（ステップＳ１８）、制御手段３ａのＣＰＵ３０ａは表示Ｉ／Ｆ３３ａを介して表示手段５ａに対してスレーブ機Ｖ２が接続されていないこと又は電力供給システム１を構成するシステム電源の総台数（この場合は２台）を表示させ、処理は終了する。マスター機Ｍの診断受通知受信手段は第５ノード２５ａの電位がＨレベルからＬレベルへ変化したことを検出すると（ステップＳ１６のＹＥＳ）、制御手段３ａの認定手段はスレーブ機Ｖ２が接続されているが、故障していることを認定し（ステップＳ１７）、ＣＰＵ３０ａは表示手段５ａに対してスレーブ機Ｖ２が故障していることを表示させ、処理は終了する。

なお、スレーブ機Ｖ２が存在する場合は、スレーブ機Ｖ２の制御手段３ｃの診断信号受信手段が通信端子１０ｃから診断信号を受信すると、制御手段３ｃの診断受通知送信手段は第６ノード２６ｃの電位をＬレベルからＨレベルに変化させてトランジスタ６ｃをオンし、第５ノード２５ｃ及び第５接続ピン１５ｃの電位をＨレベルからＬレベルへ変化させて、診断受通知を送信する。ステップＳ１６においてマスター機Ｍはこの診断受通知を受信している。

また、上記の処理においては、スレーブ機Ｖ１が接続確認用ケーブル２０ｂを介して確認信号を送信後に返答信号を受信しない場合に、スレーブ機Ｖ１が通信ケーブル１９を介して終端信号を送信し、マスター機Ｍがこの終端信号を検出している。この処理に代えて、スレーブ機Ｖ１がスレーブ機Ｖ２から返答信号を受信していないことをマスター機Ｍが検出するようにしてもよい。例えば、マスター機ＭのＩＤ送信通知受信手段が最後にＩＤ送信通知を受信してから所定の時間が経過した場合に、マスター機Ｍの診断信号送信手段が通信端子１０ａから診断信号を送信するようにしてもよい。

図３は、システム電源２ａの制御手段３ａの構成を表すブロック図を示す。同一の符号は同一の部分又は同一の機能を表す。なお、制御手段３ａは他のシステム電源２ｂ、２ｃのそれぞれの制御手段３ｂ、３ｃと基本的に同一の構成を有している。

図３において、制御手段３ａは、制御手段３ａの動作を制御するＣＰＵ３０ａと、制御バス及びデータバス等からなるバス３８ａと、プログラムを記憶するＲＯＭ３６ａと、ＲＯＭ３６ａから呼び出されたプログラムを一時的に記憶し、ＣＰＵ３０ａにより制御されてプログラムの処理が実行されるＲＡＭ３５ａと、電源４ａ（図１を参照）を制御する供給電力制御手段３１ａと、ＲＳ４８５等によりデータの送受信を行う通信Ｉ／Ｆ（インターフェース）３３ａと、表示手段５ａに表示データを送信するための表示Ｉ／Ｆ（インターフェース）３４ａと、第１接続ピン１１ａから第５接続ピン１５ａを介して接続確認用ケーブル２０ａに信号の送受信を行うためのＩ／Ｏ３２ａと、ＩＤを記憶するＩＤ記憶手段３７ａと、を有している。

ＲＯＭ３６ａは、システム電源の接続の確認処理を実行するための接続確認プログラムや、供給電力制御手段３１ａを制御するための制御プログラムや、その他の手段の処理を実行するための各種のプログラムが格納されている。これらのプログラムはＣＰＵ３０ａによってＲＡＭ３５ａに一時的に呼び出され、ＣＰＵ３０ａの制御に基づいて実行される。ＲＯＭ３６ａは、接続確認処理を実行するための接続確認プログラムと、供給電力制御手段を制御するための電力制御プログラムと、通信Ｉ／Ｆ３３ａからデータの送受信を行うために、ＩＤの送信処理を実行するプログラムからなるＩＤ送信手段と、ＩＤの受信処理を実行するプログラムからなるＩＤ受信手段と、終端信号を送信処理するプログラムからなる終端信号送信手段と、終端信号を受信処理するプログラムからなる終端信号受信手段と、診断信号を送信処理するプログラムからなる診断信号送信手段と、診断信号の受信処理するプログラムからなる診断信号受信手段と、診断受信号の受信の有無によりシステム電源の接続及び故障を認定するプログラムからなる認定手段等と、を有している。

Ｉ／Ｏ３２ａは、ＣＰＵ３０ａにより制御され、第１接続ピン１１ａから第５接続ピン１５ａを介して送受信するための各送受信手段を備えている。送信手段としては、例えばオープンドレイン出力トランジスタから構成され、論理信号をそのゲートに入力しドレインとソース間のオン・オフ制御を行う。また、受信手段は、例えば信号受信用の入力トランジスタから構成され、対応するノードの電位レベルを検出して論理信号へ変換する。

Ｉ／Ｏ３２ａ内の各送受信手段について、具体的には、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａからの制御信号に基づいて、第１ノード２１ａの電位をＬレベルに設定して確認信号を送信する確認信号送信手段と、第２ノード２２ａの電位がＬレベルに設定されたことを検出し、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａに返答信号を受信したことを通知する返答信号受信手段と、第３ノード２３ａの電位がＬレベルに設定されたことを検出し、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａに確認信号を受信したことを通知する確認信号受信手段と、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａからの制御信号に基づいて、第４ノード２４ａの電位をＬレベルに設定して返答信号を送信する返答信号送信手段と、第５ノード２５ａの電位が所定の期間にＬレベルに設定されたことを検出し、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａにＩＤ送信通知を受信したことを通知するＩＤ送信通知受信手段と、第５ノード２５ａの電位が所定の期間にＬレベルに設定されたことを検出し、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａに診断受通知を受信したことを通知する診断受通知受信手段と、返答信号受信手段が返答信号を受信した後にバス３８ａを介してＣＰＵ３０ａからの制御信号に基づいて、第６ノード２６ａの電位をＨレベルに設定し、トランジスタ６ａをオンし、第５ノード２５ａの電位をＬレベルに設定してＩＤ送信通知を送信するＩＤ送信通知送信手段と、終端信号送信手段が終端信号を送信した後にバス３８ａを介してＣＰＵ３０ａからの制御信号に基づいて、第６ノード２６ａの電位をＨレベルに設定してトランジスタ６ａをオンし、第５ノード２５ａの電位をＬレベルに設定して診断受通知を送信する診断受通知送信手段とを有する。

なお、上記実施の形態において、第５ノード２５ａにＩＤ送信通知受信手段と診断受通知受信手段とが共通に接続し、ＩＤ送信通知をＩＤ送信通知受信手段が、診断受通知を診断受通知受信手段が互いに分離して受信する構成としている。この構成に代えて、ＩＤ送信通知と診断受通知とを同一の受信手段、例えば単一の入力トランジスタにより受信し、ＣＰＵ３０ａが制御する処理プラグラムを実行する際にＩＤ送信通知と診断受通知とを識別するようにしてもよい。この場合は、ＩＤ送信通知を処理する処理プログラムがＩＤ送信通知受信手段であり、診断受通知を処理する処理プログラムが診断受通知受信手段である。同様に、第６ノード２６ａに共通接続するＩＤ送信通知送信手段と診断受通知送信手段とを同一の送信手段、例えば単一の出力トランジスタとし、ＣＰＵ３０ａが制御する処理プログラムを実行する際にＩＤ送信通知と診断受通知とを識別して送信するようにしてもよい。この場合は、ＩＤ送信通知を処理する処理プログラムがＩＤ送信通知送信手段であり、診断受通知を処理する処理プログラムが診断受通知送信手段である。

供給電力制御手段は、バス３８ａを介してＣＰＵ３０ａにより制御され、電力制御ノード４０ａを介して電源４ａの供給電力を制御する。システム電源２ａがマスター機Ｍである場合には、他のシステム電源２ｂ、２ｃが供給する出力も制御する。表示Ｉ／Ｆ３４ａは、バス３８ａを介して受信する表示データを表示手段５ａに表示させるためのインターフェースである。電力供給システム１を構成するシステム電源の総台数や故障等の情報を表示する。ＩＤ記憶手段３７ａは、自システム電源のＩＤや、マスター機として機能する場合にはスレーブ機のＩＤを記憶する。

なお、上記実施の形態における制御手段３ａは、ＣＰＵ３０ａがバス３８ａを介してＲＯＭ３６ａに記憶された各プログラムをＲＡＭ３５ａに読み出し、各プログラムからなる送受信手段の処理を実行し、通信Ｉ／Ｆ３３ａを介して各信号の送受信を行うとともに、ＣＰＵ３０ａがバス３８ａを介してＩ／Ｏ３２ａを制御してＩ／Ｏ３２ａ内の各送受信手段により第１ノード２１ａから第６ノード２６ａの電位レベルを設定し又は電位レベルを検出することにより各信号の送受信を行うようにしているが、これに限定されるものではない。要は、第１ノード２１ａから第６ノード２６ａの電位レベルの設定及び電位レベルの検出を行う各送信手段及び各受信手段を備え、通信端子１０ａに対して各信号の送信及び受信を行う送信手段及び受信手段を備え、図２で示したフローチャート図の各処理を実行することができるものであればよい。

また、上記実施の形態において、第１ノード２１ａから第６ノード２６ａの電位を電源ライン７ａによりＨレベルにプルアップしているが、これに限定されるものではない。抵抗８ａの一方の端子を電源ライン７ａに接続する代わりにＧＮＤ（グランド）に接続して各ノードの電位をＬレベルにプルダウンし、制御手段３ａの送受信手段が対応するノードの電位をＨレベルに設定して信号の送信を又はＨレベルであること検出して信号の受信を行うようにしてもよい。あるいは、各レベルの組合せによる論理信号を確認信号や返答信号等としてもよい。

本発明の実施の形態に係る電力供給システムを表すブロック図である。 本発明の実施の形態に係る電力供給システムの動作を表すフローチャート図である。 本発明の実施の形態に係るシステム電源の制御手段を表すブロック図である。 従来から公知の電力供給システムを表すブロック図である。

符号の説明

１ 電力供給システム
２ａ、２ｂ、２ｃ システム電源
３ａ、３ｂ、３ｃ 制御手段
４ａ、４ｂ、４ｃ 電源
５ａ、５ｂ、５ｃ 表示手段
６ａ、６ｂ、６ｃ トランジスタ
７ａ、７ｂ、７ｃ 電源ライン
８ａ、８ｂ、８ｃ 抵抗
９ａ、９ｂ、９ｃ 出力端子
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 通信端子
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ 第１接続ピン
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ 第２接続ピン
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ 第３接続ピン
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ 第４接続ピン
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ 第５接続ピン
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ 第１ノード
２２ａ、２２ｂ、２２ｃ 第２ノード
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ 第３ノード
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ 第４ノード
２５ａ、２５ｂ、２５ｃ 第５ノード
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ 第６ノード

Claims (11)

1. 電力を供給する電源と前記供給する電力の制御を行う制御手段とを有するシステム電源を複数台備え、前記各システム電源は、前記電力を供給する出力端子を共通に接続し、前記システム電源を識別するためのＩＤの入出力を行う通信端子を通信ケーブルにより共通に接続する電力供給システムであって、
   前記複数台のシステム電源は接続確認用ケーブルを介して直列に接続され、
   前記直列に接続されるシステム電源のうち、前段のシステム電源の制御手段は、後段のシステム電源に対して前記接続確認用ケーブルを介して接続を確認するための確認信号を送信する確認信号送信手段を有し、
   前記後段のシステム電源の制御手段は、前記前段のシステム電源に対して前記接続確認用ケーブルを介して前記確認信号を受信した旨の返答信号を送信する返答信号送信手段を有し、
   前記前段のシステム電源の制御手段は、前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信したことを契機として、前記後段のシステム電源のＩＤを前記通信ケーブルを介して送信するＩＤ送信手段を有することを特徴とする電力供給システム。
2. 前記前段のシステム電源の制御手段は、前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信したことを契機として、前記後段のシステム電源に対してＩＤの送信中であることを表すＩＤ送信通知を前記接続確認用ケーブルを介して送信するＩＤ送信通知送信手段を有することを特徴とする請求項１に記載の電力供給システム。
3. 前記接続確認用ケーブルを介して直列接続するシステム電源の先頭のシステム電源をマスター機とし、
   前記マスター機の制御手段は、
   前記前段のシステム電源から前記通信ケーブルを介して送信された後段のシステム電源のＩＤを記憶する記憶手段と、
   前記前段のシステム電源が前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信していないことを検知して、診断信号を前記通信ケーブルを介して送信する診断信号送信手段と、
   前記診断信号を受信した前記後段のシステム電源が前記接続確認用ケーブルを介して送信する診断受通知を受信する診断受通知受信手段と、を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の電力供給システム。
4. 前記マスター機の制御手段は、前記制御手段が前記後段のシステム電源から前記返答信号を受信していないことを検知した場合であって、前記マスター機の前記診断受通知受信手段が、前記診断受通知を受信したことを検知したときは前記後段システムが故障していることを認定し、前記診断受通知を受信したことを検知しないときは前記後段のシステム電源が接続されていないことを認定する認定手段を備え、
   前記マスター機は、前記認定手段が認定した結果又は／及びシステム電源の総台数を表示する表示手段を備えていることを特徴とする請求項３に記載の電力供給システム。
5. 前記システム電源は、前記接続確認用ケーブルと接続する接続確認用コネクタを有し、
   前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を出力する第１接続ピンと、前記返答信号を入力する第２接続ピンと、前記確認信号を入力する第３接続ピンと、前記返答信号を出力する第４接続ピンとを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電力供給システム。
6. 前記接続確認用コネクタは、前記ＩＤ送信通知を出力又は入力する第５接続ピンを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の電力供給システム。
7. 電力を供給する電源と、前記供給する電力を制御するための制御手段と、他のシステム電源との接続を確認するための接続確認用コネクタと、ＩＤの送受信を行う通信用コネクタとを備えたシステム電源であって、
   前記制御手段は、
   前記接続確認用コネクタを介して一のシステム電源に対して接続確認の確認信号を送信する確認信号送信手段と、
   前記接続確認用コネクタを介して前記一のシステム電源から前記確認信号を受信した旨の返答信号を受信する返答信号受信手段と、
   前記返答信号受信手段が前記返答信号を受信したことを契機として、前記通信用コネクタを介して前記一のシステム電源のＩＤを送信するＩＤ送信手段と、を備えていることを特徴とするシステム電源。
8. 前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を出力する第１接続ピンと、前記返答信号を入力する第２接続ピンとを備えていることを特徴とする請求項７に記載のシステム電源。
9. 前記制御手段は、
   前記接続確認用コネクタを介して他の一のシステム電源から接続確認の確認信号を受信する確認信号受信手段と、
   前記接続確認用コネクタを介して前記他の一のシステム電源に対して前記確認信号を受信した旨の返答信号を送信する返答信号送信手段と、
   前記返答信号送信手段が前記返答信号を送信した後に、前記通信用コネクタを介して前記他の一のシステム電源から自システム電源のＩＤを受信するＩＤ受信手段と、を備えていることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載のシステム電源。
10. 前記接続確認用コネクタは、前記確認信号を入力する第３接続ピンと、前記返答信号を出力する第４接続ピンとを備えていることを特徴とする請求項９に記載のシステム電源。
11. 前記接続確認用コネクタは、前記通信用コネクタが前記ＩＤを送信中であることを表すＩＤ送信通知を出力又は入力する第５接続ピンを備えていることを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載のシステム電源。

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