JP4752756B2 - 熱アシスト磁気ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ、ハードディスク装置及び熱アシスト磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
(ハードディスク装置)
(熱アシスト磁気ヘッド)
ここで、導波路のコア35内には、一定の厚みを有する集光レンズ35Lが埋設されている。この熱アシスト磁気ヘッドは、光出射面353に設けられたプラズモン・プローブ36の隣に位置する磁気記録素子34を備えている。集光レンズ35Lは、発光素子40からコア35内に入射した光をプラズモン・プローブ36上に集光するものである。
(光源ユニット)
(製造方法)
更に、コア(誘電体層35d,35c,35a)上に高屈折率材料HRを堆積し、コアの露出表面上、及び、エッチングによって形成された開口内の下部クラッド38a上に、この高屈折率材料HRを埋設する。高屈折率材料HRは、領域35L’内において集光レンズ35Lとなり、開口M’内において目印領域Mとなる(図16(B))。目印領域Mは、光の入射位置を画像認識によって観察するために形成する。
以上のように、上述の実施形態に係る熱アシスト磁気ヘッドの製造方法は、下部クラッド38a上にコア35(35a,35b,35c,35d)を堆積する工程(図15(B))と、コア35の一部をエッチングする工程(図16(A))と、エッチングによって除去された領域内にコア35よりも高屈折率の材料を堆積することで、集光レンズ35Lを形成する工程(図16(B))と、コア35及び集光レンズ35L上に上部クラッド38bを形成する工程(図16(D))と、光出射面にプラズモン・プローブ36を形成する工程(図14(A)〜図16(D))と、プラズモン・プローブ36の隣に電磁コイル34(図7)を形成する工程とを備えている。本発明の製造方法によれば、集光レンズ35Lをエッチング及び高屈折率材料の堆積工程によって簡単に形成することができるので、熱アシストヘッドを簡易に製造することができる。
Claims (6)
- 熱アシスト磁気ヘッドにおいて、
光入射面及び磁気記録媒体に対向する光出射面を有する導波路のコアと、
前記光出射面に設けられたプラズモン・プローブと、
前記プラズモン・プローブの隣に位置する磁気記録素子と、
前記コア内に埋設された集光レンズと、
を備え、
前記集光レンズによる光の集光位置と、前記光出射面の位置とは、前記コアの光軸に沿ってずれており、
前記光出射面の位置は、前記集光レンズの焦点位置に一致することを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド。 - 前記集光レンズは、凸レンズ、バイナリレンズ、又は、フレネルレンズからなることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記集光レンズは凸レンズであって、その屈折率は前記コアの屈折率よりも高く、
前記コアの光軸をZ軸とし、前記コアの厚み方向をX軸、幅方向をY軸とすると、
前記凸レンズは、
X軸に平行な線分群からなりXY平面に対して前記光入射面方向に突出した光入射曲面と、
X軸に平行な線分群からなりXY平面に対して前記光出射面方向に突出した光出射曲面と、
を有していることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気ヘッド。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気ヘッドと、
前記熱アシスト磁気ヘッドを支持するサスペンションと、
を備えたヘッドジンバルアセンブリ。 - 請求項4に記載のヘッドジンバルアセンブリと、
前記ヘッドジンバルアセンブリに対向する磁気記録媒体と、
を備えたハードディスク装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の熱アシスト磁気ヘッドを製造する熱アシスト磁気ヘッドの製造方法において、
下部クラッド上に前記コアを堆積する工程と、
前記コアの一部をエッチングする工程と、
前記エッチングによって除去された領域内に前記コアよりも高屈折率の材料を堆積することで、前記集光レンズを形成する工程と、
前記コア及び前記集光レンズ上に上部クラッドを形成する工程と、
前記コアの光出射面に前記プラズモン・プローブを形成する工程と、
前記プラズモン・プローブの隣に前記磁気記録素子を形成する工程と、
を備えることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
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