JP4748349B2 - テスタシミュレーション装置及びテスタシミュレーション方法 - Google Patents

テスタシミュレーション装置及びテスタシミュレーション方法 Download PDF

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Description

本発明は、テストパターンに基づいて、例えば、IC、LSI等の被試験対象のテスタによる試験をシミュレーションするテスタシミュレーション装置及びテスタシミュレーション方法に関し、入力パターンのタイミングマージンの確認を短時間に行えるテスタシミュレーション装置及びテスタシミュレーション方法に関するものである。
テスタ(ICテスタ)は、テストプログラムに基づいて、被試験対象(以下DUTと略す)に入力パターンを与え、DUTからの出力と期待値パターンとを比較し、DUTの良否の判定を行うものである。近年、実際に、テスタにより、DUTの試験を行う前に、DUT、テスタをモデルとして、シミュレーションを行い、テストプログラムの動作確認を行っている。このような装置は、例えば下記特許文献1等に示される。以下、図6に示し説明する。
特開2003−256493号公報
図6に示すように、記憶部1は、入力パターン、期待値パターン等からなるテストパターンを含むテストプログラムを記憶する。シミュレーション手段2は、記憶部1のテストプログラムに基づいて、テスタの回路動作をシミュレーションする。そして、シミュレーション手段2は、テスタモデル21、DUTモデル22を有する。テスタモデル21は、記憶部1のテストプログラムに基づいて、テスタの回路動作をシミュレーションする。DUTモデル22は、テスタモデル21と信号の授受を行い、例えばIC,LSI等のDUTの回路動作をシミュレーションする。
このような装置の動作を以下に説明する。シミュレーション手段2が、記憶部1のテストプログラムを読み出し、テストプログラムにより、テスタモデル21を動作させる。テスタモデル21は、テストプログラムに基づいて、DUTモデル22に入力パターンを出力する。この入力パターンにより、DUTモデル22はテスタモデル21に出力を行う。そして、テスタモデル21は、DUTモデル22の出力とテストプログラムの期待値パターンとの比較を行う。このように、テスタモデル21、DUTモデル22により、テストプログラムの動作確認を行っている。
例えば、DUTモデル22が、OR(論理和)回路、EOR(排他的論理和)回路、AND(論理積)回路、これら回路をそれぞれラッチするフリップフロップのモデルからなり、これらの回路の出力が出力される場合の試験のシミュレーションについて説明する。図7はこのようなDUTモデル22のシミュレーションのタイミングチャートを示した図である。(a),(b)はテスタモデル21が出力する入力信号A,B、(c)〜(e)はDUTモデル22のOR回路、EOR回路、AND回路の出力信号a〜c、(f)はテスタモデル21が出力するクロックclk、(g)〜(i)はDUTモデル22のフリップフロップの出力信号d〜fである。ここで、以後、上向きの点線矢印がハイレベルの期待値を示すストローブタイミング、下向きの点線矢印がロウレベルの期待値を示すストローブタイミングである。また、クロックclkの上向きの矢印は、その立ち上がりエッジで信号を、フリップフロップでラッチすることを示す。そして、2点鎖線はテスタのテストレートを示す。
テスタモデル21が、DUTモデル22に、入力パターンである入力信号A,B、クロックclkを出力する。そして、DUTモデル22が、出力信号a〜fをテスタモデル21に出力する。テスタモデル21は、ストローブタイミングで期待値と出力信号a〜fと比較する。
実際のテスタでは、テストパターンに基づき、信号発生部が発生したデジタル信号を、ドライバを介して、DUTの入力ピンに対して印加し、DUTの出力ピンから出力信号をテストパターンに基づいた期待値と照合する。ところが、実際のテスタで試験する際には、テスタの持つ電気的な問題として、絶対誤差、指定した設定値に対する実際のエッジタイミングのずれなどが存在し、図7に示すような理想タイミングでのタイミングチャートにはならない。入力信号Aが遅めに与えられたり、入力信号Bが早めに与えられたりすることが起こる。
そのようなタイミング誤差の組み合わせは、テスタの機種の違い、同一機種でもテスタの個体差、同一テスタでもピン間の差などがあり、ずれる量が違い、プラス、マイナス方向のずれの様々な組み合わせが起こりうる。
例えば、入力信号Aのエッジタイミングが遅くなる誤差を持っていた場合、図8に示すようなタイミングチャートになる。つまり、フェイルが発生する箇所が4箇所発生する。ここで、点線矢印の下部に「F」が書かれた箇所がフェイル発生ポイントを示す。
次に、入力信号Aのエッジタイミングが早く、入力信号Bのエッジタイミングの遅くなる誤差を持っていた場合、図9に示すようなタイミングチャートになる。つまり、フェイルが発生する箇所が7箇所発生する。
そして、入力信号A,Bのエッジタイミングが、早い、同じ、遅い場合の全組み合わせにおけるフェイル発生の11箇所を図10に示す。図10の波形は理想波形で示す。
ここまでは、クロックclkによるラッチについては、フェイルの影響がでなかったが、例えば、図8のように、入力信号Aのエッジタイミングが遅くなると共に、クロックclkのタイミングが早くなった場合、図11に示すように、フリップフロップの出力にフェイルが発生してしまう。
このように、実際のテスタのタイミングマージンのチェックを、シミュレーション手段2により、入力パターンのタイミングをずらして、チェックを行っていた。
近年のLSIは、回路規模が巨大になり、1回のテストパターンのシミュレーションに要する時間も長くなっている。また、入力ピン数も増大、例えば100ピン以上になったため、タイミング誤差の組み合わせ個数は膨大なものとなってしまう。また、エッジタイミングを早い、±0、遅いの組み合わせをいくつか選び、シミュレーションの繰り返しを長時間かけて行ったとしても、場合によっては、幅が細かいパルス状に発生するフェイルポイントを見逃す可能性が残る。それを回避するために、チャックするポイントを増やす、つまり、シミュレーション回数がさらに増加することになってしまう。
このような状況下で、入力信号に対するエッジタイミング誤差に対するマージン有無のチェックのためのシミュレーションを行うことは現実的ではなくなっていた。
しかし、近年のLSIは、高速動作をするものが多くなり、相対的にテスタのタイミング誤差の影響が大きくなり、正しい期待値照合ができないケースも目立ってきている。
事前に、シミュレーションで、テスタのタイミング誤差を含めた検証を行いたいが、シミュレーション時間があまりにも長くかかってしまうために、シミュレーションが行えないとう問題点があった。
そこで、本発明の目的は、入力パターンのタイミングマージンの確認を短時間に行えるテスタシミュレーション装置及びテスタシミュレーション方法を実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
テストパターンに基づいて、被試験対象のテスタによる試験をシミュレーションするテスタシミュレーション装置において、
前記被試験対象の回路動作をシミュレーションするDUTモデルと、
前記テスタの回路動作をシミュレーションし、前記テストパターンの入力パターンのエッジに所望期間のタイミングマージンを示す不定状態レベルを付加して、前記DUTモデルに出力すると共に、DUTモデルの出力とテストパターンの期待値パターンとをストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとするテスタモデルと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
テスタモデルは、
入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して出力するドライバモデルと、
DUTモデルの出力と期待値パターンとを、ストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとする比較器モデルと
を有することを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明であって、
テスタモデルに設けられ、テスタパターンにより、入力パターンをドライバモデルに出力し、期待値パターンを比較器モデルに出力すると共に、ストローブを比較器モデルに与える信号発生部モデルを有することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
テスタモデルは、
テストパターンにより、入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して出力し、期待値パターン、ストローブを出力する信号発生部モデルと、
DUTモデルの出力と前記信号発生部モデルの期待値パターンとを、信号発生部モデルのストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとする比較器モデルと
を設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、
テストパターンに基づいて、被試験対象のテスタによる試験をシミュレーションするテスタシミュレーション方法において、
前記テスタの回路動作をシミュレーションするテスタモデルに、前記テストパターンの入力パターンのエッジに所望期間のタイミングマージンを示す不定状態レベルを付加して出力するステップと、
前記テスタモデルの出力を入力し、DUTモデルが前記被試験対象の回路動作をシミュレーションするステップと、
前記テスタモデルがDUTモデルの出力とテストパターンの期待値パターンとをストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとするステップと
を備えたことを特徴とするものである。
本発明によれば、テスタモデルが、入力パターンのエッジに不定状態レベルを付加し、DUTモデルの出力と期待値とを比較し、DUTモデルの出力が期待値と異なるレベルまたは不定状態レベルのとき、フェイルにするので、タイミングマージンのチェックを短時間に行うことができる。
また、所望期間、不定状態レベルを付加しているので、所望期間全体にわたって、タイミングマージンのチェックを行うことができる。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図6と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
図1に示すように、テスタモデル23はテスタモデル21の代わりに設けられ、記憶部1のテストプログラムに基づいて、テスタの回路動作をシミュレーションし、テストパターンの入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して、DUTモデル22に出力すると共に、DUTモデル22の出力とテストパターンの期待値パターンとを比較し、DUTモデル22の出力が期待値と異なるレベルまたは不定状態レベルのとき、フェイルとする。そして、テスタモデル23は、信号発生部モデル230、ドライバモデル231〜233、複数の比較器モデル234を有する。信号発生部モデル230は、テストパターンデータにより、タイミング発生や波形整形後の信号、つまり、入力パターン、期待値パターン、ストローブを出力する。ドライバモデル231,232は、信号発生部モデル230からの入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して、DUTモデル22に出力する。ドライバモデル233は、信号発生部モデル230からの入力パターンのタイミングをずらし、DUTモデル22に出力する。比較器モデル234は、DUTモデル22の出力と期待値パターンとを、信号発生部モデル230のストローブのタイミングで比較し、DUTモデル22の出力が期待値と異なるレベルまたは不定状態レベルのとき、フェイルとする。
ここで、不定状態レベルとは、シミュレータにおいて、H(ハイ)、L(ロウ)、Z(ハイゼット)というレベルに加え、x(不定状態)という特殊なレベルが存在する。x信号は、基本的に、他方の信号によりレベルが特定される場合には無視され、両者の信号により計算する際には一方がxであれば、結果もxというように働く。例えば、図2に示されるような関係になる。(a)はAND回路の真理値表、(b)はOR回路の真理値表、(c)はEXOR回路の真理値表である。また、多くLSIは何らかの同期設計がなされており、入力信号に対しては、基準となるクロックが存在し、入力レベルもしくは内部信号のレベルがクロックのエッジでラッチされ、後段に伝わる。x信号も、通常のレベルと同様に、xが与えられている状態でクロックがくれば、xレベルがラッチされ、その後段にxレベルとして伝えられる。
このような装置の動作を、図3を用いて、以下に説明する。シミュレーション手段2が、記憶部1のテストプログラムを読み出し、テストプログラムにより、テスタモデル23を動作させる。そして、テスタモデル23の信号発生部モデル230が、テストプログラムに基づいて、入力パターンをドライバモデル231〜233に出力する。ドライバモデル231,232は、図3(a)に示すように、入力パターンのエッジに所望期間のxレベルを付加して、DUTモデル22に出力する。また、ドライバ233は、クロックとなる入力パターンを入力し、図3(b)に示すように、入力パターンのタイミングをずらし、DUTモデル22に出力する。
これらの入力信号、クロックにより、DUTモデル22は、例えば、図2に示されるような関係に基づいて、シミュレーションが行われ、テスタモデル23に出力を行う。そして、テスタモデル23の比較器モデル234は、DUTモデル22の出力とテストプログラムの期待値パターンとの比較を行い、期待値と同じレベルのとき、パスとし、DUTモデル22の出力が期待値と異なるレベルまたはxレベルのとき、フェイルとする。フェイルが発生した場合、xレベルの所望期間分のマージンがないことがわかる。
例えば、従来例と同様に、DUTモデル22が、OR回路、EOR回路、AND回路、これら回路をそれぞれラッチするフリップフロップのモデルからなり、これらの回路の出力が出力される場合の試験のシミュレーションについて説明する。図4はこのようなDUTモデル22のシミュレーションのタイミングチャートを示した図である。(a)〜(i)は図7と同様である。ここで、信号のエッジ付近の斜線部はxレベルを示し、その他の意味は図7と同様である。
テスタモデル23の信号発生部モデル230が入力信号A,B、クロックclkを出力する。そして、ドライバモデル231,232は、図4(a),(b)に示すように、それぞれ、信号発生部モデル230の入力信号A,Bのエッジの所望期間にxレベルを付加して出力する。また、ドライバモデル233は、図4(f)に示すように、クロックclkのタイミングをずらさずに出力する。これらのドライバモデル231〜233の出力により、DUTモデル21は、図2に示すような関係により、図4(c)〜(e)に示すように、xレベルを含んだ出力信号a〜cを出力すると共に、図4(g)〜(i)に示すように、xレベルを含まない出力信号d〜fを出力する。
テスタモデル23の複数の比較器モデル234は、それぞれ、DUTモデル22の出力信号a〜fを入力し、出力信号a〜fと信号発生部モデル230が出力する期待値パターンとを、ストローブのタイミングにより比較する。そして、比較器モデル235は、期待値パターンと一致した場合、パスとし、期待値パターンと不一致及びxレベルの場合、フェイルとする。この結果、図4に示されるフェイルポイントは、図10に示すタイミングチャートとフェイルポイントが一致する。すなわち、xレベルを用いることにより、1回のシミュレーションで、タイミングマージンの有無が求まることがわかる。
次に、クロックclkのタイミングをずらす場合を図5に示し説明する。この場合、ドライバモデル233が、信号発生部モデル230が出力するクロックclkのタイミングを早めにずらして、DUTモデル22に出力する。この結果、DUTモデル22は、図5(g)〜(i)に示されるように、出力信号d以外、xレベルを含んだ信号を出力する。その他の動作は上記と同じなので、説明を省略する。クロックclkは基準信号であるので、xレベルの設定をすることはできないが、クロックclkのタイミングを早くしたり、遅くしたりして、チェックを行うことができる。
このように、テスタモデル23が、入力パターンのエッジにxレベルを付加し、DUTモデル22の出力と期待値とを比較し、DUTモデル22の出力が期待値と異なるレベルまたはxレベルのとき、フェイルにするので、タイミングマージンのチェックを短時間に行うことができる。
また、所望期間、xレベルを付加しているので、所望期間全体にわたって、タイミングマージンのチェックを行うことができる。つまり、タイミングチェック時に、タイミングのずらしのステップ間に、幅が細かいパルス状に発生するフェイルポイントを見逃す可能性をなくすことができる。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、クロックclkのタイミングをずらして、チェックを行う構成を示したが、クロックについては、クロックに関連する入力信号のタイミング誤差が、クロックのエッジの相対時間差とも考えられるので、基準信号として扱われるクロック自体は一定、理想タイミングと考え、入力信号のタイミング誤差に、クロックのタイミング誤差を加えて、シミュレーションを行う構成でもよい。
また、クロックが1つの場合を示したが、複数のクロックを持つ場合でもよい。その場合は、複数クロックをずらす組み合わせ回数分のシミュレーションを行う。また、複数クロックのタイミング誤差を、入力信号のタイミング誤差に加えて、シミュレーションを行う。なお、クロックは入力信号に比較して、ずっと少ないので、複数クロックをずらす組み合わせでシミュレーションを行っても、すべての組み合わせのシミュレーションに比較して、ずっと少ない組み合わせでシミュレーションすることができる。
また、ドライバモデル231,232により、xレベルの挿入、ドライバモデル233により、タイミングのずらしを行う構成を示したが、信号発生部モデル230が、入力パターンに対して、xレベルの挿入、タイミングのずらしを行う構成でもよい。この場合、テスタモデル23はドライバモデル231〜233がない構成となる。
また、入力信号に対するxレベルの所望期間は、DUTモデル21のピンごとに異なっても同じでもよい。また、所望期間の設定は、テスタモデルのピングループの指定、ピン単位の指定のどちらでもよい。
また、DUTモデル22の入力、出力、クロックピンに対応して、ドライバモデル231〜233、比較器モデル234を設けた構成を示したが、実際のテスタと同様に、ドライバモデル、比較器モデルを、テスタモデルのピンごとに設ける構成でもよい。また、ドライバモデルが、xレベルの挿入機能、タイミングをずらす機能の両方をもつ構成でもよい。
また、xレベルを付加する所望期間は事前に設定されるものとしたが、キーボード、マウス等の入力手段により、シミュレーション手段2のドライバモデル231,232に設定する構成や、記憶部に格納され、各種の所望期間の設定を、シミュレーション手段2が読み出し、ドライバモデル231,232に設定する構成でもよい。
本発明の実施例を示した構成図である。 基本回路の真理値表を示す図である。 図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図1に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 従来のテスタシミュレーション装置の構成を示した図である。 図7に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図7に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図7に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図7に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。 図7に示す装置の動作を示したタイミングチャートである。
符号の説明
1 記憶部
2 シミュレーション手段
22 DUTモデル
23 テスタモデル
230 信号発生部モデル
231〜233 ドライバモデル
234 比較器モデル

Claims (5)

  1. テストパターンに基づいて、被試験対象のテスタによる試験をシミュレーションするテスタシミュレーション装置において、
    前記被試験対象の回路動作をシミュレーションするDUTモデルと、
    前記テスタの回路動作をシミュレーションし、前記テストパターンの入力パターンのエッジに所望期間のタイミングマージンを示す不定状態レベルを付加して、前記DUTモデルに出力すると共に、DUTモデルの出力とテストパターンの期待値パターンとをストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとするテスタモデルと
    を備えたことを特徴とするテスタシミュレーション装置。
  2. テスタモデルは、
    入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して出力するドライバモデルと、
    DUTモデルの出力と期待値パターンとを、ストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとする比較器モデルと
    を有することを特徴とする請求項1記載のテスタシミュレーション装置。
  3. テスタモデルに設けられ、テスタパターンにより、入力パターンをドライバモデルに出力し、期待値パターンを比較器モデルに出力すると共に、ストローブを比較器モデルに与える信号発生部モデルを有することを特徴とする請求項2記載のテスタシミュレーション装置。
  4. テスタモデルは、
    テストパターンにより、入力パターンのエッジに所望期間の不定状態レベルを付加して出力し、期待値パターン、ストローブを出力する信号発生部モデルと、
    DUTモデルの出力と前記信号発生部モデルの期待値パターンとを、信号発生部モデルのストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとする比較器モデルと
    を設けたことを特徴とする請求項1記載のテスタシミュレーション装置。
  5. テストパターンに基づいて、被試験対象のテスタによる試験をシミュレーションするテスタシミュレーション方法において、
    前記テスタの回路動作をシミュレーションするテスタモデルに、前記テストパターンの入力パターンのエッジに所望期間のタイミングマージンを示す不定状態レベルを付加して出力するステップと、
    前記テスタモデルの出力を入力し、DUTモデルが前記被試験対象の回路動作をシミュレーションするステップと、
    前記テスタモデルがDUTモデルの出力とテストパターンの期待値パターンとをストローブのタイミングで比較し、DUTモデルの出力が期待値パターンと一致したとき、パスとし、期待値パターンと不一致のとき、フェイルとし、不定状態レベルのとき、フェイルとするステップと
    を備えたことを特徴とするテスタシミュレーション方法。
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