JP4746987B2 - 散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法 - Google Patents
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Description
Xb=−F+f0(ターゲットBについて)、
Xc=+F−f0(ターゲットCについて)、および
Xd=−F−f0(ターゲットDについて)。
XaからXdについてのこれらオフセットは、本発明の技術を実施してオーバレイを決定するための任意の適切な値でありえる。例えばXaおよびXbは、XcおよびXdとは異なるf0の値を持ちえる。
1.異なる特性の2つ以上のサイトが画像化システムの視野内に配置される。
2.1つ以上のスペクトル範囲にわたって画像がキャプチャされる。
3.その視野内のそれぞれの計測サイトについて、そのサイト内にあると決定された全てまたは一部の画素が加算され、または結合されて、そのスペクトル範囲における、そのサイトの測光特性を特徴付ける。
4.ステップ3がそれぞれのスペクトル範囲について反復される。
5.その試料の特性を決定するために、それぞれのスペクトル範囲にわたる、それぞれのサイトについての結果が処理される。例えば、上述のスペクトル分析技術(すなわちF+f0)は、それぞれのターゲットについて得られたスペクトルに対して用いられる。
6.ウェーハにわたって所望の複数の計測サイトについて、ステップ1から5が反復される。
Claims (108)
- 試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定する方法であって、前記方法は、
前記第1および第2構造群の一部を含むターゲットA、B、CおよびDを提供することであって、
前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、
前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、
前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、
前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計され、
前記ターゲットA、B、CおよびDは散乱計測オーバレイターゲットであり、
前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれは予め定義されていると共にゼロとは異なり、XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なり、
ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射することによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ること、および
前記スペクトルと既知または基準スペクトルとを比較することなく、前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSD並びに予め定義されているオフセットに基づいて散乱計測技術を用いて前記第1および第2構造群の間のオーバレイ誤差を決定すること
を含む方法。 - 請求項1に記載の方法であって、オーバレイ誤差を決定することは、
スペクトルSAおよびSBの一方から他方を差し引くことによって差分スペクトルD1を決定すること、
スペクトルSCおよびSDの一方から他方を差し引くことによって差分スペクトルD2を決定すること、
前記差分スペクトルD1およびD2に基づいて線形近似を実行することによってオーバレイ誤差を決定すること
を含む方法。 - 請求項2に記載の方法であって、前記線形近似は、前記差分スペクトルD1の特性P1および前記差分スペクトルD2の特性P2に基づく方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、C、およびDのそれぞれは、少なくとも一部が前記第1レイヤ内に配置された周期Ta1を持つ周期的構造を有する格子構造Ga1、および少なくとも一部が前記第2レイヤ内に配置された周期Ta2を持つ周期的構造を有する格子構造Ga2を備え、前記第1周期Ta1および前記第2周期Ta2は実質的に同一であり、前記オフセットXa、Xb、Xc、およびXdは、前記構造群に対して前記格子構造Ga1の前記周期Ta1で、前記格子構造Ga2の前記周期Ta2で、第1距離Fおよび第2距離f0の和によって、前記構造群をオフセットすることによってそれぞれ作られ、ここで前記第2距離f0は、前記第1距離Fよりも小さい絶対値を有する方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、CおよびDは実質的に直線に沿って配置される方法。
- 請求項5に記載の方法であって、前記ターゲットBは、前記ターゲットAおよびターゲットCの間に配置され、前記ターゲットCは、前記ターゲットBおよび前記ターゲットDの間に配置される方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、CおよびDは2次元構成で配置される方法。
- 請求項7に記載の方法であって、前記ターゲットAおよびBは第1軸に沿って配置され、前記ターゲットCおよびDは第2軸に沿って配置され、前記第1軸および前記第2軸は実質的に平行である方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の方法であって、前記方法は、
追加のターゲットEを作ることであって、前記追加ターゲットEは、その間にオフセットYを持つ前記第1および第2構造群の一部を含み、
前記追加ターゲットEを電磁放射で照射することによってスペクトルSEを得ること、および
前記オーバレイ誤差を決定することは、前記スペクトルSEにさらに基づくこと
を含む方法。 - 請求項1〜9のいずれかに記載の方法であって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ることは、ターゲットA、B、C、およびDから光学装置を用いて照射を得ることを含む方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は画像化反射率計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は画像化分光反射率計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は偏光分光画像化反射率計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は走査反射率計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の反射率計を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の分光反射率計を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の偏光分光反射率計を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、前記ウェーハステージを移動させることなく、または任意の他の光学要素または前記反射率計ステージを移動させることなく直列データ獲得が可能である2つ以上の偏光分光反射率計を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、画像化分光計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、波長フィルタを持つ画像化システムである方法。
- 請求項20に記載の方法であって、前記光学装置は、ロングパス波長フィルタを持つ画像化システムである方法。
- 請求項20に記載の方法であって、前記光学装置は、ショートパス波長フィルタを持つ画像化システムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、干渉型画像化システムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、画像化偏光解析装置である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、画像化分光偏光解析装置である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、走査偏光解析装置システムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である複数の偏光解析装置を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、前記ウェーハステージを移動させることなく、または任意の他の光学要素または前記偏光解析装置ステージを移動させることなく直列データ獲得が可能である複数の偏光解析装置を持つシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、Michelson干渉計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、Mach-Zehnder干渉計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、Sagnac干渉計である方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射反射率計および斜方入射分光反射率計を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射偏光反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射偏光差分反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光準法線入射偏光差分反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射偏光反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光法線入射偏光差分反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムである方法。
- 請求項10に記載の方法であって、前記光学装置は、分光準法線入射偏光差分反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムである方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の方法であって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDの少なくとも1つは、非偏光であるか、または選択的に偏光されるか、または選択的に分析される電磁放射を含む方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の方法であって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDの少なくとも1つは、非偏光の反射された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸に実質的に平行な電界を持つ偏光された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸に実質的に直角な電界を持つ偏光された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸についてある角度をなす電界を持つ偏光された光、右回り円偏波の放射、または左回り円偏波の放射である電磁放射を含む方法。
- 請求項3に記載の方法であって、前記差分スペクトルD1およびD2の前記特性P1およびP2のそれぞれは、光雑音、安定性、ドリフト、スペクトル特性、および光レベルからなるグループから選択される方法。
- 請求項1〜42のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは実質的に異なる時刻において行われることによって、前記対応するスペクトルSA、SB、SC、およびSDが実質的に異なる時刻において得られる方法。
- 請求項1〜42のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは実質的に同時に行われることによって、前記対応するスペクトルSA、SB、SC、およびSDが実質的に同時に作られる方法。
- 請求項1〜42のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは、前記ターゲットA、B、CまたはDのうちの少なくとも2つについて実質的に同時に行われる方法。
- 請求項19に記載の方法であって、前記分光画像化システムの照射および画像化NAは、ゼロ次回折次数だけが集められることを確実にすることによって、散乱構造に対する前記器具のパフォーマンスを最適化するように選ばれる方法。
- 請求項46に記載の方法であって、前記分光画像化システムは、画像化分光偏光解析装置である方法。
- 請求項1〜10のいずれかに記載の方法であって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ることは、波長フィルタを有する画像化装置を用いて前記ターゲットA、B、C、またはDからの画像を獲得することを含み、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDは、前記対応するターゲット画像の1つ以上の画素の平均化または加算された1つ以上の強度値(群)であり、前記方法は、前記波長フィルタを用いて、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを間のコントラストが最大化されるようにすることをさらに含む方法。
- 請求項48に記載の方法であって、前記試料中の欠陥を検出するために前記ターゲットの前記画像を分析することをさらに含む方法。
- 請求項1〜9のいずれかに記載の方法であって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ることは、光学装置を用いて前記ターゲットA、B、C、およびDからの放射を獲得することを含み、前記放射は、同時に、複数の照射角度において獲得される方法。
- 請求項19に記載の方法であって、前記ターゲットA、B、C、およびDの1つだけを照射するよう前記光学ツールをフォーカシングし、前記ターゲットA、B、C、およびDの他の3つを照射するよう前記光学ツールを再フォーカシングしないことをさらに含む方法。
- 請求項1〜51のいずれかに記載の方法であって、前記ターゲットA、B、C、およびDのうちの少なくとも1つは、画像化オーバレイ計測型ターゲットを含み、前記方法は、前記画像化オーバレイ計測型ターゲットに対する第2オーバレイ誤差を計測することをさらに含む方法。
- 請求項52に記載の方法であって、前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDは画像であり、前記画像化オーバレイ計測型ターゲットの前記オーバレイ誤差計測を実行するためにも用いられる方法。
- 請求項52に記載の方法であって、前記第1オーバレイは、前記第2オーバレイ誤差と同時に決定される方法。
- 試料の第1レイヤ内の複数の第1構造群、および前記試料の第2レイヤ内の複数の第2構造群の間のオーバレイを決定するシステムであって、前記システムは、
前記ターゲットA、B、CおよびDを電磁放射で照射することによって、ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得る散乱計測モジュール、および
前記スペクトルと既知または基準スペクトルとを比較することなく、前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSD並びに前記第1および第2レイヤ条におけるターゲット構造間の予め定義されているオフセットに基づいて散乱計測技術を用いて前記第1および第2構造群の間のオーバレイ誤差を決定するよう動作可能であるプロセッサを備え、
前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、
前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、
前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、
前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計され、
前記ターゲットA、B、CおよびDは散乱計測オーバレイターゲットであり、
前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれは予め定義されていると共にゼロとは異なり、XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なる
システム。 - 請求項55に記載のシステムであって、オーバレイ誤差を決定することは、
スペクトルSAおよびSBの一方から他方を差し引くことによって差分スペクトルD1を決定すること、
スペクトルSCおよびSDの一方から他方を差し引くことによって差分スペクトルD2を決定すること、
前記差分スペクトルD1およびD2に基づいて線形近似を実行することによってオーバレイ誤差を決定すること
を含むシステム。 - 請求項56に記載のシステムであって、前記線形近似は、前記差分スペクトルD1の特性P1および前記差分スペクトルD2の特性P2に基づくシステム。
- 請求項55〜57のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、CおよびDは実質的に直線に沿って配置されるシステム。
- 請求項58に記載のシステムであって、前記ターゲットBは、前記ターゲットAおよびターゲットCの間に配置され、前記ターゲットCは、前記ターゲットBおよび前記ターゲットDの間に配置されるシステム。
- 請求項55〜57のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、CおよびDは2次元構成で配置されるシステム。
- 請求項60に記載のシステムであって、前記ターゲットAおよびBは第1軸に沿って配置され、前記ターゲットCおよびDは第2軸に沿って配置され、前記第1軸および前記第2軸は実質的に平行であるシステム。
- 請求項55〜61のいずれかに記載のシステムであって、前記プロセッサは、
追加のターゲットEを作ることであって、前記追加ターゲットEは、その間にオフセットYを持つ前記第1および第2構造群の一部を含み、
前記追加ターゲットEを電磁放射で照射することによってスペクトルSEを得ること、および
前記オーバレイ誤差を決定することは、前記スペクトルSEにさらに基づく
よう動作可能であるシステム。 - 請求項55〜62のいずれかに記載のシステムであって、前記散乱計測モジュールは、光学装置であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は画像化反射率計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は画像化分光反射率計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は偏光分光画像化反射率計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は走査反射率計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の反射率計を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の分光反射率計を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である2つ以上の偏光分光反射率計を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、前記ウェーハステージを移動させることなく、または任意の他の光学要素または前記反射率計ステージを移動させることなく直列データ獲得が可能である2つ以上の偏光分光反射率計を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、画像化分光計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、波長フィルタを持つ画像化システムであるシステム。
- 請求項73に記載のシステムであって、前記光学装置は、ロングパス波長フィルタを持つ画像化システムであるシステム。
- 請求項73に記載のシステムであって、前記光学装置は、ショートパス波長フィルタを持つ画像化システムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、干渉型画像化システムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、画像化偏光解析装置であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、画像化分光偏光解析装置であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、走査偏光解析装置システムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、並列データ獲得が可能である複数の偏光解析装置を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、前記ウェーハステージを移動させることなく、または任意の他の光学要素または前記偏光解析装置ステージを移動させることなく直列データ獲得が可能である複数の偏光解析装置を持つシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、Michelson干渉計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、Mach-Zehnder干渉計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、Sagnac干渉計であるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射反射率計および斜方入射分光反射率計を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射偏光反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射偏光差分反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光準法線入射偏光差分反射率計および斜方入射分光偏光解析装置を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射偏光反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光法線入射偏光差分反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムであるシステム。
- 請求項63に記載のシステムであって、前記光学装置は、分光準法線入射偏光差分反射率計および分光斜方入射偏光差分反射率計を備えるシステムであるシステム。
- 請求項55〜63のいずれかに記載のシステムであって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDの少なくとも1つは、非偏光であるか、または選択的に偏光されるか、または選択的に分析される電磁放射を含むシステム。
- 請求項55〜63のいずれかに記載のシステムであって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDの少なくとも1つは、非偏光の反射された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸に実質的に平行な電界を持つ偏光された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸に実質的に直角な電界を持つ偏光された光、前記ターゲットA、B、CまたはDの少なくとも1つの少なくとも1つの構造の対称軸についてある角度をなす電界を持つ偏光された光、右回り円偏波の放射、または左回り円偏波の放射である電磁放射を含むシステム。
- 請求項57に記載のシステムであって、前記差分スペクトルD1およびD2の前記特性P1およびP2のそれぞれは、光雑音、安定性、ドリフト、スペクトル特性、および光レベルからなるグループから選択されるシステム。
- 請求項55〜95のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは実質的に異なる時刻において行われることによって、前記対応するスペクトルSA、SB、SC、およびSDが実質的に異なる時刻において得られるシステム。
- 請求項55〜96のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは実質的に同時に行われることによって、前記対応するスペクトルSA、SB、SC、およびSDが実質的に同時に作られるシステム。
- 請求項55〜96のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、CまたはDを電磁放射で照射することは、前記ターゲットA、B、CまたはDのうちの少なくとも2つについて実質的に同時に行われるシステム。
- 請求項72に記載のシステムであって、前記分光画像化システムの照射および画像化NAは、ゼロ次回折次数だけが集められることを確実にすることによって、散乱構造に対する前記器具のパフォーマンスを最適化するように選ばれるシステム。
- 請求項99に記載のシステムであって、前記分光画像化システムは、画像化分光偏光解析装置であるシステム。
- 請求項55〜63のいずれかに記載のシステムであって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ることは、波長フィルタを有する画像化装置を用いて前記ターゲットA、B、C、またはDからの画像を獲得することを含み、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDは、前記対応するターゲット画像の1つ以上の画素の平均化または加算された1つ以上の強度値(群)であり、前記方法は、前記波長フィルタを用いて、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを間のコントラストが最大化されるようにすることをさらに含むシステム。
- 請求項101に記載のシステムであって、前記プロセッサは、前記試料中の欠陥を検出するために前記ターゲットの前記画像を分析するようさらに動作可能であるシステム。
- 請求項55〜62のいずれかに記載のシステムであって、前記スペクトルSA、SB、SC、およびSDを得ることは、光学装置を用いて前記ターゲットA、B、C、およびDからの放射を獲得することを含み、前記放射は、同時に、複数の照射角度において獲得されるシステム。
- 請求項72に記載のシステムであって、前記プロセッサは、前記ターゲットA、B、C、およびDの1つだけを照射するよう前記光学ツールをフォーカシングし、前記ターゲットA、B、C、およびDの他の3つを照射するよう前記光学ツールを再フォーカシングしないようさらに動作可能であるシステム。
- 請求項55〜104のいずれかに記載のシステムであって、前記ターゲットA、B、C、およびDのうちの少なくとも1つは、画像化オーバレイ計測型ターゲットを含み、前記方法は、前記画像化オーバレイ計測型ターゲットに対する第2オーバレイ誤差を計測することをさらに含むシステム。
- 請求項105に記載のシステムであって、前記得られたスペクトルSA、SB、SC、およびSDは画像であり、前記画像化オーバレイ計測型ターゲットの前記オーバレイ誤差計測を実行するためにも用いられるシステム。
- 請求項105に記載のシステムであって、前記第1オーバレイは、前記第2オーバレイ誤差と同時に決定されるシステム。
- 複数の第1構造群を有する第1レイヤ、および複数の第2構造群を有する第2レイヤを備えるターゲット構成であって、前記ターゲット構成は、
前記第1および第2構造群の一部をそれぞれ含むターゲットA、B、CおよびDを備え、
前記ターゲットAは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXaを有するよう設計され、
前記ターゲットBは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXbを有するよう設計され、
前記ターゲットCは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXcを有するよう設計され、
前記ターゲットDは、その第1および第2構造部分の間にオフセットXdを有するよう設計され、
前記ターゲットA、B、CおよびDは散乱計測オーバレイターゲットであり、
前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdのそれぞれは予め定義されていると共にゼロとは異なり、XaはXbとは反対の符号で異なり、XcはXdとは反対の符号で異なり、
ターゲットA、B、CおよびDからそれぞれスペクトルSA、SB、SC、およびSDを得るために前記ターゲットA、B、CおよびDが電磁放射で照射されるとき、前記取得されたスペクトルSA、SB、SC、およびSDおよび前記予め定められているオフセットに基づいて散乱計測技術が前記第1レイヤおよび前記第2レイヤ構造の間のオーバレイ誤差を決定し得るように、前記オフセットXa、Xb、XcおよびXdが選択され、および
画像化オーバレイ計測を用いて第2オーバレイ誤差が決定されえる画像化オーバレイ計測型ターゲットE
を備えるターゲット構成。
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