JP4745796B2 - Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them - Google Patents

Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them Download PDF

Info

Publication number
JP4745796B2
JP4745796B2 JP2005321743A JP2005321743A JP4745796B2 JP 4745796 B2 JP4745796 B2 JP 4745796B2 JP 2005321743 A JP2005321743 A JP 2005321743A JP 2005321743 A JP2005321743 A JP 2005321743A JP 4745796 B2 JP4745796 B2 JP 4745796B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polygon mirror
height
rotation center
slit
eccentricity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005321743A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007127911A (en
Inventor
康孝 成毛
一己 木村
寿一 川野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2005321743A priority Critical patent/JP4745796B2/en
Publication of JP2007127911A publication Critical patent/JP2007127911A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4745796B2 publication Critical patent/JP4745796B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Printer (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Description

本発明は、レーザビームを使用して光書き込みを行う走査光学装置に用いられる光偏向装置の偏心測定及び偏心調整装置に関するものである。また、それらを用いた光偏向装置を備えた走査光学装置及び画像形成装置に関するものである。   The present invention relates to an eccentricity measurement and eccentricity adjustment device for an optical deflection device used in a scanning optical device that performs optical writing using a laser beam. The present invention also relates to a scanning optical apparatus and an image forming apparatus provided with an optical deflecting device using them.

従来、光偏向装置の偏心測定装置には、回転多面鏡の周囲に位置検知センサを配置したものがある（特許文献１参照）。この偏心測定装置は、把持調整手段を用いて回転多面鏡が静止した状態で、周囲の位置検知センサを用いて回転多面鏡の複数の反射面の回転中心軸に対する相対距離がほぼ等しくなるように（所謂、偏心が無くなるように）位置決め・調整する。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is an eccentricity measuring device for an optical deflection device in which a position detection sensor is arranged around a rotary polygon mirror (see Patent Document 1). In this eccentricity measuring device, the relative distance of the plurality of reflecting surfaces of the rotating polygon mirror with respect to the rotation center axis is substantially equal using the surrounding position detection sensor in a state where the rotating polygon mirror is stationary using the grip adjusting means. Position and adjust (so as to eliminate so-called eccentricity).

図９はポリゴンミラー４２と位置検知センサ１との距離の測定方法を説明する図である。図９は１つの反射面とこの反射面に対応した１つの位置検知センサ１を示しているが、他の３つの反射面及び位置検知センサ１も同様に構成されている。   FIG. 9 is a diagram for explaining a method for measuring the distance between the polygon mirror 42 and the position detection sensor 1. FIG. 9 shows one reflection surface and one position detection sensor 1 corresponding to the reflection surface, but the other three reflection surfaces and the position detection sensor 1 are similarly configured.

４つの反射面４２ａを有する回転多面鏡であるポリゴンミラー４２は、静止状態であるとし、４つの反射面４２ａを４つの位置検知センサ１を用いて距離を測定するものとする。   The polygon mirror 42 which is a rotary polygon mirror having four reflecting surfaces 42a is assumed to be stationary, and the four reflecting surfaces 42a are measured using the four position detection sensors 1.

まず、図９に示すように、ミラー４２が実線で示す位置Ａ（中心の位置がＯａ）にある時について説明する。位置検知センサ１上の発光部２からレーザ光Ｌが出射し、ミラー４２の反射面上の点Ａ１の位置で反射する。反射光Ｌａは、位置検知センサ１の受光部３上の点ａに入射する。   First, as shown in FIG. 9, a case where the mirror 42 is at a position A (center position is Oa) indicated by a solid line will be described. Laser light L is emitted from the light emitting unit 2 on the position detection sensor 1 and reflected at the position of the point A1 on the reflection surface of the mirror 42. The reflected light La enters the point a on the light receiving unit 3 of the position detection sensor 1.

次に、ミラー４２が位置検知センサ１から遠ざかる方向にずれて、破線で示す位置Ｂ（中心の位置はＯｂ）にある時について説明する。この場合には、反射面４２ａ上の点Ｂ１の位置でレーザ光Ｌが反射する。反射光Ｌｂは、位置検知センサ１の受光部３上の点ｂ（点ａから矢印α方向に少しずれた位置）に入射する。   Next, a case where the mirror 42 is displaced in a direction away from the position detection sensor 1 and is at a position B (center position is Ob) indicated by a broken line will be described. In this case, the laser beam L is reflected at the position of the point B1 on the reflecting surface 42a. The reflected light Lb is incident on a point b (a position slightly deviated from the point a in the direction of the arrow α) on the light receiving unit 3 of the position detection sensor 1.

逆に、ミラー４２が位置検知センサ１から近づく方向にずれて、二点鎖線で示す位置Ｃ（中心の位置はＯｃ）にある時について説明する。この場合は、反射面４２ａ上の点Ｃ１の位置でレーザ光Ｌが反射する。反射光Ｌｃは、位置検知センサ１の受光部３上の点ｃ（点ａから矢印β方向に少しずれた位置）に入射する。   Conversely, the case where the mirror 42 is displaced in the direction approaching the position detection sensor 1 and is at a position C (center position is Oc) indicated by a two-dot chain line will be described. In this case, the laser beam L is reflected at the position of the point C1 on the reflecting surface 42a. The reflected light Lc is incident on a point c (a position slightly deviated from the point a in the direction of arrow β) on the light receiving unit 3 of the position detection sensor 1.

このように、位置検知センサ１は、測定対象であるミラー４２の距離を受光部３上のレーザ光線入射位置の違い（点ａ〜点ｃ等）として読み取る。すなわち、矢印α方向にずれた位置にレーザ光線が入射したら測定対象は遠ざかったと判断し、矢印β方向にずれた位置にレーザ光線が入射したら測定対象は近づいたと判断する。測定対象との距離は、レーザ発光部１のレーザ出射角度と受光部３の光線入射位置から計算して導かれる。   As described above, the position detection sensor 1 reads the distance of the mirror 42 that is the measurement target as a difference in the laser beam incident position on the light receiving unit 3 (such as point a to point c). That is, if the laser beam is incident on a position shifted in the direction of arrow α, it is determined that the measurement object has moved away. If the laser beam is incident on a position shifted in the direction of arrow β, it is determined that the measurement object has approached. The distance to the measurement object is calculated and derived from the laser emission angle of the laser light emitting unit 1 and the light incident position of the light receiving unit 3.

また、特許文献１には、把持調整手段を回転させることによって、位置検知センサは１箇所だけでもよく、これによっても装置コストの低減が可能となる旨が記載されている。   Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 describes that the position of the position detection sensor may be only one by rotating the grip adjustment means, and that the apparatus cost can be reduced by this.

特開平１１−１１９１４０号公報JP 11-119140 A

しかしながら、特許文献１に記載の技術では、位置検知センサ部の構成、及び調整・固定方法において以下のような欠点があった。   However, the technique described in Patent Document 1 has the following drawbacks in the configuration of the position detection sensor unit and the adjustment / fixing method.

（位置検知センサ部の構成の２つの欠点）
まず、位置検知センサ部の構成の２つの欠点について説明する。 (Two disadvantages of the configuration of the position detection sensor)
First, two drawbacks of the configuration of the position detection sensor unit will be described.

（１つ目の欠点）
１つ目の欠点は、コスト的に非常に不利となる点である。具体的には、回転多面鏡（ポリゴンミラー）が静止した状態で、回転多面鏡の所謂偏心が無くなるように位置決め・調整する。このため、位置検知センサを複数配置しなければならない（特許文献１の図２参照）。また、ポリゴンミラーの面数に応じて位置検知センサの数を増減させる必要がある。さらに、異なる仕様のポリゴンミラーを測定する場合には、センサの数・配置から見直す必要がある。 (First drawback)
The first disadvantage is that it is very disadvantageous in terms of cost. Specifically, positioning and adjustment are performed so that the so-called eccentricity of the rotating polygon mirror is eliminated while the rotating polygon mirror (polygon mirror) is stationary. For this reason, a plurality of position detection sensors must be arranged (see FIG. 2 of Patent Document 1). Further, it is necessary to increase or decrease the number of position detection sensors according to the number of surfaces of the polygon mirror. Further, when measuring polygon mirrors having different specifications, it is necessary to review the number and arrangement of sensors.

このため、回転多面鏡を回転させながら測定するのが望ましい。また、動圧軸受により支持された光偏向装置では、回転させなければ実質的な面の偏心を測定することができない。   For this reason, it is desirable to perform measurement while rotating the rotary polygon mirror. Further, the optical deflection device supported by the dynamic pressure bearing cannot measure the substantial surface eccentricity unless it is rotated.

（２つ目の欠点）
２つ目の欠点は、ポリゴンミラーの反射面までの距離の検出誤差が大きくなる点である。この欠点の要因として、下記の２つの要因が挙げられる。 (Second drawback)
The second drawback is that the detection error of the distance to the reflection surface of the polygon mirror becomes large. The following two factors can be cited as factors of this defect.

（１つ目の要因）
１つ目の要因について説明する。１つ目の要因は、測定対象のミラー４２の中心Ｏまわりの角度誤差成分が乗ることである。図10はポリゴンミラー４２と位置検知センサ１との距離の測定における角度誤差を説明する図である。図10は１つの反射面とこの反射面に対応した１つの位置検知センサ１を示しているが、他の３つの反射面及び位置検知センサ１も同様に構成されている。 (First factor)
The first factor will be described. The first factor is an angular error component around the center O of the mirror 42 to be measured. FIG. 10 is a diagram for explaining an angular error in the measurement of the distance between the polygon mirror 42 and the position detection sensor 1. FIG. 10 shows one reflection surface and one position detection sensor 1 corresponding to the reflection surface, but the other three reflection surfaces and the position detection sensor 1 are similarly configured.

図10に示すように、ミラー４２が実線で示す位置Ａ（中心の位置がＯａ）にある時は、図９と同様に反射面４２ａ上の点Ａ２で反射して反射光Ｌａになり、位置検知センサ１上の受光部３で受光される。   As shown in FIG. 10, when the mirror 42 is at the position A indicated by the solid line (the center position is Oa), the light is reflected at the point A2 on the reflecting surface 42a as in FIG. Light is received by the light receiving unit 3 on the detection sensor 1.

次に、ミラー４２が中心Ｏまわりに図10中反時計回りに回転してずれた破線で示す位置Ｄ（中心の位置はＯ）にある場合について説明する。この場合は、反射面４２ａ上の点Ｄ１で反射する。反射光Ｌｄは、位置Ａにある時と比較して矢印α方向にずれる。   Next, a description will be given of a case where the mirror 42 is at a position D (center position is O) indicated by a broken line that is rotated counterclockwise in FIG. In this case, the light is reflected at the point D1 on the reflection surface 42a. The reflected light Ld is shifted in the direction of the arrow α as compared to when it is at the position A.

逆に、ミラー４２が中心Ｏまわりに図10中時計回りに回転してずれた二点差線で示す位置Ｅ（中心の位置はＯ）にある場合について説明する。この場合は、反射面４２ａ上の点Ｅ１で反射する。反射光Ｌｅは、位置Ａにある時と比較して矢印β方向にずれる。   Conversely, a case will be described in which the mirror 42 is at a position E (center position is O) indicated by a two-dot difference line that is rotated clockwise in FIG. In this case, the light is reflected at a point E1 on the reflecting surface 42a. The reflected light Le deviates in the direction of the arrow β as compared to when it is at the position A.

このように、ミラー４２の中心Ｏの位置がずれなくても、中心Ｏまわりの角度誤差によって反射光の位置がずれてしまう。そして、ミラー４２の角度誤差を、位置検知センサ１は距離の違いと勘違いして読み取ってしまうのである。   As described above, even if the position of the center O of the mirror 42 is not shifted, the position of the reflected light is shifted due to an angle error around the center O. Then, the position detection sensor 1 misreads the angle error of the mirror 42 as a difference in distance.

従って、この配置のままで測定精度を向上させるには、ミラー４２と位置検知センサ１の相対位置関係を高い精度で保証しなければならない。   Therefore, in order to improve the measurement accuracy with this arrangement, the relative positional relationship between the mirror 42 and the position detection sensor 1 must be ensured with high accuracy.

（２つ目の要因）
次に、２つ目の要因について説明する。図10においてミラー４２を反時計まわりに回転させながら４つの反射面４２ａまでの距離を１つの位置検知センサ１で順次測定していくものとする。 (Second factor)
Next, the second factor will be described. In FIG. 10, it is assumed that the distance to the four reflecting surfaces 42a is sequentially measured by one position detection sensor 1 while the mirror 42 is rotated counterclockwise.

この場合、ミラー４２の位置は中心Ｏまわりに回転してＥ→Ａ→Ｄというように移り変わる。すると反射光は、Ｌｅ→Ｌａ→Ｌｄというように動いていき、受光部３上で反射光は必ず矢印β方向から入って矢印α方向に出て行く。すなわち、位置検知センサ１は、毎回ミラー４２の位置が遠ざかっていくと認識する。   In this case, the position of the mirror 42 rotates around the center O and changes as E → A → D. Then, the reflected light moves in the order of Le → La → Ld, and the reflected light always enters from the arrow β direction and exits in the arrow α direction on the light receiving unit 3. That is, the position detection sensor 1 recognizes that the position of the mirror 42 moves away each time.

実際には、反射面４２ａの位置を正しく測り取れるのは、位置検知センサ１に対し反射面４２ａが正対した時（位置Ａにある時）である。しかし、このタイミングを読み取るのは非常に困難であるという問題がある。なお、位置Ａにある時は、反射面４２ａと位置検知センサ１のセンサ部２、３が平行な位置関係にある。   Actually, the position of the reflecting surface 42a can be measured correctly when the reflecting surface 42a faces the position detection sensor 1 (when it is at the position A). However, there is a problem that it is very difficult to read this timing. In addition, when it exists in the position A, the reflective surface 42a and the sensor parts 2 and 3 of the position detection sensor 1 have a parallel positional relationship.

図11は従来の方式でポリゴンミラー４２の偏心の測定を行った場合の測定結果を示す模式図である。図11において、横軸に時間をとり、縦軸に位置検知センサ１の出力をとる。なお、位置検知センサ１の出力は、反射面４２ａまでの距離とほぼ同じ意味と考えてよい。位置検知センサ１の出力がＬ０の時は、反射光が受光部３に戻ってきておらず距離が測れていない状態である。   FIG. 11 is a schematic diagram showing a measurement result when the eccentricity of the polygon mirror 42 is measured by the conventional method. In FIG. 11, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the output of the position detection sensor 1. The output of the position detection sensor 1 may be considered to have almost the same meaning as the distance to the reflecting surface 42a. When the output of the position detection sensor 1 is L0, the reflected light has not returned to the light receiving unit 3 and the distance cannot be measured.

例えば、測定開始からミラー４２の１面目の測定では、時刻Ｔ１に反射光が受光部３に入り始め、時刻Ｔ２に反射光が受光部３から出て行く。   For example, in the measurement of the first surface of the mirror 42 from the start of measurement, the reflected light starts to enter the light receiving unit 3 at time T1, and the reflected light exits from the light receiving unit 3 at time T2.

図10で示した配置の場合、反射光は位置検知センサ１が近いと認識する方向から入射して遠ざかる方向に出て行く。位置検知センサ１が近いと認識する時出力が大きいとすると、時刻Ｔ１からＴ２にかけて出力は時間と共に下がる、右下がりの波形（Ｄ部）になる。   In the case of the arrangement shown in FIG. 10, the reflected light enters from the direction in which the position detection sensor 1 recognizes that it is near and exits in the direction away from it. If the output is large when recognizing that the position detection sensor 1 is near, the output decreases with time from time T1 to T2 and has a waveform that falls to the right (D section).

尚、ミラー４２は４つの反射面４２ａを有しているので、出力波形の大きさは４面毎に周期的に変化する。   Since the mirror 42 has four reflecting surfaces 42a, the magnitude of the output waveform changes periodically every four surfaces.

仮に、受光部３の中央で反射光を受光するとき、ミラー４２と位置検知センサ１が正対するとすれば、図11の出力波形ではＴ１とＴ２の中間であるＴ３のタイミングでの出力Ｌ３が、ミラー４２との距離である。   If the mirror 42 and the position detection sensor 1 face each other when the reflected light is received at the center of the light receiving unit 3, the output L3 at the timing T3 that is intermediate between T1 and T2 in the output waveform of FIG. , The distance from the mirror 42.

但し、受光部３の中央で反射光を受光する時が、正対する時かどうかは位置検知センサ１の仕様により様々であり、基本的に正対する瞬間は分からないことが多い。また、受光部３の中央で反射光を受光する時が、正対する時であったとしても、両サイドのエッジ、すなわち時刻Ｔ１、Ｔ２における出力が正確なタイミングで精度よく測定できなければならない。もし時刻Ｔ１、Ｔ２の検出に誤差があると、Ｄ部の傾きに応じた測定誤差が発生してしまう。   However, whether or not the time when the reflected light is received at the center of the light receiving unit 3 is directly facing varies depending on the specifications of the position detection sensor 1, and basically the moment of facing is often unknown. Further, even when the reflected light is received at the center of the light receiving unit 3 at the time of facing directly, the outputs on both sides, that is, the outputs at the times T1 and T2 must be accurately measured with accurate timing. If there is an error in the detection of the times T1 and T2, a measurement error corresponding to the inclination of the D portion will occur.

そこで本発明は、コストをおさえつつ、偏心量の測定を高精度に行うことができる偏心測定装置を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide an eccentricity measuring apparatus capable of measuring the amount of eccentricity with high accuracy while suppressing cost.

上記課題を解決するために本発明に係る偏心測定装置の代表的な構成は、レーザ光を光偏向装置の回転多面鏡の各反射面に順次照射するレーザ光源部と、前記反射面で反射したレーザ光を受光する受光部とを有し、前記レーザ光源から照射され前記反射面で反射され前記受光部で受光されるレーザ光の光軸が前記回転多面鏡の回転中心軸を含む副走査断面内にあるように、前記レーザ光源部は、前記回転中心軸及び前記回転中心軸に対して垂直な方向に対して傾斜した方向にレーザ光を照射することで、前記回転多面鏡の回転中心軸に対する前記回転多面鏡の反射面の偏心量を測定する偏心測定装置において、前記受光部はスリットとフォトダイオードを有し、前記回転多面鏡側から順に前記スリット、前記フォトダイオードの順番に配置され、前記スリットは副走査方向において幅が所定の割合で変わる１つの穴部を有し、前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も長い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第１高さ、前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も短い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第２高さとすると、前記穴部の副走査方向の長さは、前記第１高さと前記第２高さの差分よりも長いことを特徴とする。 In order to solve the above problems, a typical configuration of an eccentricity measuring apparatus according to the present invention includes a laser light source unit that sequentially irradiates each reflecting surface of a rotary polygon mirror of an optical deflecting device, and a laser light source unit that reflects the reflected light on the reflecting surface. and a light receiving portion for receiving the record laser light was, the optical axis of the laser light received by the reflected by the reflecting surface is irradiated the light receiving unit from the laser light source comprises a rotational center axis of the rotary polygon mirror As in the sub-scanning section, the laser light source unit irradiates laser light in a direction inclined with respect to the rotation center axis and a direction perpendicular to the rotation center axis. In the eccentricity measuring apparatus that measures the amount of eccentricity of the reflecting surface of the rotary polygon mirror with respect to the rotation center axis , the light receiving unit includes a slit and a photodiode, and the slit and the photodiode in order from the rotary polygon mirror side. Arranged The slit has one hole whose width changes at a predetermined rate in the sub-scanning direction, and the laser beam reflected by the surface having the longest distance from the rotation center axis of the rotary polygon mirror reaches the slit. The height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam is reflected is the first height, and the height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam reflected by the surface having the shortest distance from the rotation center axis of the rotary polygon mirror reaches the slit. When the height is the second height, the length of the hole in the sub-scanning direction is longer than the difference between the first height and the second height .

本発明によれば、コストをおさえつつ、偏心量の測定を高精度に行うことができる。   According to the present invention, the amount of eccentricity can be measured with high accuracy while reducing costs.

［第一実施形態］
本発明に係る偏心測定装置の実施形態について、図を用いて説明する。図１は本実施形態にかかる光偏向装置の偏心測定装置の側面図である。図２は偏心測定装置５０とスキャナモータユニット８１との位置関係を示す斜視図である。 [First embodiment]
Embodiments of an eccentricity measuring apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of an eccentricity measuring device for an optical deflector according to this embodiment. FIG. 2 is a perspective view showing the positional relationship between the eccentricity measuring device 50 and the scanner motor unit 81.

（偏心測定装置５０）
図１に示すように、偏心測定装置５０は、光偏向装置であるスキャナモータユニット８１の回転多面鏡であるポリゴンミラー４２の回転中心軸Ｏｐに対するミラー４２の反射面４２ａの偏心量を測定する。偏心量の測定は、ミラー４２を回転させながら行う。 (Eccentricity measuring device 50)
As shown in FIG. 1, the eccentricity measuring device 50 measures the amount of eccentricity of the reflecting surface 42a of the mirror 42 with respect to the rotation center axis Op of the polygon mirror 42 that is a rotating polygon mirror of the scanner motor unit 81 that is an optical deflecting device. The amount of eccentricity is measured while rotating the mirror 42.

偏心測定装置５０は、レーザ光源部である半導体レーザ５１、コリメーターレンズ５２、絞り５３、シリンドリカルレンズ５４Ａ、５４Ｂ、治具レンズ５５、受光部を構成するＶスリット５６及びフォトダイオード５７を有している。図２に示すように、これらの偏心測定装置５０を構成する各光学部品群の光軸は、ユニット８１の回転中心軸Ｏｐを含む同一平面内（副走査断面内）にある。   The eccentricity measuring device 50 includes a semiconductor laser 51 that is a laser light source unit, a collimator lens 52, a diaphragm 53, cylindrical lenses 54A and 54B, a jig lens 55, a V slit 56 that constitutes a light receiving unit, and a photodiode 57. Yes. As shown in FIG. 2, the optical axes of the optical component groups constituting these eccentricity measuring devices 50 are in the same plane (in the sub-scan section) including the rotation center axis Op of the unit 81.

副走査断面とは、主走査平面と直交する平面をいう。主走査平面とは、反射面４２ａに直角をなす方向から入射したレーザ光が反射偏向される際に、そのレーザ光がある１つの平面内に収まる、その平面をいう。通常、主走査平面は、回転中心軸Ｏｐに直交する平面となる。   The sub-scanning section refers to a plane orthogonal to the main scanning plane. The main scanning plane refers to a plane in which the laser beam falls within one plane when the laser beam incident from a direction perpendicular to the reflecting surface 42a is reflected and deflected. Usually, the main scanning plane is a plane orthogonal to the rotation center axis Op.

半導体レーザ５１から出射したレーザ拡散光Ｌは、コリメーターレンズ５２によってコリメート化される。そして、略円形の絞り５３によって成形されたレーザ光束Ｌが取り出される。その後、シリンドリカルレンズ５４Ａによってミラー４２の回転軸方向にのみ集光され、ミラー４２の反射面４２ａ上では結像した線像となる。   The laser diffused light L emitted from the semiconductor laser 51 is collimated by the collimator lens 52. Then, the laser beam L formed by the substantially circular diaphragm 53 is taken out. Thereafter, the light is condensed only in the direction of the rotation axis of the mirror 42 by the cylindrical lens 54 </ b> A, and a line image is formed on the reflection surface 42 a of the mirror 42.

反射面４２ａで反射した反射光束Ｌは、回転軸方向に対してはやや発散しながらシリンドリカルレンズ５４Ｂに入射する。そして、レンズ５４Ｂでコリメート光に戻され、治具レンズ５５によってＶスリット５６上に結像する。Ｖスリット５６の穴部５６ａを通過したビームは、フォトダイオード５７によって受光され、光量がモニタされる。   The reflected light beam L reflected by the reflecting surface 42a is incident on the cylindrical lens 54B while slightly diverging in the rotation axis direction. Then, the light is returned to the collimated light by the lens 54 </ b> B and imaged on the V slit 56 by the jig lens 55. The beam that has passed through the hole 56a of the V slit 56 is received by the photodiode 57, and the amount of light is monitored.

穴部５６ａは、副走査方向において幅が所定の割合で変わる１つの穴部である。副走査方向とは主走査方向と垂直な方向をいい（本実施形態では回転中心軸Ｏｐの軸方向）、主走査方向とはレーザ光Ｌが走査される方向をいう。   The hole 56a is one hole whose width changes at a predetermined rate in the sub-scanning direction. The sub-scanning direction refers to a direction perpendicular to the main scanning direction (in this embodiment, the axial direction of the rotation center axis Op), and the main scanning direction refers to the direction in which the laser light L is scanned.

ミラー４２の回転中心軸Ｏｐを含む副走査断面内において、レーザ光Ｌが反射面４２ａで反射し、反射光Ｌが受光部（Ｖスリット５６、フォトダイオード５７）で受光される構成とした。すなわち、偏心測定装置５０の光軸はユニット８１の回転中心軸Ｏｐを含む副走査断面内となる。   In the sub-scan section including the rotation center axis Op of the mirror 42, the laser light L is reflected by the reflecting surface 42a, and the reflected light L is received by the light receiving unit (V slit 56, photodiode 57). That is, the optical axis of the eccentricity measuring device 50 is in the sub-scanning section including the rotation center axis Op of the unit 81.

（偏心量の測定方法）
偏心量の測定方法について説明する。図３は図１のＥ部の詳細図である。図４（ａ）、図４（ｂ）は図１のＦ部の詳細を示す斜視図、正面図である。図４（ｂ）は図４（ａ）の矢印Ｇ方向から見た図である。 (Measurement method of eccentricity)
A method for measuring the amount of eccentricity will be described. FIG. 3 is a detailed view of part E in FIG. 4 (a) and 4 (b) are a perspective view and a front view showing details of the F portion in FIG. FIG. 4B is a view as seen from the direction of arrow G in FIG.

図３に示すように、ユニット８１の回転中心軸Ｏｐに対しミラー４２が偏心して組みつけられていると、ミラー４２の回転に伴って反射面毎に反射面４２ａの出入りが生ずる。ある反射面４２ａが実線で示す位置Ｆにあると、測定用のレーザ光Ｌは反射面４２ａで反射して反射光Ｌｆになる。   As shown in FIG. 3, when the mirror 42 is assembled eccentrically with respect to the rotation center axis Op of the unit 81, the reflection surface 42 a enters and exits for each reflection surface as the mirror 42 rotates. When a certain reflecting surface 42a is at a position F indicated by a solid line, the measurement laser light L is reflected by the reflecting surface 42a to become reflected light Lf.

ミラー４２は６つの反射面４２ａを有するので、６０°回転して次の反射面４２ａに来た時、ミラー４２が破線で示す位置Ｇにあるとする。このとき、反射光Ｌｇは、反射光Ｌｆより図３中の上方向にシフトした位置になる。   Since the mirror 42 has six reflecting surfaces 42a, it is assumed that the mirror 42 is at a position G indicated by a broken line when it reaches the next reflecting surface 42a after being rotated by 60 °. At this time, the reflected light Lg is at a position shifted upward in FIG. 3 from the reflected light Lf.

逆に、反射面４２ａがミラー４２が二点差線で示す位置Ｈに来たときには、反射光Ｌｈは、反射光Ｌｆより図３中の下方向にシフトした位置になる。   On the other hand, when the reflecting surface 42a reaches the position H indicated by the two-dot chain line, the reflected light Lh is shifted to the position below the reflected light Lf in FIG.

このような反射光の位置の移動は、ミラー４２が偏心している、すなわち回転中心軸Ｏｐに対する各反射面４２ａの距離が違うことによって、所謂反射面の出入りが発生していることに起因する。この反射面の出入り量のＭａｘレンジが偏心量であり、これを矢印γ方向の光線のずれ量として測定する。   Such movement of the position of the reflected light is due to the fact that the mirror 42 is decentered, that is, the distance between each reflecting surface 42a with respect to the rotation center axis Op is different, so that the so-called reflecting surface enters and exits. The Max range of the amount of entry / exit of the reflecting surface is the amount of eccentricity, and this is measured as the amount of deviation of the light beam in the direction of the arrow γ.

図４（ａ）に示すように、矢印γ方向にずれた反射光Ｌｆ、Ｌｇ、Ｌｈは、ミラー４２の回転と共に走査される。回転方向を矢印Ｒ方向とすると、反射光Ｌｆ、Ｌｇ、Ｌｈは、Ｖスリット５６上を矢印Ｌｆ１、Ｌｇ１、Ｌｈ１のように走査される。Ｖスリット５６は三角形の穴部５６ａを有しており、反射光Ｌｆ、Ｌｇ、Ｌｈは穴部５６ａを通過している間のみ、フォトダイオード５７の受光面５７ａによって受光される。   As shown in FIG. 4A, the reflected lights Lf, Lg, and Lh shifted in the direction of the arrow γ are scanned with the rotation of the mirror 42. When the rotation direction is the arrow R direction, the reflected lights Lf, Lg, and Lh are scanned on the V slit 56 as indicated by arrows Lf1, Lg1, and Lh1. The V slit 56 has a triangular hole 56a, and the reflected lights Lf, Lg, and Lh are received by the light receiving surface 57a of the photodiode 57 only while passing through the hole 56a.

図４（ｂ）に示すように、走査線Ｌｆ１〜Ｌｈ１は、それぞれ矢印γ方向の位置が異なるのでＶスリット５６の穴部５６ａを横切る距離が異なる。例えば、走査線Ｌｇ１は距離Ｍｇだけ横切り、走査線Ｌｈ１は距離Ｍｈだけ横切る。   As shown in FIG. 4B, the scanning lines Lf <b> 1 to Lh <b> 1 have different distances across the hole 56 a of the V slit 56 because the positions in the arrow γ direction are different. For example, the scanning line Lg1 crosses the distance Mg, and the scanning line Lh1 crosses the distance Mh.

この距離Ｍｇ、Ｍｈ等を測定することによって、走査線Ｌｆ１〜Ｌｈ１の矢印γ方向の光線高さの差ｈが求まる。なお、ここまでは説明を簡単にするため、３つの走査線Ｌｆ１〜Ｌｈ１と３つの距離Ｍｆ〜Ｍｈについて説明した。   By measuring the distances Mg, Mh, etc., the difference h in the light beam height in the direction of the arrow γ of the scanning lines Lf1 to Lh1 is obtained. Heretofore, in order to simplify the description, the three scanning lines Lf1 to Lh1 and the three distances Mf to Mh have been described.

しかし、本実施形態では、ミラー４２は６つの反射面を有しているので、各反射面に対応した６つの走査線が発生し、Ｖスリット５６を横切る距離が６つ発生する。それらの距離をＭ１〜Ｍ６とし、Ｖスリット５６の三角形の穴部５６ａの走査線が横切る２辺で挟む角の角度をθ［ｒａｄ］とする。すると、走査線Ｌｆ１〜Ｌｈ１の矢印γ方向の光線高さの差ｈは次式で表される
ｈ＝（ｍａｘ（Ｍ１〜Ｍ６）−ｍｉｎ（Ｍ１〜Ｍ６））／（２ｔａｎ（θ／２））…（式１） However, in this embodiment, since the mirror 42 has six reflecting surfaces, six scanning lines corresponding to each reflecting surface are generated, and six distances crossing the V slit 56 are generated. These distances are defined as M1 to M6, and the angle between the two sides intersected by the scanning line of the triangular hole portion 56a of the V slit 56 is defined as θ [rad]. Then, the difference h in the beam height in the arrow γ direction of the scanning lines Lf1 to Lh1 is expressed by the following equation: h = (max (M1 to M6) −min (M1 to M6)) / (2 tan (θ / 2)) ) ... (Formula 1)

実際には距離Ｍ１〜Ｍ６は、次式のように概略計算される。ここで、走査線が穴部５６ａを横切る時間（Ｔ１〜Ｔ６［ｓｅｃ］）、ポリゴンミラー４２の回転数Ｒｐ［ｒｐｍ］、治具レンズ５５の焦点距離Ｆｇ［ｍｍ］とする。なお、反射面４２ａが１°傾くと、走査線は２倍の２°ずれるので、ポリゴンミラー４２の回転速度に対し、走査線は２倍の回転速度になる
ｈ＝（４πＦｇ・Ｒｐ／６０）・（ｍａｘ（Ｔ１〜Ｔ６）−ｍｉｎ（Ｔ１〜Ｔ６））／（２ｔａｎ（θ／２））…（式２） Actually, the distances M1 to M6 are roughly calculated as follows. Here, the time for the scanning line to cross the hole 56a (T1 to T6 [sec]), the rotational speed Rp [rpm] of the polygon mirror 42, and the focal length Fg [mm] of the jig lens 55 are used. When the reflecting surface 42a is tilted by 1 °, the scanning line is shifted by 2 °, which is twice, so that the scanning line has a rotational speed twice that of the polygon mirror 42. h = (4πFg · Rp / 60) (Max (T1 to T6) −min (T1 to T6)) / (2 tan (θ / 2)) (Expression 2)

この式２において、本来、走査速度はＦｇ×ｔａｎ（走査角速度）であるが、Ｖスリット５６の穴部５６ａに入射する時間が極短いため、Ｆｇ×（走査角速度）で近似している。走査角速度は４πＲｐ／６０である。Ｖスリット５６の穴部５６ａに入射する時間Ｔ１〜Ｔ６は、フォトダイオード５７の出力をオシロスコープやタイムインターバルアナライザ等を用いてモニタすることによって簡単に測定できる。   In this formula 2, the scanning speed is originally Fg × tan (scanning angular velocity), but since the time for entering the hole 56a of the V slit 56 is extremely short, it is approximated by Fg × (scanning angular velocity). The scanning angular velocity is 4πRp / 60. Times T1 to T6 that enter the hole 56a of the V-slit 56 can be easily measured by monitoring the output of the photodiode 57 using an oscilloscope, a time interval analyzer, or the like.

尚、ここで図３に戻り、ポリゴンミラー４２への入射光と出射光の角度差をδ［ｒａｄ］とすると、ポリゴンミラー４２の反射面４２ａの出入り量Ｘを次式で表すことができる
Ｘ＝ｈ／２ｓｉｎ（δ／２）＝（４πＦｇ・Ｒｐ／６０）・（ｍａｘ（Ｔ１〜Ｔ６）−ｍｉｎ（Ｔ１〜Ｔ６））／（２ｔａｎ（θ／２）ｓｉｎ（δ／２））…（式３） Here, returning to FIG. 3, if the angle difference between the incident light and the outgoing light to the polygon mirror 42 is δ [rad], the amount X of the reflection surface 42 a of the polygon mirror 42 can be expressed by the following equation: X = H / 2sin (δ / 2) = (4πFg · Rp / 60) · (max (T1 to T6) −min (T1 to T6)) / (2 tan (θ / 2) sin (δ / 2)) ( Formula 3)

以上説明したように、ポリゴンミラー４２の各反射面４２ａからの反射光がＶスリットを横切る時間Ｔ１〜Ｔ６を測定することにより、反射面４２ａの出入り量Ｘ、すなわち回転中心軸Ｏｐに対する偏心量Ｘを求めることができる。   As described above, by measuring the times T1 to T6 during which the reflected light from the reflecting surfaces 42a of the polygon mirror 42 crosses the V slit, the amount X of the reflecting surface 42a, that is, the amount of eccentricity X with respect to the rotation center axis Op. Can be requested.

ここで、反射面４２ａとＶスリット５６は、レンズ５４Ｂと治具レンズ５５によって、ミラー４２の回転中心軸Ｏｐを含む副走査断面内において、光学的に共役な関係になっている。   Here, the reflecting surface 42a and the V slit 56 are in an optically conjugate relationship in the sub-scan section including the rotation center axis Op of the mirror 42 by the lens 54B and the jig lens 55.

この関係は、反射面４２ａと感光体とが共役な関係とる所謂面倒れ補正光学系のと同様の関係である。すなわち、反射面４２ａ上で副走査方向に一度結像させる構成となっており、反射面４２ａ上の像に対応する像の位置はＶスリット５６上で一意に定まる。このため、反射面４２ａが上を向いたり下を向いたりしていても像の位置は変わらず、所謂面倒れが補正される。   This relationship is the same as that of a so-called surface tilt correction optical system in which the reflecting surface 42a and the photosensitive member are in a conjugate relationship. That is, the image is formed once in the sub-scanning direction on the reflection surface 42 a, and the position of the image corresponding to the image on the reflection surface 42 a is uniquely determined on the V slit 56. For this reason, even if the reflecting surface 42a faces upward or downward, the position of the image does not change, and so-called surface tilt is corrected.

従って、各反射面４２ａが回転中心軸Ｏｐに対し平行度がばらつく、所謂面倒れがあってもＶスリット５６上の走査光線の高さのばらつきを低減でき、偏心測定の精度を向上させることができる。面倒れの影響をより低減させるためには、結像レンズ（レンズ５４Ｂ）を光軸方向に振って調整することにより、倒れ補正が完璧になる位置に調整させればよい。   Therefore, even if the reflection surfaces 42a vary in parallel to the rotation center axis Op, that is, so-called surface tilt, the variation in the height of the scanning light beam on the V slit 56 can be reduced, and the accuracy of the eccentricity measurement can be improved. it can. In order to further reduce the influence of the surface tilt, the image forming lens (lens 54B) may be adjusted by swinging in the optical axis direction so that the tilt correction is perfect.

尚、本実施形態では、受光部はＶスリット５６を用いた形態としたが、必ずしもＶスリット５６でなくともよい。例えば、互いに平行でない非平行な２つの穴部をフォトダイオード５７の前に並べて配置することによっても、検出は可能である。例えば、図４（ｃ）に示すように、２つの穴部５６ｂを配置すれば、同様に２つの穴部５６ｂをそれぞれ横切る時間差によって光線高さの差ｈを測定でき、ひいては偏心量Ｘの測定が可能になる。   In the present embodiment, the light receiving unit uses the V-slit 56, but the V-slit 56 is not necessarily used. For example, detection can also be performed by arranging two non-parallel holes that are not parallel to each other in front of the photodiode 57. For example, as shown in FIG. 4 (c), if two holes 56b are arranged, the difference in light height h can be measured by the time difference across the two holes 56b, and the amount of eccentricity X can be measured. Is possible.

（効果）
以上説明したように、ポリゴンミラー４２を回転させて偏心量Ｘを測定する。これにより、位置検知センサを複数配置する必要がなく、コストをおさえることができる。 (effect)
As described above, the eccentric amount X is measured by rotating the polygon mirror 42. Thereby, it is not necessary to arrange a plurality of position detection sensors, and the cost can be reduced.

また、ポリゴンミラー４２の回転中心軸Ｏｐを含む副走査断面内において、レーザ光Ｌが反射面４２ａで反射し、反射光Ｌが受光部（Ｖスリット５６、フォトダイオード５７）で受光される構成とした。これにより、ポリゴンミラー４２の回転によって反射光Ｌが走査される影響を極力小さくでき、回転するミラー４２がフォトダイオード５７と正対する瞬間を正確に検出できる。従って、ミラー４２が位置検知したい方向に向いた瞬間を正確に検出でき、測定精度が向上する。   In the sub-scan section including the rotation center axis Op of the polygon mirror 42, the laser beam L is reflected by the reflecting surface 42a, and the reflected beam L is received by the light receiving unit (V slit 56, photodiode 57). did. As a result, the influence of the reflected light L being scanned by the rotation of the polygon mirror 42 can be minimized, and the moment when the rotating mirror 42 faces the photodiode 57 can be accurately detected. Therefore, the moment when the mirror 42 is directed in the direction in which position detection is desired can be accurately detected, and the measurement accuracy is improved.

また、偏心測定装置５０のレンズ５４Ｂを光軸方向に振って倒れ補正が完璧になる位置まで調整する。これにより、ユニット８１の面倒れ要素を排除して、偏心量Ｘを光線高さの差ｈに置き換えることができ、さらに測定精度が向上する。   Further, the lens 54B of the eccentricity measuring device 50 is shaken in the optical axis direction and adjusted to a position where the tilt correction is perfect. Thereby, the surface tilting element of the unit 81 can be eliminated, and the amount of eccentricity X can be replaced with the difference h in the light beam height, and the measurement accuracy is further improved.

また、ポリゴンミラー４２へのレーザ光Ｌの入射角度、及びＶスリット５６の穴部５６ａの角度（三角形の穴部５６ａの走査線が横切る２辺で挟む角の角度θ）を適当な値に設定する。これにより、偏心量Ｘに対する敏感度を変更調整することができ、十分な応答性を保ちつつユニット８１を高速回転しながら測定できる。   Further, the incident angle of the laser beam L to the polygon mirror 42 and the angle of the hole 56a of the V slit 56 (the angle θ between the two sides that the scanning line of the triangular hole 56a crosses) are set to appropriate values. To do. Thereby, the sensitivity with respect to the eccentricity amount X can be changed and adjusted, and measurement can be performed while rotating the unit 81 at a high speed while maintaining sufficient responsiveness.

（従来技術の他の課題とそれに対する本実施形態の効果）
図11の拡大図に示すように、出力波形のＤ部は、実際にはきれいな斜め線にはならず、ギザギザした波形になる。受光部３がＣＣＤもしくはＰＳＤ等であることにより、時間方向に離散的なデータになるためである。 (Other problems of the prior art and the effect of this embodiment on it)
As shown in the enlarged view of FIG. 11, the D portion of the output waveform is not actually a clean diagonal line but a jagged waveform. This is because when the light receiving unit 3 is a CCD or PSD, it becomes discrete data in the time direction.

距離について分解能が非常に高くとも、時間についての分解能は位置検知センサ１の仕様に応じたサンプリング周波数以上にはならず、せいぜい５０ｋＨｚ〜６０ｋＨｚ程度の分解能である。   Even if the resolution with respect to the distance is very high, the resolution with respect to time does not exceed the sampling frequency according to the specification of the position detection sensor 1 and is at most about 50 kHz to 60 kHz.

例えば、４つの反射面４２ａを有するミラー４２を用い、定格回転数が３００００ｒ／ｍｉｎの光偏向装置の偏心を測定しようとする。サンプリング周波数５０ｋＨｚの位置検知センサ１では、受光部３が無限の大きさだとしても理論上２５回しかサンプリングできない。   For example, an attempt is made to measure the eccentricity of an optical deflecting device having a rated rotational speed of 30000 r / min using a mirror 42 having four reflecting surfaces 42a. The position detection sensor 1 with a sampling frequency of 50 kHz can theoretically sample only 25 times even if the light receiving unit 3 is infinitely large.

仮に、反射光が位置検知センサ１の受光部３に入射しうるミラー４２の角度範囲が±５°（レンジで１０°）とする。このとき、概算でサンプリング回数は１／９（１０°÷９０°＝１／９）になり、反射面一つあたり２．８回しかサンプリングできない。   Assume that the angle range of the mirror 42 in which the reflected light can enter the light receiving unit 3 of the position detection sensor 1 is ± 5 ° (10 ° in the range). At this time, the number of times of sampling is roughly 1/9 (10 ° ÷ 90 ° = 1/9), and only 2.8 times can be sampled per reflecting surface.

反射光は等速度で走査されるわけではないので、さらにサンプリングが抜け落ちる可能性がある。このため、斜めになってしまう波形（Ｄ部）を、本測定装置では定格回転数での測定は困難である。   Since the reflected light is not scanned at the same speed, there is a possibility that sampling may be further lost. For this reason, it is difficult to measure the waveform (D portion) that becomes slanted at the rated rotation speed with this measuring apparatus.

回転数を落とせば十分な回数のサンプリングが可能だが、スキャナモータが流体軸受を用いている場合には、動圧不足により軸が振れ回る現象も拾ってしまう。これにより、測定誤差だけでなく、定格回転数では動圧は正常に発生するために偏心量を大きめに算出してしまう不具合が起こる。   Sampling a sufficient number of times is possible if the number of revolutions is reduced, but if the scanner motor uses a fluid bearing, it also picks up the phenomenon that the shaft swings due to insufficient dynamic pressure. As a result, not only the measurement error but also the dynamic pressure is normally generated at the rated rotational speed, so that a problem arises that the eccentric amount is calculated to be large.

これに対し、本実施形態では、測定に用いるセンサ部分にはフォトダイオード５７とＶスリット５６を用いている。そして、フォトダイオード出力にはサンプリング周波数というものは無く、連続的にデータが取り出されるので、データが離散的になることがない。これにより、ポリゴンミラー４２がフォトダイオード５７と正対した瞬間のデータをより精度良く取り出すことができる。従って、偏心量の測定を高精度に行うことができる   On the other hand, in the present embodiment, a photodiode 57 and a V slit 56 are used for the sensor portion used for measurement. Further, there is no sampling frequency in the photodiode output, and data is continuously taken out, so that the data does not become discrete. As a result, the data at the moment when the polygon mirror 42 faces the photodiode 57 can be extracted with higher accuracy. Therefore, the amount of eccentricity can be measured with high accuracy.

［第二実施形態］
次に本発明に係る偏心調整装置の実施形態について図を用いて説明する。図５はユニット８１におけるポリゴンミラー４２の偏心を測定・調整する方法を説明する断面図及び上面図である。図６はユニット８１の断面図である。上記第一実施形態と説明の重複する部分については、同一の符号を付して説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, an embodiment of an eccentricity adjusting device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a cross-sectional view and a top view for explaining a method for measuring and adjusting the eccentricity of the polygon mirror 42 in the unit 81. FIG. 6 is a sectional view of the unit 81. About the part which overlaps with said 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

（スキャナモータユニット８１の構成）
まず、スキャナモータユニット８１の構成について説明する。図６に示すように、ユニット８１は、スキャナモータ８２、ポリゴンミラー４２を有している。スキャナモータ８２は、ミラー４２を回転させる駆動部であり、回転軸８３、弾性部材８４、支持部材８５、ロータ８６、モータ基板８７、固定スリーブ８８、ステータ８９、固定リング９０を有している。 (Configuration of the scanner motor unit 81)
First, the configuration of the scanner motor unit 81 will be described. As shown in FIG. 6, the unit 81 has a scanner motor 82 and a polygon mirror 42. The scanner motor 82 is a drive unit that rotates the mirror 42, and includes a rotation shaft 83, an elastic member 84, a support member 85, a rotor 86, a motor substrate 87, a fixing sleeve 88, a stator 89, and a fixing ring 90.

回転軸８３は、固定スリーブ８８に支承されている。ロータ８６は、ヨーク８６ａ及びロータマグネット８６ｂを有する。ヨーク８６ａは支持部材８５に一体的に結合されており、支持部材８５は回転軸８３と一体である。ステータ８９は、ステータコア８９ｂ及びステータコイル８９ａを有する。ステータコア８９ｂはモータ基板８７に固定されている。   The rotating shaft 83 is supported by the fixed sleeve 88. The rotor 86 has a yoke 86a and a rotor magnet 86b. The yoke 86 a is integrally coupled to the support member 85, and the support member 85 is integral with the rotation shaft 83. The stator 89 has a stator core 89b and a stator coil 89a. The stator core 89b is fixed to the motor substrate 87.

支持部材８５は、回転軸８３の外周に圧入等の方法で固定された真鍮、アルミ等の金属部材である。ミラー４２は、弾性部材８４と固定リング９０によって支持部材８５に押圧・固定されており、回転軸８３及びロータ８６と一体的に回転する。弾性部材８４は、中心穴を回転軸８３に嵌合させ、固定リング９０を回転軸８３に圧入・固定することで組み付けが行われる。   The support member 85 is a metal member such as brass or aluminum fixed to the outer periphery of the rotating shaft 83 by a method such as press fitting. The mirror 42 is pressed and fixed to the support member 85 by the elastic member 84 and the fixing ring 90, and rotates integrally with the rotating shaft 83 and the rotor 86. The elastic member 84 is assembled by fitting the center hole to the rotation shaft 83 and press-fitting and fixing the fixing ring 90 to the rotation shaft 83.

ユニット８１の組立出荷時に偏心量を保証していくには、部品精度を上げて全数検査して保証する方法のほかに、偏心量を測定して調整する方法がある。偏心量を測定は、上記偏心測定装置５０で行う。偏心量の調整は、下記の偏心調整装置６０で行う。   In order to guarantee the amount of eccentricity when the unit 81 is assembled and shipped, there is a method of measuring and adjusting the amount of eccentricity, in addition to a method of inspecting and guaranteeing 100% inspection of all parts. The eccentricity is measured by the eccentricity measuring device 50. The eccentricity is adjusted by the eccentricity adjusting device 60 described below.

（偏心量の測定調整）
図５に示すように、偏心調整装置６０は、チャック６１、押圧手段６２、工具６３を有している。 (Measurement adjustment of eccentricity)
As shown in FIG. 5, the eccentricity adjusting device 60 includes a chuck 61, a pressing means 62, and a tool 63.

図５（ａ）に示すように、ロータ８６とステータ８９とを組み合わせる前に、ロータ８６にミラー４２を組み合わせた状態で測定を行う。ロータ８６の上に支持部材８５を設け、支持部材８５の上にミラー４２を乗せた状態となっている。   As shown in FIG. 5A, before the rotor 86 and the stator 89 are combined, measurement is performed in a state where the mirror 42 is combined with the rotor 86. A support member 85 is provided on the rotor 86, and the mirror 42 is placed on the support member 85.

ミラー４２と支持部材８５との間の嵌合部には、軸方向と直交する方向に調整可能な数十μｍのクリアランス（ΔＳ）が設けられている。この状態で、押圧手段６２は、ミラー４２を支持部材８５に押圧して仮固定されている。   The fitting portion between the mirror 42 and the support member 85 is provided with a clearance (ΔS) of several tens of μm that can be adjusted in a direction orthogonal to the axial direction. In this state, the pressing means 62 is temporarily fixed by pressing the mirror 42 against the support member 85.

チャック６１は、回転軸８３を支持している。チャック６１自体が回転することによってミラー４２も回転する。チャック６１が回転する際には、押圧手段６２もチャック６１と同軸で回転する。   The chuck 61 supports the rotating shaft 83. As the chuck 61 itself rotates, the mirror 42 also rotates. When the chuck 61 rotates, the pressing means 62 also rotates coaxially with the chuck 61.

このような構成で、ミラー４２を回転させながら、偏心測定用のレーザ光Ｌを反射面４２ａに当てることによって偏心を測定する。   With such a configuration, the eccentricity is measured by applying the laser beam L for eccentricity to the reflecting surface 42a while rotating the mirror 42.

偏心量が測定できたら、仮固定用の押圧手段６２による押圧を解除してミラー４２をフリーな状態にし、ロータ８６に対し相対的に動かして調整する。   When the amount of eccentricity can be measured, the pressing by the pressing means 62 for temporary fixing is released to make the mirror 42 in a free state, and the relative movement with respect to the rotor 86 is adjusted.

なお、本発明は、上述のごとく、押圧手段６２によりミラー４２を支持部材８５に押し当ててミラー４２を固定する方法に限定されるものではない。例えば、ゴムキャップのようなものを回転軸８３に被せて、ミラー４２を支持部材８５に対し押圧して仮固定をしてもよい。この場合、チャック６１と同軸で回転する押圧手段６２が無くなるので設備を簡略化できる。   As described above, the present invention is not limited to the method of fixing the mirror 42 by pressing the mirror 42 against the support member 85 by the pressing means 62. For example, a rubber cap or the like may be put on the rotating shaft 83 and the mirror 42 may be pressed against the support member 85 and temporarily fixed. In this case, since the pressing means 62 rotating coaxially with the chuck 61 is eliminated, the equipment can be simplified.

偏心している方向（位相）を検出するにはロータ８６の外周にマーキング等を１点しておけば、その位置を基準に位相を判別することは容易である。   In order to detect an eccentric direction (phase), if one marking or the like is provided on the outer periphery of the rotor 86, it is easy to determine the phase based on the position.

ミラー４２を動かして調整する際には、押圧していた側を解除して鏡面として使う有効範囲外のミラー面（鏡面として用いない非有効部）を押圧して調整を行う。例えば、稜部近傍が有効範囲外の時は、稜部を押圧するようにすれば押圧するための突き当て部を別個に設ける等の形状変更の必要が無い。   When adjusting by moving the mirror 42, adjustment is performed by releasing the pressed side and pressing a mirror surface outside the effective range to be used as a mirror surface (non-effective portion not used as a mirror surface). For example, when the vicinity of the ridge portion is out of the effective range, if the ridge portion is pressed, there is no need to change the shape such as separately providing an abutting portion for pressing.

具体的には図５（ｂ）に示すように、ミラー４２の稜部は反射面４２ａの有効範囲外であり、光書き込みには使用しない部分である。この稜部Ｐ１、Ｐ２を工具６３の２つのテーパ面６３ａで押圧して調整を行う。これにより、光書き込みに使用する部分である反射面有効部にキズを付けることなく偏心の調整ができる。   Specifically, as shown in FIG. 5B, the ridge portion of the mirror 42 is outside the effective range of the reflecting surface 42a and is not used for optical writing. Adjustment is performed by pressing the ridges P <b> 1 and P <b> 2 with two tapered surfaces 63 a of the tool 63. Thereby, the eccentricity can be adjusted without scratching the effective portion of the reflecting surface, which is a portion used for optical writing.

ミラー４２の調整後、ロータ８６とステータ８９を組み合わせてユニット８１を形成し、再度偏心測定を行って偏心量を確認する。   After adjusting the mirror 42, the rotor 86 and the stator 89 are combined to form the unit 81, and the eccentricity is measured again to confirm the eccentricity.

（効果）
ポリゴンミラー４２の非有効部を押圧して調整する。このため、反射面４２ａを押してキズをつけたりすることがない。また、偏心を低減する方向へ偏心分だけ直接的に正確に動かして偏心を相殺することができる。また、偏心を押圧して調整するための突き当て部分を別個に設ける必要がない。従って、簡単な構成で高精度に偏心調整できる。 (effect)
The non-effective portion of the polygon mirror 42 is pressed and adjusted. For this reason, the reflective surface 42a is not pressed and scratched. Further, the eccentricity can be canceled by directly and accurately moving the eccentricity in the direction of reducing the eccentricity. Further, it is not necessary to separately provide an abutting portion for pressing and adjusting the eccentricity. Accordingly, the eccentricity can be adjusted with high accuracy with a simple configuration.

また、チャック６１で回転軸８３をチャックした状態で回転させる。このため、押圧手段６２等を用いて確実な仮固定をしてポリゴンミラー４２を回転中心軸に対し同軸で高速回転させることができる。また、押圧を解除すればポリゴンミラー４２をフリーな状態に容易に戻すことができる。また、回転軸８３を確実にチャックしながら、フリーなポリゴンミラー４２を押して調整するので、回転軸８３がふらついたりすることなく、適切な量を押して偏心調整することができる。   Further, the rotating shaft 83 is rotated while being chucked by the chuck 61. Therefore, the polygon mirror 42 can be rotated at a high speed coaxially with respect to the rotation center axis by reliably performing temporary fixing using the pressing means 62 or the like. Further, if the pressing is released, the polygon mirror 42 can be easily returned to a free state. In addition, since the free polygon mirror 42 is pushed and adjusted while the rotary shaft 83 is securely chucked, the eccentricity can be adjusted by pushing an appropriate amount without the rotary shaft 83 wobbling.

チャック６１と押圧手段６２との同軸精度を出すことは容易であり、仮固定手段と調整手段が分離しているので仮固定用の押圧手段６２が２軸・３軸の自由度を持つ必要もなく、簡便な設備で対応可能である。   It is easy to obtain the coaxial accuracy between the chuck 61 and the pressing means 62, and the temporary fixing means and the adjusting means are separated, so that the temporary fixing pressing means 62 needs to have a degree of freedom of two or three axes. It can be handled with simple equipment.

ロータ８６とステータ８９を組み合わせた後に、押圧手段６２で押圧して仮固定したりすると固定スリーブ８８を傷つけたりする恐れがある。しかし、ロータ８６とステータ８９を組み合わせる前に、偏心の調整を行っているので、固定スリーブ８８の損傷を抑制できる。   If the rotor 86 and the stator 89 are combined and then pressed by the pressing means 62 and temporarily fixed, the fixing sleeve 88 may be damaged. However, since the eccentricity is adjusted before combining the rotor 86 and the stator 89, damage to the fixed sleeve 88 can be suppressed.

［第三実施形態］
次に本発明に係る走査光学装置の実施形態について図を用いて説明する。図７は走査光学装置の斜視図である。上記第一実施形態と説明の重複する部分については、同一の符号を付して説明を省略する。 [Third embodiment]
Next, an embodiment of a scanning optical device according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 7 is a perspective view of the scanning optical device. About the part which overlaps with said 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

本実施形態の走査光学装置４０は、上記実施形態のスキャナモータユニット８１を用いたものである。   The scanning optical device 40 of this embodiment uses the scanner motor unit 81 of the above embodiment.

図７に示すように、走査光学装置４０は、レーザユニット４１、ｆθレンズ４３、折り返しミラー４４、ＢＤミラー４５、ＢＤセンサ４６、シリンダレンズ４８、スキャナモータユニット８１を有している。   As shown in FIG. 7, the scanning optical device 40 includes a laser unit 41, an fθ lens 43, a folding mirror 44, a BD mirror 45, a BD sensor 46, a cylinder lens 48, and a scanner motor unit 81.

レーザユニット４１（光源装置）から出射されたレーザ光Ｌは、ユニット８１に具備され回転するミラー４２により反射偏向走査される。偏向走査されたレーザ光Ｌは、
ｆθレンズ４３、折り返しミラー４４を通過して、感光ドラム３２表面に到達する。 The laser beam L emitted from the laser unit 41 (light source device) is reflected, deflected and scanned by a rotating mirror 42 provided in the unit 81. The laser beam L deflected and scanned is
It passes through the fθ lens 43 and the folding mirror 44 and reaches the surface of the photosensitive drum 32.

ｆθレンズ４３は、レーザ光Ｌを成形し、感光ドラム３２の幅内で最適に絞り込む。ｆθレンズ４３を通過したレーザ光Ｌの一部は、ＢＤミラー４５で反射し、ＢＤセンサ４６により光検知される。ＢＤセンサ４６からの出力信号を基準に走査回毎の書き込み信号を同期させ、書き込み位置ずれを防止する。   The fθ lens 43 shapes the laser beam L and narrows it down optimally within the width of the photosensitive drum 32. Part of the laser light L that has passed through the fθ lens 43 is reflected by the BD mirror 45 and is detected by the BD sensor 46. Based on the output signal from the BD sensor 46, the writing signal for each scanning time is synchronized to prevent writing position deviation.

シリンダレンズ４８は、レーザ光Ｌをミラー４２の回転軸方向に圧縮し、ミラー４２の反射面４２ａ上で線像として結像する。反射面４２ａと感光ドラム３２面上は副走査方向では共役関係とする構成が取られている。これにより、反射面４２ａの倒れ誤差による感光ドラム３２上の副走査方向のビームの位置ずれを防止している。副走査方向とは、光軸及びビームの走査方向と直交する方向（転写材３６の送り方向）をいう。さらに、それら構成部材を走査光学装置４０へと組み立てる際には基準ピン等を用いて寸法公差内に入るようにしている。   The cylinder lens 48 compresses the laser light L in the direction of the rotation axis of the mirror 42 and forms an image as a line image on the reflection surface 42 a of the mirror 42. The reflection surface 42a and the surface of the photosensitive drum 32 are configured to have a conjugate relationship in the sub-scanning direction. Thus, the beam position deviation in the sub-scanning direction on the photosensitive drum 32 due to the tilting error of the reflecting surface 42a is prevented. The sub-scanning direction refers to a direction orthogonal to the optical axis and the beam scanning direction (the feeding direction of the transfer material 36). Further, when assembling these components into the scanning optical device 40, a reference pin or the like is used so as to fall within the dimensional tolerance.

［第四実施形態］
次に本発明に係る画像形成装置の実施形態について図を用いて説明する。図８は画像形成装置の断面図である。上記第一実施形態と説明の重複する部分については、同一の符号を付して説明を省略する。 [Fourth embodiment]
Next, an embodiment of an image forming apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 8 is a cross-sectional view of the image forming apparatus. About the part which overlaps with said 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and description is abbreviate | omitted.

本実施形態の画像形成装置３０は、上記実施形態のスキャナモータユニット８１を用いたものである。   The image forming apparatus 30 of the present embodiment uses the scanner motor unit 81 of the above-described embodiment.

図８に示すように、画像形成装置３０は、感光ドラム３２、一次帯電器３３、画像形成手段である現像器３４、転写帯電ローラ３５、定着器３７、排出ローラ３８、走査光学装置４０を有している。   As shown in FIG. 8, the image forming apparatus 30 includes a photosensitive drum 32, a primary charger 33, a developing unit 34 as an image forming unit, a transfer charging roller 35, a fixing unit 37, a discharge roller 38, and a scanning optical device 40. is doing.

走査光学装置４０は画像情報に基づいて光変調されたレーザ光Ｌを出射する。出射されたレーザ光Ｌは、一次帯電器３３によって一様に帯電されている感光ドラム３２面上を走査して潜像を形成する。この潜像は、現像器３４によってトナー像として可視像化される。このトナー像は、転写帯電ローラ３５によって転写材３６上に転写されて画像形成される。転写材３６上に形成された画像は、定着器３７によって熱定着された後、排出ローラ３８によって装置外に排出される。   The scanning optical device 40 emits a laser beam L that is light-modulated based on image information. The emitted laser light L scans the surface of the photosensitive drum 32 that is uniformly charged by the primary charger 33 to form a latent image. This latent image is visualized as a toner image by the developing device 34. This toner image is transferred onto a transfer material 36 by a transfer charging roller 35 to form an image. The image formed on the transfer material 36 is thermally fixed by a fixing device 37 and then discharged outside the apparatus by a discharge roller 38.

（効果）
このように、偏心を精度良く測定・調整したスキャナモータユニット８１を用いることにより、ポリゴンミラー４２が大きく偏心することを抑制して回転時に反射面４２ａの出入りをおさえることができる。そして、画像濃度ムラや縦線のゆらぎ等の画像不具合が低減され、画質の向上を図ることができる。 (effect)
As described above, by using the scanner motor unit 81 whose eccentricity is accurately measured and adjusted, it is possible to suppress the polygon mirror 42 from being greatly decentered and to prevent the reflecting surface 42a from entering and exiting during rotation. Image defects such as image density unevenness and vertical line fluctuation are reduced, and image quality can be improved.

第一実施形態に係る偏心測定装置の構成図である。It is a block diagram of the eccentricity measuring apparatus which concerns on 1st embodiment. 偏心測定装置の斜視図である。It is a perspective view of an eccentricity measuring apparatus. 図１のＥ部の詳細図である。FIG. 2 is a detailed view of part E in FIG. 1. （ａ）は図１のＦ部の詳細を示す斜視図である。（ｂ）は図１のＦ部の詳細を示す正面図である。（ｃ）は他のＶスリットの正面図である。(A) is a perspective view which shows the detail of the F section of FIG. (B) is a front view which shows the detail of the F section of FIG. (C) is a front view of another V slit. 第二実施形態に係るポリゴンミラーの偏心量を測定・調整する方法を説明する断面図及び上面図である。It is sectional drawing and the top view explaining the method of measuring and adjusting the eccentric amount of the polygon mirror which concerns on 2nd embodiment. 第二実施形態に係るスキャナモータユニットの断面図である。It is sectional drawing of the scanner motor unit which concerns on 2nd embodiment. 第三実施形態に係る走査光学装置の斜視図である。It is a perspective view of the scanning optical apparatus which concerns on 3rd embodiment. 第四実施形態に係る画像形成装置の断面図である。It is sectional drawing of the image forming apparatus which concerns on 4th embodiment. 従来の偏心測定装置を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the conventional eccentricity measuring apparatus. 従来の偏心測定装置を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the conventional eccentricity measuring apparatus. 従来の偏心測定装置を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the conventional eccentricity measuring apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

Ａ〜Ｈ…位置、Ａ１〜Ｅ１…点、Ｆｇ…焦点距離、Ｌ…レーザ光、Ｌ０…出力、Ｌａ〜Ｌｈ…反射光、Ｍｂ〜Ｍｈ…距離、Ｏｐ…回転中心軸、Ｐ１、Ｐ２…稜部、Ｔ１〜Ｔ３…時刻、ａ〜ｃ…点、ｈ…差、３０…画像形成装置、３１…光学箱、３２…感光ドラム、３３…一次帯電器、３４…現像器、３５…転写帯電ローラ、３６…転写材、３７…定着器、３８…排出ローラ、４０…走査光学装置、４１…レーザユニット、４２…ポリゴンミラー（回転多面鏡）、４２ａ…反射面、４３…ｆθレンズ、４４…折り返しミラー、４５…ＢＤミラー、４６…ＢＤセンサ、４７…シリンダレンズ、４８…シリンダレンズ、５０…偏心測定装置、５１…半導体レーザ（レーザ光源部）、５２…コリメーターレンズ、５３…絞り、５４…シリンドリカルレンズ、５５…治具レンズ、５６…Ｖスリット（受光部）、５６ｂ…穴部、５７…フォトダイオード（受光部）、５７ａ…受光面、５８…絞り、６０…偏心調整装置、６１…チャック、６２…押圧手段、６３…工具、６３ａ…テーパ面、８１…スキャナモータユニット、８２…スキャナモータ、８３…回転軸、８４…弾性部材、８５…支持部材、８６…ロータ、８６ａ…ヨーク、８６ｂ…ロータマグネット、８７…モータ基板、８８…固定スリーブ、８９…ステータ、８９ａ…ステータコイル、８９ｂ…ステータコア、９０…固定リング A to H: Position, A1 to E1 ... Point, Fg ... Focal distance, L ... Laser light, L0 ... Output, La to Lh ... Reflected light, Mb to Mh ... Distance, Op ... Rotation center axis, P1, P2 ... Ridge Part, T1 to T3 ... time, a to c ... point, h ... difference, 30 ... image forming apparatus, 31 ... optical box, 32 ... photosensitive drum, 33 ... primary charger, 34 ... developer, 35 ... transfer charging roller , 36 ... transfer material, 37 ... fixer, 38 ... discharge roller, 40 ... scanning optical device, 41 ... laser unit, 42 ... polygon mirror (rotating polygon mirror), 42a ... reflecting surface, 43 ... f [theta] lens, 44 ... folding back Mirror, 45 ... BD mirror, 46 ... BD sensor, 47 ... Cylinder lens, 48 ... Cylinder lens, 50 ... Eccentricity measuring device, 51 ... Semiconductor laser (laser light source), 52 ... Collimator lens, 53 ... Aperture, 54 ... Cylindrical 55 ... Jig lens, 56 ... V slit (light receiving portion), 56b ... hole, 57 ... photodiode (light receiving portion), 57a ... light receiving surface, 58 ... stop, 60 ... eccentricity adjusting device, 61 ... chuck, 62 ... Pressing means, 63 ... Tool, 63a ... Tapered surface, 81 ... Scanner motor unit, 82 ... Scanner motor, 83 ... Rotating shaft, 84 ... Elastic member, 85 ... Support member, 86 ... Rotor, 86a ... Yoke, 86b ... Rotor magnet, 87 ... motor substrate, 88 ... fixing sleeve, 89 ... stator, 89a ... stator coil, 89b ... stator core, 90 ... fixing ring

Claims (2)

レーザ光を光偏向装置の回転多面鏡の各反射面に順次照射するレーザ光源部と、前記反射面で反射したレーザ光を受光する受光部とを有し、
前記レーザ光源から照射され前記反射面で反射され前記受光部で受光されるレーザ光の光軸が前記回転多面鏡の回転中心軸を含む副走査断面内にあるように、前記レーザ光源部は、前記回転中心軸及び前記回転中心軸に対して垂直な方向に対して傾斜した方向にレーザ光を照射することで、前記回転多面鏡の回転中心軸に対する前記回転多面鏡の反射面の偏心量を測定する偏心測定装置において、
前記受光部はスリットとフォトダイオードを有し、前記回転多面鏡側から順に前記スリット、前記フォトダイオードの順番に配置され、前記スリットは副走査方向において幅が所定の割合で変わる１つの穴部を有し、
前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も長い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第１高さ、前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も短い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第２高さとすると、前記穴部の副走査方向の長さは、前記第１高さと前記第２高さの差分よりも長いことを特徴とする偏心測定装置。 Includes a laser light source unit for sequentially irradiating a laser beam on each reflecting surface of the rotating polygon mirror of the optical deflector, and a light receiving portion for receiving the record laser light reflected by the reflecting surface,
The laser light source unit is such that the optical axis of the laser light emitted from the laser light source, reflected by the reflecting surface and received by the light receiving unit is within a sub-scanning section including the rotation center axis of the rotary polygon mirror, By irradiating laser light in a direction inclined with respect to the rotation center axis and a direction perpendicular to the rotation center axis, the amount of eccentricity of the reflecting surface of the rotating polygon mirror with respect to the rotation center axis of the rotating polygon mirror is reduced. In the eccentricity measuring device to measure ,
The light receiving portion has a slit and a photodiode, and is arranged in the order of the slit and the photodiode in order from the rotary polygon mirror side, and the slit has one hole portion whose width changes at a predetermined rate in the sub-scanning direction. Have
The height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam reflected by the surface having the longest distance from the rotation center axis of the rotary polygon mirror reaches the slit is the first height, and the rotation center of the rotary polygon mirror When the height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam reflected by the surface having the shortest distance from the axis reaches the slit is the second height, the length of the hole in the sub-scanning direction is the first height. An eccentricity measuring apparatus characterized by being longer than a difference between a height and the second height . レーザ光を光偏向装置の回転多面鏡の各反射面に順次照射するレーザ光源部と、前記反射面で反射したレーザ光を受光する受光部とを有し、
前記レーザ光源から照射され前記反射面で反射され前記受光部で受光されるレーザ光の光軸が前記回転多面鏡の回転中心軸を含む副走査断面内にあるように、前記レーザ光源部は、前記回転中心軸及び前記回転中心軸に対して垂直な方向に対して傾斜した方向にレーザ光を照射することで、前記回転多面鏡の回転中心軸に対する前記回転多面鏡の反射面の偏心量を測定する偏心測定装置において、
前記受光部はスリットとフォトダイオードを有し、前記回転多面鏡側から順に前記スリット、前記フォトダイオードの順番に配置され、前記スリットは互いに平行でない２つの穴部を有し、
前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も長い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第１高さ、前記回転多面鏡の前記回転中心軸からの距離が最も短い面で反射されたレーザ光が前記スリットに到達する位置における副走査方向の高さを第２高さとすると、前記２つの穴部の各々の副走査方向の長さは、前記第１高さと前記第２高さの差分よりも長いことを特徴とする偏心測定装置。 A laser light source unit that sequentially irradiates each reflecting surface of the rotary polygon mirror of the light deflector with a light receiving unit that receives the laser beam reflected by the reflecting surface;
The laser light source unit is such that the optical axis of the laser light emitted from the laser light source, reflected by the reflecting surface and received by the light receiving unit is within a sub-scanning section including the rotation center axis of the rotary polygon mirror, By irradiating laser light in a direction inclined with respect to the rotation center axis and a direction perpendicular to the rotation center axis, the amount of eccentricity of the reflecting surface of the rotating polygon mirror with respect to the rotation center axis of the rotating polygon mirror is reduced. In the eccentricity measuring device to measure,
The light receiving portion includes a slit and a photodiode, said slit from said rotating polygon mirror side in order, are arranged in order of said photodiode, said slits have a two hole portions are not parallel to each other,
The height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam reflected by the surface having the longest distance from the rotation center axis of the rotary polygon mirror reaches the slit is the first height, and the rotation center of the rotary polygon mirror If the height in the sub-scanning direction at the position where the laser beam reflected by the surface having the shortest distance from the axis reaches the slit is the second height, the length of each of the two holes in the sub-scanning direction is The eccentricity measuring apparatus , wherein the difference is longer than the difference between the first height and the second height .
JP2005321743A 2005-11-07 2005-11-07 Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them Active JP4745796B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005321743A JP4745796B2 (en) 2005-11-07 2005-11-07 Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005321743A JP4745796B2 (en) 2005-11-07 2005-11-07 Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007127911A JP2007127911A (en) 2007-05-24
JP4745796B2 true JP4745796B2 (en) 2011-08-10

Family

ID=38150608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005321743A Active JP4745796B2 (en) 2005-11-07 2005-11-07 Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4745796B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102020037B1 (en) * 2017-07-25 2019-09-10 주식회사 에스오에스랩 Hybrid LiDAR scanner

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02216117A (en) * 1989-02-17 1990-08-29 Copal Electron Co Ltd Dynamic surface projection/withdrawal measuring instrument for optical deflector
JPH04130239A (en) * 1990-09-21 1992-05-01 Copal Electron Co Ltd Apparatus for measuring outward position and inward position of dynamic surface
JPH04174336A (en) * 1990-11-07 1992-06-22 Copal Electron Co Ltd Polygon mirror measuring equipment
JPH06118320A (en) * 1992-10-07 1994-04-28 Fuji Photo Film Co Ltd Image recording device
JP2002082302A (en) * 2000-09-05 2002-03-22 Ricoh Co Ltd Optical scanning method, optical scanner, photosensitive medium, and image forming apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02216117A (en) * 1989-02-17 1990-08-29 Copal Electron Co Ltd Dynamic surface projection/withdrawal measuring instrument for optical deflector
JPH04130239A (en) * 1990-09-21 1992-05-01 Copal Electron Co Ltd Apparatus for measuring outward position and inward position of dynamic surface
JPH04174336A (en) * 1990-11-07 1992-06-22 Copal Electron Co Ltd Polygon mirror measuring equipment
JPH06118320A (en) * 1992-10-07 1994-04-28 Fuji Photo Film Co Ltd Image recording device
JP2002082302A (en) * 2000-09-05 2002-03-22 Ricoh Co Ltd Optical scanning method, optical scanner, photosensitive medium, and image forming apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007127911A (en) 2007-05-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5181590B2 (en) Method for assembling rotating body and method for assembling optical deflector
JP4745796B2 (en) Eccentricity measuring apparatus and decentration adjusting apparatus for optical deflection apparatus, and scanning optical apparatus and image forming apparatus using them
JP3073801B2 (en) Optical scanning lens and optical scanning device
JP4406276B2 (en) Scanning optical system inspection apparatus, scanning optical system inspection method, and image forming apparatus
JP6682247B2 (en) Image forming device
JP7328005B2 (en) Optical scanning device and image forming device
JP2007283690A (en) Image-forming apparatus
JPH03131817A (en) Light beam scanning optical device
JP2003270572A (en) Optical scanner
JPH06294935A (en) Light beam scanning optical device
JP5028079B2 (en) Optical deflector measuring device and measuring method, and optical scanning device manufacturing method
JP2017102144A (en) Image formation device
JP2940962B2 (en) Jitter measurement device for polygon scanner
JPS6167817A (en) Semiconductor laser light scanner
JPH11218715A (en) Optical scanner
JP5903406B2 (en) Light beam sensor position adjustment method
JP2016126268A (en) Optical scanner and image formation device
JPH09197327A (en) Light deflecting scanner
JPH09185003A (en) Optical scanner
JPS6167818A (en) Semiconductor laser light scanner
JP2019101194A (en) Optical scanner and image formation apparatus using the same
JPH05289008A (en) Synchronous detector
JP2000249945A (en) Light beam scanner
JPS62184433A (en) Method for correcting unevenness of scanning line in optical scanner and optical scanner
JPH0943522A (en) Optical scanning device

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080116

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20081107

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110201

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110404

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110510

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110512

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140520

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4745796

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150