JP4728173B2 - 走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法および走査電子顕微鏡 - Google Patents
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- 電子源のフィラメントを有する電子銃と、前記フィラメントの加速電圧と加熱電流を制御する加速電圧制御回路と、試料に向けて電子銃より放出される電子ビームが通るアノード穴を有し、電子ビームを加速するアノードと、前記電子ビームを絞るコンデンサ絞りと、前記電子ビームに偏向を加える偏向器と、前記試料から反射する反射電子を含む観察電子情報を検知する検知手段とを有する走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法において、
前記フィラメントの加速電圧と加熱電流を規定値より下げ、前記アノードに向かう前記電子ビームの照射領域を拡大して前記アノード穴を通過する前記電子ビームを確保し、
前記アノード穴を通過した前記電子ビームが明るくなるように電子ビーム軸方向の向き変え調節を行い、
前記電子ビームの明るいところが前記アノード穴に来たら前記フィラメントの加速電圧と加熱電流を規定値に近づけるように上げて前記電子ビームの照射領域を狭め、
前記フィラメントの加速電圧と加熱電流の下げ上げ加減と、電子ビーム軸方向の向き変え調節を繰り返して電子ビームの軸方向の軸ずれを調整することを特徴とする走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法において、
前記電子ビームの軸方向の軸ずれ調整は、備わる表示装置に映し出された操作画面の操作手順に従って行なうことを特徴とする走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法において、
前記加速電圧と加熱電流の下げ上げ加減や前記電子ビーム軸方向の向き変え調節は、備わる表示装置に表示される前記観察電子情報を基に作られた画面で行なうことを特徴とする走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法において、
前記フィラメントの加速電圧と加熱電流を規定値より下げ、前記アノードに向かう前記電子ビームの照射領域を拡大して前記アノード穴を通過する前記電子ビームを確保する際に、電子ビーム軸方向の向き変え調節を行なう電子銃調整ネジを設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡の電子ビーム軸調整方法。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
WO2002037527A1 (fr) * | 2000-11-02 | 2002-05-10 | Ebara Corporation | Appareil a faisceau electronique et procede de production de dispositif utilisant cet appareil |
JP2003303567A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004146146A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置 |
JP2005332720A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Jeol Ltd | 電子銃軸調整装置および方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2743399B2 (ja) * | 1988-09-24 | 1998-04-22 | ソニー株式会社 | 集束イオンビーム装置 |
JPH08264142A (ja) * | 1995-03-23 | 1996-10-11 | Jeol Ltd | 電子ビーム装置 |
JPH1092356A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-04-10 | Seiko Instr Inc | 集束イオンビームの光軸調整方法および集束イオンビーム装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002037527A1 (fr) * | 2000-11-02 | 2002-05-10 | Ebara Corporation | Appareil a faisceau electronique et procede de production de dispositif utilisant cet appareil |
JP2003303567A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP2004146146A (ja) * | 2002-10-23 | 2004-05-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 電子ビーム電流検出器を備えた電子ビーム装置および電子ビーム露光装置 |
JP2005332720A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Jeol Ltd | 電子銃軸調整装置および方法 |
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