JP4705794B2 - 配線基板の搬送機構 - Google Patents
配線基板の搬送機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4705794B2 JP4705794B2 JP2005091945A JP2005091945A JP4705794B2 JP 4705794 B2 JP4705794 B2 JP 4705794B2 JP 2005091945 A JP2005091945 A JP 2005091945A JP 2005091945 A JP2005091945 A JP 2005091945A JP 4705794 B2 JP4705794 B2 JP 4705794B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- wiring board
- substrate
- conveyor
- transport mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
Description
とくに、最近の配線基板では配線パターンがきわめて高密度に微細なパターンとして形成されるようになってきていること、また、配線層が多層に形成されるようになってきていることから、搬送時の基板10自体の荷重によって、このような障害が発生しやすくなっている。
すなわち、軸線方向に所定間隔をあけてコンベヤロールが取り付けられたロール軸を、軸線方向を互いに平行にして並置し、各々のロール軸を一方向に回転駆動する回転駆動機構を設けた配線基板の搬送機構において、前記コンベヤロールの前記ロール軸上における軸線方向の取り付け位置が、前記配線基板が前記搬送機構によって搬送される際に搬送方向に連通して設けられたダミー領域が通過する通過幅内に位置調節され、前記配線基板の送り機構に、前記配線基板の搬送方向に直交する方向への位置ずれを防止するガイド機構が設けられ、前記ガイド機構として、前記コンベヤロールと同径に形成されたロール部と、該ロール部から外側に徐々に拡径して形成されたガイド部とを備えるガイドロールが、前記駆動軸の両端に、前記配線基板の幅寸法に合わせて対向配置され、前記ガイドロールは、ロール軸に対して1本おきに設けられていることを特徴とする。
ガイドロールが配線基板の側縁をガイドして、配線基板を左右方向に位置ずれさせずに確実に搬送される。
図1は本発明に係る配線基板の搬送機構についての実施の形態の構成を示す平面図である。本実施の形態の配線基板の搬送機構30は、コンベヤロール22を軸線上で所定配置に設けたロール軸24を、軸線方向を互いに平行にして一定間隔に配置し、各々のロール軸24を一方向に回転駆動する回転駆動機構を連携して設けたものである。
なお、本実施形態の配線基板の搬送機構30では、基板10を搬送する際に基板10が左右に(基板10の搬送方向に直交する方向)位置ずれしないよう、ロール軸24の両端に取り付けるコンベヤロール22の位置にガイドロール26を取り付けている。
搬送機構30では、基板11のダミー領域11bの配置に合わせて、ロール軸24におけるコンベヤロール22の配置位置を調節する。すなわち、基板11の両側縁に沿って形成されるダミー領域11bに合わせてコンベヤロール22を配置し、基板11の内部領域に形成されるダミー領域11bに合わせて3つのコンベヤロール22を配置する。
なお、図1、2に示した搬送機構30と同様に、基板11の側縁をガイドして、搬送時に基板11が左右方向に位置ずれすることを防止するガイドロール26は、ロール軸24の1本おきに設けている。
10a、11a 製品領域
10b、11b ダミー領域
20、30 搬送機構
22 コンベヤロール
24 ロール軸
26 ガイドロール
26a ロール部
26b ガイド部
28a、28b 支持レール
Claims (2)
- 軸線方向に所定間隔をあけてコンベヤロールが取り付けられたロール軸を、軸線方向を互いに平行にして並置し、各々のロール軸を一方向に回転駆動する回転駆動機構を設けた配線基板の搬送機構において、
前記コンベヤロールの前記ロール軸上における軸線方向の取り付け位置が、前記配線基板が前記搬送機構によって搬送される際に搬送方向に連通して設けられたダミー領域が通過する通過幅内に位置調節され、
前記配線基板の送り機構に、前記配線基板の搬送方向に直交する方向への位置ずれを防止するガイド機構が設けられ、
前記ガイド機構として、前記コンベヤロールと同径に形成されたロール部と、該ロール部から外側に徐々に拡径して形成されたガイド部とを備えるガイドロールが、前記駆動軸の両端に、前記配線基板の幅寸法に合わせて対向配置され、
前記ガイドロールは、ロール軸に対して1本おきに設けられていることを特徴とする配線基板の搬送機構。 - 前記コンベヤロールは、前記配線基板の両側縁部に沿って設けられたダミー領域と、前記配線基板の内部領域に配線基板の搬送方向に連通して設けられたダミー領域に合わせて配置されていることを特徴とする請求項1記載の配線基板の搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005091945A JP4705794B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | 配線基板の搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005091945A JP4705794B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | 配線基板の搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006273461A JP2006273461A (ja) | 2006-10-12 |
JP4705794B2 true JP4705794B2 (ja) | 2011-06-22 |
Family
ID=37208581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005091945A Expired - Fee Related JP4705794B2 (ja) | 2005-03-28 | 2005-03-28 | 配線基板の搬送機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4705794B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010136606A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-06-17 | Yaskawa Electric Corp | リニアスライダ |
KR101288132B1 (ko) * | 2011-04-27 | 2013-07-19 | 주식회사 에스에프에이 | 이송장치를 구비한 챔버 |
EP2854166B1 (en) * | 2013-09-27 | 2016-06-29 | Applied Materials Italia S.R.L. | Apparatus for aligning a substrate |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002321820A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08244930A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-09-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JPH10284824A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Kansai Paint Co Ltd | プリント配線基板の製造方法及びローラ回転式コンベア |
JP3881098B2 (ja) * | 1997-10-28 | 2007-02-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
-
2005
- 2005-03-28 JP JP2005091945A patent/JP4705794B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002321820A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006273461A (ja) | 2006-10-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101204089B1 (ko) | 롤투롤 기판 이송 장치, 이를 포함하는 습식 식각 장치 및회로 기판 제조 장치 | |
US7251021B2 (en) | Substrate transfer apparatus | |
JP2008285323A (ja) | 基板材のコンベア | |
KR20080061788A (ko) | 부품실장기용 인쇄회로기판 이송장치 및 이를 이용한인쇄회로기판 이송방법 | |
JP4705794B2 (ja) | 配線基板の搬送機構 | |
CN101155477A (zh) | 药液处理装置 | |
KR100484061B1 (ko) | 기판처리장치 | |
KR100871893B1 (ko) | 인쇄회로기판의 이송장치 및 그에 사용되는 인쇄회로기판 | |
KR100919562B1 (ko) | 에칭장치 | |
US20090314739A1 (en) | Wet processing system and wet processing method | |
JP5668472B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
KR20200031375A (ko) | Pcb기판 이송장치 | |
KR100311829B1 (ko) | 기판 에칭장치 | |
JP3181884B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
JP2003062495A (ja) | ロータリー液処理装置 | |
KR101281007B1 (ko) | 운반 장치 및 플랙서블 기판 롤투롤 이송 장치 | |
KR102595459B1 (ko) | 회로기판 반송장치 및 이를 포함하는 회로기판 제조장치 | |
CN214398434U (zh) | 一种传送装置及加工设备 | |
JP2000303191A (ja) | 液体吹付装置における搬送機構 | |
JP2546440B2 (ja) | プリント基板のエッチング装置 | |
JP3321120B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
JP3566900B2 (ja) | 薬液処理装置 | |
KR20140092706A (ko) | 캐소드 롤러 조립체 및 도금 장치 | |
JP5165354B2 (ja) | スプレー処理用搬送装置 | |
JPH0377276B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110314 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4705794 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |