JP4694677B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、光学式エンコーダに係り、特に発光素子と受光素子を搭載したセンサヘッドを持つ反射型の光学式エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】
光学式エンコーダには、透過型と反射型とがある。これらのうち、反射型の光学式エンコーダは、スケールの一方側に配置される発光素子と受光素子を一体にセンサヘッドに搭載することができるため、透過型より小型化が可能である。しかし現在のところ、実用されている反射型の光学式エンコーダは、受光素子や発光素子の精密位置精度が求められる搭載構造を必要とし、信号配線を形成する配線基板を必要とする等、複雑であり、小型化が十分ではない。また、例えば、小型のX−Yテーブルに組み込んで用いるといった用途では、更に小型のエンコーダが求められている。更に、従来の構造では、エンコーダ組立の自動化や量産化も難しい。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
これに対して、本出願人は先に、樹脂ブロックを用いてセンサヘッドを小型化する技術を提案している(米国特許第5,995,229号)。
この発明は、本出願人により先に提案された技術を改良して、一層の小型化及び薄型化を可能とした反射型の光学式エンコーダを提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
この発明は、測定軸に沿って光学格子が形成された反射型のスケールと、このスケールに光照射し、スケールからの反射光を受光して変位信号を出力するセンサヘッドとを有する光学式エンコーダにおいて、前記センサヘッドは、リードフレームに前記スケールの光学格子面と直交する発光面を持つように搭載された側面発光型の発光素子チップと、前記リードフレームに前記発光素子チップと離れて搭載されて、前記スケールからの反射光を受光して変位信号を出力する受光素子チップと、前記発光素子チップ及び受光素子チップとを前記リードフレームと共にシールするようにモールドしてなり且つ、前記発光素子チップの発光面に対向する側端面に凸面を形成してなる透明樹脂体と、この透明樹脂体の前記側端面に形成された反射膜とを有することを特徴とする。
【0005】
この発明によると、発光素子を側面発光型としてこれを透明樹脂体にモールドし、透明樹脂体の発光面に対向する面には凹面ミラーを形成してスケールに光照射するセンサヘッドを構成している。発光素子の上面から出る光をスケールに戻すように凹面ミラーを形成するには、透明樹脂モールドの上部に、発光素子から所定距離離れた状態で凸面を形成することが必要となる。これに対して、この発明のように、発光素子から横方向に出力する光をスケールに斜め方向から戻すように、透明樹脂体に凹面ミラー(例えば、スケールと平行な光軸を持つものとする)を形成すると、センサヘッドをより薄型化することができる。
【0006】
この発明において好ましくは、透明樹脂体の側端面は、透明樹脂体のスケールに対向する面上に光軸を持つ球面又は放物面であり、発光素子は、球面又は放物面の焦点位置から光軸から外れる方向に所定距離ずれて配置されるように透明樹脂体に埋め込まれているものとする。
【0007】
更にこの発明において、必要に応じて、発光素子の発光面側に、マイクロレンズを設けもよいし、或いは出力光を絞るスリット窓が形成されたマスク材を設けてもよい。これにより、スケールの照射面の照度分布がほぼ均等になるような測定軸方向の幅を最適調整することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。
図1は、一実施の形態による反射型の光学式エンコーダの断面図である。光学式エンコーダは、スケール1とこれに所定ギャップをもって対向配置されたセンサヘッド2とから構成される。スケール1は、ガラス等のスケール基板11に、測定軸x方向に反射部と非反射部をピッチλで配列形成してなる光学格子12が形成された反射型スケールである。
【0009】
センサヘッド2は、半導体発光素子(LED)チップ3と受光素子チップ5とをシールするようにモールドしてなる透明樹脂体4を有する。透明樹脂体4は、薄型の略直方体に成形されている。LEDチップ3は、図5に拡大した斜視図を示したように、2本のフレーム8の一方に搭載された側面発光型LEDである。即ちLEDチップ3は側面31を発光面として、上下面に電極32,33を有し、下部電極32を下にして一方のフレーム8にマウントされ、上部電極33はワイヤボンディングにより他方のフレーム8に接続されている。この様にLEDチップ3は、フレーム8に搭載された状態で透明樹脂体4にモールドされている。
【0010】
透明樹脂体4のLEDチップ3の発光面に対向する側端面41は凸面に形成されており、この面に反射膜42が形成されている。この側端面41の凸面は、底面(スケール1に対向する面)43上に光軸を持つ球面又は放物面であって、球面の場合図1に示す位置に中心Oを持つ。即ち、LEDチップ3は、側端面41と反射膜42により形成される凹面ミラーの焦点位置から、光軸から外れる方向に所定距離離れた位置に配置されている。これにより、LEDチップ3から所定開口で出力される光が側端面41で反射され、スケール1のある程度の長さ範囲を、斜め方向(スケール面に対して約45°方向)からほぼ均等に照射することができる。
【0011】
この実施の形態の場合、リードフレーム8として、予め受光素子チップ搭載部を持つものを用意している。そして、図3に示すように、受光素子チップ5を受光面を上向きにしてリードフレーム8に搭載し、受光素子チップ5の端子とリードフレーム8の間はボンディングワイヤにより接続する。LEDチップ3は、別のリードフレーム8の受光素子チップ5とは反対側の面に搭載する。この様にリードフレーム8に受光素子チップ5とLEDチップ3を搭載した状態で、樹脂モールドする。
【0012】
図2は、図1のセンサヘッド2をスケール1側から見た平面図(透視図)である。受光素子チップ5には、受光素子アレイPDAと、原点検出用受光素子OPDが形成されている。受光素子アレイPDAは、例えば図4に示すように、スケール1の光学格子ピッチλに対して、3λ/4のピッチで4個を1セットとして、少なくとも1セットのフォトダイオードPDを配列形成したものである。この受光素子アレイPDAにより、スケール変位に伴って、図4に示すように、270°ずつずれたA,BB,AB,B相の変位信号が得られることになる。
【0013】
この実施の形態によると、側面発光型のLEDチップを透明樹脂体にモールドし、その透明樹脂体の側端面でLEDチップの光を斜め方向に反射させてスケールを照射するようにしている。従って、センサヘッドを極めて薄型に構成することができる。具体的に、センサヘッドの厚みは、約3.5mm程度に収めることができる。センサヘッドとスケールとの間のエアギャップを2mm、スケールの厚みを1mmとして、エンコーダ全体として、厚みを6.5mm程度に薄型化することができる。また、センサヘッドのスケール長手方向の長さは、約13mm、幅は約6.5mmに抑えることができ、全体として小型化が図られる。
【0014】
この実施の形態によると、側面発光型のLEDチップを受光素子チップと共に透明樹脂体にモールドし、その透明樹脂体の側端面でLEDチップの光を斜め方向に反射させてスケールを照射するようにしている。従って、センサヘッドを極めて薄型に構成することができる。具体的に、センサヘッドの厚みは、約3.5mm程度に収めることができる。センサヘッドとスケールとの間のエアギャップを2mm、スケールの厚みを1mmとして、エンコーダ全体として、厚みを6.5mm程度に薄型化することができる。また、センサヘッドのスケール長手方向の長さは、約13mm、幅は約6.5mmに抑えることができ、全体として小型化が図られる。
また、受光素子チップがLEDチップと共に樹脂モールドされるため、センサヘッドの組立工数の削減、品質の安定化等が図られる。
【0015】
上記実施の形態では、LEDチップ3の側面発光光をそのまま透明樹脂体4の側端面に形成した凹面ミラーで反射させるようにしたが、LEDチップ3の出力光の拡がり角をその出力部で調整するようにしてもよい。これは、照射されるスケール1の測定軸方向の照度分布をどの程度の範囲で均等化するかにかかわってくるので、その最適調整のために必要となる場合がある。その様なLEDチップ3の出力光の拡がり角度調整の例をいくつか説明する。
【0016】
図6は、LEDチップ3の側面発光面側に円柱状のマイクロレンズ91を配置した例である。これにより、図7Aに示すように、LEDチップ3の出力光を集光させることができる。或いは図7Bに示すように、マイクロレンズ91とLEDチップ3の間を透明樹脂92で充填することもできる。この場合、透明樹脂92とマイクロレンズ91の屈折率がほぼ同じであるとすると、図7Bに示したようにマイクロレンズ91への入力部では屈折せず、平行光に近い出力光を得ることができる。図7Bでは、透明樹脂91を充填した部分を、更に遮光膜93で覆って、外光の影響を低減した例を示している。
【0017】
図8は、LEDチップ3の側面発光面に半円柱状のマイクロレンズ100を貼り付けた例である。この場合も、LEDチップ3からの出力光を集光させることができる。
【0018】
図9は、LEDチップ3の発光面側に、出力光を絞るスリット窓112が形成されたマスク材110を設けた例である。マスク材110は透明樹脂ブロックであり、図10に示すように、そのLEDチップ3の発光面に対向する面には遮光膜111によって、スリット窓112が形成されている。このスリット窓112の幅によりLEDチップ3の出力光を絞ると、実質的に線光源に近いものとなり、このスリット窓112を通った光の拡がり角は大きいものとなる。
【0019】
図6〜図10で示した光ビームの拡がり角調整手段は、透明樹脂体4のLEDチップ3の位置から凸面成形された側端面41までの距離及びその側端面41の曲率に応じて、最適のものを選択すればよい。これにより、照射されるスケール1の測定軸方向の照度分布をどの程度の範囲で均等化するか決定される。
【0020】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、発光素子を側面発光型としてこれを受光素子チップと共に透明樹脂体にモールドし、透明樹脂体の発光面に対向する面には凹面ミラーを形成してスケールに光照射するセンサヘッドを構成している。これにより、反射型光学式エンコーダの薄型化及び小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態による光学式エンコーダの断面図である。
【図2】 同エンコーダのセンサヘッドの底面図(透視図)である。
【図3】 同エンコーダのモールド前の組立状態を示す斜視図である。
【図4】 同エンコーダの受光素子チップの斜視図である。
【図5】 同エンコーダのLEDチップの搭載構造を示す斜視図である。
【図6】 LEDチップ出力端にマイクロレンズを配置した例を示す図である。
【図7A】 図6の構成により光ビーム拡がり角が調整される様子を示す図である。
【図7B】 LEDチップとマイクロレンズの間に透明樹脂を充填した例を示す図である。
【図8】 LEDチップ出力端にマイクロレンズを配置した他の例を示す図である。
【図9】 LEDチップ出力端にマスク材を配置した例を示す図である。
【図10】 図9の構成により光ビーム拡がり角が調整される様子を示す図である。
【符号の説明】
1…スケール、2…センサヘッド、3…LEDチップ、4…透明樹脂体、5…受光素子チップ、6…透明基板、8…リードフレーム、41…側端面(凸面)、42…反射膜、91,100…マイクロレンズ、92…透明樹脂、93…遮光膜、110…マスク材、112…スリット窓。
Claims (4)
- 測定軸に沿って光学格子が形成された反射型のスケールと、このスケールに光照射し、スケールからの反射光を受光して変位信号を出力するセンサヘッドとを有する光学式エンコーダにおいて、
前記センサヘッドは、
前記スケールと平行な同一面上に配置された複数のリードフレームと、
前記複数のリードフレームのうちの1つのリードフレームの前記スケールとは反対側の面に前記スケールの光学格子面と直交する発光面を持つように搭載された側面発光型の発光素子チップと、
前記複数のリードフレームのうち他のリードフレームの前記スケール側の面に前記発光素子チップと離れて搭載されて、前記スケールからの反射光を受光して変位信号を出力する受光素子チップと、
前記発光素子チップ及び受光素子チップを前記リードフレームと共にシールするようにモールドしてなり且つ、前記発光素子チップの発光面に対向する側端面に凸面を形成してなる透明樹脂体と、
この透明樹脂体の前記側端面に形成された反射膜と、
を有することを特徴とする光学式エンコーダ。 - 前記透明樹脂体の側端面は、前記透明樹脂体のスケールに対向する面上に光軸を持つ球面又は放物面であり、前記発光素子は、前記球面又は放物面の焦点位置から前記光軸から外れる方向に所定距離ずれて配置されるように前記透明樹脂体に埋め込まれていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記発光素子の発光面側にマイクロレンズが設けられていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
- 前記発光素子の発光面側に、出力光を絞るスリット窓が形成されたマスク材が設けられていることを特徴とする請求項1記載の光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000204622A JP4694677B2 (ja) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | 光学式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000204622A JP4694677B2 (ja) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | 光学式エンコーダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002022496A JP2002022496A (ja) | 2002-01-23 |
JP4694677B2 true JP4694677B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=18701857
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000204622A Expired - Fee Related JP4694677B2 (ja) | 2000-07-06 | 2000-07-06 | 光学式エンコーダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4694677B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7102058B2 (ja) * | 2017-05-22 | 2022-07-19 | 株式会社ミツトヨ | 光電式エンコーダ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61186804A (ja) * | 1985-02-11 | 1986-08-20 | ゼロツクス コーポレーシヨン | 光検出装置 |
JPH0197813A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
US5640008A (en) * | 1993-09-13 | 1997-06-17 | U.S. Philips Corporation | Measuring device for determining the displacement of a movable object |
JPH09257518A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式エンコーダ |
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2000
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61186804A (ja) * | 1985-02-11 | 1986-08-20 | ゼロツクス コーポレーシヨン | 光検出装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002022496A (ja) | 2002-01-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |