JP4694345B2 - 検知システム - Google Patents
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Description
前記判断手段は、前記移送装置が前記基板を吸着する際に、前記複数のセンサの1つが基板との接触を感知すると一定距離前記移送装置を下降させ、その時点で、前記複数のセンサのうち、一つでも接触を検知しない場合は荷崩れと判断する。
前記判断手段は、吸着した基板を上昇させる際に、前記複数のセンサのうち、一つでも接触を検知しない場合は荷崩れと判断する。
前記センサは前記移送装置に設けられていてもよい。
前記センサは接触式のセンサであってもよい。
また、図3は図1のC方向矢視図であって、図4および図5は図2のセンサ11a付近の断面図である。
基板3は例えばカラーフィルタ基板、ガラス基板、プラスチック基板、薄膜トランジスタ基板等である。
合紙5は、基板3同士が接触しないように設けられる緩衝材であり、紙や樹脂フィルム等が用いられる。
即ち、基板移載装置9はA1、A2方向およびB1、B2方向に移動可能となっている。
吸着パッド25a、25b、25c、25d、25eは、基板3を吸着する吸着板であり、真空パッド等が用いられる。
センサ11aは図4に示すように接触式のセンサであり、円筒状のカバー31内に棒状の接触部33がE1、E2方向に移動可能に設けられている。
なお、接触部33は固定されていないため、重力により自然落下する。そのためカバー31から外れてしまわないように、接触部33には板状のストッパ35が設けられている。
フォトセンサ37は発光部39と受光部41の間に存在する物体を検知することができ、本実施形態においては発光部39と受光部41の間に接触部33が挿入されたか否かを検知する。
一方、図5に示すように、基板移載装置9がB2方向に移動して吸着パッド25aが基板3を吸着した状態では、接触部33は基板3に押し上げられてE1方向に移動し、接触部33の一端が発光部39と受光部41の間に挿入される。
図6は積層体7から基板3を分離する際の検知システム1の動作の手順を示すフローチャートであって、図8から図21は図6における各工程を示す図である。
ここで、センサ11a、11b、11c、11dのうちのいずれか1つが接触を検知したかどうかを判断し、検知した場合は次のステップに進む(ステップ103)。
一定距離とは、センサ11a、11b、11c、11dの動作限度内であり、例えば20mm程度である。
一方、1つでも検知しないセンサがあった場合は荷崩れと判断して作業を中止する(ステップ107)。
これは例えば図9および図10のような状態である。このような状態で基板3を吸着すると、一部の吸着パッドが基板3を吸着していないため、上昇中に基板3が落下するおそれがある。従って、作業を中止する必要がある。
ここで、センサ11a、11b、11c、11dのうちのいずれか1つが接触を検知しなくなったかどうかを判断し、検知しなくなった場合はステップ110に進み、検知した場合はステップ111に進む(ステップ109)。
これは例えば図12〜図14のような状態である。
図12〜図14では基板3は荷崩れを起した状態となっており、吸着パッド25aは基板を吸着していない。
これは、基板3と合紙5の段差が、センサ11aの検出限界以下の場合に起こる。
しかし、図15に示すように基板3を基板移載装置と共に上昇させると、合紙5は上昇しないため、接触部33はE2方向に落下し、センサ11aが接触を検知しない状態となる。
従って荷崩れを検知することができる。
次に、図示しない合紙剥離装置等を用いて積層体7上の合紙5を剥離し、ステップ101に戻る(ステップ112)。
従って、荷崩れを簡易に検知することができ、基板3の破損を未然に防止することができる。
3…………基板
5…………合紙
7…………積層体
9…………基板移載装置
11a……センサ
19a……垂直レール
21a……水平レール
23………フレーム
25a……吸着パッド
27a……アクチュエータ
31………カバー
33………接触部
35………ストッパ
37………フォトセンサ
39………発光部
41………受光部
Claims (5)
- 基板と合紙とを交互に積層させてなる積層体から、前記基板と前記合紙とを分離する際の積層体の荷崩れを検知する検知システムであって、
前記基板を吸着して前記積層体から分離する移送装置と、
前記基板と前記移送装置との接触を検知する複数のセンサと、
前記センサの検知状態から荷崩れを判断する判断手段と、
を有することを特徴とする検知システム。 - 前記判断手段は、前記移送装置が前記基板を吸着する際に、前記複数のセンサの1つが基板との接触を感知すると一定距離前記移送装置を下降させ、その時点で、前記複数のセンサのうち、一つでも接触を検知しない場合は荷崩れと判断することを特徴とする請求項1記載の検知システム。
- 前記判断手段は、吸着した基板を上昇させる際に、前記複数のセンサのうち、一つでも接触を検知しない場合は荷崩れと判断することを特徴とする請求項1記載の検知システム。
- 前記センサは前記移送装置に設けられていることを特徴とする請求項1記載の検知システム。
- 前記センサは接触式のセンサであることを特徴とする請求項1記載の検知システム。
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JP2005303783A JP4694345B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | 検知システム |
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JP2005303783A JP4694345B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | 検知システム |
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JP2007112462A JP2007112462A (ja) | 2007-05-10 |
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JP2005303783A Active JP4694345B2 (ja) | 2005-10-19 | 2005-10-19 | 検知システム |
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2005
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