JP4692895B2 - Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 - Google Patents
Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4692895B2 JP4692895B2 JP2006203609A JP2006203609A JP4692895B2 JP 4692895 B2 JP4692895 B2 JP 4692895B2 JP 2006203609 A JP2006203609 A JP 2006203609A JP 2006203609 A JP2006203609 A JP 2006203609A JP 4692895 B2 JP4692895 B2 JP 4692895B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tft substrate
- vibration
- load lock
- inspection
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
Claims (4)
- TFT基板を検査する検査室と、前記検査室と外部との間でTFT基板の搬出入を行うとロードロック室及び搬送室とを備え、
前記ロードロック室に、当該ロードロック室に搬入されたTFT基板のアコースティックエミッションを検出する検出部を備えることを特徴とする、TFT基板検査装置。 - 前記検出部は、前記ロードロック室内の予備排気中にアコースティックエミッションを検出することを特徴とする、請求項1に記載のTFT基板検査装置。
- 前記検出部は、TFT基板に振動を印加する加振手段と、TFT基板の振動を検出する振動検出手段とを備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のTFT基板検査装置。
- TFT基板を検査する検査室と、前記検査室と外部との間でTFT基板の搬出入を行うとロードロック室及び搬送室とを備えるTFT基板検査装置によるTFT基板検査において、
検査装置内を真空状態とするために真空引きを行う時間内において、前記ロードロック室で待機するTFT基板のアコースティックエミッションを検出することを特徴とする、TFT基板検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006203609A JP4692895B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006203609A JP4692895B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008032432A JP2008032432A (ja) | 2008-02-14 |
JP4692895B2 true JP4692895B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=39122033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006203609A Expired - Fee Related JP4692895B2 (ja) | 2006-07-26 | 2006-07-26 | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4692895B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5773734B2 (ja) * | 2011-05-09 | 2015-09-02 | 株式会社アルバック | 基板事前検査方法 |
CN113012613B (zh) * | 2021-03-09 | 2022-05-10 | 武汉天马微电子有限公司 | 显示面板及其裂纹检测方法、显示装置、计算设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000193644A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Japan Steel Works Ltd:The | 表面状態検出方法および基板表面状態検出装置 |
JP2001179063A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Fujitsu Ltd | 薬品製造方法及び薬品製造装置 |
JP2005265794A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
JP2005335836A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
-
2006
- 2006-07-26 JP JP2006203609A patent/JP4692895B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000193644A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Japan Steel Works Ltd:The | 表面状態検出方法および基板表面状態検出装置 |
JP2001179063A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Fujitsu Ltd | 薬品製造方法及び薬品製造装置 |
JP2005265794A (ja) * | 2004-03-22 | 2005-09-29 | Shimadzu Corp | 基板検査装置 |
JP2005335836A (ja) * | 2004-05-24 | 2005-12-08 | Shimadzu Corp | Tftアレイ検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008032432A (ja) | 2008-02-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6031292B2 (ja) | プローブカードへの基板当接方法 | |
WO2013183740A1 (ja) | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 | |
TW200300268A (en) | A maintenance method of processing apparatus, an automatically checking method of processing apparatus and an automatically resetting method of processing apparatus, and a self-diagnosis method of software for driving processing apparatus | |
JP4692895B2 (ja) | Tft基板検査装置およびtft基板検査方法 | |
JP2016207767A (ja) | 基板処理システム | |
JP2005286102A (ja) | 真空処理装置および真空処理方法 | |
WO2003062806A1 (fr) | Dispositif d'inspection utilisant un microscope electronique a balayage | |
KR20010084137A (ko) | 인라인 형태로 구성된 액정표시소자의 검사장치 | |
JP2002025878A (ja) | 処理装置の自動検査方法および自動復帰方法 | |
JP3119201U (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP3119098U (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP2009091075A (ja) | 基板移載方法及び基板移載装置 | |
JP2007119115A (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP4147587B2 (ja) | 基板検査装置 | |
KR100748731B1 (ko) | 반도체 제조용 웨이퍼 인스펙션 장치 및 인터락 방법 | |
JP4248663B2 (ja) | 真空ハンドラー及び搬送方法 | |
KR20210046715A (ko) | 접합 장치의 파라미터 조정 방법 및 접합 시스템 | |
JP2016184711A (ja) | 半導体ウエハの検査装置および半導体ウエハの自動検査方法 | |
KR100709590B1 (ko) | 클러스터형 베벨에치장치 | |
KR100689696B1 (ko) | 반도체장치 제조시스템 및 그 운영방법 | |
JP2005335836A (ja) | Tftアレイ検査装置 | |
JP2011254117A (ja) | 基板感知方法、基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR101016749B1 (ko) | 검사 시스템 | |
JP2009032930A (ja) | ウエハキャリアおよび、これを用いたウエハ裏面検査方法 | |
WO2011155294A1 (ja) | 基板処理装置、基板搬送装置および打痕検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081105 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110128 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110210 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4692895 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |