JP4671661B2 - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Description
10 露光データ
11 データ供給手段
12 光学系
13 データ生成手段
14 データ複製手段
15 メモリ
30 露光エンジン
31 発光手段
151 露光対象基板
G ギャップ
S−A、S−B、S−C サブスクリーン
T 露光目標エリア
Claims (6)
- 複数の露光素子を有する露光エンジンに対して直接露光処理に必要な露光データが順次供給され、該露光データに基づいて、前記露光エンジンがこれと相対移動する露光対象物上に露光パターンを形成する露光装置であって、
1つの前記露光エンジン中の2次元的に配列された前記複数の露光素子の配列を前記露光対象物の相対移動方向に垂直な方向に沿ってグループ分けして構成された複数の露光素子グループそれぞれに、同一の露光データを供給するデータ供給手段であって、前記同一の露光データの前記相対移動方向に沿った画素行数は、前記1つの露光エンジンが1度に露光することができるエリアに必要な露光データの前記相対移動方向に沿った画素行数よりも小さい、データ供給手段と、
該データ供給手段によって供給された前記同一の露光データに従って各前記露光素子グループが発した各光を、前記露光対象物上の同一エリアにて結像するよう重畳させる光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 複数の露光素子を有する露光エンジンに対して直接露光処理に必要な露光データが順次供給され、該露光データに基づいて、前記露光エンジンがこれと相対移動する露光対象物上に露光パターンを形成する露光装置であって、
1つの前記露光エンジン中の2次元的に配列された前記複数の露光素子の配列を前記露光対象物の相対移動方向に垂直な方向に沿ってグループ分けして構成された複数の露光素子グループのうち、1露光素子グループ分に対応する露光データを生成するデータ生成手段であって、前記1露光素子グループ分に対応する露光データの相対移動方向に沿った画素行数は、前記1つの露光エンジンが1度に露光することができるエリアに必要な露光データの相対移動方向に沿った画素行数よりも小さい、データ生成手段と、
該データ生成手段が生成した前記露光データを、前記1露光素子グループ分以外の露光素子グループ分だけ複製するデータ複製手段と、
前記データ生成手段もしくは前記データ複製手段によって得られた前記露光データに従って各前記露光素子グループが発した各光を、前記露光対象物上の同一エリアにて結像するよう重畳させる光学系と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記露光装置は、前記データ生成手段が生成した前記露光データを格納する記憶手段を少なくとも2つさらに備え、
前記データ複製手段が一方の前記記憶手段に既に格納されている露光データを用いて複製処理を実行する間に、前記データ生成手段は、前記1露光素子グループ分に対応する新たなる露光データを生成しこれを他方の前記記憶手段に格納する請求項2に記載の露光装置。 - 複数の露光素子を有する露光エンジンに対して直接露光処理に必要な露光データが順次供給され、該露光データに基づいて、前記露光エンジンがこれと相対移動する露光対象物上に露光パターンを形成する露光方法であって、
1つの前記露光エンジン中の2次元的に配列された前記複数の露光素子の配列を前記露光対象物の相対移動方向に垂直な方向に沿ってグループ分けして構成された複数の露光素子グループそれぞれが、前記1つの露光エンジンが1度に露光することができるエリアに必要な露光データの前記相対移動方向に沿った画素行数よりも小さい画素行数を有する同一の露光データに従って発した各光を、光学系を介して前記露光対象物上の同一エリアにて結像するよう重畳させることを特徴とする露光方法。 - 複数の露光素子を有する露光エンジンに対して直接露光処理に必要な露光データが順次供給され、該露光データに基づいて、前記露光エンジンがこれと相対移動する露光対象物上に露光パターンを形成する露光方法であって、
1つの前記露光エンジン中の2次元的に配列された前記複数の露光素子の配列を前記露光対象物の相対移動方向に垂直な方向に沿ってグループ分けして構成された複数の露光素子グループのうちの1露光素子グループ分に対応する露光データを生成すると共に該1露光素子グループ分に対応する露光データを前記1露光素子グループ分以外の露光素子グループ分だけ複製する第1のステップであって、前記1露光素子グループ分に対応する露光データの相対移動方向に沿った画素行数は、前記1つの露光エンジンが1度に露光することができるエリアに必要な露光データの相対移動方向に沿った画素行数よりも小さい、第1のステップと、
該第1のステップにおいて各前記露光素子グループごとに得られた前記1露光素子グループ分に対応する露光データに従って各前記露光素子グループが発した各光を、光学系を介して前記露光対象物上の同一エリアにて結像するよう重畳させる第2のステップと、を備えることを特徴とする露光方法。 - 前記第1のステップは、前記1露光素子グループ分に対応する露光データを前記露光素子1グループ分以外の露光素子グループ分だけ複製する間に、前記1露光素子グループ分に対応する新たなる露光データを生成する処理を実行する請求項5に記載の露光方法。
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