JP4662610B2 - 立体収束質量分離器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、中電流型イオン注入装置用の立体収束質量分離器に関するものである。なお、本明細書において用語「中電流」は30mA〜12mAの範囲を意味するものとする。
【0002】
【従来の技術】
この種のイオン注入装置は、添付図面の図6に示すように、イオン源Aと、質量分離器Bと、加速管Cと、収束レンズ系Dと、イオンビームをY方向に偏向させる静電偏向器Eと、イオンビームをX方向に偏向させる静電偏向器Fと、ターゲットに所望のイオンを照射する照射室Gとを備え、イオン源Aから引出されたイオンビームは質量分離器Bにおいて同一質量数のイオンからなるイオンビームに分離し、加速管Cで加速し、収束レンズ系Dで収束し、静電偏向器EによりY方向に偏向し、そして静電偏向器FにおいてX方向に偏向して、途中残留ガス分子と衝突し荷電交換により発生した中性ビームを除去した後、ターゲットに注入する。
【0003】
このようなイオン注入装置において使用される質量分離器では、セクター型電磁石のポールピースの入出射端面が系の軸線すなわちイオンビームの中心軸線に対して直角であるためイオンビームの完全な立体収束を得るためには、イオン源からのイオンビームの斜め入射角を大きく採る必要がある。しかしながら、イオンビームの斜め入射角を大きく採っても、縦方向にイオンビームが広がってしまい立体収束は十分ではない。
【0004】
図7には従来のイオン注入装置における質量分離器を示し、aはセクターマグネットで、そのセクターマグネットaの出射側には回転鉄片bが設けられている。セクターマグネットaのポールピース間のギャップは60mmで、cは有効な磁場端縁を示し、dはフリーマン型イオン源の出口スリットで、その幅は3mmである。またeはイオンビームの集束点で、この集束点eにおけるイオンビームの幅は2cmとなるようにされる。
【0005】
図7に示す質量分離器において、幅10mm、高さ35mmのデファイニングアパーチャーをP+50keVで30mA、またAs+30keVで12.5mA通過させることを目標値として実験を行った。
セクターマグネットaにシム部材を取付け、幅方向の磁場分布の均一範囲を10.5cmにし、セクターマグネットaの出射側に回転鉄片bを取付け、集束点eをデファイニングアパーチャーに合わせることにより、基板上で測定した結果、目標値とおり、P+15mA(引出し電圧30kV)、As+12mA(引出し電圧50kV)を、後段加速電圧170kV及び150kVで基板に注入することができた。
【0006】
つぎに本発明の対象概念としている立体収束の原理について説明する。
図8に示すように、メディアン面上で質量分離器の端面中心に右手直角座標0−xyzを取り、磁場のx、y、z成分をHx、Hy、Hzとし、イオンビームの速度成分をVx、Vy、Vzとし、イオンに働く力の成分をFx、Fy、Fzとすると、
→ → →
F=ev×H (1)
である。イオンに対してz方向に働く力Fzは
Fz=e(VxHy−VyHx) (3)
となる。
中心の単位ベクトルをKとすると、いま、質量分離器の入射端面における磁場のx成分Hxがゼロより大きく、イオンビームの速度成分Vyがゼロより大きいと、イオンに働く力Fの方向は上から下(−K)の方向となり、質量分離器の入射端面における磁場のx成分Hxがゼロより小さく、イオンビームの速度成分Vyがゼロより大きいと、イオンに働く力Fの方向は下から上(+K)方向となる。一方、質量分離器の出射端面における磁場のx成分Hxがゼロより小さく、イオンビームの速度成分Vyがゼロより小さいと、イオンに働く力Fの方向は上から下(−K)の方向となり、質量分離器の出射端面における磁場のx成分Hxがゼロより大きく、イオンビームの速度成分Vyがゼロより小さいと、イオンに働く力Fの方向は下から上(+K)の方向となる。
図8に示すように、Hx成分が大きいほど、イオンに働く縦方向の力の成分は大きくなり、立体収束効果は大きくなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の質量分離器では、図8に示すように、ポールピース(ポールピース)の端面が直角に切ってあるので、磁場のHx成分の大きさが完全な立体収束を得るためには、斜め入射角を大きくしなければならない。
このことは、イオン源から磁石の入射側端縁までの距離L1とし、磁石の出射側端縁から集束アパーチャーまでの距離をL2とし、イオン軌道半径の原点と磁石の入射側端縁の中央位置を通る軸線に対して磁石の入射側端縁の成す角度をαとし、イオン軌道半径の原点と磁石の出射側端縁の中央位置を通る軸線に対して磁石の出射側端縁の成す角度をβとするとき、Engeの式
L2=(L1tanα+Rm)/(L1/Rm(1−tanαtanβ)−tanβ)
からわかるように、イオン源から磁石の入射側端縁までの距離L1を大きくしなければならず、その結果分離器の大きさが大きくなるという問題点がある。
【0008】
一方、中電流型イオン注入装置に用いられる質量分離器においては、イオン通過率を高め、イオンの収量を多くできるものが求められている。
【0009】
そこで、本発明は、上記の問題点を解決するためメディアン面だけでなくメディアン面に垂直な方向にもイオンビームを収束できる中電流型イオン注入装置用の立体収束質量分離器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明によれば、イオンビームを生成するイオン源からのイオンから所望のイオンを分離し、加速し、偏向した後エンドステーションの基板へ注入するようにした中電流型イオン注入装置用の立体収束質量分離器において、
90°セクターマグネットのポールピースの端面を予定の斜め入出射角度に設定すると共に、ポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部の高さの1/2を30±3°の角度で削ぎ落として、ポールピースの入出射側端縁近傍の磁場のイオンビームの入射方向及び出射方向の成分を大きくする面取り部を形成し、
面取り部を形成したポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部に対向して、イオンビーム通路の開口部の全幅にわたってのびる帯状のシム部材を設けたこと
を特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下添付図面の図1〜図5を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1には本発明の立体収束質量分離器の一実施の形態を示す。図1において1は90°セクターマグネットで、この90°セクターマグネット1はポールピース2と、巻線3と、ヨーク4とを備えている。巻線3は図示していないが冷却水で冷却するように構成されている。また図1において5はイオン源の出口スリットであり、また6は集束アパーチャーである。
【0014】
ポールピース2の入出射側端面7、8の各々において、ポールピース2間のギャップすなわちイオンビーム通路9の開口部の縁部は、図2及び図3に示すように、削ぎ落されて面取り部7a、8aを形成している。すなわちポールピース2の入出射側の各端面7、8に形成された面取り部7a、8aは、図示実施の形態ではそれぞれの端面のイオンビーム通路9の開口部の縁部から1/2の高さまでそれぞれの端面に対して角度30±3°を成すように形成されている。
【0015】
また図2及び図3に示すように、イオンビーム通路9の端部すなわちポールピース2間のギャップの端部に対向して、イオンビーム通路の開口部の全幅にわたってのびる帯状の純鉄製のシム10が銀ろうによって取付けられている。これにより散乱が少なくなり、均一な磁場が広くなる。
【0016】
ポールピース2の入出射側端面7、8はそれぞれ、図1及び図2に示すように、イオン源(図示していない)のスリツト5からのイオンビームの中心軸線11に垂直な面12に対して角度α=20°及びポールピース2から集束アパーチャー6へ向うイオンビームの中心軸線13に垂直な面14に対して角度β=20°を成すように形成されている。
【0017】
また図1において、L1はイオン源のスリツト5からセクターマグネット1におけるポールピース2の入射側端面7までの距離であり、L2はポールピース2の出射側端面8からイオンビームの集束アパーチャー6までの距離である。
【0018】
このように構成した本発明の立体収束質量分離器においては、一例としてイオン源のスリツト5からセクターマグネット1におけるポールピース2の入射側端面7までの距離L1はを30.5cm、ポールピース2の出射側端面8からイオンビームの集束アパーチャー6までの距離L2は39.4cmにでき、またα、βをそれぞれ20°とすると、Engeの式によりセクターマグネット1を通るイオンビームの軌道半径は26.6cmとすることができる。
【0019】
図4には図1〜図3に示す本発明の立体収束質量分離器におけるy方向に対する磁場の強さを示し、10〜50アンペアの電流値においてy方向約100mm亘って磁場の強さがほぼ一様となっていることが認められる。
また図5にはz方向における磁場を示している。
【0020】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、90°セクターマグネットのポールピースの端面を予定の斜め入出射角度に設定すると共に、ポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部の高さの1/2を30±3°の角度で削ぎ落として、ポールピースの入出射側端縁近傍の磁場のイオンビームの入射方向及び出射方向の成分を大きくする面取り部を形成し、面取り部を形成したポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部に対向して、イオンビーム通路の開口部の全幅にわたってのびる帯状のシム部材を設けたことにより、イオン源からセクターマグネットのポールピースの端面間での距離は従来の方法による立体収束の場合に比べて約半分にでき、ギャップに入るビームの割合が大きくなり、スリットを通過するイオンの収量が約2倍になる。また電磁石の重量も従来の構造に比べて80%程度となり、製造コストも小型軽量化により従来のものの約60%にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の立体収束質量分離器の一つの実施の形態を示す概略線図。
【図2】(a)図1の立体収束質量分離器におけるポールピースの入射側端面部分の構成を示す図1のA−Aに沿った拡大断面図、(b)図1の立体収束質量分離器におけるポールピースの出射側端面部分の構成を示す図1のB−B沿った拡大断面図。
【図3】図1の立体収束質量分離器におけるポールピースの入射側端面部分の構成を示す概略拡大斜視図、(b)図1の立体収束質量分離器におけるポールピースの出射側端面部分の構成を示す概略拡大斜視図。
【図4】図1に示す立体収束質量分離器における種々の電流値に対するy方向磁場分布を示すグラフ。
【図5】図1に示す立体収束質量分離器における種々の電流値に対するz方向磁場の強さを示すグラフ。
【図6】本発明の適用されるイオン注入装置の一例を示す概略線図。
【図7】従来のイオン注入装置における質量分離器を示す概略線図。
【図8】立体収束の原理を示す概略斜視図。
Claims (1)
- イオンビームを生成するイオン源からのイオンから所望のイオンを分離し、加速し、偏向した後エンドステーションの基板へ注入するようにした中電流型イオン注入装置用の立体収束質量分離器において、
90°セクターマグネットのポールピースの端面を予定の斜め入出射角度に設定すると共に、ポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部の高さの1/2を30±3°の角度で削ぎ落として、ポールピースの入出射側端縁近傍の磁場のイオンビームの入射方向及び出射方向の成分を大きくする面取り部を形成し、
面取り部を形成したポールピースの端面におけるイオンビーム通路の開口部の縁部に対向して、イオンビーム通路の開口部の全幅にわたってのびる帯状のシム部材を設けたこと
を特徴とする中電流型イオン注入装置用の立体収束質量分離器。
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