JP4660973B2 - エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4660973B2 JP4660973B2 JP2001177860A JP2001177860A JP4660973B2 JP 4660973 B2 JP4660973 B2 JP 4660973B2 JP 2001177860 A JP2001177860 A JP 2001177860A JP 2001177860 A JP2001177860 A JP 2001177860A JP 4660973 B2 JP4660973 B2 JP 4660973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- epoxy resin
- resin composition
- semiconductor device
- general formula
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、難燃性に優れるエポキシ樹脂組成物、及び半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダイオード、トランジスタ、集積回路等の半導体装置は、主にエポキシ樹脂組成物で封止されているが、これらのエポキシ樹脂組成物中には、通常、難燃性を付与するために臭素含有有機化合物及びアンチモン化合物が配合されている。ところが、環境・衛生の点から、臭素含有有機化合物及びアンチモン化合物を使用しなくとも、難燃性に優れたエポキシ樹脂組成物の開発が望まれている。
更に、半導体装置を150〜200℃での高温で長時間保管すると、難燃剤成分である臭素含有有機化合物やアンチモン化合物は、半導体装置の抵抗値の増加や金線の断線を引き起こすことが知られている。この観点からも、臭素含有有機化合物やアンチモン化合物を使用しないで高温保管特性に優れるエポキシ樹脂組成物の開発が待たれていた。
又、半導体装置のプリント回路基板への実装時において、鉛を含有する半田(スズ−鉛合金)が使用されており、同様に環境・衛生の点から、鉛を含有する半田(スズ−鉛合金)を使用しないことが望まれている。しかし鉛を含有する半田(スズ−鉛合金)では、融点は183℃であり、従って半田処理時の温度は220〜240℃であるが、これに対し、スズ−銀合金に代表される鉛を含有しない半田では、融点が高く、半田処理時の温度が260℃程度となるため、より耐半田ストレス性に優れたエポキシ樹脂組成物の開発が望まれている。
難燃性や耐半田ストレス性を向上させるためには、無機充填材を高充填化し、樹脂成分の含有量を減少させる必要があり、この手法の一つとして低粘度の結晶性エポキシ樹脂を用いる方法がある。現在、難燃剤を使用しないで低粘度の結晶性エポキシ樹脂を用いて無機充填材を高充填化したエポキシ樹脂組成物や、難燃性の高い樹脂を用いたエポキシ樹脂組成物が提案されているが、エポキシ樹脂組成物として良好な成形性と耐半田ストレス性とを完全に満足させるものは、未だ提案されていない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、実質的に臭素含有有機化合物、アンチモン化合物を含まず、良好な成形性、難燃性、耐半田ストレス性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いた半導体装置を提供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
[1](A)一般式(3)で示されるエポキシ樹脂、(B)一般式(2)で示されるフェノール樹脂、(C)無機充填材、及び(D)硬化促進剤を必須成分とし、(A)一般式(3)で示されるエポキシ樹脂を全エポキシ樹脂中に30重量%以上含有し、(B)一般式(2)で示されるフェノール樹脂を全フェノール樹脂中に30重量%以上含有し、難燃剤を含有せず、全エポキシ樹脂組成物中に含有される臭素原子及びアンチモン原子が、それぞれ0.05重量%以下であり、全無機物が全エポキシ樹脂組成物中87〜94重量%であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
【化6】
(式中、nは平均値で、1〜10の正数)
【0005】
【化5】
(式中、nは平均値で、1〜10の正数)
【0006】
[2]第[1]項記載のエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置、
である。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明で用いる一般式(3)で示されるエポキシ樹脂は、常温では結晶性の固体であるが、融点以上の温度域では急速に融解して極めて低粘度の液状になる特性を有している。これによって無機充填材の高充填化、ひいてはエポキシ樹脂組成物の硬化物の低吸湿化が可能となる。又、硬化性に優れており、エポキシ樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度を越えた高温時での弾性率が低く、リードフレーム等の金属類との接着性に優れており、本発明の一般式(3)で示されるエポキシ樹脂を用いたエポキシ樹脂組成物で封止された半導体装置は、実装時の半田処理下でも高い信頼性を得ることができる。又、難燃性に優れ
ているため、硬化剤との組合せによっては難燃剤を配合しなくても良好な難燃性を発現できる。
一般式(3)中のnは平均値で1〜10の正数であるが、nが10を越えるとエポキシ樹脂の粘度が増大し、成形時のエポキシ樹脂組成物の流動性が劣り、より一層の低吸湿化のための無機充填材の高充填化ができなくなるので好ましくない。これらの内では硬化性の点から、一般式(3)で示されるエポキシ樹脂が好ましい。
本発明の一般式(3)で示されるエポキシ樹脂の融点としては、60〜120℃が好ましく、特に80〜110℃が好ましい。60℃未満だと、常温では液状又は半固形状であるため、作業性の問題や、これを用いたエポキシ樹脂組成物の常温保存性が低下する可能性がある。120℃を越えると、溶融混練時に十分に融解せず、均一分散できないので成形性及び硬化性が低下し、不均一な成形品となり、強度が各部分によって異なるために半導体装置の性能が低下する可能性がある。
本発明におけるエポキシ樹脂の融点は、示差走査熱量計(セイコー電子工業(株)、SSC/5200)を用いて、常温から昇温速度5℃/分で昇温したときの融解ピークの頂点の温度を示す。
更に、半導体装置の長期信頼性の点から、不純物として含有される塩素イオン、ナトリウムイオン、その他のフリーのイオンは、極力少ないことが望ましい。一般式(3)で示されるエポキシ樹脂の特性を損なわない範囲で、他のエポキシ樹脂と併用してもよいが、耐半田ストレス性を最大限に引き出すためには、一般式(3)で示されるエポキシ樹脂を全エポキシ樹脂中に30重量%以上含むことが好ましく、特に50重量%以上が好ましい。30重量%未満だと、耐半田ストレス性が不十分となる可能性がある。併用するエポキシ樹脂としては、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、トリフェノール型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。
【0008】
本発明で用いる一般式(2)で示されるフェノール樹脂は、メチレン−ビフェニル骨格−メチレン構造を有しており、これを用いたエポキシ樹脂組成物の硬化物は弾性率が低くなり、又、吸湿量が抑えられるので、リードフレーム等の金属類、及びシリコンチップ等の半導体素子との密着性に優れる。又、難燃性に優れ、エポキシ樹脂との組合せによっては難燃剤を配合しなくても良好な難燃性を発現できる。
本発明のフェノール樹脂の特性を損なわない範囲で、他のフェノール樹脂と併用してもよいが、低吸湿性や難燃性を最大限に引き出すためには、一般式(2)で示されるフェノール樹脂を全フェノール樹脂中に30重量%以上含むことが好ましく、特に50重量%以上が好ましい。30重量%未満だと、低吸湿化や難燃性の向上といった一般式(2)で示されるフェノール樹脂の特徴が得られない可能性がある。併用するフェノール樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、テルペン変性フェノール樹脂等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。更に、半導体装置の長期信頼性の点から、不純物として含有される塩素イオン、ナトリウムイオン、その他フリーのイオンは極力少ないことが望ましい。
全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数との当量比は、0.5〜2.0が好ましく、この範囲を外れると、エポキシ樹脂組成物の硬化性の低下、或いは硬化物のTgの低下等の可能性がある。
【0009】
本発明で用いる硬化促進剤は、エポキシ基とフェノール性水酸基の反応を促進するものであれば特に限定はしないが、例えば、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等のジアザビシクロアルケン及びその誘導体、トリフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラ安息香酸ボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイックアシッドボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイルオキシボレート、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフチルオキシボレート等のテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート等が挙げられ、これらは1種類を単独で用いても2種類以上を併用してもよい。
【0010】
本発明で用いる無機充填材の種類については特に制限はなく、一般に封止材に用いられているものを使用することができる。例えば、溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム等が挙げられ、特に溶融球状シリカが好ましい。粒子の形状は限りなく真球状であることが好ましく、又、粒子の大きさの異なるものを混合することによって、充填量を多くできる。
又、本発明でいう全無機物とは、前記無機充填材、必要によって添加される難燃剤として用いられるアンチモン化合物、及びイオン捕捉剤としての無機イオン交換体等を合計したものである。全無機物の含有量としては、全エポキシ樹脂組成物中に87〜94重量%が好ましい。87重量%未満だと、低吸湿性が得られず耐半田ストレス性が不十分となり、又、熱容量の小さい硬化物となるため、臭素含有有機化合物及びアンチモン化合物を添加しないと難燃性が不足するので好ましくない。94重量%を越えると、流動性が低下し、成形時に充填不良等が生じたり、高粘度化による半導体装置内の金線変形等の不都合が生じるおそれがあるので好ましくない。
【0011】
本発明のエポキシ樹脂組成物において、半導体装置の150〜200℃の高温下での電気特性の安定性が要求される用途では、臭素原子及びアンチモン原子がそれぞれ全エポキシ樹脂組成物中に0.05重量%以下であることが好ましく、完全に含まれない方がより好ましい。臭素原子及びアンチモン原子のいずれかが0.05重量%を越えると、高温下に放置したとき半導体装置の抵抗値が時間と共に増大し、最終的には半導体装置の金線が断線する不良が発生する可能性がある。又、環境保護の観点からも、臭素原子及びアンチモン原子がそれぞれ全エポキシ樹脂組成物中に0.05重量%以下で、極力含有されていないことがより望ましい。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分を必須成分とするが、これ以外に必要に応じてシランカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、天然ワックス、合成ワックス等の離型剤、及びポリシロキサン化合物、ゴム等の低応力剤等の種々の添加剤を適宜配合しても差し支えない。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(D)成分、及びその他の添加剤等を、ミキサー等を用いて常温混合し、ロール、押出機等の混練機で加熱混練し、冷却後粉砕して得られる。
本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形すればよい。本発明のエポキシ樹脂組成物が適用される半導体装置としては、QFP、SOP、TSOP、BGA、その他特に限定はしない。
【0012】
【実施例】
以下に、実施例を挙げて本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によってなんら限定されるものではない。配合単位は重量部とする。
実施例1
式(3)で示されるエポキシ樹脂(融点90℃、エポキシ当量255。以下、エポキシ樹脂(E−1)という) 4.45重量部
【化7】
【0013】
式(4)で示されるフェノール樹脂(水酸基当量203) 3.55重量部
【化8】
を常温でミキサーを用いて混合した後、二軸ロールを用いて混練し、冷却後粉砕し、エポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
【0014】
評価方法
スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用いて、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間120秒で測定した。単位はcm。
硬化トルク:キュラストメータ((株)オリエンテック・製、JSRキュラストメータIVPS型)を用いて、振幅角1度、金型温度175℃、加熱開始90秒後のトルクを求めた。キュラストメータにおけるトルクは硬化性のパラメータであり、数値の大きい方が硬化性が良好である。単位はN・m。
難燃性:トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間120秒で、長さ127mm、幅12.7mm、厚さ3.2mm又は厚さ1.6mmに成形し、UL−94に準じて難燃性試験を行った。
耐半田ストレス性:トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間120秒で、80pQFP(パッケージサイズ14×20×2.0mm、チップサイズ6.0×6.0mm)を成形した。ポストキュアとして175℃で8時間処理したパッケージ10個を、85℃、相対湿度85%の環境下で168時間処理した後、IRリフロー処理(260℃)を行った。処理後の内部の剥離、及びクラックの有無を超音波探傷機で観察し、不良パッケージの個数を数えた。不良パッケージの個数がn個であるとき、n/10と表示する。
臭素原子、アンチモン原子含有量:圧力5.9MPaで直径40mm、厚さ5〜7mmに圧縮成形し、蛍光X線分析装置を用いて、全エポキシ樹脂組成物中の臭素原子、アンチモン原子の含有量を定量した。単位は重量%。
【0015】
実施例2〜3、比較例1〜4
表1の処方に従って配合し、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
実施例2、比較例4では4,4’−ジヒドロキシ−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニルのグリシジルエーテル化物を主成分とするエポキシ樹脂(融点105℃、エポキシ当量197。以下、エポキシ樹脂(E−2)という)を用いた。
比較例3ではパラキシリレン変性フェノール樹脂(水酸基当量175)を用いた。
【表1】
【0016】
【発明の効果】
本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物は成形性に優れ、これを用いた半導体装置は難燃性及び耐半田ストレス性に優れている。
Claims (2)
- (A)一般式(3)で示されるエポキシ樹脂、(B)一般式(2)で示されるフェノール樹脂、(C)無機充填材、及び(D)硬化促進剤を必須成分とし、(A)一般式(3)で示されるエポキシ樹脂を全エポキシ樹脂中に30重量%以上含有し、(B)一般式(2)で示されるフェノール樹脂を全フェノール樹脂中に30重量%以上含有し、難燃剤を含有せず、全エポキシ樹脂組成物中に含有される臭素原子及びアンチモン原子が、それぞれ0.05重量%以下であり、全無機物が全エポキシ樹脂組成物中に87〜94重量%であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1記載のエポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001177860A JP4660973B2 (ja) | 2000-08-28 | 2001-06-13 | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000256948 | 2000-08-28 | ||
JP2000-256948 | 2000-08-28 | ||
JP2001177860A JP4660973B2 (ja) | 2000-08-28 | 2001-06-13 | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002145995A JP2002145995A (ja) | 2002-05-22 |
JP4660973B2 true JP4660973B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=26598563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001177860A Expired - Fee Related JP4660973B2 (ja) | 2000-08-28 | 2001-06-13 | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4660973B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008007692A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0848753A (ja) * | 1994-08-03 | 1996-02-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JPH08217956A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-27 | Toshiba Chem Corp | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 |
JPH09143345A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物 |
JPH11140166A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2000034393A (ja) * | 1998-05-15 | 2000-02-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001049088A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-20 | Toshiba Chem Corp | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 |
-
2001
- 2001-06-13 JP JP2001177860A patent/JP4660973B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0848753A (ja) * | 1994-08-03 | 1996-02-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JPH08217956A (ja) * | 1995-02-16 | 1996-08-27 | Toshiba Chem Corp | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 |
JPH09143345A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物 |
JPH11140166A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-25 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2000034393A (ja) * | 1998-05-15 | 2000-02-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001049088A (ja) * | 1999-08-11 | 2001-02-20 | Toshiba Chem Corp | エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002145995A (ja) | 2002-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4692885B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4677761B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5162833B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4660973B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2000169671A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2003213084A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5098125B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5142427B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2006104393A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2002080694A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH1135797A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2862777B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物 | |
JP4687195B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2004091533A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5191072B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2000186183A (ja) | 封止用のエポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4686935B2 (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2001253999A (ja) | エポキシ樹脂成形材料及び半導体装置 | |
JP2003238660A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5162835B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP5059582B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2003096159A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2001302763A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2000103836A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2001233933A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100811 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4660973 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |