JP4660758B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る第1実施例の静電アクチュエータを示す概略図である。図2は、図1の静電アクチュエータの部分分解図である。該図において、静電アクチュエータ10は、矩形形状の可動電極12と、可動電極に対向して所定の間隔をもって配置された、可動電極とほぼ同じ矩形形状で同じ面積の固定電極14と、可動電極12と固定電極14との距離の変化による仕事を弾性エネルギーとして蓄積するための弾性手段としての非線形ばね16と、静電気力と弾性力により駆動する出力部18とを備える。出力部18は、可動電極と固定電極のほぼ中心に嵌挿され上下方向に移動可能に設けられている。なお、弾性手段は、線形ばねであってもよい。
工程1、電圧印加;可動電極及び固定電極をOFF状態とする。可動電極は、非線形ばねを圧縮した状態にある(図3)。この結果、可動電極と固定電極との間隔が大きく静電引力は小さいが、一方弾性力は圧縮されて大きい。
工程1(スタート)、電圧印加;可動電極及び固定電極をOFF状態に設定する。
12 可動電極
14 固定電極
16 非線形ばね
18 出力部
20 枠体
22 電動プランジャ
24 ピエゾアクチュエータ
26 非線形形状のばね押しガイド部
28 板ばね
30 線形形状のばね押しガイド部
31 平板
Claims (3)
- 第1の固定電極と、該電極に対向し、出力部を一体に構成し、出力部の外部負荷によって第1の電極に接近することを妨げる力を受ける第2の可動電極と、第1の電極と第2の電極との間隔を広げることによって歪を生じ、そのエネルギーを弾性力として蓄積し、第2の電極を第1の電極に向けて押し付ける力となるばねと、両電極間に静電引力を生成するために電圧を印加する手段とを備え、電圧印加時に静電引力とばねの弾性力の合力によって第2の電極と、これと一体となった出力部を第1の電極方向に移動させる機構を有する静電アクチュエータ。
- 前記ばねは、非線形ばねであることを特徴とする請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 第1の固定電極を対向する第2の可動電極に対して任意の位置に固定するための電極間距離を調節する手段を備えた請求項1又は請求項2記載の静電アクチュエータ。
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