JP4653166B2 - 試験装置 - Google Patents
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Description
にせん断力を加えるようにすることができる。
a)試験ツールを前記基板へ前進させるステップと、
b)基板と接触すると試験ツールの前進を停止させるステップと、
c)試験ツールを所定距離だけ後退させるステップと、
d)試験ツールを基板に対して横断方向に往復させ、且つ、いかなる引きずり力も検出するステップと、
e)引きずり力が検出されると、所定距離分だけ試験ツールをさらに後退させ、且つ、引きずり力が検出されなくなるまで上記ステップd)を繰り返すステップと、
f)基板の突起に対して試験ツールを横方向に動かしてせん断試験を行うステップと、を含む、せん断試験する方法が提供される。
e1)引きずり力が検出されない場合、試験ツールを所定距離分だけ前進させ、且つ、
引きずり力が検出されるまで上記ステップd)を繰り返すステップと、
e2)せん断試験を行う前に、試験ツールを所定距離分だけ後退させるステップと、
をさらに含むことができる。
bによって為され、空気軸受けの作動時にスタッド34によって為される釣り合いを調節することができる。これによって、プローブ先端の最もわずかな接触で、プローブがわずかに上方移動し、それによってスタッド34がエミッタ32とレシーバ33との間の光路を覆う度合いを変化させることができる。一般的に、プローブ先端の初期接触力は0〜50g、例えば15gであるが、スタッド34の突出量に応じて調節することができる。
Claims (6)
- 基板に対して離接するようにほぼ垂直方向に駆動するようになっている試験ヘッド(15)を有し、該基板と該試験ヘッド(15)との接触を感知する感知手段(30)を含むせん断試験装置(10)であって、
前記試験ヘッド(15)はさらに、前記基板上の突起にせん断荷重を加えるために該基板にわたって横断方向に駆動されるようになっており、
前記試験ヘッド(15)は、基板に対して垂直方向に摩擦のない移動を行えるように支持され、
前記せん断試験装置は、前記突起に加えられるせん断力を感知する測定手段を含み、
前記感知手段(30)は光電センサ(32、33)を含み、
前記測定手段はさらに、前記試験ヘッド(15)を摩擦のない状態で支持しながら前記試験ヘッド(15)を横断方向に移動することで、前記基板上の前記試験ヘッドのひきずり荷重を検出するようになっている、せん断試験装置。 - 前記測定手段により所定のひきずり荷重を検出すると、前記試験ヘッドの横断移動を停止するようになっている装置をさらに含む、請求項1に記載のせん断試験装置。
- 前記試験ヘッドを横断方向に往復させる駆動体をさらに含む、請求項1又は2に記載のせん断試験装置。
- 基板の突起をせん断試験する方法であって、
a)試験ツールを前記基板へ前進させるステップと、
b)前記基板と接触すると前記試験ツールの前進を停止させるステップと、
c)前記試験ツールを所定距離だけ後退させるステップと、
d)前記試験ツールを摩擦のない状態で支持しながら前記試験ツールを前記基板に対して横断方向に往復させることで、いかなるひきずり力も検出するステップと、
e)ひきずり力が検出されると、前記所定距離分だけ前記試験ツールをさらに後退させ、且つ、ひきずり力が検出されなくなるまで前記ステップd)を繰り返すステップと、
f)前記基板の突起に対して前記試験ツールを横方向に動かしてせん断試験を行うステップと、
を含む、せん断試験する方法。 - 以下の追加ステップ:
e1)ひきずり力が検出されない場合、前記試験ツールを前記所定距離分だけ前進させ、ひきずり力が検出されるまで前記ステップd)を繰り返すステップと、
e2)前記せん断試験を行う前に、前記試験ツールを前記所定距離分だけ後退させるステップと、
をさらに含む、請求項4に記載のせん断試験する方法。 - 最初にひきずり力を感知した後、前記試験ツールを設定距離だけ後退させ、ただちに前記せん断試験を行う代替的ステップを含む、請求項4又は5に記載のせん断試験する方法。
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