JP4647417B2

JP4647417B2 - How to open and close the lid of the substrate storage container

Info

Publication number: JP4647417B2
Application number: JP2005200513A
Authority: JP
Inventors: 正人高橋; 俊行鎌田
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2005-07-08
Filing date: 2005-07-08
Publication date: 2011-03-09
Anticipated expiration: 2025-07-08
Also published as: JP2007019328A

Description

本発明は、シリコンや化合物からなる各種の半導体ウェーハ、フォトマスクガラス、アルミディスク等の基板を収納する基板収納容器の蓋体開閉方法に関するものである。 The present invention relates to a lid opening / closing method for a substrate storage container for storing various semiconductor wafers made of silicon or a compound, a photomask glass, an aluminum disk or the like.

精密基板収納容器とも呼ばれる従来の基板収納容器は、図示しないが、蓋体開閉装置に搭載される半導体ウェーハ収納用の容器本体と、この容器本体の開口した正面をシール状態に閉鎖する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌入された蓋体を蓋体開閉装置の操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、蓋体開閉装置により容器本体の正面が蓋体で自動的に開閉される。このような基板収納容器は、例えばＳＥＭＩ規格のＥ４７．１で標準化されている。 Although not shown, a conventional substrate storage container also called a precision substrate storage container is a detachable container body for mounting a semiconductor wafer mounted on a lid opening / closing device and a detachable structure that closes the open front of the container body in a sealed state. A lid and a locking mechanism that locks or unlocks the lid fitted on the front of the container main body based on the operation of the lid opening / closing device, and the front of the container main body is automatically covered by the lid by the lid opening / closing device. Opened and closed. Such a substrate storage container is standardized by SEMI standard E47.1, for example.

蓋体開閉装置は、ＳＥＭＩ規格のＥ６２で標準化された機械的インターフェイス装置を備え、この機械的インターフェイス装置の操作キーが施錠機構の回転体に挿入され、回転することにより、回転体が回転する。また、蓋体は、その半導体ウェーハに対向する対向面に、容器本体に収納された半導体ウェーハの前部周縁を保持する弾性のフロントリテーナが装着され、周壁には、容器本体と蓋体とに挟持されるエンドレスで弾性のシールガスケットが嵌合されている。 The lid opening / closing device is provided with a mechanical interface device standardized by SEMI standard E62, and an operation key of this mechanical interface device is inserted into the rotating body of the locking mechanism and rotates to rotate the rotating body. In addition, an elastic front retainer that holds the front peripheral edge of the semiconductor wafer housed in the container body is attached to the facing surface facing the semiconductor wafer, and the peripheral wall is connected to the container body and the cover body on the peripheral wall. An endless elastic seal gasket is fitted.

施錠機構は、容器本体の正面内周部の上下に凹み形成される係止穴と、蓋体に支持され、蓋体開閉装置の操作キーの操作により回転する回転体と、この回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する進退動プレートと、この進退動プレートの進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の係止穴に嵌合される係止爪とから構成されている（特許文献１、２参照）。 The locking mechanism includes a locking hole that is formed in the upper and lower portions of the front inner periphery of the container body, a rotating body that is supported by the lid body and that is rotated by operating an operation key of the lid body opening / closing device, and the rotation of the rotating body. And a forward / backward movement plate that moves forward and backward in and out of the lid, and a locking claw that protrudes and retracts from the lid based on the forward / backward movement of the forward / backward movement plate and fits into the locking hole of the container body. (See Patent Documents 1 and 2).

ところで、従来における基板収納容器は、蓋体の取り付けに際し、蓋体開閉装置により容器本体の正面に蓋体が押圧嵌入され、その後、操作キーの操作により施錠機構が施錠動作して容器本体に嵌入された蓋体が施錠される。これは、蓋体開閉装置により容器本体の正面に蓋体が大きな力で強く押圧嵌入される必要があるからである。 By the way, in the conventional substrate storage container, when the lid is attached, the lid is pressed and inserted into the front of the container main body by the lid opening / closing device, and then the locking mechanism is locked by the operation of the operation key and inserted into the container main body. The closed lid is locked. This is because it is necessary for the lid body to be strongly press-fitted to the front surface of the container main body with a large force by the lid body opening / closing device.

具体的には、半導体ウェーハにフロントリテーナが接触して撓みながら保持するので、半導体ウェーハに接触してから撓むまでの間に必要な反発力と、蓋体のシールガスケットが容器本体の正面内周部に接触しつつ撓んでシール状態を形成するときに生じる反発力に押し戻されないようにする押圧力とが必要になるからである。この押圧力は、半導体ウェーハにフロントリテーナが接触し始めてから急激に増大する。
特開平１１‐９１８６５号公報特開２０００‐５８６３３号公報 Specifically, since the front retainer comes into contact with the semiconductor wafer and holds it while it is bent, the repulsive force required between the time when it contacts the semiconductor wafer and the time when it is bent, and the seal gasket of the lid body are located inside the front of the container body. This is because a pressing force is required so as not to be pushed back by the repulsive force that is generated when the sealing state is formed by bending while contacting the peripheral portion. This pressing force increases rapidly after the front retainer starts to contact the semiconductor wafer.
Japanese Patent Laid-Open No. 11-91865 JP 2000-58633 A

従来の基板収納容器は、以上のように大きな力が蓋体の押圧力として容器本体に加わるので、蓋体開閉装置から容器本体が位置ずれしないようにする必要がある。この点に鑑み、従来においては、容器本体の底部に凹部を形成し、この凹部と蓋体開閉装置の凸部であるクランプ爪とを嵌合させ、容器本体を鉛直方向に引き込むことにより、容器本体を位置決め固定する方法が採用されている。 In the conventional substrate storage container, as described above, a large force is applied to the container main body as the pressing force of the lid, so that it is necessary to prevent the container main body from being displaced from the lid opening / closing device. In view of this point, conventionally, a recess is formed in the bottom of the container body, the recess is fitted with a clamp claw that is a protrusion of the lid opening / closing device, and the container body is pulled in the vertical direction, thereby A method of positioning and fixing the main body is employed.

しかしながら、上記方法において、蓋体の押圧力が増大すると、この押圧力に負けないように容器本体の位置決め固定力を大きくする必要があるが、容器本体が鉛直方向に引き込まれる関係上、容器本体の底部が外方向に膨らんで変形しやすくなるという問題がある。また、容器本体の底部が塑性的に変形すると、容器本体の両側壁内面に配設された支持片が半導体ウェーハを支持する支持高さが所定の高さから外れたり、傾斜し、半導体ウェーハの取り出しや挿入時にエラーを招くという問題がある。また、容器本体の正面部が変形してシール性の低下を招き、半導体ウェーハに汚染の生じるおそれもある。 However, in the above method, when the pressing force of the lid increases, it is necessary to increase the positioning fixing force of the container body so as not to lose the pressing force. There is a problem that the bottom part of the swells outwardly and easily deforms. In addition, when the bottom of the container body is plastically deformed, the support pieces disposed on the inner surfaces of the side walls of the container body support the semiconductor wafer so that the support height deviates from a predetermined height or is inclined, and the semiconductor wafer There is a problem that an error is caused at the time of removal or insertion. In addition, the front part of the container body may be deformed, resulting in a decrease in sealing performance, and the semiconductor wafer may be contaminated.

一方、基板収納容器が半導体ウェーハに各種の処理や加工を施す工程で使用される工程内タイプ（ＦＯＵＰとも呼ばれる）の場合には、同一工程内で半導体ウェーハを保管したり、搬送するために使用される関係上、半導体ウェーハの保持力（通常、基板収納容器全体で３０〜６０Ｎ程度に設定される）を大きくする必要がないので、蓋体の押圧力も保持力に対向できれば良い。したがって、蓋体の押圧力（通常、３０〜６０Ｎ程度）をそれ程大きくする必要がなく、実用上特に問題にならない。 On the other hand, if the substrate container is an in-process type (also called FOUP) used in various processes and processing of semiconductor wafers, it is used to store and transport semiconductor wafers in the same process Therefore, it is not necessary to increase the holding force of the semiconductor wafer (usually set to about 30 to 60 N for the entire substrate storage container), and it is sufficient that the pressing force of the lid can be opposed to the holding force. Therefore, it is not necessary to increase the pressing force of the lid (usually about 30 to 60 N), and there is no particular problem in practical use.

これに対し、基板収納容器が工場間の半導体ウェーハの輸送に使用される輸送用タイプ（ＦＯＳＢとも呼ばれる）の場合には、自動開閉用の蓋体が使用され始めてきているので、工程内タイプの蓋体の押圧力よりも大きな保持力（基板収納容器全体で８０〜１６０Ｎ程度、一般的には１００Ｎ程度に設定される）が必要とされ、しかも、基板収納容器が外部の汚れた環境に晒されるので、完全なシール性も要求される。 On the other hand, when the substrate storage container is a transport type (also called FOSB) used for transporting semiconductor wafers between factories, an automatic opening / closing lid has begun to be used. A holding force larger than the pressing force of the lid (about 80 to 160 N for the entire substrate storage container, generally set to about 100 N) is required, and the substrate storage container is exposed to an externally dirty environment. Since it is exposed, complete sealing is also required.

その結果、輸送用タイプにおいては、工程内タイプの押圧力の２倍の押圧力が必要とされるので、容器本体の位置決め固定力も約２倍となり、容器本体の底部が変形しやすく、半導体ウェーハのエラーや汚染を招くおそれが少なくない。このように容器本体の底部が変形すると、各種の検知センサが基板収納容器の有無や基板収納容器の種類等を正常に検知できなくなるとともに、蓋体開閉装置のアクチュエータの位置検出に不良を来たし、動作不良で停止してしまうという問題が生じる。 As a result, the transportation type requires twice the pressing force of the in-process type, so the positioning and fixing force of the container body also doubles, and the bottom of the container body is easily deformed. There are many possibilities of causing errors and contamination. When the bottom of the container body is deformed in this way, various detection sensors cannot normally detect the presence or absence of the substrate storage container, the type of the substrate storage container, etc., and the position detection of the actuator of the lid opening / closing device has failed, There arises a problem of stopping due to a malfunction.

本発明は上記に鑑みなされたもので、例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制することができ、しかも、容器本体を蓋体により有効に閉鎖することのできる基板収納容器の蓋体開閉方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above, and even if the pressing force of the lid and the fixing force of the container body are reduced, the deformation of the container body, the displacement and inclination of the substrate, the risk of contamination of the substrate, and the like are suppressed. In addition, it is an object of the present invention to provide a lid opening / closing method for a substrate storage container that can effectively close the container body with the lid.

本発明においては上記課題を解決するため、蓋体開閉装置に搭載される基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌め入れられる蓋体を蓋体開閉装置の操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、蓋体に、容器本体に収納された基板を保持するリテーナを取り付けるとともに、密封用のシール部材を取り付け、施錠機構を、容器本体の正面内周部に形成される複数の係止凹部と、蓋体に支持されて蓋体開閉装置の操作により回転する複数の回転体と、各回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体の進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の複数の係止凹部にそれぞれ嵌め合わされる複数の係止体とから構成し、蓋体開閉装置により容器本体の正面を蓋体で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、
容器本体の開口した正面に蓋体を予め設定された押圧力で略対向させ、容器本体に収納された基板の前部周縁に蓋体のリテーナを０．２ｍｍ〜５ｍｍの隙間を有する範囲に接近させた状態で止めるとともに、施錠機構の各回転体の操作を開始して容器本体の複数の係止凹部に蓋体の係止体をそれぞれ嵌め合わせ、各回転体をさらに操作して複数の係止凹部と係止体との嵌め合わせ部を起点として容器本体の正面に蓋体をシール方向に嵌め入れ、基板の前部周縁と蓋体のリテーナとを接触させ、かつリテーナに基板を一枚当たり１．３Ｎ〜７Ｎの範囲で保持させ、蓋体の押圧力を３０Ｎ〜１４０Ｎの範囲とすることにより、容器本体の正面を蓋体によりシール状態に閉鎖することを特徴としている。 In the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, a container body for storing a substrate mounted on a lid body opening / closing device, a detachable lid body for opening / closing the front surface of the container body, and a front surface of the container body. It is equipped with a locking mechanism that locks or unlocks the lid to be inserted based on the operation of the lid opening / closing device, and a retainer for holding the substrate stored in the container body is attached to the lid, and a sealing member for sealing is attached The locking mechanism includes a plurality of locking recesses formed in the front inner peripheral portion of the container body, a plurality of rotating bodies that are supported by the lid body and are rotated by operation of the lid body opening / closing device, and rotation of each rotating body. A plurality of advancing and retracting bodies that move forward and backward in the direction of the inside and outside of the lid, and a plurality of locking bodies that are projected and retracted from the lid based on the advancing and retracting movements of the respective advancing and retracting bodies and are respectively fitted into the plurality of locking recesses of the container body. Configure the lid opening and closing device Ri front of the container body a lid opening and closing process of a substrate storage container for locking closed by a lid,
The lid body is substantially opposed to the front surface of the container body opened by a preset pressing force, and the retainer of the lid body approaches a range having a gap of 0.2 mm to 5 mm on the front peripheral edge of the substrate stored in the container body. In this state, the operation of each rotating body of the locking mechanism is started, and the locking body of the lid body is fitted into the plurality of locking recesses of the container body , and each rotating body is further operated to operate a plurality of engaging members. The lid is fitted in the sealing direction to the front of the container body starting from the fitting part between the stop recess and the locking body, the front edge of the substrate and the retainer of the lid are brought into contact, and one substrate is placed on the retainer. It is characterized in that the front surface of the container main body is closed in a sealed state by the lid body by holding in the range of 1.3N to 7N per contact and the pressing force of the lid body in the range of 30N to 140N.

なお、施錠機構の各回転体を回転させる蓋体開閉装置の回転トルクを０．１Ｎｍ〜２．０Ｎｍの範囲とすることが好ましい。 In addition, it is preferable that the rotational torque of the lid opening / closing device that rotates each rotating body of the locking mechanism is in a range of 0.1 Nm to 2.0 Nm .

また、蓋体に誘導体を設け、施錠機構の各進退動体の先端部に係止体を設けるとともに、各進退動体には、誘導体にスライド可能に接触して進退動体及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被誘導体を設けることができる。 In addition, a derivative is provided on the lid, and a locking body is provided at the tip of each advancement / retraction body of the locking mechanism. It is possible to provide a derivative to be pushed in the thickness direction.

また、施錠機構の各回転体の周縁部に、第一の溝孔を設けるとともに、この第一の溝孔の外側に位置する第二の溝孔を設け、
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成することができる。 Moreover, while providing the 1st slot on the peripheral part of each rotary body of a locking mechanism, the 2nd slot located outside this 1st slot is provided,
A first advance / retreat plate in which each advancement / retraction body is slidably fitted into the first groove hole of the rotator, and a first advance / retreat plate slidably fitted into the second groove hole of the rotation body. The second advancing / retreating plate is divided into a second advancing / retreating plate, a pressing body is formed on the first advancing / retreating plate, a locking body is provided at the tip of the second advancing / retreating plate, In the intermediate portion of the moving plate, a pressed body that contacts the pressing body and presses the second advancing / retracting plate and / or the locking body in the thickness direction of the lid can be formed.

また、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌め入れられる蓋体を外部からの操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、施錠機構を、容器本体の正面内周部に形成される複数の係止凹部と、蓋体に支持されて外部からの操作により回転する複数の回転体と、各回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体の進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の複数の係止凹部にそれぞれ嵌め合わされる複数の係止体とから構成したものであって、
蓋体に誘導体を設け、施錠機構の各進退動体の先端部に係止体を設けるとともに、各進退動体には、誘導体にスライド可能に接触して進退動体及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被誘導体を設けたことを特徴としても良い。 Also, a container main body for storing the substrate, a detachable lid that opens and closes the front of the container main body, and a lock that locks or unlocks the lid that is fitted to the front of the container main body based on an external operation. A plurality of locking recesses formed in the front inner peripheral portion of the container body, a plurality of rotating bodies supported by the lid body and rotated by an external operation, and A plurality of advancing / retracting bodies that move forward / backward in and out of the lid based on the rotation, and a plurality of locking bodies that are projected and retracted from the lid based on the advancing / retreating movement of each of the advancing / retracting bodies and fit into the plurality of locking recesses of the container body, respectively. And consist of
A derivative is provided on the lid, and a locking body is provided at the tip of each advancement / retraction body of the locking mechanism. A derivative to be pushed in the vertical direction may be provided.

さらに、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌め入れられる蓋体を外部からの操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、施錠機構を、容器本体の正面内周部に形成される複数の係止凹部と、蓋体に支持されて外部からの操作により回転する複数の回転体と、各回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体の進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の複数の係止凹部にそれぞれ嵌め合わされる複数の係止体とから構成したものであって、
施錠機構の各回転体の周縁部に、第一の溝孔を設けるとともに、この第一の溝孔の外側に位置する第二の溝孔を設け、
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、
第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成したことを特徴としても良い。 Furthermore, a container body for storing the substrate, a detachable lid that opens and closes the front surface of the container body, and a lock that locks or unlocks the lid body that is fitted to the front surface of the container body based on an external operation. A plurality of locking recesses formed in the front inner peripheral portion of the container body, a plurality of rotating bodies supported by the lid body and rotated by an external operation, and A plurality of advancing / retracting bodies that move forward / backward in and out of the lid based on the rotation, and a plurality of locking bodies that are projected and retracted from the lid based on the advancing / retreating movement of each of the advancing / retracting bodies and fit into the plurality of locking recesses of the container body, respectively. And consist of
In the peripheral portion of each rotating body of the locking mechanism, a first slot is provided, and a second slot located outside the first slot is provided,
A first advance / retreat plate in which each advancement / retraction body is slidably fitted into the first groove hole of the rotator, and a first advance / retreat plate slidably fitted into the second groove hole of the rotation body. Divided into a second advancing / retracting plate facing
A pressing body is formed on the first advancing / retracting plate, a locking body is provided at the tip of the second advancing / retreating plate, and an intermediate portion of the second advancing / retreating plate is in contact with the pressing body. A pressed body that presses the second advancing / retracting plate and / or the locking body in the thickness direction of the lid may be formed.

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも口径２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍのシリコンウェーハからなる半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、フォトマスク、記録媒体用基板、液晶ガラス等の精密基板が含まれる。容器本体は、透明、半透明、不透明のいずれでも良い。この容器本体の背面は、透視窓とすることができる。また、蓋体の周囲等には、容器本体と蓋体との間に介在される中空・中実で弾性のシールガスケットを嵌め合わせることが好ましい。 Here, the substrate in the claims includes a precision substrate such as a semiconductor wafer, a glass wafer, a photomask, a recording medium substrate, and a liquid crystal glass made of a silicon wafer having a diameter of 200 mm, 300 mm, or 450 mm. The container body may be transparent, translucent, or opaque. The back surface of the container body can be a see-through window. Further, it is preferable to fit a hollow, solid, elastic seal gasket interposed between the container main body and the lid body around the lid body.

施錠機構の進退動体や係止体は、複数であれば、適宜増減することができる。これら進退動体と係止体とは、一体でも良いし、別体でも良い。第二の進退動プレートの中間部とは、先端部と末端部を除く部分をいう。さらに、本発明に係る基板収納容器は、フロントオープンボックスであれば、ＦＯＳＢタイプとＦＯＵＰタイプのいずれもが含まれる。 If there are a plurality of advancing / retracting bodies and locking bodies of the locking mechanism, they can be appropriately increased or decreased. The advance / retreat body and the locking body may be integrated or separate. The intermediate part of the second advance / retreat plate refers to a part excluding the tip part and the terminal part. Further, the substrate storage container according to the present invention includes both FOSB type and FOUP type as long as it is a front open box.

本発明によれば、例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制することができるという効果がある。また、例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体を蓋体により有効に閉鎖することができる。
また、基板の前部周縁に蓋体のリテーナを０．２ｍｍ〜５ｍｍの距離で接近させるので、リテーナの撓み量が減少し、基板を安全に保持することができる。また、容器本体の係止凹部に対する蓋体の係止体の嵌め入れがスムーズになり、しかも、容器本体の正面に蓋体を移動させてシール状態に嵌め入れることが容易となる。また、基板の前部周縁を蓋体のリテーナに基板一枚当たり１．３Ｎ〜７Ｎの範囲で保持させるので、基板を十分に保持することができ、蓋体押圧力の小さい一部の蓋体開閉装置でもトラブル発生のおそれがない。
また、蓋体押圧力を３０〜１４０Ｎの範囲とするので、例え基板収納容器が輸送用タイプでも、蓋体の押圧力を抑制することができ、容器本体の位置決め固定力を倍増する必要がない。さらに、容器本体の底部が変形したり、基板のエラーや汚染を招くおそれを排除することができる。
According to the present invention, even if the pressing force of the lid and the fixing force of the container main body are reduced, the deformation of the container main body, the displacement and inclination of the substrate, the risk of contamination of the substrate, and the like can be suppressed. There is. Even if the pressing force of the lid and the fixing force of the container body are reduced, the container body can be effectively closed by the lid.
In addition, since the retainer of the lid is brought close to the front periphery of the substrate at a distance of 0.2 mm to 5 mm, the amount of bending of the retainer is reduced, and the substrate can be safely held. Further, the fitting of the locking body of the lid to the locking recess of the container main body becomes smooth, and it is easy to move the lid to the front of the container main body and fit in a sealed state. Further, since the front peripheral edge of the substrate is held in the range of 1.3N to 7N per substrate by the retainer of the lid body, the substrate can be sufficiently held and a part of the lid body having a small lid body pressing force. There is no risk of trouble even with switchgear.
Moreover, since the lid pressing force is in the range of 30 to 140 N, even if the substrate storage container is a transport type, the pressing force of the lid can be suppressed, and there is no need to double the positioning fixing force of the container body. . Furthermore, it is possible to eliminate the possibility that the bottom of the container main body is deformed or that the substrate is errored or contaminated.

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器の蓋体開閉方法は、図１ないし図１０に示すように、蓋体開閉装置１と、この蓋体開閉装置１に位置決め搭載される半導体ウェーハＷ収納用の容器本体２０と、この容器本体２０の開口した正面をシール状態に閉鎖する着脱自在の蓋体３０と、容器本体２０の正面に嵌入された蓋体３０を蓋体開閉装置１の操作により施錠あるいは解錠する施錠機構４０とを用い、蓋体開閉装置１により容器本体２０を蓋体３０で自動的に開閉する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. A lid opening / closing method for a substrate storage container in the present embodiment includes a lid opening / closing device 1 as shown in FIGS. The container main body 20 for housing the semiconductor wafer W positioned and mounted on the lid opening / closing device 1, a detachable lid 30 for closing the open front of the container main body 20 in a sealed state, and the front of the container main body 20. The lid body 30 is automatically opened and closed by the lid body 30 by the lid body opening and closing apparatus 1 using the locking mechanism 40 that locks or unlocks the lid body 30 that is operated by operating the lid body opening and closing apparatus 1.

蓋体開閉装置１は、図１ないし図４に示すように、クリーンエリア２と搬送エリア３とを区画する周壁４を備え、この周壁４の内外に、工場間の半導体ウェーハＷの輸送に使用される基板収納容器の容器本体２０に蓋体３０を取り付け取り外しするドッキング装置６と、容器本体２０を水平に位置決め固定する載置装置１２とが配設される。蓋体開閉装置１の周壁４には、蓋体３０に対応した大きさの貫通口５が矩形に形成される。 As shown in FIGS. 1 to 4, the lid opening / closing device 1 includes a peripheral wall 4 that partitions the clean area 2 and the transfer area 3, and is used for transporting a semiconductor wafer W between factories inside and outside the peripheral wall 4. A docking device 6 that attaches and removes the lid 30 to and from the container main body 20 of the substrate storage container and a placement device 12 that positions and fixes the container main body 20 horizontally are disposed. A through-hole 5 having a size corresponding to the lid 30 is formed in a rectangular shape on the peripheral wall 4 of the lid opening / closing device 1.

ドッキング装置６は、クリーンエリア２に設置されるオープナ７を備え、このオープナ７には、蓋体開閉装置１の前後方向、換言すれば、周壁４の内外方向（図１ないし図３の左右方向）に揺動するアーム８が上下動可能に支持されており、このアーム８の先端部には、周壁４の貫通口５を開閉し、かつ蓋体３０を真空吸着する矩形のクロージャ９が回転可能に軸支される。 The docking device 6 includes an opener 7 installed in the clean area 2. The opener 7 includes a front / rear direction of the lid opening / closing device 1, in other words, an inner / outer direction of the peripheral wall 4 (the left / right direction in FIGS. 1 to 3). ) Swinging arm 8 is supported so as to be movable up and down, and a rectangular closure 9 that opens and closes the through-hole 5 of the peripheral wall 4 and vacuum-adsorbs the lid 30 is rotated at the tip of the arm 8. It is pivotally supported.

クロージャ９は、その表面の斜め上下に、蓋体３０の一対の位置決め穴３２Ａに嵌合する位置合わせピン１０が配設され、表面の中央部両側には、回転する略Ｔ字形の操作キー１１が一対配設されており、各操作キー１１が蓋体３０の施錠機構４０を施錠あるいは解錠する。 The closure 9 is provided with an alignment pin 10 that fits in a pair of positioning holes 32A of the lid 30 on the upper and lower sides of the surface of the closure 9, and a substantially T-shaped operation key 11 that rotates on both sides of the center of the surface. Are arranged, and each operation key 11 locks or unlocks the locking mechanism 40 of the lid 30.

載置装置１２は、ロードポート装置とも呼ばれ、貫通口５の前方（図１ないし図４の右方向）に水平に張り出し形成され、平坦な上部には、容器本体２０を位置決めする複数の位置決めピン１３が平面視で略三角形を描くように配設されるとともに、この複数の位置決めピン１３の中心部に位置するクランプ爪１４が上下動可能に設置されており、このクランプ爪１４が位置決め搭載された容器本体２０を着脱自在に固定するよう機能する。 The mounting device 12 is also called a load port device, and is horizontally extended in front of the through-hole 5 (right direction in FIGS. 1 to 4), and a plurality of positioning members for positioning the container body 20 on the flat upper portion. The pin 13 is disposed so as to draw a substantially triangular shape in plan view, and a clamp claw 14 positioned at the center of the plurality of positioning pins 13 is installed so as to be movable up and down. The container main body 20 that functions is detachably fixed.

半導体ウェーハＷは、例えば直径３００ｍｍの丸い円板形のシリコンウェーハ、すなわち精密基板からなり、表裏両面がそれぞれ鏡面に形成されており、蓋体開閉装置１のクリーンエリア２に設置された図示しない専用のロボットにより、左右の両側部周縁がハンドリングされた状態で出し入れされる。この半導体ウェーハＷの周縁部には、結晶方向の判別や整列を容易にするノッチが平面略半円形に切り欠かれる。 The semiconductor wafer W is made of, for example, a round disc-shaped silicon wafer having a diameter of 300 mm, that is, a precision substrate, and both the front and back surfaces are formed in mirror surfaces, and is installed in the clean area 2 of the lid opening / closing device 1 (not shown). The right and left peripheral edges are handled and removed by the robot. At the peripheral edge of the semiconductor wafer W, a notch for facilitating discrimination and alignment of the crystal direction is cut out into a substantially semicircular plane.

基板収納容器の容器本体２０、蓋体３０、及び施錠機構４０は、例えばポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン等の樹脂を材料として成形され、これらの樹脂には、カーボン、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性樹脂等が選択的に添加される。 The container main body 20, the lid 30 and the locking mechanism 40 of the substrate storage container are molded using a resin such as polycarbonate, polybutylene terephthalate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetheretherketone, etc. Carbon, carbon fiber, carbon nanotube, metal fiber, metal oxide, conductive resin and the like are selectively added.

容器本体２０は、図５に示すように、正面の開口した透明のフロントオープンボックスに成形され、内部両側、すなわち両側壁の内面には、収納される半導体ウェーハＷを水平に支持する支持片２１が上下方向に所定のピッチで複数並設されており、内部背面には、半導体ウェーハＷの後部周縁を水平に保持する弾性のリヤリテーナ２２が上下方向に所定のピッチで複数並設される。 As shown in FIG. 5, the container body 20 is formed into a transparent front open box having a front opening, and support pieces 21 for horizontally supporting the semiconductor wafers W accommodated on the inner sides, that is, on the inner surfaces of both side walls. A plurality of elastic rear retainers 22 that hold the rear peripheral edge of the semiconductor wafer W horizontally are arranged in parallel in the vertical direction at a predetermined pitch.

容器本体２０の底面には、平面略Ｕ字形あるいはＹ字形のボトムプレートが着脱自在に装着され、容器本体２０の底面とボトムプレートのいずれか一方には、載置装置１２の複数の位置決めピン１３に嵌合する位置決め具が配設される。ボトムプレートの中央部には、載置装置１２のクランプ爪１４に嵌合される凹部が形成され、ボトムプレートの後部には、着脱自在の識別体が選択的に装着されており、この識別体が載置装置１２の検知センサに検知されることにより、基板収納容器の有無、種類、半導体ウェーハＷの枚数等が把握される。また、各位置決め具は、平面略小判形に形成されるとともに、断面略Ｍ字形や略逆Ｖ字形に形成される。 A substantially U-shaped or Y-shaped bottom plate is detachably mounted on the bottom surface of the container body 20, and a plurality of positioning pins 13 of the mounting device 12 are mounted on either the bottom surface or the bottom plate of the container body 20. A positioning tool that fits in is disposed. A concave portion to be fitted to the clamp claw 14 of the mounting device 12 is formed at the center of the bottom plate, and a detachable identification body is selectively attached to the rear portion of the bottom plate. Is detected by the detection sensor of the mounting apparatus 12, the presence / absence of the substrate storage container, the type, the number of semiconductor wafers W, and the like are grasped. In addition, each positioning tool is formed in a substantially planar oval shape and is formed in a substantially M-shaped cross section or a substantially inverted V-shaped cross section.

容器本体２０の天井中央部には、平面略矩形のロボティックフランジ２３が着脱自在に装着され、このロボティックフランジ２３が搬送機構に把持されることにより、基板収納容器が搬送される。また、容器本体２０の開口した正面の周縁部は、断面略Ｌ字形に屈曲形成されることにより、外方向に張り出されてリム部２４を形成する。容器本体２０の両側壁には、肉厚の円板形、略Ｌ字形、あるいは倒Ｕ字形の搬送ハンドルがそれぞれ外側から選択的に装着され、この一対の搬送ハンドルが作業員に把持されることにより、基板収納容器が搬送される。 A substantially rectangular flat robotic flange 23 is detachably attached to the center of the ceiling of the container body 20, and the substrate storage container is transported by gripping the robotic flange 23 by the transport mechanism. Further, the front peripheral edge of the container body 20 that is opened is bent to have a substantially L-shaped cross section so that it protrudes outward to form the rim portion 24. Thick disk-shaped, substantially L-shaped, or inverted U-shaped conveyance handles are selectively attached to the both side walls of the container body 20 from the outside, and the pair of conveyance handles are gripped by an operator. Thus, the substrate storage container is conveyed.

蓋体３０は、図５ないし図１０に示すように、容器本体２０のリム部２４に嵌合する断面略皿形の筐体３１と、この筐体３１の表面を部分的に覆うカバー３２とを備えた正面視横長の略矩形に形成され、表面には、ドッキング装置６の一対の位置合わせピン１０に嵌合する位置決め穴３２Ａが丸く穿孔される。筐体３１の半導体ウェーハＷに対向する裏面の中央部には、弾性のフロントリテーナ３３が上下方向に所定のピッチで複数並設され、各フロントリテーナ３３にＵ字形あるいはＶ字形に形成された収納溝が容器本体２０に収納された各半導体ウェーハＷの前部周縁を撓みながら保持する。 As shown in FIGS. 5 to 10, the lid 30 includes a substantially dish-shaped casing 31 that fits into the rim portion 24 of the container body 20, and a cover 32 that partially covers the surface of the casing 31. A positioning hole 32A that fits into the pair of alignment pins 10 of the docking device 6 is formed in a round shape on the surface. A plurality of elastic front retainers 33 are arranged in parallel at a predetermined pitch in the vertical direction at the center of the back surface of the housing 31 facing the semiconductor wafer W, and each of the front retainers 33 is formed in a U shape or a V shape. The groove holds the front periphery of each semiconductor wafer W accommodated in the container body 20 while being bent.

筐体３１の周壁には、容器本体２０のリム部２４に圧接される密封用のシールガスケット３４が弾性変形可能に嵌合され、筐体３１の周壁の上下両側部には、施錠機構４０用の貫通孔３５がそれぞれ穿孔される。シールガスケット３４は、例えばフッ素ゴムやシリコーンゴム等を使用して屈曲片を突出させたエンドレスに成形され、容器本体２０の外部から内部に塵埃を含む気体が流入するのを抑制防止するよう機能する。 A sealing gasket 34 for sealing that is pressed against the rim portion 24 of the container body 20 is fitted to the peripheral wall of the casing 31 so as to be elastically deformable, and the upper and lower side portions of the peripheral wall of the casing 31 are for the locking mechanism 40. The through holes 35 are respectively drilled. The seal gasket 34 is formed in an endless shape in which a bent piece is projected using, for example, fluorine rubber, silicone rubber, or the like, and functions to suppress and prevent inflow of dust-containing gas from the outside of the container body 20 to the inside. .

施錠機構４０は、図５ないし図１０に示すように、容器本体２０の正面内周部の上下両側、換言すれば、リム部２４内周の上下両側にそれぞれ凹み形成される複数の係止穴４１と、蓋体３０の表面両側に軸支され、蓋体開閉装置１の操作キー１１の操作により回転する左右一対の回転体４２と、各回転体４２の回転に基づき、蓋体３０のガイドに案内支持されつつその内外方向に直線的に進退動する一対の進退動プレート４５と、各進退動プレート４５の進退動に基づき、蓋体３０から出没して容器本体２０の各係止穴４１に嵌合される複数の係止爪４７とから構成される。 As shown in FIGS. 5 to 10, the locking mechanism 40 includes a plurality of locking holes that are recessed on the upper and lower sides of the front inner periphery of the container body 20, in other words, on the upper and lower sides of the inner periphery of the rim portion 24. 41, a pair of left and right rotating bodies 42 that are pivotally supported on both sides of the surface of the lid 30 and are rotated by the operation of the operation key 11 of the lid opening / closing device 1, and a guide for the lid 30 based on the rotation of each rotating body 42 And a pair of advance / retreat plates 45 that linearly advance and retreat in the inner and outer directions while being supported by the guides, and on the basis of the advance / retreat of each advance / retreat plate 45, the locking holes 41 of the container main body 20 come and go from the cover 30 And a plurality of locking claws 47 to be fitted to each other.

各係止穴４１は、横長の矩形に形成され、容器本体２０に対する蓋体３０の嵌合時に蓋体３０の貫通孔３５と対向する。各回転体４２は、断面略凸字の円板に形成され、中心の凸部には、操作キー１１と嵌合する嵌合穴４３が形成されており、周縁部には一対の溝孔４４が１８０°の間隔をおきそれぞれ略半円弧形に切り欠かれる。 Each locking hole 41 is formed in a horizontally long rectangle, and faces the through hole 35 of the lid 30 when the lid 30 is fitted to the container body 20. Each rotating body 42 is formed in a disc having a substantially convex cross section, and a fitting hole 43 for fitting with the operation key 11 is formed in the central convex portion, and a pair of groove holes 44 in the peripheral portion. Are cut into a substantially semicircular arc shape at intervals of 180 °.

回転体４２を回転させる蓋体開閉装置１の操作キー１１の回転トルクは、０．１Ｎｍ〜２．０Ｎｍの範囲とされる。各進退動プレート４５は、基本的には上下方向に指向する長方形の板に形成され、末端部には、回転体４２の溝孔４４に筒形のローラ等を介して嵌合する突起４６が形成されており、先端部には、回転可能な係止爪４７が連結される。 The rotational torque of the operation key 11 of the lid opening / closing device 1 that rotates the rotating body 42 is in the range of 0.1 Nm to 2.0 Nm. Each forward / backward moving plate 45 is basically formed in a rectangular plate oriented in the vertical direction, and has a projection 46 fitted into the groove hole 44 of the rotating body 42 via a cylindrical roller or the like at the end portion. The engaging claw 47 which can be rotated is connected with the front-end | tip part.

なお、本実施形態では各進退動プレート４５の末端部に突起４６を形成するが、必要に応じ、回転体４２の周縁部に一対の突起４６を形成して各突起４６に進退動プレート４５の末端部に穿孔した孔を回転可能に嵌合させても良いし、各突起４６に進退動プレート４５の末端部に穿孔した孔を筒形のローラを介し回転可能に嵌合させても良い。 In this embodiment, the protrusions 46 are formed at the end portions of the respective advancing / retreating plates 45. However, if necessary, a pair of protrusions 46 are formed on the peripheral edge of the rotating body 42, and the protrusions 46 are moved to the respective protrusions 46. A hole drilled in the distal end portion may be rotatably fitted, or a hole drilled in the distal end portion of the advancing / retracting plate 45 may be rotatably fitted to each protrusion 46 via a cylindrical roller.

各係止爪４７は、基本的には板形の基部４８と、この基部４８から湾曲しながら伸びる係止部４９とを備えた断面略Ｔ字形、あるいは略γ字形に構成される。基部４８は、その一端が蓋体３０内の貫通孔３５付近に回転可能に軸支され、他端が進退動プレート４５の先端部に回転可能に軸支される。また、係止部４９は、容器本体２０の各係止穴４１に嵌合されるが、磨耗低減の観点から回転ローラ５０が選択的に取り付けられる。 Each locking claw 47 is basically configured to have a substantially T-shaped section or a substantially γ-shaped cross section including a plate-shaped base portion 48 and a locking portion 49 extending from the base portion 48 while being curved. One end of the base 48 is rotatably supported in the vicinity of the through hole 35 in the lid 30, and the other end is rotatably supported by the distal end portion of the advance / retreat plate 45. Moreover, although the latching | locking part 49 is fitted to each latching hole 41 of the container main body 20, the rotating roller 50 is selectively attached from a viewpoint of wear reduction.

このような構成の施錠機構４０は、回転体４２が時計方向に回転操作されると、回転運動が直線運動に変換されることにより、進退動プレート４５が蓋体３０のガイドに案内支持されつつ蓋体３０の外方向に直線的にスライドし、この進退動プレート４５のスライドに伴い、係止爪４７が蓋体３０の貫通孔３５から揺動露出して載置装置１２上の容器本体２０の係止穴４１に嵌合する。 In the locking mechanism 40 having such a configuration, when the rotating body 42 is rotated in the clockwise direction, the rotational motion is converted into a linear motion, so that the advance / retreat plate 45 is guided and supported by the guide of the lid 30. The container 30 slides linearly outward from the lid 30, and with the sliding of the advance / retreat plate 45, the locking claw 47 swings and exposes from the through hole 35 of the lid 30, and the container body 20 on the mounting device 12. Are fitted in the locking holes 41.

これに対し、回転体４２が反時計方向に回転操作されると、回転運動が直線運動に変換されることにより、外方向にスライドした進退動プレート４５が蓋体３０のガイドに案内支持されつつ蓋体３０の内方向に直線的にスライドし、この進退動プレート４５のスライドに伴い、露出した係止爪４７が蓋体３０の貫通孔３５に没入して容器本体２０の係止穴４１との嵌合を解除し、蓋体３０が取り外し可能な状態となる。 On the other hand, when the rotating body 42 is rotated counterclockwise, the rotational motion is converted into a linear motion, so that the forward / backward moving plate 45 slid outward is guided and supported by the guide of the lid 30. It slides linearly inward of the lid 30, and with the sliding of the advance / retreat plate 45, the exposed latching claw 47 enters the through-hole 35 of the lid 30, and Is released, and the lid 30 is in a removable state.

上記において、加工処理済みの半導体ウェーハＷを収納した容器本体２０に蓋体３０を嵌合して閉鎖する場合について説明する。この場合、蓋体開閉装置１の載置装置１２に容器本体２０が位置決め固定されてそのリム部２４が周壁４の貫通孔３５に連通し、ドッキング装置６のクロージャ９に取り外された蓋体３０が吸着されている（図１参照）。 In the above, the case where the lid body 30 is fitted and closed to the container body 20 containing the processed semiconductor wafer W will be described. In this case, the container body 20 is positioned and fixed to the mounting device 12 of the lid opening / closing device 1, the rim portion 24 communicates with the through hole 35 of the peripheral wall 4, and the lid 30 is removed from the closure 9 of the docking device 6. Is adsorbed (see FIG. 1).

先ず、ドッキング装置６のアーム８が上昇しながら周壁４の内外方向に揺動してクロージャ９を下方の待機位置から上昇させ、このクロージャ９が容器本体２０の開口したリム部２４に蓋体３０を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体２０に収納された半導体ウェーハＷの前部周縁に蓋体３０のフロントリテーナ３３が隙間Ｃを介し接近した状態で停止する（図２、図８、図９参照）。この際、予め設定された押圧力は、基板収納容器が輸送用タイプであることに鑑み、９Ｎ〜１６０Ｎの範囲に調整される。 First, while the arm 8 of the docking device 6 is raised, it swings inward and outward of the peripheral wall 4 to raise the closure 9 from the lower standby position, and the closure 9 is attached to the rim portion 24 opened in the container body 20 on the lid 30. Are opposed to each other with a preset pressing force, and the front retainer 33 of the lid 30 is brought close to the front peripheral edge of the semiconductor wafer W accommodated in the container body 20 through the gap C (FIGS. 2 and 8). FIG. 9). At this time, the preset pressing force is adjusted to a range of 9N to 160N in view of the fact that the substrate storage container is a transport type.

半導体ウェーハＷの前部周縁と蓋体３０のフロントリテーナ３３との隙間Ｃは、図９に示すように、０．２ｍｍ〜５ｍｍ、好ましくは０．５ｍｍ〜２．５ｍｍの範囲の距離に調整される。これは、０．２ｍｍ未満の場合には、フロントリテーナ３３の撓み量が減少し、半導体ウェーハＷを安全に保持することが困難になるからである。逆に、５ｍｍを超える場合には、容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７の嵌合するのが容易でなくなり、容器本体２０のリム部２４に蓋体３０を移動させてシール状態に嵌入することが困難になるからである。 The gap C between the front peripheral edge of the semiconductor wafer W and the front retainer 33 of the lid 30 is adjusted to a distance in the range of 0.2 mm to 5 mm, preferably 0.5 mm to 2.5 mm, as shown in FIG. The This is because if the thickness is less than 0.2 mm, the amount of bending of the front retainer 33 is reduced, and it becomes difficult to safely hold the semiconductor wafer W. On the other hand, when the length exceeds 5 mm, it is not easy to fit the locking claw 47 of the lid 30 into the locking hole 41 of the container body 20, and the lid 30 is moved to the rim portion 24 of the container body 20. This is because it becomes difficult to fit into the sealed state.

こうして半導体ウェーハＷにフロントリテーナ３３が隙間Ｃを介して対向したら、クロージャ９が移動して容器本体２０のリム部２４方向に蓋体３０をスムーズに移動させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を不完全ながら嵌合させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を継続することにより、係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点として容器本体２０のリム部２４に蓋体３０が完全な施錠状態で嵌入されるとともに、半導体ウェーハＷの前部周縁が蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持され、容器本体２０のリム部２４が蓋体３０によりシール状態に閉鎖されることとなる（図３、図１０参照）。 Thus, when the front retainer 33 faces the semiconductor wafer W through the gap C, the closure 9 moves to smoothly move the lid 30 toward the rim portion 24 of the container body 20, and the operation key 11 locks the rotating body 42. When the operation is started and the locking claw 47 of the lid 30 is fitted in the locking hole 41 of the container body 20 incompletely, and the operation key 11 continues the locking operation of the rotating body 42, the locking hole 41 The lid 30 is inserted into the rim portion 24 of the container body 20 in a completely locked state starting from the fitting portion E between the locking claw 47 and the front claw of the semiconductor wafer W. 33, the rim portion 24 of the container body 20 is closed in a sealed state by the lid body 30 (see FIGS. 3 and 10).

この場合、半導体ウェーハＷを１枚毎に収納するフロントリテーナ３３の各収納溝における半導体ウェーハ保持力を１．３〜７Ｎの範囲で設定することができ、ラッチ力を利用して蓋体３０を係止するので、蓋体開閉装置１で必要な蓋体押圧力を３０Ｎ〜１４０Ｎの範囲に抑制することができる。 In this case, the semiconductor wafer holding force in each storage groove of the front retainer 33 that stores the semiconductor wafers W one by one can be set in the range of 1.3 to 7N, and the lid 30 is removed using the latching force. Since it latches, the cover body pressing force required with the cover body opening / closing apparatus 1 can be suppressed in the range of 30N-140N.

上記したように半導体ウェーハＷを１枚毎に収納するフロントリテーナ３３の各収納溝における半導体ウェーハ保持力を調整することができるので、蓋体３０の押圧力を抑制することができるが、保持力が１．３Ｎ未満の場合には、半導体ウェーハＷを十分に保持することができず、回転が生じるので留意する必要がある。また、保持力が７Ｎを超える場合には、蓋体３０の押圧力が１４０Ｎを超え、蓋体押圧力の小さい一部の蓋体開閉装置１でトラブル発生のおそれがあるので留意する必要がある。 As described above, since the semiconductor wafer holding force in each storage groove of the front retainer 33 that stores the semiconductor wafers W one by one can be adjusted, the pressing force of the lid 30 can be suppressed. When is less than 1.3 N, the semiconductor wafer W cannot be sufficiently held, and rotation occurs. Further, when the holding force exceeds 7N, the pressing force of the lid body 30 exceeds 140N, and there is a possibility that trouble may occur in some lid body opening / closing devices 1 having a small lid body pressing force. .

この際、蓋体３０は、操作キー１１に作用する回転トルク（１．０Ｎ〜１．７Ｎ）により、容器本体２０のリム部２４に移動して嵌入される。容器本体２０のリム部２４が蓋体３０により閉鎖された基板収納容器は、搬送機構により次の工程に搬送される。
なお、容器本体２０から蓋体３０を取り外して開口させる場合には、上記作業とは逆の順序、すなわち図１０、図９、図８の順序で行なわれる。 At this time, the lid body 30 is moved and fitted into the rim portion 24 of the container body 20 by the rotational torque (1.0N to 1.7N) acting on the operation key 11. The substrate storage container in which the rim portion 24 of the container body 20 is closed by the lid 30 is transported to the next step by the transport mechanism.
In addition, when removing and opening the cover body 30 from the container main body 20, it is performed in the reverse order to the said operation | work, ie, the order of FIG. 10, FIG. 9, FIG.

上記によれば、進退動プレート４５を四本、係止爪４７を四個とし、各係止爪４７に回転トルクよりも大きな力がてこの原理により作用するので、上下左右の四箇所から均等に力を加えて蓋体３０を移動させることができる。したがって、蓋体３０の中央部のみを押圧する場合に比べ、蓋体３０の変形やねじれを抑制防止し、容器本体２０に蓋体３０を均一に接触させて良好なシール性を得ることができる。 According to the above, there are four forward / backward movement plates 45 and four locking claws 47, and a force larger than the rotational torque acts on each locking claw 47 according to this principle. The lid 30 can be moved by applying a force to. Therefore, compared with the case where only the center part of the lid 30 is pressed, the lid 30 can be prevented from being deformed and twisted, and the lid 30 can be brought into uniform contact with the container body 20 to obtain a good sealing property. .

また、フロントリテーナ３３のウェーハ保持力を過度に抑制することなく、蓋体開閉装置１が必要な蓋体３０の押圧力を３０〜１４０Ｎの範囲に抑制することができる。これにより、例え基板収納容器が輸送用タイプでも、蓋体３０の押圧力を抑制することができるので、容器本体２０の位置決め固定力を倍増する必要が全くなく、しかも、容器本体２０の底部が変形したり、半導体ウェーハＷのエラーや汚染を招くおそれを有効に排除することができる。 Moreover, the pressing force of the lid 30 that the lid opening / closing device 1 needs can be suppressed within a range of 30 to 140 N without excessively suppressing the wafer holding force of the front retainer 33. Thereby, even if the substrate storage container is a transport type, the pressing force of the lid body 30 can be suppressed, so there is no need to double the positioning fixing force of the container body 20, and the bottom of the container body 20 is It is possible to effectively eliminate the possibility of deformation or an error or contamination of the semiconductor wafer W.

また、容器本体２０の底部が変形するおそれがないので、各種の検知センサに基板収納容器の有無や基板収納容器の種類等を正常に検知させることができ、蓋体開閉装置１のアクチュエータの位置検出に不良を来たしたり、動作不良で停止してしまうこともない。 Further, since there is no possibility that the bottom of the container body 20 is deformed, various detection sensors can normally detect the presence / absence of the substrate storage container, the type of the substrate storage container, and the like, and the position of the actuator of the lid opening / closing device 1 There will be no failure in detection or stop due to malfunction.

次に、図１１ないし図１３は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、蓋体３０の筐体３１表面に誘導ブロック６０を設け、各進退動プレート４５の先端部に、係止爪４７として回転ローラ５０を回転可能に支持させるとともに、各進退動プレート４５には、誘導ブロック６０に摺接する被誘導ブロック６１を設け、これら誘導ブロック６０と被誘導ブロック６１との摺接により、各進退動プレート４５や係止爪４７をその進出方向のみならず、進出方向と直交する方向、換言すれば、蓋体３０の厚さ方向にも押圧移動させるようにしている。 Next, FIG. 11 to FIG. 13 show a second embodiment of the present invention. In this case, a guide block 60 is provided on the surface of the casing 31 of the lid 30, and the leading end portion of each forward / backward moving plate 45 is shown. In addition, the rotation roller 50 is rotatably supported as a locking claw 47, and each advancing / retracting plate 45 is provided with a guided block 61 slidably contacting the guiding block 60, and the guiding block 60 and the guided block 61 are connected to each other. By sliding contact, each advancing / retracting plate 45 and the locking claw 47 are pressed and moved not only in the advancing direction but also in the direction orthogonal to the advancing direction, in other words, in the thickness direction of the lid 30.

蓋体３０のカバー３２には、カムとして機能する傾斜面を有する断面多角形の位置決め突起６２が所定の間隔をおいて複数形成され、各進退動プレート４５の中間部には、円柱形の被位置決め突起６３が所定の間隔をおいて複数形成されており、これら位置決め突起６２と被位置決め突起６３の先端部とが相互に摺接したり、離隔することにより、進退動プレート４５の初期位置や基準位置が確保される。各被位置決め突起６３の先端部は、磨耗を減少させる観点から先細りや略半球形に形成されたり、ローラが回転可能に取り付けられる。 A plurality of positioning projections 62 having a polygonal cross section having an inclined surface functioning as a cam are formed on the cover 32 of the lid body 30 at a predetermined interval. A plurality of positioning protrusions 63 are formed at a predetermined interval, and when the positioning protrusions 62 and the tip end portions of the positioning protrusions 63 are in sliding contact with or separated from each other, the initial position and reference of the advance / retreat plate 45 are determined. Position is secured. From the viewpoint of reducing wear, the tip of each positioning protrusion 63 is tapered or substantially hemispherical, or a roller is rotatably attached.

誘導ブロック６０と被誘導ブロック６１とは、磨耗が少なく、滑り性の良好な材料、具体的には、シリコーンやフッ素の添加された各種の熱可塑性樹脂、ポリブチレンテレタレート、ポリエーテルエーテルケトン等を使用して相互に対向する断面略三角形や多角形に形成される。これら立体的な誘導ブロック６０と被誘導ブロック６１とは、そのカム面として機能する傾斜面が接触してスライドすることにより、運動方向変向手段として機能する。 The induction block 60 and the induced block 61 are materials that have low wear and good sliding properties, such as various thermoplastic resins to which silicone or fluorine is added, polybutylene terephthalate, polyether ether ketone, etc. Are used to form a substantially triangular or polygonal cross section facing each other. The three-dimensional guide block 60 and the guided block 61 function as a moving direction changing unit when an inclined surface that functions as a cam surface contacts and slides.

上記において、図１１に示すように、半導体ウェーハＷにフロントリテーナ３３が隙間Ｃを介して対向したら、クロージャ９が移動して容器本体２０のリム部２４方向に蓋体３０をスムーズに移動させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を不完全ながら嵌合させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を継続することにより、係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点として容器本体２０のリム部２４に蓋体３０が完全な施錠状態で嵌入されるとともに、半導体ウェーハＷの前部周縁が蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持され、容器本体２０のリム部２４が蓋体３０によりシール状態に閉鎖される。 In the above, as shown in FIG. 11, when the front retainer 33 faces the semiconductor wafer W via the gap C, the closure 9 moves to smoothly move the lid 30 toward the rim portion 24 of the container body 20, The operation key 11 starts the locking operation of the rotating body 42 and the locking claw 47 of the lid 30 is fitted in the locking hole 41 of the container body 20 incompletely, and the operation key 11 performs the locking operation of the rotating body 42. By continuing, the lid 30 is inserted into the rim portion 24 of the container body 20 in a completely locked state starting from the fitting portion E of the locking hole 41 and the locking claw 47, and the front of the semiconductor wafer W The peripheral edge is held by the front retainer 33 of the lid 30, and the rim portion 24 of the container body 20 is closed by the lid 30 in a sealed state.

操作キー１１により回転体４２が回転すると、図１２や図１３に示すように、誘導ブロック６０に被誘導ブロック６１が案内されつつ図の上方向に離れるようスライドし、このスライドにより、各進退動プレート４５やその係止爪４７が進出方向と直交する方向、換言すれば、蓋体３０の厚さ方向（図１２、図１３の左右方向）にも移動し、蓋体３０がシール方向（図１３の右方向）に移動して容器本体２０のリム部２４を強固に閉鎖することとなる。 When the rotating body 42 is rotated by the operation key 11, as shown in FIG. 12 and FIG. 13, the guided block 61 slides in the upward direction while being guided by the guide block 60, and each slide moves forward and backward. The plate 45 and its locking claws 47 are also moved in the direction orthogonal to the advance direction, in other words, in the thickness direction of the lid 30 (the left-right direction in FIGS. 12 and 13), and the lid 30 is in the sealing direction (see FIG. 13 to the right), and the rim portion 24 of the container body 20 is firmly closed.

この場合、蓋体開閉装置１の蓋体３０の押圧力を３０〜１４０Ｎの範囲に抑制することができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、施錠機構４０の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。 In this case, the pressing force of the lid body 30 of the lid body opening / closing apparatus 1 can be suppressed to a range of 30 to 140N. The other parts are the same as those in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
In the present embodiment, it is obvious that the same operational effects as those of the above embodiment can be expected, and that the configuration of the locking mechanism 40 can be diversified.

次に、図１４ないし図２０は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、各回転体４２の周縁部に、周方向に伸びる略半円弧形の第一の溝孔４４Ａを穿孔するとともに、この第一の溝孔４４Ａの外側に位置する第二の溝孔４４Ｂを略半円弧形に穿孔し、各進退動プレート４５を、回転体４２の第一の溝孔４４Ａに突起４６を介しスライド可能に嵌入される第一の進退動プレート４５Ａと、回転体４２の第二の溝孔４４Ｂに突起４６を介しスライド可能に嵌入されて第一の進退動プレート４５Ａに積層する第二の進退動プレート４５Ｂとに分割するようにしている。 Next, FIGS. 14 to 20 show a third embodiment of the present invention. In this case, a substantially semicircular arc-shaped first groove extending in the circumferential direction at the peripheral portion of each rotating body 42. The hole 44A is drilled, and the second slot 44B located outside the first slot 44A is drilled in a substantially semicircular arc shape. The first advance / retreat plate 45A is slidably inserted into the hole 44A via the protrusion 46, and the first advance / retreat plate 45A is slidably inserted into the second groove hole 44B of the rotating body 42 via the protrusion 46. It divides | segments into the 2nd advance / retreat plate 45B laminated | stacked.

各回転体４２や各進退動プレート４５は、磨耗が少なく、滑り性の良好な材料を使用して成形される。具体的には、シリコーンやフッ素の添加された各種の熱可塑性樹脂、ポリブチレンテレタレート、ポリエーテルエーテルケトン等を使用して成形される。 Each rotating body 42 and each forward / backward moving plate 45 are formed using a material with little wear and good sliding property. Specifically, molding is performed using various thermoplastic resins to which silicone or fluorine is added, polybutylene terephthalate, polyether ether ketone, or the like.

第一、第二の進退動プレート４５Ａ・４５Ｂは、基本的にはそれぞれ細長い長方形の板に形成され、相互に対向する。第一の進退動プレート４５Ａは、第二の進退動プレート４５Ｂに対向する対向面の先端部付近に、傾斜面を有する断面略三角形、略鉤形、山形等の押圧爪６４が一体形成され、両側部には、長手方向に伸びる第一のガイド片６６がそれぞれ形成される（図１７参照）。 The first and second advancing / retracting plates 45A and 45B are basically formed in an elongated rectangular plate and are opposed to each other. The first advancing / retracting plate 45A is integrally formed with a pressing claw 64 having an inclined surface, such as a substantially triangular cross-section, a substantially saddle shape, and a chevron, in the vicinity of the front end of the facing surface facing the second advancing / retreating plate 45B. First guide pieces 66 extending in the longitudinal direction are formed on both sides (see FIG. 17).

第二の進退動プレート４５Ｂは、その先端部が容器本体２０の係止穴４１に嵌合する係止爪４７に形成され、中間部には、押圧爪６４に接触される被押圧突起６５が一体形成されるとともに、両側部には、第一のガイド片６６と嵌合する第二のガイド片６７がそれぞれ形成されており、これら第一、第二のガイド片６７が相互に噛合することにより、第一、第二の進退動プレート４５Ａ・４５Ｂががたつくのを抑制防止する。 The second advancing / retracting plate 45 </ b> B is formed with a locking claw 47 whose tip is fitted in the locking hole 41 of the container body 20, and a pressed protrusion 65 that is in contact with the pressing claw 64 is formed at the intermediate portion. In addition to being formed integrally with each other, a second guide piece 67 is formed on both sides to be fitted with the first guide piece 66, and the first and second guide pieces 67 are engaged with each other. This prevents the first and second advance / retreat plates 45A and 45B from rattling.

被押圧突起６５は、例えば傾斜した湾曲面や傾斜面を有する断面略半円形、略三角形、略山形等に形成され、押圧爪６４と接触して押圧されることにより、第二の進退動プレート４５Ｂや係止爪４７を蓋体３０の厚さ方向、言い換えれば、シール方向に押圧するよう機能する（図１７参照）。 The pressed protrusion 65 is formed, for example, in a substantially semi-circular cross section, a substantially triangular shape, a substantially mountain shape, etc. having an inclined curved surface or an inclined surface, and is pressed in contact with the pressing claw 64, whereby the second advance / retreat plate It functions to press 45B and the locking claw 47 in the thickness direction of the lid body 30, in other words, in the sealing direction (see FIG. 17).

上記において、図１８に示すように、半導体ウェーハＷにフロントリテーナ３３が隙間Ｃを介して対向したら、クロージャ９が移動して容器本体２０のリム部２４方向に蓋体３０をスムーズに移動させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を不完全ながら嵌合させ、操作キー１１が回転体４２の施錠操作を継続することにより、係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点として容器本体２０のリム部２４に蓋体３０が完全な施錠状態で嵌入されるとともに、半導体ウェーハＷの前部周縁が蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持され、容器本体２０のリム部２４が蓋体３０によりシール状態に閉鎖される。 In the above, as shown in FIG. 18, when the front retainer 33 faces the semiconductor wafer W via the gap C, the closure 9 moves to smoothly move the lid 30 toward the rim portion 24 of the container body 20, The operation key 11 starts the locking operation of the rotating body 42 and the locking claw 47 of the lid 30 is fitted in the locking hole 41 of the container body 20 incompletely, and the operation key 11 performs the locking operation of the rotating body 42. By continuing, the lid 30 is inserted into the rim portion 24 of the container body 20 in a completely locked state starting from the fitting portion E of the locking hole 41 and the locking claw 47, and the front of the semiconductor wafer W The peripheral edge is held by the front retainer 33 of the lid 30, and the rim portion 24 of the container body 20 is closed by the lid 30 in a sealed state.

操作キー１１により回転体４２が回転すると、第一、第二の進退動プレート４５Ａ・４５Ｂが共に蓋体３０の内外方向に進出して第二の進退動プレート４５Ｂの係止爪４７を係止穴４１の内面に接触させ、第一の進退動プレート４５Ａの押圧爪６４が被押圧突起６５よりも大きく移動（変位）し、これら押圧爪６４と被押圧突起６５とが接近する。押圧爪６４が被押圧突起６５に接近して圧接すると、押圧爪６４に被押圧突起６５が押圧され、各進退動プレート４５や係止爪４７がその進出方向と直交する方向、すなわち、蓋体３０の厚さ方向にも揺動する。 When the rotating body 42 is rotated by the operation key 11, both the first and second advance / retreat plates 45A and 45B advance inward and outward of the lid body 30 to engage the engaging claws 47 of the second advance / retreat plate 45B. The pressing claw 64 of the first advancing / retracting plate 45A is moved (displaced) larger than the pressed projection 65, and the pressing claw 64 and the pressed projection 65 approach each other. When the pressing claw 64 approaches and presses against the pressed projection 65, the pressed projection 65 is pressed against the pressing claw 64, and the forward / backward moving plate 45 and the locking claw 47 are in a direction orthogonal to the advancing direction, that is, the lid. It swings also in the thickness direction of 30.

この結果、係止穴４１の内面に既に接触している係止爪４７に容器本体２０の開口方向（図２０の左方向）に対する力が作用し、この力の反力（図２０の矢印参照）により蓋体３０がシール方向（図２０の右方向）に移動して容器本体２０のリム部２４を強固に閉鎖する。この場合、蓋体開閉装置１の蓋体３０の押圧力を３０〜１４０Ｎの範囲に抑制することができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、施錠機構４０の構成の多様化が期待できる他、反力を利用して蓋体３０を強固に閉鎖することができるのは明らかである。 As a result, a force in the opening direction of the container body 20 (left direction in FIG. 20) acts on the locking claw 47 already in contact with the inner surface of the locking hole 41, and the reaction force of this force (see the arrow in FIG. 20). ) Causes the lid 30 to move in the sealing direction (the right direction in FIG. 20) to firmly close the rim portion 24 of the container body 20. In this case, the pressing force of the lid body 30 of the lid body opening / closing apparatus 1 can be suppressed to a range of 30 to 140N. The other parts are the same as those in the above embodiment, and the description thereof is omitted.
In this embodiment, the same effect as the above embodiment can be expected, the configuration of the locking mechanism 40 can be expected to be diversified, and the lid 30 can be firmly closed using the reaction force. It is.

本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態におけるドッキング装置に蓋体が吸着された状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view showing the state where the lid was adsorbed to the docking device in the embodiment of the lid opening / closing method of the substrate storage container according to the present invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における容器本体の半導体ウェーハの前部に蓋体のフロントリテーナが隙間を介し近接した状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view which shows the state which the front retainer of the cover body approached through the clearance gap between the front part of the semiconductor wafer of the container main body in embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における容器本体のリム部が蓋体により閉鎖された状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view which shows the state by which the rim | limb part of the container main body in embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention was closed by the cover body. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における蓋体開閉装置を示す斜視説明図である。It is a perspective explanatory view showing a lid opening and closing device in an embodiment of a lid opening and closing method for a substrate storage container according to the present invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における容器本体と蓋体とを示す分解斜視説明図である。It is a disassembled perspective explanatory drawing which shows the container main body and cover body in embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における蓋体と解錠状態の施錠機構とを示す図で、（ａ）図は正面図、（ｂ）図は断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the cover body in the embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container concerning this invention, and the locking mechanism of an unlocked state, (a) A figure is a front view, (b) A figure is sectional drawing. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における蓋体と施錠状態の施錠機構とを示す図で、（ａ）図は正面図、（ｂ）図は断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the cover body and the locking mechanism of a locked state in embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention, (a) A figure is a front view, (b) A figure is sectional drawing. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の実施形態における容器本体、蓋体、及び施錠機構を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view showing a container main part, a lid, and a locking mechanism in an embodiment of a lid opening and closing method of a substrate storage container concerning the present invention. 図８の施錠機構の施錠開始時の状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross-section explanatory drawing which shows the state at the time of the locking start of the locking mechanism of FIG. 図９の施錠機構が施錠された状態を示す一部断面説明図である。FIG. 10 is a partial cross-sectional explanatory view showing a state where the locking mechanism of FIG. 9 is locked. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第２の実施形態における容器本体、蓋体、及び施錠機構を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view showing a container main part, a lid, and a locking mechanism in a 2nd embodiment of a lid opening / closing method of a substrate storage container concerning the present invention. 図１１の施錠機構の施錠開始時の状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view which shows the state at the time of the locking start of the locking mechanism of FIG. 図１２の施錠機構が施錠された状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view which shows the state where the locking mechanism of FIG. 12 was locked. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第３の実施形態における蓋体と施錠機構を模式的に示す正面説明図である。It is front explanatory drawing which shows typically the cover body and locking mechanism in 3rd Embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第３の実施形態における施錠機構を示す斜視説明図である。It is a perspective explanatory view showing a locking mechanism in a 3rd embodiment of a lid opening and closing method of a substrate storage container concerning the present invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第３の実施形態における施錠機構の施錠状態を示す斜視説明図である。It is a perspective explanatory view which shows the locking state of the locking mechanism in 3rd Embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第３の実施形態における施錠機構の進退動プレートを示す分解斜視説明図である。It is a disassembled perspective explanatory drawing which shows the advancing / retreating plate of the locking mechanism in 3rd Embodiment of the cover body opening / closing method of the substrate storage container which concerns on this invention. 本発明に係る基板収納容器の蓋体開閉方法の第３の実施形態における容器本体、蓋体、及び施錠機構を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view showing a container main part, a lid, and a locking mechanism in a 3rd embodiment of a lid opening / closing method of a substrate storage container concerning the present invention. 図１８の施錠機構の施錠開始状態を示す一部断面説明図である。It is a partial cross section explanatory view which shows the locking start state of the locking mechanism of FIG. 図１９の施錠機構が施錠された状態を示す一部断面説明図である。FIG. 20 is a partial cross-sectional explanatory view showing a state where the locking mechanism of FIG. 19 is locked.

符号の説明Explanation of symbols

１蓋体開閉装置
４周壁
５貫通口
６ドッキング装置
７オープナ
９クロージャ
１０位置合わせピン
１１操作キー
１２載置装置
１３位置決めピン
１４クランプ爪
２０容器本体
２４リム部（正面）
３０蓋体
３３フロントリテーナ（リテーナ）
３４シールガスケット（シール部材）
３５貫通孔
４０施錠機構
４１係止穴（係止凹部）
４２回転体
４４溝孔
４４Ａ第一の溝孔
４４Ｂ第二の溝孔
４５進退動プレート（進退動体）
４５Ａ第一の進退動プレート
４５Ｂ第二の進退動プレート
４７係止爪（係止体）
５０回転ローラ（係止体）
６０誘導ブロック（誘導体）
６１被誘導ブロック（被誘導体）
６４押圧爪（押圧体）
６５被押圧突起（被押圧体）
Ｃ隙間
Ｅ嵌合部
Ｗ半導体ウェーハ（基板） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lid body opening / closing device 4 Perimeter wall 5 Through-hole 6 Docking device 7 Opener 9 Closure 10 Positioning pin 11 Operation key 12 Mounting device 13 Positioning pin 14 Clamp claw 20 Container main body 24 Rim part (front)
30 Lid 33 Front Retainer (Retainer)
34 Seal gasket (seal member)
35 Through-hole 40 Locking mechanism 41 Locking hole (locking recess)
42 Rotating body 44 Slot 44A First slot 44B Second slot 45 Advance / retreat plate (advance / retreat body)
45A 1st advance / retreat plate 45B 2nd advance / retreat plate 47 Locking claw (locking body)
50 Rotating roller (locking body)
60 Derivative block (derivative)
61 Induced block (derivative)
64 Pressing claw (pressing body)
65 Pressed protrusion (Pressed object)
C Clearance E Fitting part W Semiconductor wafer (substrate)

Claims

蓋体開閉装置に搭載される基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌め入れられる蓋体を蓋体開閉装置の操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、蓋体に、容器本体に収納された基板を保持するリテーナを取り付けるとともに、密封用のシール部材を取り付け、施錠機構を、容器本体の正面内周部に形成される複数の係止凹部と、蓋体に支持されて蓋体開閉装置の操作により回転する複数の回転体と、各回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体の進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の複数の係止凹部にそれぞれ嵌め合わされる複数の係止体とから構成し、蓋体開閉装置により容器本体の正面を蓋体で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、
容器本体の開口した正面に蓋体を予め設定された押圧力で略対向させ、容器本体に収納された基板の前部周縁に蓋体のリテーナを０．２ｍｍ〜５ｍｍの隙間を有する範囲に接近させた状態で止めるとともに、施錠機構の各回転体の操作を開始して容器本体の複数の係止凹部に蓋体の係止体をそれぞれ嵌め合わせ、各回転体をさらに操作して複数の係止凹部と係止体との嵌め合わせ部を起点として容器本体の正面に蓋体をシール方向に嵌め入れ、基板の前部周縁と蓋体のリテーナとを接触させ、かつリテーナに基板を一枚当たり１．３Ｎ〜７Ｎの範囲で保持させ、蓋体の押圧力を３０Ｎ〜１４０Ｎの範囲とすることにより、容器本体の正面を蓋体によりシール状態に閉鎖することを特徴とする基板収納容器の蓋体開閉方法。 Operation of the lid opening / closing device with a container main body for storing a substrate mounted on the lid opening / closing device, a detachable lid for opening / closing the opening front of the container main body, and a lid fitted into the front of the container main body And a locking mechanism for locking or unlocking based on the above, and a retainer for holding the substrate stored in the container body is attached to the lid, and a sealing member for sealing is attached. A plurality of locking recesses formed in the part, a plurality of rotating bodies that are supported by the lid and rotated by the operation of the lid opening / closing device, and a plurality of forward and backward movements of the lid based on the rotation of each rotating body And a plurality of locking bodies that are projected and retracted from the lid body and fitted in a plurality of locking recesses of the container body based on the forward and backward movement of each of the forward and backward movement bodies. Close the front with a lid and lock A lid opening and closing method for a substrate storage container,
The lid body is substantially opposed to the front surface of the container body opened by a preset pressing force, and the retainer of the lid body approaches a range having a gap of 0.2 mm to 5 mm on the front peripheral edge of the substrate stored in the container body. In this state, the operation of each rotating body of the locking mechanism is started, and the locking body of the lid body is fitted into the plurality of locking recesses of the container body , and each rotating body is further operated to operate a plurality of engaging members. The lid is fitted in the sealing direction to the front of the container body starting from the fitting part between the stop recess and the locking body, the front edge of the substrate and the retainer of the lid are brought into contact, and one substrate is placed on the retainer. The substrate storage container is characterized in that the front surface of the container main body is closed in a sealed state by the lid body by holding in the range of 1.3N to 7N and the pressing force of the lid body in the range of 30N to 140N. How to open and close the lid.

施錠機構の各回転体を回転させる蓋体開閉装置の回転トルクを０．１Ｎｍ〜２．０Ｎｍの範囲とする請求項１記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。 2. The lid opening / closing method for a substrate storage container according to claim 1, wherein the rotational torque of the lid opening / closing device for rotating each rotary body of the locking mechanism is in the range of 0.1 Nm to 2.0 Nm.

蓋体に誘導体を設け、施錠機構の各進退動体の先端部に係止体を設けるとともに、各進退動体には、誘導体にスライド可能に接触して進退動体及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被誘導体を設けた請求項１又は２記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。 A derivative is provided on the lid, and a locking body is provided at the tip of each advancement / retraction body of the locking mechanism. The method for opening and closing a lid of a substrate storage container according to claim 1 or 2, wherein a derivative to be pushed in the vertical direction is provided.

施錠機構の各回転体の周縁部に、第一の溝孔を設けるとともに、この第一の溝孔の外側に位置する第二の溝孔を設け、
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成した請求項１又は２記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。 In the peripheral portion of each rotating body of the locking mechanism, a first slot is provided, and a second slot located outside the first slot is provided,
A first advance / retreat plate in which each advancement / retraction body is slidably fitted into the first groove hole of the rotator, and a first advance / retreat plate slidably fitted into the second groove hole of the rotation body. The second advancing / retreating plate is divided into a second advancing / retreating plate, a pressing body is formed on the first advancing / retreating plate, a locking body is provided at the tip of the second advancing / retreating plate, The substrate storage container according to claim 1 or 2, wherein a pressed body that presses the second advancing / retracting plate and / or the locking body in the thickness direction of the lid is formed in an intermediate portion of the moving plate. Lid opening and closing method.