JP4644621B2 - Ultrasonic inspection method and ultrasonic inspection apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、半導体やＩＣなどの検査対象の内部の任意の位置に対してアレイ型超音波センサから超音波を送受信してその内部を検査する超音波検査方法と装置に係る。 The present invention relates to an ultrasonic inspection method and apparatus for transmitting and receiving ultrasonic waves from an array ultrasonic sensor to an arbitrary position inside an inspection target such as a semiconductor or an IC to inspect the inside.
半導体やＩＣなどの微細な構造物（検査対象）の内部のはく離やボイドなどの検査においては、従来、単一焦点型の超音波センサをスキャナなどにより機械的に二次元走査する方法が実用化されている。 In the inspection of peeling and voids inside fine structures (inspection objects) such as semiconductors and ICs, a conventional two-dimensional mechanical scanning method using a single-focus ultrasonic sensor with a scanner has been put into practical use. Has been.
この方法では、単一焦点型の超音波センサで検査対象内部の検査対象部位に焦点を結んで超音波を送・受信して、検査部位から超音波の反射波を受信して電気信号に変換した受信信号にゲート処理を行うことで、受信信号に含まれている反射波の強度を求める。この様なことをスキャナで超音波センサを機械的に二次元方向に移動させて二次元方向の多点において実施し、求めた反射波の強度を２次元空間に並べるマッピングを行うに必要な画像データを作成し、その画像データに基づいて検査部位の検査画像を表示装置に表示して欠陥の有無を調べるものである（例えば、特許文献１，特許文献２参照）。
This method uses a single-focus ultrasonic sensor to focus on the part to be inspected and send / receive ultrasonic waves, and receive the reflected ultrasonic waves from the part to be converted into electrical signals. By performing gate processing on the received signal, the intensity of the reflected wave included in the received signal is obtained. An image necessary for mapping such that the ultrasonic wave sensor is mechanically moved in a two-dimensional direction with a scanner and is performed at multiple points in the two-dimensional direction, and the obtained reflected wave intensities are arranged in a two-dimensional space. Data is created, and based on the image data, an inspection image of the inspection region is displayed on a display device to check for the presence or absence of defects (see, for example,
しかしながら、上述した単一焦点型の超音波センサを機械的に走査する方法では、超音波のビーム径と機械的な走査の送り幅（ピッチ）が検査画像の空間分解能となるため、小さい欠陥を検出するためには、この走査ピッチを細かくする必要があった。 However, in the above-described method of mechanically scanning the single focus type ultrasonic sensor, since the ultrasonic beam diameter and the mechanical scanning feed width (pitch) are the spatial resolution of the inspection image, a small defect is eliminated. In order to detect, it was necessary to make this scanning pitch fine.
しかし、走査ピッチを細かくすると、逆に機械的な走査に時間を要し、検査時間が長くなるという問題があった。この問題を解決するために、アレイ型超音波センサを用いた検査手法が考案されてきた。アレイ型超音波センサは、複数の圧電振動素子を一列に配列し、この一部に素子駆動の時間遅延を与えて超音波を送・受信することで、検査部位に焦点を結ぶことが可能である。 However, if the scanning pitch is made fine, there is a problem that, on the contrary, time is required for mechanical scanning, and the inspection time becomes long. In order to solve this problem, an inspection method using an array type ultrasonic sensor has been devised. An array-type ultrasonic sensor can focus on the examination site by arranging a plurality of piezoelectric vibration elements in a row and sending and receiving ultrasonic waves with a part of the element driving time delay. is there.
また、圧電振動素子の並び方向（アレイ方向）の法線方向にレンズを配置、あるいは曲面構造することで、単一焦点型の超音波センサと同様に点集束で超音波を送・受信することができる。また、アレイ型超音波センサで焦点を結び、アレイ方向に送・受信素子に用いる一部の圧電振動素子を電子的に切替えて電子的に走査することで、機械的に走査するよりも迅速な検査が可能となった（例えば、特許文献３参照）。 In addition, by arranging lenses in the normal direction of the array direction of piezoelectric vibration elements (array direction) or by forming a curved surface, ultrasonic waves can be sent and received by point focusing as with single focus type ultrasonic sensors. Can do. In addition, it is faster than mechanical scanning by focusing with an array type ultrasonic sensor and electronically switching some of the piezoelectric vibration elements used for transmitting and receiving elements in the array direction and scanning electronically. Inspection became possible (see, for example, Patent Document 3).
しかしながら、上記の単一焦点型の超音波センサでも、アレイ型超音波センサでも、これらが送・受信する超音波の伝播経路（路程ともいう）にノイズ源が存在する場合には、超音波の反射，散乱，回折，透過強度のばらつきなどのノイズが重畳し、ＳＮ比の低下を招いていた。 However, in the above-mentioned single focus type ultrasonic sensor and array type ultrasonic sensor, if there is a noise source in the propagation path (also referred to as a path) of the ultrasonic wave transmitted / received by these, Noise such as reflection, scattering, diffraction, and transmission intensity variation is superimposed, resulting in a decrease in the S / N ratio.
そのため、ＳＮ比向上手法が提案されてきた（例えば、特許文献４参照）。上記のような超音波の伝播経路に存在するノイズ源でランダムノイズを発生するような場合には、一般的にアベレージング（平均化）処理により、ランダムノイズを低減する方法が知られている。その例として参照した特許文献４では、アレイ型超音波センサを用いた場合には、移動平均（横方向，深さ方向）を変化させて受信した反射波形に対応した電気的な受信信号を平均化し、ＳＮ比を向上する手法を採用することが開示されている。
Therefore, an SN ratio improvement method has been proposed (see, for example, Patent Document 4). In the case where random noise is generated by a noise source existing in the ultrasonic wave propagation path as described above, a method of reducing random noise by an averaging process is generally known. In
一方、近年の検査対象である半導体やＩＣの構造は微細化の一途をたどっている。半導体の構造が微細化する一方で、それを封止する材料であるモールド樹脂も、機械強度を高めるとともに半導体で発生する熱を排除するために、様々な材料が開発されている。 On the other hand, the structures of semiconductors and ICs to be inspected in recent years have been increasingly miniaturized. While the structure of a semiconductor is miniaturized, a variety of materials have been developed for molding resin, which is a material for sealing the semiconductor, in order to increase mechanical strength and eliminate heat generated in the semiconductor.
モールド樹脂は、エポキシ系樹脂とカーボンやシリカガラスなどのフィラーと呼ばれる微細な繊維状や球状の充填剤をまぜて製造されている。このようなモールド樹脂で封止された状態の半導体を超音波を用いて検査する際においては、このモールド樹脂中のフィラーがノイズ源となっていた。 The mold resin is manufactured by mixing an epoxy resin and a fine fibrous or spherical filler called a filler such as carbon or silica glass. When inspecting a semiconductor sealed with such a mold resin using ultrasonic waves, the filler in the mold resin has become a noise source.
その理由を、モールド樹脂の下の半導体チップがチップ下面で接合されており、このチップ下面の接着状態を検査する際を例として説明する。従来の単焦点型の超音波センサやアレイ型超音波センサを用いた検査手法では、それらのセンサから送信した超音波はモールド樹脂中ではまだ集束していない波面を形成する。しかし、モールド樹脂を構成している樹脂とフィラーは微視的には、超音波の反射率・透過率を決定する音響イピーダンスが異なるため、超音波はモールド樹脂中を散乱，反射や回折を繰り返しながら、伝播することになる。 The reason will be described by taking as an example the case where the semiconductor chip under the mold resin is bonded on the lower surface of the chip and the adhesion state of the lower surface of the chip is inspected. In a conventional inspection method using a single focus type ultrasonic sensor or an array type ultrasonic sensor, ultrasonic waves transmitted from these sensors form a wavefront that is not yet focused in the mold resin. However, since the acoustic impedance that determines the reflectivity / transmittance of ultrasonic waves is microscopically different between the resin and filler that make up the mold resin, the ultrasonic waves are repeatedly scattered, reflected, and diffracted in the mold resin. However, it will propagate.
また、フィラーはモールド樹脂中に分散して存在しているものの、固体であるため完全に均一になっているわけではなく、空間的にランダムに配置された固体と考えることができる。このように、超音波が検査部位に集束する前にモールド樹脂を伝播してきた超音波は、空間的にランダムに配置されたフィラーによる散乱，反射や回折の影響で、超音波の集束焦点における信号（波形あるいは強度）は、モールド樹脂中の超音波の伝播経路（路程ともいう）によって異なるものとなる。 Further, although the fillers are present in a dispersed manner in the mold resin, they are solid and are not completely uniform, and can be considered as solids arranged spatially at random. In this way, the ultrasonic wave that has propagated through the mold resin before the ultrasonic wave is focused on the examination site is affected by the scattering, reflection, and diffraction of the spatially randomly arranged filler, and the signal at the focal point of the ultrasonic wave. (Waveform or strength) varies depending on the propagation path (also referred to as path length) of the ultrasonic wave in the mold resin.
また、超音波を受信する際も同様に空間的にランダムに配置されたフィラーの影響を受けた反射波をセンサが受信することになる。これにより、検査部位が均一な反射率を持つ部位であったとしても、超音波のモールド樹脂中での伝播経路により波形あるいはその強度が異なってしまう。 Similarly, when receiving ultrasonic waves, the sensor receives reflected waves that are affected by fillers that are spatially randomly arranged. As a result, even if the inspection site is a site having a uniform reflectance, the waveform or its intensity varies depending on the propagation path of the ultrasonic wave in the mold resin.
このことにより、検査部位からの反射波の強度をマッピングして形成される検査画像は、欠陥が無い場合でも一様ではなく、場所によって信号強度に変化が生じた画像、つまりノイズが重畳した検査画像となっていた。 As a result, the inspection image formed by mapping the intensity of the reflected wave from the inspection site is not uniform even when there is no defect, and the image in which the signal intensity varies depending on the location, that is, the inspection in which noise is superimposed. It was an image.
また、仮に検査対象部位に欠陥があった場合には、欠陥部と健全部の反射強度比が、コントラストとなって検査画像に現れるため、モールド樹脂中でノイズが重畳すると、検査画像のＳＮ比が低下するため、欠陥検出性を低下させていた。 In addition, if there is a defect in the inspection target part, the reflection intensity ratio between the defective part and the healthy part appears as a contrast in the inspection image. Therefore, if noise is superimposed in the mold resin, the SN ratio of the inspection image As a result, the defect detectability was lowered.
一方、上述した特許文献４のように移動平均（横方向，深さ方向）する手法では、たとえ超音波の送・受信に集束ビームを用いた場合でも、移動平均により逆に焦点がボケてしまい、微小な欠陥を検出できない可能性があった。
On the other hand, in the method of moving average (lateral direction, depth direction) as in
そのため、本発明の目的は、上記のモールド樹脂などのような超音波伝播経路でのノイズ源が存在する場合に、そのノイズ源によるノイズに基づく欠陥検出性の低下を防止し、高ＳＮ比かつ高分解能な検査画像による欠陥検査可能な超音波検査方法及び装置を提供することにある。 For this reason, the object of the present invention is to prevent the deterioration of defect detectability based on noise caused by the noise source when there is a noise source in the ultrasonic wave propagation path such as the above-mentioned mold resin, An object of the present invention is to provide an ultrasonic inspection method and apparatus capable of inspecting defects using a high-resolution inspection image.
本発明の超音波検査方法は、複数の圧電振動素子を備えたアレイ型超音波センサから超音波を検査対象内の検査部位に集束するようにして送受信し、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子からの信号を合成して受信信号を得、前記受信信号に基づいて前記検査部位の検査画像を表示する超音波検査方法において、同一の前記検査部位に、前記アレイ型超音波センサの前記超音波を送信する送信に用いる圧電振動素子と受信に用いる圧電振動素子の組合せを複数回切替えて、前記超音波の送受信を行うことで前記超音波の伝播経路を変えて複数回にわたって送受信して前記伝播経路の異なる受信信号を得、前記伝播経路の異なる受信信号から得られた波形情報又は強度情報又は画像を生成するのに必要な情報を加算処理あるいは平均化処理して情報処理し、前記情報処理の結果に基づいて前記検査部位の検査画像を表示することを特徴としている。 The ultrasonic inspection method of the present invention transmits and receives ultrasonic waves from an array type ultrasonic sensor having a plurality of piezoelectric vibration elements so as to be focused on an inspection site in an inspection target, and each piezoelectric element of the array type ultrasonic sensor. In the ultrasonic inspection method for synthesizing signals from the vibration elements to obtain a reception signal and displaying an inspection image of the inspection region based on the reception signal, the array-type ultrasonic sensor is arranged on the same inspection region. By switching the combination of the piezoelectric vibration element used for transmission that transmits ultrasonic waves and the piezoelectric vibration element used for reception multiple times, and transmitting and receiving the ultrasonic waves , the propagation path of the ultrasonic waves is changed and transmitted and received multiple times. the resulting different received signals propagation path, addition processing or averaging processing information necessary waveform information or intensity information or images obtained from different received signals to generate the said propagation path Is characterized in that by and information processing, the displays inspection images of the testing area on the basis of the result of the information processing.
本発明の超音波検査装置は、複数個の圧電振動素子が並べられているアレイ型超音波センサと、前記圧電振動素子の内の一部の領域に含まれている複数個の圧電振動素子の内、超音波の送信に用いる前記圧電振動素子へ送信信号を送信する送信手段と、前記一部の領域に含まれている複数個の各圧電振動素子の内、超音波の受信に用いる前記各圧電振動素子からの各信号を受信する受信手段と、前記送信信号と前記各信号とに遅延時間を与える時間遅延手段と、前記遅延時間を可変制御する遅延制御手段と、前記送信に用いる圧電振動素子を切替える送信切替手段と、前記受信に用いる圧電振動素子を切替える受信切替手段と、前記送信及び受信切替手段による切替先を制御する切替制御手段と、前記遅延時間を与えた前記各信号を合成して受信信号を生成する手段と、前記一部の領域を前記圧電振動素子が並べられている方向に変更する電子的走査手段と、前記アレイ型超音波センサを前記方向とは異なる方向へ機械的に移動させる機械的走査手段と、前記走査手段を制御する走査制御手段と、前記切替えのたびごとに同一の検査部位に超音波を送受信して得られた複数の伝播経路の異なる前記受信信号に含まれる波形情報又は強度情報又は画像を生成するに必要な情報を加算処理あるいは平均化処理して情報処理を行う演算処理手段と、前記情報処理の結果に基づいて検査部位の検査画像を表示する表示手段とを備えている。
An ultrasonic inspection apparatus according to the present invention includes an array type ultrasonic sensor in which a plurality of piezoelectric vibration elements are arranged, and a plurality of piezoelectric vibration elements included in a partial region of the piezoelectric vibration elements . Among these, the transmission means for transmitting a transmission signal to the piezoelectric vibration element used for transmitting ultrasonic waves, and each of the plurality of piezoelectric vibration elements included in the partial area for receiving ultrasonic waves. Receiving means for receiving each signal from the piezoelectric vibration element; time delay means for giving a delay time to the transmission signal and each signal; delay control means for variably controlling the delay time; and piezoelectric vibration used for the transmission A transmission switching means for switching elements, a reception switching means for switching the piezoelectric vibration element used for the reception, a switching control means for controlling a switching destination by the transmission and reception switching means, and the respective signals given the delay times are combined. do it A means for generating a transmission signal; an electronic scanning means for changing the partial area in a direction in which the piezoelectric vibration elements are arranged; and the array-type ultrasonic sensor in a direction different from the direction. Included in the received signals having different propagation paths obtained by transmitting and receiving ultrasonic waves to the same examination site each time the switching is performed, mechanical scanning means to move, scanning control means for controlling the scanning means Waveform information or intensity information, or arithmetic processing means for performing information processing by adding or averaging information necessary for generating an image, and a display for displaying an examination image of the examination site based on the result of the information processing Means.
本発明によれば、超音波検査において、超音波の伝播経路で重畳するノイズの影響を低減して検査のＳＮ比を向上できるうえ、ノイズの影響を低減する際には、同一の超音波集束位置での複数の受信情報を情報処理するので、焦点がボケてしまい、微小な欠陥を検出できないということを払拭できる。 According to the present invention, in the ultrasonic inspection, it is possible to improve the S / N ratio of the inspection by reducing the influence of noise superimposed on the ultrasonic propagation path, and to reduce the influence of noise, the same ultrasonic focusing is performed. Since a plurality of pieces of received information at the position are processed, it is possible to eliminate the fact that the focal point is blurred and a minute defect cannot be detected.
本発明の実施例による超音波検査方法は、アレイ型超音波センサを用いた超音波検査において、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子に遅延時間を与えて超音波を集束して送・受信する際に、超音波の集束位置は同一の状態で前記圧電振動素子の送信素子と受信素子の組合せを複数回切替えることで、超音波の伝播経路の異なる反射信号を複数回収録し、得られた反射信号を加算あるいは平均化処理して、順次アレイ方向に電子的に走査し、検査対象内部を画像化することで、超音波の伝播経路で重畳するノイズの影響を低減し、ＳＮ比を向上できるようにした。さらに、検査対象内部からの反射信号が超音波波形であっても、超音波波形の所定の時間にゲート処理を行った反射強度であっても、検査画像であっても、ＳＮ比を向上できるようにした。 In the ultrasonic inspection method according to the embodiment of the present invention, in the ultrasonic inspection using the array type ultrasonic sensor, a delay time is given to a part of the piezoelectric vibration elements of the array type ultrasonic sensor to focus and transmit the ultrasonic wave. -When receiving, by switching the combination of the transmitting element and the receiving element of the piezoelectric vibration element multiple times with the same focal position of the ultrasonic waves, the reflected signals with different ultrasonic propagation paths are recorded multiple times, The obtained reflected signals are added or averaged, sequentially scanned electronically in the array direction, and the inside of the inspection object is imaged, thereby reducing the influence of noise superimposed on the ultrasonic propagation path, and SN The ratio can be improved. Furthermore, the S / N ratio can be improved regardless of whether the reflection signal from the inside of the inspection object is an ultrasonic waveform, the reflection intensity obtained by performing gate processing at a predetermined time of the ultrasonic waveform, or the inspection image. I did it.
また、本発明の実施例による超音波検査装置は、複数の圧電振動素子を一列に備えたアレイ型超音波センサと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子との間で送信信号を送信する送信手段としてのパルサと受信信号を送受する受信手段としてのレシーバと、前記送信信号と受信信号に前記各圧電振動素子に遅延時間を可変して時間制御を行う遅延制御手段としての遅延制御回路と、アレイ型超音波センサの送・受信素子を切替える切替制御回路と、前記アレイ型超音波センサで超音波を送・受信した反射波形あるいは反射強度に遅延時間を与えて加算する加算回路と、前記アレイ型超音波センサを走査する走査手段及びこれを制御する走査制御手段としての走査制御回路と、送・受信素子を切替えて収録した複数の反射波形あるいは反射強度を加算あるいは平均化処理して検査画像を生成するあるいは複数の検査画像を加算あるいは平均化処理して検査画像を生成する演算処理手段としてのコンピュータと、生成した検査画像を表示する表示手段としての表示部を備えることで、高ＳＮ比で検査できるようにした。さらに、送・受信素子を複数回切替えるために前記コンピュータの記憶装置に素子組合せテーブルを備えることで簡便に素子切替の設定ができるようにした。また、表示部に通常の検査モードと加算あるいは平均処理モードとを切替える動作モード切替手段を有することで、従来法での検査と本発明の検査のどちらも実施可能な装置を提供できるようにした。 The ultrasonic inspection apparatus according to the embodiment of the present invention transmits a transmission signal between an array type ultrasonic sensor having a plurality of piezoelectric vibration elements in a row and each piezoelectric vibration element of the array type ultrasonic sensor. A pulsar as a transmission means and a receiver as a reception means for transmitting and receiving a received signal, and a delay control circuit as a delay control means for performing time control by varying a delay time for each of the piezoelectric vibration elements for the transmission signal and the received signal A switching control circuit for switching the transmitting / receiving element of the array type ultrasonic sensor, an addition circuit for adding a delay time to the reflected waveform or reflection intensity of the ultrasonic wave transmitted / received by the array type ultrasonic sensor, A scanning unit that scans the array-type ultrasonic sensor, a scanning control circuit as a scanning control unit that controls the scanning unit, and a plurality of reflected waveforms or reflections that are recorded by switching transmission / reception elements. A computer as a calculation processing means for generating an inspection image by adding or averaging the intensities to generate an inspection image or adding or averaging a plurality of inspection images, and a display means for displaying the generated inspection image It was made possible to inspect with a high S / N ratio. Furthermore, the element switching table can be easily set by providing an element combination table in the storage device of the computer in order to switch the transmission / reception element a plurality of times. In addition, since the display unit has an operation mode switching means for switching between the normal inspection mode and the addition or average processing mode, it is possible to provide an apparatus capable of performing both the conventional inspection and the inspection of the present invention. .
以下、本発明のアレイ型超音波センサによる検査方法及び装置について、図示の実施の形態により詳細に説明する。まず、図１から図４を用いて本発明の概要を説明するとともに、従来手法と本発明手法の違いを説明する。図１は本発明の第１の実施形態の概要を示す図である。図示のように、検査対象１００と、複数の圧電振動素子１０１Ａを備え検査対象１００に超音波を送・受信するアレイ型超音波センサ１０１Ｂとこれを走査する走査手段１０１Ｃからなる探傷部１０１，圧電振動素子１０１Ａに遅延時間を与えて超音波を送信するために電圧を印加するパルサ１０２Ａと受信した超音波をアナログ−デジタル変換して受信信号とするとともに受信の遅延時間を与えるレシーバ１０２Ｂからなる送・受信部１０２，アレイ型超音波センサ走査の制御回路１０３Ａと超音波の送・受信素子の切替制御回路１０３Ｂ，送・受信時の遅延時間の制御回路１０３Ｃ，受信信号の加算回路
１０３Ｄさらにはこれらを制御するとともに受信した信号を収録するとともに処理を行う制御・処理用コンピュータ１０３Ｅからなる制御部１０３，受信信号及び検査画像を表示する表示部１０４からなる。
Hereinafter, an inspection method and apparatus using an array type ultrasonic sensor of the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. First, the outline of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 4, and the difference between the conventional method and the present method will be described. FIG. 1 is a diagram showing an outline of the first embodiment of the present invention. As shown in the figure, an
次に、本発明のアレイ型超音波センサによる検査装置の個々の動作について説明する。まず、制御・処理用コンピュータ１０３Ｅは、走査手段１０１Ｃを動作する際には走査制御回路１０３Ａへ制御信号を送信し、超音波を送・受信して検査対象からの反射信号を収録する際には切替制御回路１０３Ｂへ超音波を送・受信する圧電振動素子の選択のための送・受信素子切替信号を送信するとともに遅延制御回路１０３Ｃを通じて超音波を集束して送・受信するための各圧電振動素子への遅延時間を与える。送信信号と遅延時間を受取った送信遅延回路１０２Ｃは、与えられた遅延時間で送信信号を送信切替手段としての送信切替回路１０２Ｄに送る。送信切替回路１０２Ｄでは、送信遅延回路１０２Ｃから遅延時間を付与して送信された送信信号を受け、切替制御回路１０３Ｂからの送信素子切替信号に基づき、送信素子を切替えて、送信信号を送信増幅器１０２Ｅへ送信する。送信増幅器１０２Ｅは送信信号を増幅して、アレイ型超音波センサ１０１Ｂのある切り替えた各圧電振動素子１０１Ｄに超音波を送信するための駆動電圧を印加する。この際に、送信切替回路は１０２Ｄ，アレイ型超音波センサ１０１Ｂが持つ一部の圧電振動素子１０１Ｄに対して、個々にあるいは複数の圧電振動素子１０１Ｄに同時に送信信号を送ることが可能である。通常は、送・受信素子の切替えにマルチプレクサなどの切替器を用いるため、超音波を送・受信する一番端の素子とその素子数を決めれば、１〜Ｎ個の圧電振動素子の中の一部（一連）の素子が選択されることになる。次に、増幅された送信信号を受けた複数の圧電振動素子１０１Ｄは、圧電効果で、超音波を送信するが、ここでは、斜線で示した複数の各圧電振動素子１０１Ｄを用いて超音波を送・受信する際について説明する。上で説明したように、送信信号に遅延時間を与えて圧電振動素子１０１Ｄに電圧を印加すると、それぞれの圧電振動素子は遅延時間に対応した時間遅れで超音波を送信する。超音波を集束する場合には、各圧電振動素子から集束位置までの幾何学的な距離、つまり各媒質での超音波の音速と境界面での屈折を考慮した距離に対応した遅延時間で各圧電振動素子に電圧を印加する。例えば、一般的には、検査対象が複数の材質により構成される場合には、式１で示されるスネルの法則で、各媒質間での屈折角度を求め、超音波の幾何学的な伝播経路を計算し、圧電振動素子の遅延時間を決定する。
Next, each operation | movement of the test | inspection apparatus by the array type ultrasonic sensor of this invention is demonstrated. First, the control /
ここで、θは超音波の入射角度及び屈折角度、νは超音波の音速、θやνの添え字１，２は媒質番号である。このようにして、検査対象の所定の位置（焦点１０１Ｅ）に超音波を集束して送信する。一方、超音波を受信する際には、圧電振動素子１０１Ｄのそれぞれで受信した超音波に対応して、圧電効果により生じた受信信号を受信切替回路１０２Ｆで受信素子を個々にあるいは複数切替えて受信する。更に、受信信号を受信増幅器１０２Ｇで増幅して、アナログ−デジタル変換器１０２Ｈでアナログであった受信信号をデジタル信号に変換する。デジタル信号に変換された受信信号は、記憶装置である遅延メモリ102Iに記憶される。この際に、遅延メモリ１０２Ｉでは、超音波送信時と同様に超音波を焦点１０１Ｅに集束して受信する際には、遅延制御回路１０３Ｃから送信された遅延時間を各素子からの受信信号に付与して、記憶される。更に、遅延時間を与えられた受信信号は、加算回路１０３Ｄで加算され、制御・処理用コンピュータ１０３Ｅに送られる。
Here, θ is the incident angle and refraction angle of the ultrasonic wave, ν is the speed of sound of the ultrasonic wave, and the
ここで、上述した超音波の送・受信の部分について、図２から図３を用いて補足説明する。まず、図２は従来手法での超音波送・受信方法を示しており、従来は、遅延時間201をアレイ型超音波センサ１０１Ｂ内の一部の圧電振動素子１０１Ｄに与えて超音波を送・受信して反射信号を収録し、この一部の圧電振動素子をアレイ方向に電子的に順次切替えていくことで電子走査して、反射信号を収録する。通常、超音波の送・受信１点につき反射信号の収録が１回である。このようにして受信した反射信号の任意の時間位置にゲート処理を行い、反射信号強度を求め、これを図にプロットすると、検査対象からの反射信号強度分布２０２が求められる。ここでは、説明のため、反射信号強度分布を示したが、図２の紙面奥行き方向に、アレイ型超音波センサ１０１Ｂを走査して、この反射信号強度分布２０２をマッピングすれば、検査画像が得られる。従来は、この反射信号強度の大きさによって、欠陥の有無を判別する。しかし、検査対象内でノイズが重畳した場合には、反射信号強度分布２０２中の一点鎖線で囲んだ欠陥２０３からの欠陥反射信号２０４が、周囲のノイズ信号に埋もれ、判別が難しくなってしまう。その原因は、本発明の課題で述べたとおり、例えば、図３に示すように超音波の伝播経路３００のそれぞれによって、半導体モールド樹脂３０１中のフィラー３０２が一様でない場合、超音波の反射や屈折の影響が少しずつ異なるため、場所によって焦点１０１Ｅでの超音波強度が変わってしまうためである。
Here, a supplementary description will be given of the above-described ultrasonic transmission / reception part with reference to FIGS. First, FIG. 2 shows a conventional ultrasonic transmission / reception method. Conventionally, a
そこで本発明では、図４に示すように、前述の超音波伝播経路のノイズの重畳を回避するため、１点の位置における検査対象からの反射信号を取得する際に、超音波の送・受信素子を切替えて複数回反射信を取得して、この複数の反射信号を加算あるいは平均化する。ここでは、斜線で塗った一部の圧電振動素子１０１Ｄの半分の素子数を送・受信素子として用い、この一部の圧電振動素子の中で送信素子と受信素子のそれぞれの切替えを行って、超音波を送信４０１と受信４０２を複数回行って反射信号を収録することで、超音波の焦点は同一で超音波の伝播経路の異なる複数の反射信号を収録する例を示した。このようにして複数回収録した反射信号を加算あるいは平均化することで、処理を行った信号強度分布４０３は、分解能を損なうことなくノイズを低減しＳＮ比を向上した状態で欠陥
２０３からの欠陥信号２０４を得ることが可能となり、欠陥検出性が向上する。
Therefore, in the present invention, as shown in FIG. 4, in order to avoid the superimposition of noise in the ultrasonic propagation path described above, ultrasonic wave transmission / reception is performed when a reflected signal from the inspection object at one point is acquired. The elements are switched to obtain a reflected signal a plurality of times, and the reflected signals are added or averaged. Here, half of the number of piezoelectric vibrating
これを実施するための具体的な動作を、図１で説明する。１点の反射信号を収録する際に、超音波送・受信それぞれにおいて、送信切替回路１０２Ｄ及び受信切替手段としての受信切替回路１０２Ｆで超音波を送・受信に用いる一部の圧電振動素子１０１Ｄの中で、送信素子と受信素子の組合せを切替えて複数回反射信号を収録する。また、一部の圧電振動素子１０１Ｄの中で、送・受信素子の組合せを切替える場合に、一部の圧電振動素子
１０１Ｄの全てに対して与えた遅延時間を変更しなければ、その送・受信素子の組合せを変更しても超音波は１点に集束することになる。このように、本発明では、一部の圧電振動素子１０１Ｄの中で、超音波を送・受信する際の素子組合せを切替えて、一点に超音波を集束して送・受信し、さらに送・受信素子組合せそれぞれの場合での超音波の伝播経路を少しずつ変化させて受信した複数の反射信号のそれぞれをその後の遅延メモリ１０２Ｉに収録するとともに、加算回路１０３Ｄで加算し、さらに制御・処理用コンピュータ103Eで複数の反射信号を加算あるいは平均化処理することで、超音波伝播経路途中のモールド材で超音波波面が乱されることによるノイズの重畳によるＳＮ比低下を抑制する。なお、それぞれの送・受信素子組合せで収録した反射信号の加算あるいは平均化については、上記では、制御・処理用コンピュータ１０３Ｅで処理する例を記述したが、加算回路103Ｄや遅延メモリ１０２Ｉに演算機能を有する場合には、これらにおいて加算あるいは平均化処理を行っても良い。以上の動作を、アレイ型超音波センサのアレイ並び方向に超音波送・受信の際に使用する一部の複数の素子を順次切替えて、超音波送・受信時の焦点をアレイ並び方向にずらしながら反射信号を収録する。さらに、図１の紙面の奥行き方向に対しては、走査制御回路１０３Ａから制御信号を走査手段１０１Ｃに送ることでアレイ型超音波センサ１０１Ｂを走査して、反射信号を収録する。収録した反射信号は、制御・処理用コンピュータ１０３Ｅで反射信号の所定の時間位置にゲート処理を行って、反射信号の強度をマッピングして検査画像（Ｃ−スコープ）を生成して表示部１０４に表示する。また、さらに表示部には、任意の位置での反射波形（Ａ−スコープ）やアレイ方向に反射波形を並べた（Ｂ−スコープ）を表示しても良い。
A specific operation for implementing this will be described with reference to FIG. When recording one reflection signal, in each of the ultrasonic transmission / reception, the transmission switching circuit 102D and the
次に、超音波送・受信素子組合せについて説明する。上述したように、本発明によるアレイ型超音波センサによる検査方法及び装置では、超音波の送・受信素子の組合せを切替えて、複数の反射信号を収録するため、送・受信素子組合せは様々なものがある。 Next, the ultrasonic transmission / reception element combination will be described. As described above, in the inspection method and apparatus using the array-type ultrasonic sensor according to the present invention, the combination of ultrasonic transmission / reception elements is switched and a plurality of reflected signals are recorded. There is something.
第１の送・受信素子組合せは、図５は送信素子と受信素子のそれぞれを一部の圧電振動素子の中で、連続した状態で一素子ずつ逆方向にずらすように切替える例である。ここでは、例として、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子１０１Ｄの素子数が全１６素子の場合に、その中の半分の数の８素子を送信素子５０１，受信素子５０２のそれぞれに用いた例を示している。しかし、これは全３２素子の中で、１６素子を送信，受信のそれぞれに用いても良いし、全１６素子の中で１０素子を送信，受信のそれぞれに用いても良い。つまり、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の数の選択と、その中で送信と受信に割り当てる素子数は、任意の複数個に設定できる。図５で示した、送・受信組合せは、検査対象の検査部位がアレイ型超音波センサに対して、並行である場合に、超音波の送信時の入射角度と受信時の反射角度が同じになるという特徴がある。この送・受信素子組合せは、検査対象面が鏡面に近く、入射した角度と同じ角度反射するような場合に有効である。
FIG. 5 shows an example in which the transmission / reception element combination is switched so that each of the transmission element and the reception element is shifted in the reverse direction one element at a time in a continuous state among some piezoelectric vibration elements. Here, as an example, when the number of
第２の送・受信素子組合せは、図６に示すように、図５で説明したアレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の中で素子が連続した状態で一素子ずつ逆方向にずらすように切替える手法において、送信素子５０１と受信素子５０２の組合せ番号を５番まで収録するものであり、送・受信素子組合せの数が少ない分、反射信号収録のための時間を短縮可能である。
As shown in FIG. 6, the second transmitting / receiving element combination is shifted in the reverse direction one element at a time in a state in which the elements are continuous among some of the piezoelectric vibration elements of the array type ultrasonic sensor described in FIG. In such a switching method, the number of combinations of the transmitting
第３の送・受信素子組合せは、図７に示すように、図５で説明したアレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の中で素子が連続した状態でずらす素子の数を２素子ずつ逆方向にずらすように送信素子５０１と受信素子５０２を切替えて反射信号で収録するものであり、送・受信素子組合せの数が少ない分、この組合せも反射信号収録のための時間を短縮可能である。ずらす素子の数は、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の全素子数の中で、超音波の送信と受信に何素子割り当てるかによって任意に設定して良い。この例は、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の全素子数が多い場合に、組合せの間を飛ばして超音波送・受信回数を減らして時間短縮するものである。
As shown in FIG. 7, the third transmission / reception element combination includes two elements that are shifted in a continuous state among the piezoelectric vibration elements of the array type ultrasonic sensor described in FIG. The
第４の送・受信素子組合せは、図８に示すように、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の中で素子が連続した状態で送信素子と受信素子を同一として一素子ずつ同一方向に送信素子５０１と受信素子５０２を切替えて反射信号を収録するものである。この送・受信素子組合せは、検査対象面が粗い表面で、入射した超音波を無指向に反射する場合に有効である。
As shown in FIG. 8, the fourth transmission / reception element combination is the same for each element, with the transmission element and the reception element being the same in a state where the elements are continuous among some of the piezoelectric vibration elements of the array type ultrasonic sensor. The reflected signal is recorded by switching the transmitting
第５の送・受信素子組合せは、図９に示すように、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の中で送・受信素子を不連続にすることで、見掛けの開口幅を広くして、送信素子５０１と受信素子５０２をそれぞれブロックとして一素子ずつ逆方向に切替えて反射信号で収録するものである。この送・受信素子組合せは、見かけの開口幅が広くなるため、超音波のビーム経が小さくなり、より精細な検査画像を得ることができる。
As shown in FIG. 9, the fifth transmission / reception element combination widens the apparent opening width by making the transmission / reception elements discontinuous in some of the piezoelectric vibration elements of the array type ultrasonic sensor. Then, the transmitting
第６の送・受信素子組合せは、図８に示すように、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の中で送信素子５０１と受信素子５０２をランダムに選んで、超音波を送・受信するもので、ランダムに選出した送・受信素子組合せを用いる。
As shown in FIG. 8, in the sixth transmission / reception element combination, the
以上のように、送・受信素子組合せは様々なものが考えられ、検査対象の性質やノイズの傾向に合わせて、最適な組合せを選択すればよい。 As described above, various combinations of transmitting and receiving elements are conceivable, and an optimal combination may be selected in accordance with the characteristics of the inspection object and the tendency of noise.
送・受信素子組合せの設定を簡便に実施するためには、あらかじめ送・受信素子組合テーブルを制御・処理コンピュータの記憶装置（図１の記憶装置１０３Ｆ）に保存しておいて、これを検査開始時に読み込んで、切替え制御回路１０３Ｂを動作すればよい。この送・受信素子組合せテーブルの一例を図１１に示す。この送・受信組合せテーブル１１００では、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子の素子番号と、この素子それぞれの送信素子（Ｐ）１００１と受信素子（Ｒ）１００２のＯＮ／ＯＦＦをＯＮ＝１，ＯＦＦ＝０として表示した例である。ＯＮ／ＯＦＦの表示方法と、テーブルの構成はこの例ばかりではなく、装置に合わせて作成すればよい。また、テーブルの縦方向には素子組合せを順番に並べており、この順番の超音波送・受信素子組合せで反射信号を順次収録する。
In order to easily set the transmission / reception element combination, the transmission / reception element combination table is stored in advance in the storage device of the control / processing computer (
次に第１の実施の形態にける検査対象からの反射信号が超音波の時間波形であった場合の処理の流れを、図１２を用いて説明する。図１２は前述した超音波送・受信素子組合せによって、それぞれ反射波形（１２０１Ａ，１２０１Ｂ，１２０１Ｃ）を収録し、これらの波形を加算あるいは平均化処理を行い、処理波形１２０２を得る。この処理波形に一点鎖線で囲んだ検査対象部位からの反射波形１２０２Ａにゲート処理を行い、この時間領域での波形の強度（最大値あるいは最小値）を得る。このように、反射波形の強度を得ながら、アレイ型超音波センサのアレイ並び方向には電子的に走査するとともに、アレイ並びの法線方向には機械的に走査して、２次元的に焦点を走査して、検査対象部位からの反射強度をマッピングすることで、処理画像１２０３を得る。
Next, the flow of processing when the reflected signal from the inspection target in the first embodiment is an ultrasonic time waveform will be described with reference to FIG. In FIG. 12, the reflected waveforms (1201A, 1201B, 1201C) are recorded by the above-described ultrasonic transmission / reception element combinations, and these waveforms are added or averaged to obtain a processed
次に、図１で示した本発明によるアレイ型超音波センサによる検査装置における制御・処理用コンピュータの処理の手順を説明する。まず、第１の処理の手順を、図１３を用いて説明する。まず検査を開始（Ｓ１３００）し、走査制御回路にアレイ型超音波センサを検査開始位置へ移動する制御信号を送信して、アレイ型超音波センサを検査開始位置に設置する（Ｓ１３０１）。この際に、送・受信素子組合せ番号は、１である。次に送・受信素子の組合せｎ（最初は１）でアレイ方向に電子走査する制御信号を切替制御手段としての切替制御回路と遅延制御回路に送信して、それぞれのＭ個の反射波形を収録する
（Ｓ１３０２Ａ）。次に、全ての送・受信素子の組合せでの反射波形の収録が終了したかどうかの判別を行い（Ｓ１３０２）、終了していない（ＮＯ）の場合は送・受信素子組合せをｎ＋１と次の組合せ番号に切替るための制御信号を切替制御回路に送信(Ｓ１３０３)して、アレイ方向に電子走査を行ってＭ個の反射波形を順次収録する。Ｎ回の送・受信素子組合せを終了した（ＹＥＳ）場合は、電子走査のそれぞれにおいて収録したＮ個の波形を加算あるいは平均化する。さらに、全検査領域での計測を終了したかどうかの判別
（Ｓ１３０５）を行い、終了していない（ＮＯ）場合には、走査制御回路にアレイ型超音波センサを次の検査領域へ移動するための制御信号を送信して（Ｓ１３０６）、走査手段によりアレイ型超音波センサを次のラインに移動する。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の電子走査（Ｓ１３０１）から送・受信素子組合せの切替え（Ｓ１３０３）のループと波形の加算あるいは平均化（Ｓ１３０４）を全検査領域での反射波形の収録が終了するまで繰り返す。全検査領域での反射波形の収録が終了（ＹＥＳ）したら、全反射波形のそれぞれの所定の時間にゲート処理を行い、その反射強度をマッピングして画像化（処理画像のＣ−スコープ）（Ｓ１３０７）を行って、画像表示手段に表示して、終了（Ｓ１３０８）する。以上が、第１の実施の形態における第１の実施の手順である。
Next, the processing procedure of the control / processing computer in the inspection apparatus using the array type ultrasonic sensor according to the present invention shown in FIG. 1 will be described. First, the procedure of the first process will be described with reference to FIG. First, inspection is started (S1300), a control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the inspection start position is transmitted to the scanning control circuit, and the array type ultrasonic sensor is installed at the inspection start position (S1301). At this time, the transmission / reception element combination number is 1. Next, a control signal for electronic scanning in the array direction is sent to the switching control circuit and the delay control circuit as the switching control means with the combination n (initially 1) of the transmission / reception elements, and each of the M reflected waveforms is recorded. (S1302A). Next, it is determined whether or not the recording of the reflected waveform is completed for all combinations of transmission / reception elements (S1302). If not completed (NO), the combination of transmission / reception elements is set to n + 1 and the next. A control signal for switching to the combination number is transmitted to the switching control circuit (S1303), electronic scanning is performed in the array direction, and M reflected waveforms are sequentially recorded. When N transmission / reception element combinations have been completed (YES), N waveforms recorded in each of the electronic scans are added or averaged. Further, it is determined whether or not the measurement in all the inspection areas is completed (S1305). If the measurement is not completed (NO), the array type ultrasonic sensor is moved to the next inspection area in the scanning control circuit. (S1306), the scanning ultrasonic sensor moves the array type ultrasonic sensor to the next line. At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, the loop and waveform addition or averaging (S1304) from the electronic scanning (S1301) to the transmission / reception element combination switching (S1303) are repeated until the recording of the reflected waveform in the entire inspection region is completed. When the recording of the reflection waveform in the entire inspection region is completed (YES), gate processing is performed at each predetermined time of the total reflection waveform, and the reflection intensity is mapped and imaged (C-scope of the processed image) (S1307). ) Is displayed on the image display means, and the process ends (S1308). The above is the procedure of the first implementation in the first embodiment.
次に、第１の実施の形態における第２の実施の手順を、図１４を用いて説明する。この実施の手順は、第１の実施の手順と比較して、送・受信素子組合せの切替えと波形の収録を、アレイ方向への電子走査よりも先に行う点が異なっている。まず検査を開始(S1300)しまず検査を開始（Ｓ１３００）し、走査制御回路にアレイ型超音波センサを検査開始位置へ移動する制御信号を送信して、アレイ型超音波センサを検査開始位置に設置する
（Ｓ１３０１）。この際に、送・受信素子組合せ番号は、１である。次に送・受信素子の組合せｎ（最初は１）で反射波形を収録するための制御信号を切替制御回路と遅延制御回路に送信し反射波形を収録する（Ｓ１４００）。次に、電子走査の１箇所で全ての送・受信素子の組合せでの反射波形の収録が終了したかどうかの判別を行い（Ｓ１３０２）、終了していない（ＮＯ）の場合は送・受信素子組合せをｎ＋１と次の組合せ番号に切替え
（Ｓ１３０３）て、Ｎ回反射波形を順次収録する。終了した（ＹＥＳ）場合は、電子走査の１箇所について収録したＮ個の波形を加算あるいは平均化（Ｓ１４０１）する。さらに、全電子走査が終了したかどうかの判別（Ｓ１４０２）を行い、終了していない場合には、電子走査により超音波を送・受信するアレイ型超音波センサの一部素子を次の一部の素子に切替えるための制御信号を切替制御回路に送信して切替える（Ｓ１４０３）。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の波形収録
（Ｓ１３０１）から送・受信素子組合せの切替え（Ｓ１３０３）のループと波形の加算あるいは平均化（Ｓ１３０４）と電子走査による一部の素子の切替え（Ｓ１４０３）のループを全電子走査でのＭ個の処理波形の収録が終了するまで繰り返す。全電子走査での処理波形の収録が終了したら、次に、全検査領域での計測を終了したかどうかの判別(S1305)を行い、終了していない（ＮＯ）場合には、走査制御回路にアレイ型超音波センサを次の走査ラインへ移動するための制御信号を送信して（Ｓ１３０６）走査手段によりアレイ型超音波センサを移動する。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の反射波形の収録（Ｓ１４００）から送・受信素子組合せの切替え
（Ｓ１３０３）のループと波形の加算あるいは平均化（Ｓ１４０１）、電子走査による一部の素子の切替え（Ｓ１４０３）のループを全検査領域での処理波形の収録が終了するまで繰り返す。全検査領域での処理波形の収録が終了（ＹＥＳ）したら、全ての処理波形のそれぞれの所定の時間にゲート処理を行い、得られた反射強度をマッピングして画像化
（処理画像のＣ−スコープ）（Ｓ１３０７）を行って、画像表示手段に表示して、終了
（Ｓ１３０８）する。以上が、第１の実施の形態における第２の実施の手順である。
Next, the procedure of 2nd implementation in 1st Embodiment is demonstrated using FIG. This implementation procedure is different from the first implementation procedure in that the switching of the transmission / reception element combination and the waveform recording are performed prior to the electronic scanning in the array direction. First, the inspection is started (S1300), the inspection is started (S1300), a control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the inspection start position is transmitted to the scanning control circuit, and the array type ultrasonic sensor is set to the inspection start position. Install (S1301). At this time, the transmission / reception element combination number is 1. Next, a control signal for recording the reflected waveform is transmitted to the switching control circuit and the delay control circuit with the combination n (initially 1) of the transmitting / receiving elements, and the reflected waveform is recorded (S1400). Next, it is determined whether or not the recording of the reflected waveform in all combinations of the transmission / reception elements has been completed at one location of electronic scanning (S1302). If the recording has not been completed (NO), the transmission / reception elements are determined. The combination is switched between n + 1 and the next combination number (S1303), and N times reflected waveforms are sequentially recorded. If completed (YES), N waveforms recorded for one place of electronic scanning are added or averaged (S1401). Further, it is determined whether or not all the electronic scanning has been completed (S1402). If not, the partial elements of the array type ultrasonic sensor that transmits and receives ultrasonic waves by electronic scanning are set to the following part. A control signal for switching to this element is transmitted to the switching control circuit for switching (S1403). At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, from the waveform recording (S1301) to the transmission / reception element combination switching (S1303) loop and the addition or averaging of waveforms (S1304) and the switching of some elements by electronic scanning (S1403) loop all the electrons. Repeat until recording of M processed waveforms in scanning is completed. When processing waveform recording in all electronic scanning is completed, it is next determined whether or not measurement in all inspection areas has been completed (S1305). If not completed (NO), the scanning control circuit A control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the next scanning line is transmitted (S1306), and the array type ultrasonic sensor is moved by the scanning means. At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, from the reflection waveform recording (S1400) to the transmission / reception element combination switching (S1303) and waveform addition or averaging (S1401), and a part switching (S1403) loop by electronic scanning. Repeat until recording of processed waveforms in all inspection areas is completed. When recording of processed waveforms in all inspection areas is completed (YES), gate processing is performed at predetermined times of all processed waveforms, and the obtained reflection intensity is mapped to form an image (C-scope of processed image). ) (S1307), the image is displayed on the image display means, and the process ends (S1308). The above is the procedure of the second implementation in the first embodiment.
次に、図１５を用いて、第２の実施形態を説明する。第１の実施形態において、検査対象からの反射信号は反射波形であったが、第２の実施形態における反射信号は、反射波の強度である。収録する信号が反射波形ではなく反射強度であるため、加算回路や制御・処理用コンピュータでの信号処理に必要なメモリ容量が少なくて良いうえ、処理時間も短くなるという利点がある。図１５は前述した超音波送・受信素子組合せによって、それぞれ反射波形（１２０１Ａ，１２０１Ｂ，１２０１Ｃ）を収録し、これら反射波の所定の時間１５００にゲート処理を行い、この時間領域での波形の反射強度(最大値あるいは最小値)を得る。これら全ての波形での反射強度に加算あるいは平均化処理を行い、処理強度（最大値あるいは最小値）１５０１を得る。このように、処理反射１５００を得ながら、アレイ型超音波センサのアレイ並び方向には電子的に走査するとともに、アレイ並びの法線方向には機械的に走査して、２次元的に焦点を走査して、検査対象部位からの反射強度をマッピングすることで、処理画像１２０３を得る。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In the first embodiment, the reflected signal from the inspection object is a reflected waveform, but the reflected signal in the second embodiment is the intensity of the reflected wave. Since the signal to be recorded is not a reflection waveform but a reflection intensity, there is an advantage that a memory capacity necessary for signal processing in an adder circuit or a control / processing computer can be reduced and a processing time can be shortened. FIG. 15 shows reflection waveforms (1201A, 1201B, 1201C) by the above-described ultrasonic transmission / reception element combinations, gate processing is performed at a
また、この場合の第１の処理の手順を、図１６を用いて説明するが、図１３で説明した第１の実施形態の場合とは、反射波形が反射強度となる点が異なる。まず検査を開始
（Ｓ１３００）し、走査制御回路にアレイ型超音波センサを検査開始位置へ移動する制御信号を送信して、アレイ型超音波センサを検査開始位置に設置する（Ｓ１３０１）。この際に、送・受信素子組合せ番号は、１である。次に送・受信素子の組合せｎ（最初は１）で切替制御回路と遅延制御回路にアレイ方向に電子走査してするための制御信号を送信して電子走査を実施し、それぞれの反射波形の所定の時間にゲート処理を行い、Ｍ個の反射強度を収録する（Ｓ１６００）。次に、全ての送・受信素子の組合せでの反射強度の収録が終了したかどうかの判別を行い（Ｓ１６０１）、終了していない（ＮＯ）の場合は送・受信素子組合せをｎ＋１と次の組合せ番号に切替えるための制御信号を切替制御回路に送信して送・受信素子の組合せを切替え（Ｓ１３０３）て、アレイ方向に電子走査を行ってＭ個の反射強度を順次収録する。終了した（ＹＥＳ）場合は、電子走査のそれぞれにおいて収録したＮ個の反射強度を加算あるいは平均化（Ｓ１６０３）してＭ個の処理強度を得る。さらに、全検査領域での計測を終了したかどうかの判別（Ｓ１３０５）を行い、終了していない（ＮＯ）場合には、走査制御回路に制御信号を送信して（Ｓ１３０６）走査手段でアレイ型超音波センサを次の検査領域へ移動する。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の電子走査しながら反射強度の収録
（Ｓ１３０１）から送・受信素子組合せの切替え（Ｓ１３０３）のループと反射強度の加算あるいは平均化（Ｓ１６０３）を全検査領域での処理強度の収録が終了するまで繰り返す。全検査領域での処理強度の収録が終了（ＹＥＳ）したら、反射強度をマッピングして画像化（処理画像のＣ−スコープ）（Ｓ１６０４）を行って、画像表示手段に表示して、終了（Ｓ１３０８）する。以上が、第２の実施形態における第１の実施の手順である。
Further, the procedure of the first processing in this case will be described with reference to FIG. 16, but is different from the case of the first embodiment described in FIG. 13 in that the reflected waveform becomes the reflection intensity. First, inspection is started (S1300), a control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the inspection start position is transmitted to the scanning control circuit, and the array type ultrasonic sensor is installed at the inspection start position (S1301). At this time, the transmission / reception element combination number is 1. Next, the control signal for electronic scanning in the array direction is transmitted to the switching control circuit and the delay control circuit by the combination n (initially 1) of the transmission / reception elements, and the electronic scanning is performed. Gate processing is performed at a predetermined time, and M reflection intensities are recorded (S1600). Next, it is determined whether or not the reflection intensity recording is completed for all combinations of transmission / reception elements (S1601). If not completed (NO), the combination of transmission / reception elements is set to n + 1 and the next. A control signal for switching to the combination number is transmitted to the switching control circuit to switch the combination of the transmission / reception elements (S1303), electronic scanning is performed in the array direction, and M reflection intensities are sequentially recorded. If completed (YES), the N reflected intensities recorded in each electronic scan are added or averaged (S1603) to obtain M processed intensities. Further, it is determined whether or not the measurement in all the inspection areas is completed (S1305). If the measurement is not completed (NO), a control signal is transmitted to the scanning control circuit (S1306). Move the ultrasonic sensor to the next inspection area. At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, the recording intensity is recorded in the entire inspection area from the recording of the reflection intensity (S1301) to the switching of the transmission / reception element combination (S1303) and the addition or averaging of the reflection intensity (S1603) while electronic scanning is performed. Repeat until finished. When the recording of the processing intensity in all inspection areas is completed (YES), the reflection intensity is mapped and imaged (C-scope of the processed image) (S1604), displayed on the image display means, and ended (S1308). ) The above is the procedure of the first implementation in the second embodiment.
次に、第２の実施の形態における第２の実施の手順を、図１７を用いて説明する。この実施の手順は、第１の実施の手順と比較して、送・受信素子組合せの切替えと反射強度の収録を、アレイ方向への電子走査よりも先に行う点が異なる。まず検査を開始（Ｓ1300）し、走査制御回路にアレイ型超音波センサを検査開始位置へ移動する制御信号を送信して、アレイ型超音波センサを検査開始位置に設置する（Ｓ１３０１）。この際に、送・受信素子組合せ番号は、１である。次に送・受信素子の組合せｎ（最初は１）で１つの波形から反射強度を収録する（Ｓ１７００）。次に、全ての送・受信素子の組合せでの反射強度の収録が終了したかどうかの判別を行い（Ｓ１６０１）、終了していない（ＮＯ）の場合は切替制御回路に素子切替の制御信号を送信して、送・受信素子組合せをｎ＋１と次の組合せ番号に切替え（Ｓ１３０３）て、反射波形の任意の時間にゲート処理を行い反射強度を順次収録する。終了した（ＹＥＳ）場合は、反射強度を加算あるいは平均化（Ｓ1603）して処理強度を得る。さらに、全電子走査が終了したかどうかの判別（Ｓ１４０２）を行い、終了していない場合（ＮＯ）には、切替制御回路に制御信号を送信して超音波を送・受信するアレイ型超音波センサの一部素子を切替える（Ｓ１４０３）。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の反射強度の収録
（Ｓ１７００）から送・受信素子組合せの切替え（Ｓ１３０３）のループと反射強度の加算あるいは平均化（Ｓ１６０３）と電子走査による一部の素子の切替え（Ｓ１４０３）のループを全電子走査での処理強度の収録が終了するまで繰り返す。全電子走査での処理強度の収録が終了したら、次に、全検査領域での計測を終了したかどうかの判別（Ｓ1305）を行い、終了していない（ＮＯ）場合には、走査制御回路にアレイ型超音波センサを次の走査ラインへ移動するための制御信号を送信して（Ｓ１３０６）走査手段でアレイ型超音波センサを次の走査ラインへ移動する。この際に、送・受信素子組合せは一度リセットして、ｎ＝１とする。そして、前記の反射強度の収録（Ｓ１７００）から送・受信素子組合せの切替え
（Ｓ１３０３）のループと波形の加算あるいは平均化（Ｓ１６０３）、一部の素子の切替え（Ｓ１３０３）のループを全検査領域での処理強度の収録が終了するまで繰り返す。全検査領域での処理強度の収録が終了（ＹＥＳ）したら、全ての処理強度をマッピングして画像化（処理画像のＣ−スコープ）（Ｓ１６０４）を行って、画像表示手段に表示して、終了（Ｓ１３０８）する。以上が、第２の実施の形態における第２の実施の手順である。
Next, the procedure of the second embodiment in the second embodiment will be described with reference to FIG. This implementation procedure is different from the first implementation procedure in that the switching of the transmission / reception element combination and the recording of the reflection intensity are performed prior to the electronic scanning in the array direction. First, inspection is started (S1300), a control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the inspection start position is transmitted to the scanning control circuit, and the array type ultrasonic sensor is installed at the inspection start position (S1301). At this time, the transmission / reception element combination number is 1. Next, the reflection intensity is recorded from one waveform with the combination n (initially 1) of the transmitting / receiving elements (S1700). Next, it is determined whether or not the reflection intensity recording for all combinations of transmission / reception elements has been completed (S1601), and if not completed (NO), an element switching control signal is sent to the switching control circuit. The transmission / reception element combination is switched to n + 1 and the next combination number (S1303), and the gate processing is performed at an arbitrary time of the reflected waveform to sequentially record the reflection intensity. If completed (YES), the reflection intensity is added or averaged (S1603) to obtain the processing intensity. Further, it is determined whether or not all electronic scanning has been completed (S1402). If it has not been completed (NO), array type ultrasonic waves that transmit and receive ultrasonic waves by transmitting control signals to the switching control circuit. Some elements of the sensor are switched (S1403). At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, the reflection intensity recording (S1700) to the transmission / reception element combination switching (S1303) loop and the reflection intensity addition or averaging (S1603) and the switching of some elements by electronic scanning (S1403) loop. Is repeated until the recording of the processing intensity in all electronic scans is completed. When the recording of the processing intensity in all the electronic scans is completed, it is next determined whether or not the measurement in all the inspection regions is completed (S1305). A control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the next scanning line is transmitted (S1306), and the array type ultrasonic sensor is moved to the next scanning line by the scanning means. At this time, the transmission / reception element combination is reset once so that n = 1. Then, from the recording of the reflection intensity (S1700) to the transmission / reception element combination switching (S1303) and the addition or averaging of waveforms (S1603), and the switching of some elements (S1303) loop over the entire inspection area Repeat until recording of the processing intensity at the end. When the recording of the processing intensity in all the inspection areas is completed (YES), all the processing intensities are mapped and imaged (C-scope of the processed image) (S1604), displayed on the image display means, and the process is completed. (S1308). The above is the procedure of the second implementation in the second embodiment.
次に図１８を用いて、第３の実施形態を説明する。この実施の形態は、各送・受信素子のそれぞれにおいて、電子走査と走査手段によるアレイセンサの移動を行って検査画像を複数枚収録し、収録した複数枚の検査画像を加算あるいは平均化する形態である。この実施形態は、加算あるいは平均化する前の段階で検査画像をそれぞれ表示手段に表示してその状態を確認してから、加算あるいは平均化することができる点が特徴である。図１８は前述した超音波送・受信素子組合せのそれぞれにおいて、それぞれの検査画像（1801Ａ，１８０１Ｂ，１８０１Ｃ）を収録し、これら全てを加算あるいは平均化処理を行い、処理画像１８０２を得る。
Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. In this embodiment, in each of the transmitting / receiving elements, a plurality of inspection images are recorded by moving the array sensor by electronic scanning and scanning means, and the plurality of recorded inspection images are added or averaged. It is. This embodiment is characterized in that the inspection images can be displayed on the display means at the stage before addition or averaging, and the state can be confirmed before addition or averaging. In FIG. 18, each inspection image (1801A, 1801B, 1801C) is recorded in each of the ultrasonic transmission / reception element combinations described above, and all these are added or averaged to obtain a processed
また、この場合の第１の処理の手順を、図１９を用いて説明する。まず検査を開始
（Ｓ１３００）し、走査制御回路にアレイ型超音波センサを検査開始位置へ移動する制御信号を送信して、アレイ型超音波センサを検査開始位置に設置する（Ｓ１３０１）。この際に、送・受信素子組合せ番号は、１である。次に送・受信素子の組合せｎ（最初は１）で切替制御回路と遅延制御回路に制御信号を送信してアレイ方向に電子走査を実施するとともに、走査制御回路にアレイ型超音波センサを走査手段で走査する制御信号を送信して、それぞれの位置における反射波形の所定の時間にゲート処理を実施して反射強度を収録してこの反射強度をマッピングして検査画像（Ｃ−スコープ）を生成する（Ｓ１９００）。次に、全送・受信素子組合せが終了したかどうかの判別（Ｓ１３０２）を行い、終了していない場合（ＮＯ）には、送・受信素子組合せをｎ＋１と次の組合せ番号に切替えるための制御信号を切替制御回路に送信して（Ｓ１３０３）、送・受信素子組合せを切替る。全検査領域での反射強度の収録と検査画像化（Ｓ１９００）を行ってＮ枚の検査画像を生成する。終了した（ＹＥＳ）場合は、それぞれの送・受信素子組合せにおいて収録したＮ枚の検査画像を加算あるいは平均化（Ｓ１９０３）し、画像表示手段に表示して、終了
（Ｓ１３０８）する。以上が、第３の実施形態における第１の実施の手順である。
The procedure of the first process in this case will be described with reference to FIG. First, inspection is started (S1300), a control signal for moving the array type ultrasonic sensor to the inspection start position is transmitted to the scanning control circuit, and the array type ultrasonic sensor is installed at the inspection start position (S1301). At this time, the transmission / reception element combination number is 1. Next, the control signal is transmitted to the switching control circuit and the delay control circuit by the combination n (initially 1) of the transmission / reception element, and the electronic scanning is performed in the array direction, and the array type ultrasonic sensor is scanned in the scanning control circuit. A control signal for scanning by means is transmitted, gate processing is performed at a predetermined time of the reflected waveform at each position, the reflected intensity is recorded, and the reflected intensity is mapped to generate an inspection image (C-scope). (S1900). Next, it is determined whether or not all transmission / reception element combinations have been completed (S1302). If not completed (NO), control for switching the transmission / reception element combination to n + 1 and the next combination number is performed. A signal is transmitted to the switching control circuit (S1303), and the transmission / reception element combination is switched. Recording of reflection intensity in all inspection areas and inspection image formation (S1900) are performed to generate N inspection images. If completed (YES), the N inspection images recorded in each transmission / reception element combination are added or averaged (S1903), displayed on the image display means, and terminated (S1308). The above is the procedure of the first implementation in the third embodiment.
本発明によるアレイ型超音波検査方法は、アレイ型超音波センサを用いた超音波検査において、アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子に遅延時間を与えて超音波を集束して送・受信する際に、前記圧電振動素子の送信素子と受信素子を切替えて、検査対象への超音波の入射角度あるいは入射位置を変化させて、検査対象内部からの反射信号を収録し、得られた反射信号（反射波形，反射強度）を加算あるいは平均化処理しながら、順次アレイ方向に電子的に走査し、検査対象内部を画像化することで、超音波の伝播経路で重畳するノイズの影響を低減し、ＳＮ比を向上できるようにした。 The array-type ultrasonic inspection method according to the present invention, in ultrasonic inspection using an array-type ultrasonic sensor, provides a delay time to a part of the piezoelectric vibration elements of the array-type ultrasonic sensor to focus and transmit ultrasonic waves. When receiving, the transmission element and the receiving element of the piezoelectric vibration element are switched, the incident angle or the incident position of the ultrasonic wave to the inspection object is changed, and the reflected signal from the inside of the inspection object is recorded and obtained. By adding or averaging the reflected signals (reflected waveform, reflected intensity), electronically scans sequentially in the direction of the array and images the inside of the inspection target, thereby reducing the effects of noise superimposed on the ultrasonic propagation path. The signal-to-noise ratio can be improved.
さらに本発明によるアレイ型超音波検査装置は、複数の圧電振動素子を一列に備えたアレイ型超音波センサと、前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子との間で送信信号を送信するパルサと受信信号を送受するレシーバと、前記送信信号と受信信号に前記各圧電振動素子に遅延時間を可変して時間制御を行う遅延制御回路と、アレイ型超音波センサの送・受信素子を切替える切替制御回路と、前記アレイ型超音波センサで超音波を送・受信した反射波形あるいは反射強度に遅延時間を与えて加算する加算回路と、前記アレイ型超音波センサを走査する走査手段及びこれを制御する走査制御回路と、送・受信素子を切替えて収録した複数の反射波形あるいは反射強度を加算あるいは平均化処理して検査画像を生成するあるいは複数の検査画像を加算あるいは平均化処理して検査画像を生成するコンピュータと、生成した検査画像を表示する表示部を備えることで、高ＳＮ比で検査できる。さらに、送・受信素子を複数回切替えるために前記コンピュータの記憶装置に素子組合せテーブルを備えることで簡便に素子切替の設定ができる。また、表示部に通常の検査モードと加算あるいは平均処理モードとを切替える動作モード切替手段を有することで、従来の方法での検査と本発明の検査のどちらも実施可能な装置を提供できる。 Furthermore, an array type ultrasonic inspection apparatus according to the present invention includes a pulser that transmits a transmission signal between an array type ultrasonic sensor having a plurality of piezoelectric vibration elements in a row and each piezoelectric vibration element of the array type ultrasonic sensor. A receiver for transmitting and receiving received signals, a delay control circuit for performing time control by varying a delay time for each of the piezoelectric vibration elements for the transmitted and received signals, and switching for switching between transmitting and receiving elements of the array type ultrasonic sensor A control circuit, an addition circuit for adding a delay time to the reflected waveform or reflection intensity of the ultrasonic wave transmitted / received by the array type ultrasonic sensor, and a scanning means for scanning the array type ultrasonic sensor and controlling the same To generate a test image by adding or averaging a plurality of reflected waveforms or reflected intensities recorded by switching between the scanning control circuit and the transmission / reception element, or a plurality of inspection images By providing a computer for generating an inspection image addition or averaging processing to a display unit for displaying the inspection image generated can be examined with a high SN ratio. Furthermore, the element switching table can be easily set by providing an element combination table in the storage device of the computer in order to switch the transmission / reception element a plurality of times. In addition, by providing the display unit with an operation mode switching means for switching between the normal inspection mode and the addition or average processing mode, it is possible to provide an apparatus capable of performing both the inspection by the conventional method and the inspection of the present invention.
本発明は、超音波を用いた非破壊検査方法及びその装置に利用分野がある。 The present invention has a field of application to a nondestructive inspection method and apparatus using ultrasonic waves.
１００…検査対象、１０１…探傷部、１０１Ａ…圧電振動素子、１０１Ｂ…アレイ型超音波センサ、１０１Ｃ…走査手段、１０１Ｄ…アレイ型超音波センサの一部の圧電振動素子、１０１Ｅ…焦点、１０２…送・受信部、１０２Ａ…パルサ、１０２Ｂ…レシーバ、
１０２Ｃ…送信遅延回路、１０２Ｄ…送信切替回路、１０２Ｅ…送信増幅器、１０２Ｆ…受信切替回路、１０２Ｇ…受信増幅器、１０２Ｈ…アナログ−デジタル変換器、１０２Ｉ…遅延メモリ、１０３…制御部、１０３Ａ…走査制御回路、１０３Ｂ…切替制御回路、
１０３Ｃ…遅延制御回路、１０３Ｄ…加算回路、１０３Ｅ…制御・処理用コンピュータ、１０３Ｆ…記憶装置、１０４…表示部。
DESCRIPTION OF
DESCRIPTION OF
103C ... Delay control circuit, 103D ... Adder circuit, 103E ... Control / processing computer, 103F ... Storage device, 104 ... Display unit.
Claims (6)
前記アレイ型超音波センサの各圧電振動素子からの信号を合成して受信信号を得、
前記受信信号に基いて前記検査部位の検査画像を表示する超音波検査方法において、
同一の前記検査部位に、前記アレイ型超音波センサの前記超音波を送信する送信に用いる圧電振動素子と受信に用いる圧電振動素子の組合せを複数回切替えて、前記超音波の送受信を行うことで前記超音波の伝播経路を変えて複数回にわたって送受信して前記伝播経路の異なる複数の受信信号を得、
前記伝播経路の異なる受信信号から得られた波形情報又は強度情報又は画像を生成するのに必要な情報を加算処理あるいは平均化処理して情報処理し、
前記情報処理の結果に基いて前記検査部位の検査画像を表示することを特徴とする超音波検査方法。 Sending and receiving ultrasonic waves from an array-type ultrasonic sensor equipped with a plurality of piezoelectric vibration elements so as to focus on the inspection site within the inspection object,
By combining signals from each piezoelectric vibration element of the array type ultrasonic sensor to obtain a received signal,
In an ultrasonic inspection method for displaying an inspection image of the inspection site based on the received signal,
By switching the combination of the piezoelectric vibration element used for transmitting the ultrasonic waves of the array-type ultrasonic sensor and the piezoelectric vibration element used for reception to the same examination site a plurality of times, and transmitting and receiving the ultrasonic waves. Changing the propagation path of the ultrasonic wave to transmit and receive multiple times to obtain a plurality of received signals having different propagation paths;
Waveform information or intensity information obtained from different received signals of the propagation path or information necessary to generate an image is added or averaged to process information,
An ultrasonic inspection method, wherein an inspection image of the inspection region is displayed based on a result of the information processing.
前記検査部位を変え、各検査部位ごとに前記情報処理を行って前記各検査部位の前記検査画像を共通の表示画面に表示することを特徴とする超音波検査方法。 In claim 1,
An ultrasonic inspection method comprising: changing the inspection part, performing the information processing for each inspection part, and displaying the inspection image of each inspection part on a common display screen.
前記各検査部位の各検査画像を二次元空間にマッピングして表示することを特徴とする超音波検査方法。 The electronic scanning is applied to the array type ultrasonic sensor to change the focusing position of the ultrasonic wave in the array direction of the array type ultrasonic sensor, and the array type ultrasonic sensor is mechanically scanned. Changing the examination site by changing the focus position of the ultrasound in a direction different from the array direction;
An ultrasonic inspection method characterized by mapping and displaying each inspection image of each inspection region in a two-dimensional space.
前記圧電振動素子の内の一部の領域に含まれている複数個の圧電振動素子の内、超音波の送信に用いる前記圧電振動素子へ送信信号を送信する送信手段と、
前記一部の領域に含まれている複数個の各圧電振動素子の内、超音波の受信に用いる前記各圧電振動素子からの各信号を受信する受信手段と、
前記送信信号と前記各信号とに遅延時間を与える時間遅延手段と、
前記遅延時間を可変制御する遅延制御手段と、
前記送信に用いる圧電振動素子を切替える送信切替手段と、
前記受信に用いる圧電振動素子を切替える受信切替手段と、
前記送信及び受信切替手段による切替先を制御する切替制御手段と、
前記遅延時間を与えた前記各信号を合成して受信信号を生成する手段と、
前記一部の領域を前記圧電振動素子が並べられている方向に変更する電子的走査手段と、
前記アレイ型超音波センサを前記方向とは異なる方向へ機械的に移動させる機械的走査手段と、
前記走査手段を制御する走査制御手段と、
前記切替えのたびごとに同一の検査部位に超音波を送受信して得られた複数の伝播経路の異なる前記受信信号に含まれる波形情報又は強度情報又は画像を生成するに必要な情報を加算処理あるいは平均化処理して情報処理を行う演算処理手段と、
前記情報処理の結果に基いて検査部位の検査画像を表示する表示手段と、
を備えるアレイ型超音波検査装置。 An array-type ultrasonic sensor in which a plurality of piezoelectric vibration elements are arranged;
Among the plurality of piezoelectric vibrating elements included in a partial area of said piezoelectric vibrating element, a transmission unit for transmitting the transmission signal to the piezoelectric vibrating elements used for transmitting ultrasonic waves,
Receiving means for receiving each signal from each of the piezoelectric vibrating elements used for receiving ultrasonic waves among the plurality of piezoelectric vibrating elements included in the partial region;
Time delay means for giving a delay time to the transmission signal and the signals;
Delay control means for variably controlling the delay time;
Transmission switching means for switching the piezoelectric vibration element used for the transmission;
Reception switching means for switching the piezoelectric vibration element used for the reception;
Switching control means for controlling a switching destination by the transmission and reception switching means;
Means for synthesizing the signals given the delay time to generate a received signal;
Electronic scanning means for changing the partial area in a direction in which the piezoelectric vibration elements are arranged;
Mechanical scanning means for mechanically moving the array-type ultrasonic sensor in a direction different from the direction;
Scanning control means for controlling the scanning means;
Each time the switching is performed, the waveform information or the intensity information included in the reception signals having different propagation paths obtained by transmitting / receiving ultrasonic waves to the same examination site or information necessary for generating an image is added or Arithmetic processing means for performing information processing by averaging processing;
Display means for displaying an examination image of an examination site based on the result of the information processing;
An array type ultrasonic inspection apparatus comprising:
前記同一の検査部位への超音波の送受信に際して前記送信に用いる圧電振動素子及び受信に用いる圧電振動素子の組合せを複数例記憶させた記憶装置と、
前記記憶装置から読み込んだ組合せ例に基づいて送信に用いる圧電振動素子と受信に用いる圧電振動素子への切替え指令を前記切替制御回路へ送出する手段と、
を備えることを特徴とするアレイ型超音波検査装置。 The calculation processing means according to claim 5 ,
A storage device that stores a plurality of examples of combinations of piezoelectric vibration elements used for transmission and piezoelectric vibration elements used for reception when transmitting and receiving ultrasonic waves to and from the same examination site;
Means for sending a switching instruction to the piezoelectric vibration element used for transmission and the piezoelectric vibration element used for reception based on the combination example read from the storage device to the switching control circuit;
An array-type ultrasonic inspection apparatus comprising:
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