JP4638682B2 - 水晶振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
図2〜図4は試料用水晶振動子として、量産品におけるデータを用いてプロットしたものである。図2は、エッチング後の脚幅W’と周波数fとの関係をプロットしたグラフである。エッチング後の脚幅W’と周波数fにはほぼ直線で近似できる相関関係が見られる。図3は脚幅のエッチングによる減少量dと周波数fとの関係をプロットしたグラフである。エッチング前の金属膜パターン上の脚幅は一定でないにもかかわらず、脚幅のエッチングによる減少量dと周波数fにはほぼ直線で近似できる相関関係が見られる。これは、脚幅のエッチングによる減少量dが凸部の大きさを反映しており、dが大きくなると凸部が小さくなるため、周波数が減少することによると考えられる。図4はエッチング時間tと脚幅のエッチングによる減少量dとの関係をプロットしたグラフである。エッチング時間tと脚幅のエッチングによる減少量dにはほぼ直線で近似できる相関関係が見られる。
例えば、図1(b)、(c)((a)、(b))ともに周波数f1の振動脚に製造しようとすると、従来は両方の水晶ウエハとも振動脚の幅がWになるまでエッチングしていたが、本実施形態の製造方法によれば、上記の式(6)のW0にW20、W10を代入し、fにf1を代入して算出したエッチング時間はそれぞれ時間が異なり、図1(d)、図1(e)に示す如く、最終的に残存する凸部3を考慮したエッチング時間となるため、幅W20の金属膜1に対応する部分は、設計値の幅Wよりも長い幅W20’となり、幅10の金属膜1に対応する部分は、設計値の幅Wよりも短い幅W10’となることを表している。そして最終的に製造された振動脚の幅は異なるものの、その周波数はどちらも所望の周波数f1に近いものとすることができた。
この図1は本発明の概念を表すものであって、あくまでも一例を示したにすぎないが、このように所望の周波数と所定部位の金属膜の幅(振動脚に対応する金属膜1の幅)に基づき、適切なエッチング時間を導き出せるので、水晶振動子の製造歩留まりを向上させることができる。
形成される工程(f)の後で、かつ水晶ウエハのエッチングを行う工程(q)の前であれば、どこで行っても良い。
3 凸部
5 基部
7 振動脚
9 脚幅
11 脚長
Claims (2)
- 所定の周波数で振動する振動脚を有する水晶振動子の製造方法において、
水晶ウエハの両面に前記水晶振動子の外形に応じた形状の金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記振動脚の脚幅に応じた箇所の前記金属膜の寸法を測定する測定工程と、
予め試料用水晶振動子に基づいて求めた振動脚の脚幅と周波数との第一の相関関係と、エッチングによる脚幅の減少量と周波数との第二の相関関係と、エッチング時間と脚幅の減少量との第三の相関関係とを用いて、前記測定工程で測定した寸法と前記所定の周波数とからエッチング時間を求める算出工程と、
前記金属膜をマスクとして、前記算出工程で求めたエッチング時間、前記水晶ウエハをエッチングするエッチング工程と、を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 前記振動脚の短辺方向は前記水晶ウエハのX軸と一致することを特徴とする請求項1に記載の水晶振動子の製造方法。
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