JP4638249B2 - マイクロバルブの流量調節方法 - Google Patents
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Description
2 バルブ室
21 下壁
22 上壁
23 バルブ室用の貫通孔a
24 バルブ室用の貫通孔b
3、31、32、33 弁体
4、41、42、43 流体注入排出用の第2の開口部
5 流体注入排出用の第1の開口部
51、52、53 流体注入排出用の貫通孔
6 ピエゾ素子
61、62、63 ピエゾ素子設置用穴
7 第1の板状基板
8 第1のスペーサー
9 第2のスペーサー
10 第2の板状基板
11 第3の板状基板
12 圧力伝達部材
13 圧力伝達部材の一端部
14 圧力伝達部材の他端部
Claims (4)
- 流体注入排出用の第1の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第2の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第2の開口部を覆うように収納され、かつ、弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされているマイクロバルブであって、
第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれ、該貫通孔a内に少なくとも1端部が遊端である板状の弁体が固定されている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれている第2のスペーサー及び流体注入排水用の第2の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、弁体、貫通孔b及び流体注入排水用の第2の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第1のスペーサー又は第2のスペーサーの少なくとも1枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔a及び/又はbから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第1の板状基板に、弁体、貫通孔b及び流体注入排出用の第2の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより弁体を第2の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第2の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 - 流体注入排出用の第1の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第2の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第2の開口部を覆うように収納され、かつ、弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされているマイクロバルブであって、
第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれ、該貫通孔a内に1端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれている第2のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入排出用の第2の開口部及び流体注入排出用の第1の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、各弁体、貫通孔b及び各流体注入排出用の第2の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第1の板状基板に、各弁体及び各流体注入排出用の第2の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより各弁体を第2の板状基板方向に押圧し、各流体注入排出用の第2の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 - 流体注入排出用の第1の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第2の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第2の開口部を覆うように収納され、かつ、弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされているマイクロバルブであって、
第1の板状基板、バルブ室用の貫通孔aが打抜かれ、該貫通孔a内に1端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第1のスペーサー、バルブ室用の貫通孔bが打抜かれている第2のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入排水用の第2の開口部が打抜かれている第2の板状基板が、各弁体、貫通孔b及び各流体注入排水用の第2の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第1のスペーサー又は第2のスペーサーの少なくとも1枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔a及び/又はbから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第1の板状基板に、弁体、貫通孔b及び流体注入排出用の第2の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第1の板状基板を押圧することにより弁体を第2の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第2の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 - 第1のスペーサーは、板状の弁体を残してバルブ室用の貫通孔aが打抜かれていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
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