JP4635685B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
このシリコンウェハーを分割する方法としては、伸張性を有するシート部材(ダイシングテープ)をシリコンウェハーの表面に貼着し、このシート部材をシリコンウェハーの面方向に放射状に伸張させることでブレイクパターンで切断させる所謂エキスパンドブレイクという方法がある(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、製造上のトラブル等により、この流路形成基板にシリコンウェハー上の配置に起因する不具合等が発生した場合、その不具合が生じた配置の流路形成基板で構成された記録ヘッドだけを識別して取り除こうとしても、一度記録ヘッドを分解しないとポジションナンバーを確認できないため、記録ヘッド完成品では識別できないという問題があった。
前記流路形成基板は、基材を当該基材表面の形成された複数のブレイクパターンからなる切断予定線に沿って分割することにより得られ、
前記流路形成基板の側面には、前記ブレイクパターンの破断面が複数形成され、
これら破断面の中の少なくとも一部の形状は、分割して得られた流路形成基板ごとに異なることを特徴とする液体噴射ヘッドである。
また、前記交点よりも外側のブレイクパターンにおける脆弱部の切断予定線方向の幅を、前記交点よりも中心側のブレイクパターンにおける脆弱部の幅よりも短くすることが望ましい。
前記ヘッドカバーには、前記流路形成基板の側面に対応する位置に、前記ブレイクパターンの破断面を露出可能な露出窓部を設けることが望ましい。
本実施形態においては、ブレイクパターンの周囲を、シリコンウェハー35の厚さ方向の途中までエッチング(所謂ハーフエッチング)することで、他の部分よりも薄い薄肉部40を設けている。そして、切断予定線L1において隣り合う貫通孔39同士を隔てる部分が脆弱部41となり、この脆弱部41と貫通孔39とを交互に複数配置してブレイクパターンが構成されている。このブレイクパターンにおける貫通孔39は、第1の(111)面46を長辺とし、該第1の(111)面46に交差すると共に(110)面に直交する第2の(111)面47を短辺とした、細長い平行四辺形状に形成されている。上記第2の(111)面47は、第1の(111)面46に対して(110)面(表面37)上で約70°の角度で交差する。なお、この貫通孔39の形状は一例であって、例示したものには限定されない。
シリコンウェハー35を分割する方法としては、伸張性を有するシート部材(ダイシングテープ)を分割前のシリコンウェハー35の表面37に貼着し、このシート部材をシリコンウェハー35の面方向に放射状に伸張させることでブレイクパターンを破断させる所謂エキスパンドブレイクが採用されている。
また、流路形成基板24の基材としては、シリコンウェハー35に限らず、他の基材を用いることも可能である。
Claims (1)
- 圧力発生素子を有するアクチュエータユニットと、
弾性板、液体流路が形成された流路形成基板及びノズルプレートを、前記弾性板が前記アクチュエータユニット側となるように積層し一体化した流路ユニットと、
前記流路ユニットに取り付けられたヘッドカバーとを備え、
前記流路形成基板は、複数に区画された各領域に前記液体流路となる部分が形成された基材を前記基材表面のブレイクパターンに沿って前記各領域毎に分割したものを前記流路形成基板として用いた液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記流路形成基板を、その側面に前記ブレイクパターンの破断面が複数形成され、前記破断面の中の少なくとも一部の形状は前記流路形成基板ごとに異なり、前記形状に基づいて分割前の前記基材における配置を識別できるように、前記基材から分割した後に、
前記弾性板、前記流路形成基板及び前記ノズルプレートを、前記弾性板が前記アクチュエータユニット側となるように積層し一体化して前記流路ユニットを作製し、
前記ヘッドカバーを、前記流路ユニットの前記ノズルプレートのノズル開口と、前記流路形成基板の前記分割前の前記基材における配置を識別する形状の前記破断面と、が露出するように前記流路ユニットに対して取り付けることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
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JPH10202877A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-04 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド |
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