JP4634057B2 - 光キャビティ - Google Patents
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Description
固定ミラー(43)と、
前記固定ミラーに平行に対向する可動ミラー(22)と、
前記固定ミラーと可動ミラーとの間に入射した光のうち、前記固定ミラーと可動ミラーの距離で決まる波長の光を選択的に出射させるため、前記可動ミラーを移動して前記固定ミラーとの距離を変化させる平行移動手段(20)とを有する光キャビティにおいて、
前記固定ミラーは、前記平行移動手段とは分離して配置され、
前記平行移動手段は、
共有結合結晶体基板により、固定部(21)と、該固定部から離間した位置に配置され且つその一部が前記可動ミラーを形成する可動部(22)と、前記固定部と前記可動部の間を連結する同一長で平行な複数の支持部(23、24)とが同一平面上に一体形成され、
前記各支持部の両端と前記固定部および可動部との間が、前記平面に沿った方向に弾性変形可能な弾性変形部(25)を介して連結され、
駆動手段(30)により、前記可動部または前記支持部に対して前記平面に沿った力を付与することで前記可動部を前記固定部に対して平行移動させることによって、前記固定ミラーと可動ミラーの距離を変化させ、
前記固定ミラーと可動ミラーとの間に光を入射する複数の入射部(42)をさらに備え、
前記複数の入射部の一つは、その波長が既知である基準光を前記固定ミラーと可動ミラーとの間に入射する基準光入射部であり、
前記固定ミラーは、前記複数の入射部にそれぞれ対応して複数設けられ、且つ、これらの複数の固定ミラーは前記可動ミラーからそれぞれ異なる距離の位置に固定されていて、それぞれの波長掃引範囲が異なるようにしたことを特徴とする。
前記固定ミラーと可動ミラーの対向面が前記複数の支持部の並び方向に沿うように、前記固定ミラーと可動ミラーが配置されていることを特徴とする。
前記固定ミラーと可動ミラーの対向面が前記複数の支持部の並び方向と交差するように、前記固定ミラーと可動ミラーが配置されていることを特徴とする。
前記可動部は、前記複数の支持部の並び方向の両端部から前記固定部側へ突出した突出部(22c、22d)を有し、前記複数の支持部の並び方向と交差する端面側に前記可動ミラーが形成され、
前記駆動手段は、前記可動部の両突出部とその近傍に配置された電極(31、32)との間に発生させた静電力により前記可動部を平行移動させることを特徴とする。
前記可動部は、前記固定部と反対方向に突出した突出部(22e)を有し、前記突出部の前記複数の支持部の並び方向と交差する側面に前記可動ミラーが形成され、
前記駆動手段は、前記可動部の前記複数の支持部の並び方向の両端部とその近傍に配置された電極(31、32)との間に発生させた静電力により前記可動部を平行移動させることを特徴とする。
前記電極は、同一の電圧を交互に出力することを特徴とする。
図1は、光に対して反射、吸収または偏光等の作用を有する光学部材を移動させて光学特性を変化させる各種光学装置、例えば光フィルタや光路切替器等の光学装置に用いることができる本発明の実施形態の平行移動装置20の基本構成を示している。
図7は、上記平行移動装置20により共振波長を変化させる光キャビティ40の構成例を示している。
Claims (6)
- 固定ミラー(43)と、
前記固定ミラーに平行に対向する可動ミラー(22)と、
前記固定ミラーと可動ミラーとの間に入射した光のうち、前記固定ミラーと可動ミラーの距離で決まる波長の光を選択的に出射させるため、前記可動ミラーを移動して前記固定ミラーとの距離を変化させる平行移動手段(20)とを有する光キャビティにおいて、
前記固定ミラーは、前記平行移動手段とは分離して配置され、
前記平行移動手段は、
共有結合結晶体基板により、固定部(21)と、該固定部から離間した位置に配置され且つその一部が前記可動ミラーを形成する可動部(22)と、前記固定部と前記可動部の間を連結する同一長で平行な複数の支持部(23、24)とが同一平面上に一体形成され、
前記各支持部の両端と前記固定部および可動部との間が、前記平面に沿った方向に弾性変形可能な弾性変形部(25)を介して連結され、
駆動手段(30)により、前記可動部または前記支持部に対して前記平面に沿った力を付与することで前記可動部を前記固定部に対して平行移動させることによって、前記固定ミラーと可動ミラーの距離を変化させ、
前記固定ミラーと可動ミラーとの間に光を入射する複数の入射部(42)をさらに備え、
前記複数の入射部の一つは、その波長が既知である基準光を前記固定ミラーと可動ミラーとの間に入射する基準光入射部であり、
前記固定ミラーは、前記複数の入射部にそれぞれ対応して複数設けられ、且つ、これらの複数の固定ミラーは前記可動ミラーからそれぞれ異なる距離の位置に固定されていて、それぞれの波長掃引範囲が異なるようにしたことを特徴とする光キャビティ。 - 前記固定ミラーと可動ミラーの対向面が前記複数の支持部の並び方向に沿うように、前記固定ミラーと可動ミラーが配置されていることを特徴とする請求項1記載の光キャビティ。
- 前記固定ミラーと可動ミラーの対向面が前記複数の支持部の並び方向と交差するように、前記固定ミラーと可動ミラーが配置されていることを特徴とする請求項1記載の光キャビティ。
- 前記可動部は、前記複数の支持部の並び方向の両端部から前記固定部側へ突出した突出部(22c、22d)を有し、前記複数の支持部の並び方向と交差する端面側に前記可動ミラーが形成され、
前記駆動手段は、前記可動部の両突出部とその近傍に配置された電極(31、32)との間に発生させた静電力により前記可動部を平行移動させることを特徴とする請求項3記載の光キャビティ。 - 前記可動部は、前記固定部と反対方向に突出した突出部(22e)を有し、前記突出部の前記複数の支持部の並び方向と交差する側面に前記可動ミラーが形成され、
前記駆動手段は、前記可動部の前記複数の支持部の並び方向の両端部とその近傍に配置された電極(31、32)との間に発生させた静電力により前記可動部を平行移動させることを特徴とする請求項3記載の光キャビティ。 - 前記電極は、同一の電圧を交互に出力することを特徴とする請求項4または請求項5記載の光キャビティ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004076130A JP4634057B2 (ja) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | 光キャビティ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004076130A JP4634057B2 (ja) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | 光キャビティ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005262357A JP2005262357A (ja) | 2005-09-29 |
JP4634057B2 true JP4634057B2 (ja) | 2011-02-16 |
Family
ID=35087425
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004076130A Expired - Fee Related JP4634057B2 (ja) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | 光キャビティ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4634057B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107249090A (zh) * | 2017-05-31 | 2017-10-13 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 电子设备的摄像头组件及电子设备 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8411340B2 (en) * | 2009-04-17 | 2013-04-02 | Si-Ware Systems | Ultra-wide angle MEMS scanner architecture |
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-
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Also Published As
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JP2005262357A (ja) | 2005-09-29 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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