JP4631368B2 - リニアモータ駆動装置 - Google Patents
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Description
この「リニアモータ装置」は、図6に示すように、固定子101の予め設定された所定位置に発光部104を配設し、また可動子102には前記発光部104からの光を受光する受光部103を設け、可動子102を前記固定子101の所定の位置に位置付けたとき、前記受光部103によって前記発光部104からの光が受光したか否かを判定する。なお、ここでは、固定子101の複数箇所において、光ファイバ105からなる発光部104がそれぞれ設けられており、これらの光ファイバ105には光源106から一括して、或いは選択的に光が導入される。
一方、可動子102に設けられる受光部103は、矩形状をなす可動子102の対角線方向に離間して設けられた一対の受光素子、例えばフォトトランジスタからなる。具体的にはこれらの一対の受光素子は、可動子102の相対向する隅部にそれぞれ設けられ、その受光面を固定子101に対峙させている。また、これらの各受光素子の受光領域の大きさ、つまり視野は前記発光部104の大きさに合わせて設定されており、前記発光部104と対向したときのみ該発光部104からの光を受光するものとなっている。
かくして、上述した如く構成されたリニアモータ装置によれば、固定子101上で可動子102を移動させ、その移動位置を制御するに際して、例えば予めプログラム設定される移動経路の途中に前述した発光部104を設置した所定位置を組み込んでおき、可動子102が前記所定位置に位置付けられたときに前記発光部104からの光が受光部103にて受光されるか否かを調べることで、可動子102の脱調を簡単に検出することができる。しかも可動子102の対角線方向に離間して、その離間距離を最大化して設けられた一対の受光素子にて、発光部104からの光をそれぞれ検出するので、可動子102の僅かな姿勢変化についても確実に検出することができ、その検出精度を高めることができる。しかもX,Y方向へのずれを一括して共通に検出することができる。
制御回路は、エンコーダからのフィードバック信号であるパルス数と前記指令信号としてのパルス数(パルス発生器から発生するパルス数)とが一致しているかどうかを判定する(ステップ202)。両者のパルス数が一致しているときは、装置に異常がなく正常に作動しているものとして、ステップ201に戻る。両者のパルス信号のパルス数が一致していないときは、前記指令信号としてのパルス数とエンコーダからのフィードバック信号としてのパルス数との差が予め設定した規定量の範囲内かどうか判定する(ステップ203)。
前記パルス数の差が、予め設定した規定量の範囲内のものであるときは、ステップ201に戻る。しかし、前記パルス数が予め設定した規定量の範囲を超えているときは、制御回路は、何らかの異常が発生したもの、すなわち脱調とみなして装置を停止させる。
また、特許文献2に示すボンディング装置の脱調検出法では、位置検出器からのフィードバック信号と制御回路からの指令信号とを計数手段により計数して比較し、この比較した信号量が予め設定した規定量を超えた場合に脱調検出する手段をとっているので、脱調検出用のエンコーダ設置にコストがかかるという問題があった。
また、脱調検出用のセンサを必要とせず、可動子を駆動している固定子数を判別し、可動子を駆動している固定子数と位置生成部で生成された位置より可動子の脱調を検出することが可能な、半導体製造装置等に使用されるロングストローク・タイプの可動磁石型リニアモータ等の脱調検出装置を構成できる。
図において、1は固定子数判別部3において判別された可動子を駆動している固定子数17と位置生成部5で生成された位置18を用いて、リニアモータ16の脱調を検出する脱調検出部であり、リニアモータ16が脱調している場合は脱調アラーム2を出力する。2は脱調アラームであり、この脱調アラームによりリニアモータ16を停止するなどの処理が行われ、脱調によるリニアモータの故障などを防ぐ。3は固定子数判別部で、(1)式を用いて可動子を駆動している固定子のコイル数を判別する。(1)式中、ωは速度指令4、Iは電流指令生成部6で生成された励磁電流指令(Id_refA)7およびトルク電流指令(Iq_ref)8、Vは、励磁電圧指令(Vd_ref)10、トルク電圧指令(Vq_ref)11を用いて、(2)式で演算される電圧指令である。
但し、
N:可動子を駆動している固定子のコイル数
I:電流指令
R*I:抵抗による電圧降下
ωL:インダクタンスによる電圧降下
V:電圧指令
φω:誘起電圧
ω:速度指令 である。
図5は図4に示すリニアモータ駆動システムにおける巻線切替装置を示す図である。
はじめにステップ19(以下、S19と略す)で励磁電圧指令(Vd_ref)10とトルク電圧指令(Vq_ref)11とを用いて(2)式により演算される電圧指令Vを取り込み(S19)、次に、VおよびV2を算出し(S20)、誘起電圧φωおよび誘起電圧の二乗(φω) 2 を算出する(S21)。続いて、(1)式の分母であるV2 −2×V×φω+(φω) 2 を演算し(S22)、抵抗分の電圧RIおよび抵抗分の電圧の二乗(RI) 2 を算出し(S23)、次に、リアクタンス分の電圧ωLIおよびリアクタンス分の電圧の二乗(ωLI) 2 を算出し(S24)、(1)式を用いて固定子のコイル数の二乗N 2 を算出し(S25)、ステップ25の結果より固定子数判別基準を用いて固定子数判別処理して(S26)、可動子を駆動している固定子数17を出力する。
この固定子数判別処理は、上記のように(1)式および(2)式を用いて固定子のコイル数の二乗N 2 を算出し、この固定子のコイル数の二乗N 2 に基づいて固定子数を求めるもので、各コイル34は夫々の巻線切替装置35とモジュール化されて、リレー式に駆動されている。
はじめに、固定子数判別部3の判別結果である固定子数17が0個か0個以外かを判別する(S27)。固定子数17が0個の場合、位置生成部5の出力である位置18が可動子を駆動している固定子数が1以上であるかを判別する(S28)。判別結果が可動子を駆動している固定子数が1以上であれば、脱調アラーム2を出力し(S30)、可動子を駆動している固定子数が0であれば、脱調アラーム2は出力しない(S31)。
また、S27の判別結果で、固定子数が1個以上の場合、位置生成部5の出力である位置18が可動子を駆動している固定子数が1以上であるかを判別する(S29)。判別結果が可動子を駆動している固定子数が1以上であれば、脱調アラーム2を出力しない(S32)。可動子を駆動している固定子数が0であれば、脱調アラーム2を出力する(S33)。
このように、速度指令と、電流指令と電圧指令とモータ定数を用いて、可動子31を駆動している固定子32の数を判別し、固定子数17の判別結果と位置生成部5より生成された位置18を用いてリニアモータの脱調を検出するという手順をとるので、脱調検出用のセンサを必要とせず、通電している固定子数を判別し、通電している固定子数と位置生成部5で生成された位置18より可動子31の脱調を検出することができる。
つまり、ここでは固定子判別部3による固定子数17と、位置生成部5で求めた位置18により脱調を検出するが、固定子判別部3で(1)式によって求める固定子のコイル数は実測値(Fb)に相当し、位置18は、いわば、エンコーダ等のFb値を使用せずに、速度指令ωを直接位置生成部5において積分演算等により求める位置の指令値に相当するものであって、固定子判別部3で求めた実際の固定子数を、位置指令値18の固定子数で判定して、脱調を検出している。
従って、従来例として挙げた特許文献1では、脱調検出用に多数の発光部と受光部を設けて実測値を基に脱調を検出していたものが、本発明では、(1)式による演算のみで、実際の固定子数を求め位置(指令値)18との比較によって簡単に脱調検出が可能となった。
このように特許文献1は平面ステップモータ型のリニアモータの例で、本発明で対象としたリニアモータとは形式が異なるものの、本発明によって、特許文献1で必要とした脱調検出用センサーと、センサー処理を必要としない、半導体製造装置などに使用されるロングストローク・タイプのムービング・マグネット(可動磁石)型リニアモータに好適な、省スペース、低コストで精度の高い脱調検出方法・脱調検出装置が構成できた。
2 脱調アラーム
3 固定子数判別部
4 速度指令
5 位置生成部
6 電流指令生成部
7 励磁電流指令
8 トルク電流指令
9 電流制御部
10 励磁電圧指令
11 トルク電圧指令
12 二相三相変換部
13 PWM制御部
14 電圧出力部
15 電流検出手段
16 リニアモータ
17 固定子数
18 位置
30 電流制御装置
31 可動子
32 固定子
33 センサー
34 巻線群
35 巻線切替装置
36 永久磁石
37 三相整流手段
38 半導体スイッチ
39 抵抗
40 コンデンサ
Claims (1)
- 永久磁石により構成される磁気装荷手段を備えた可動子と、複相巻線である電気装荷手段を備えると共に空隙を介して前記可動子と対向する複数の固定子と、前記可動子と前記固定子とが対向していることを検出するセンサと、を有するリニアモータと、
上位装置からの速度指令に基づいて励磁およびトルク電流指令を生成する電流指令生成部と、前記リニアモータへの出力電流を検出して電流検出値を出力する電流検出手段と、前記電流検出値と前記励磁およびトルク電流指令とが一致するように励磁およびトルク電圧指令を生成する電流制御部と、前記速度指令に基づいて位置を生成する位置生成部と、前記励磁およびトルク電圧指令と前記位置とに基づいて出力電圧を出力する電圧出力部と、を有する電流制御装置と、を備え、
前記電流制御装置が、前記速度指令および前記センサの検出信号に基づいて、前記固定子の前記複相巻線に前記出力電流を順に出力して前記可動子を移動させるリニアモータ駆動装置において、
前記速度指令、前記励磁およびトルク電流指令、前記励磁およびトルク電圧指令、抵抗値およびインダクタンス値であるモータ定数に基づいて通電している前記固定子のコイル数の二乗を演算し、前記固定子のコイル数の二乗に基づいて通電している前記固定子の個数を判別する固定子数判別部と、
前記固定子の個数および前記位置に基づいて前記可動子が脱調しているか否かを検出する脱調検出部と、を備えたことを特徴とするリニアモータ駆動装置。
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