JP4631347B2 - 部分soi基板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
通常、SOI厚が均一のSOI基板にSOIトランジスタを作製しているが、このSOIトランジスタを、バイポーラトランジスタと同一の基板上に形成すれば、多種多様のLSIが作製可能となる。このようなLSIを得るには、まず部分的にSOI構造を有した半導体基板、いわゆる部分SOI基板を作製する必要がある。
また、特許文献2では、貼り合わせ側の面に部分的にシリコン酸化膜202が形成された活性層用ウェーハ200と、支持基板用ウェーハ201とを貼り合わせる。このとき、両ウェーハ200,201の貼り合わせ界面では、シリコン酸化膜202の部分と活性層用ウェーハ200のシリコンの部分との境界に段差が発生し、パターン状のボイドが生じ易かった。
また、この発明は、活性層の表面において、活性層とバルク層とが連続した部分と他の部分との段差を低減させることができる部分SOI基板およびその製造方法を提供することを目的としている。
さらに、この発明は、活性層の表面の平坦性を高めることができる部分SOI基板およびその製造方法を提供することを目的としている。
部分SOI基板の種類は限定されない。例えば(1) 支持基板用ウェーハに埋め込み酸化膜を介して貼り合わせた活性層用ウェーハを減厚して活性層とした貼り合わせ方式の部分SOIウェーハ、(2) この活性層の薄膜化に選択エッチングを採用したELTRAN方式の部分SOIウェーハ、(3) 活性層の薄膜化に水素イオン剥離を採用したスマートカット方式の部分SOIウェーハ、(4) 活性層の薄膜化に局所プラズマエッチングを採用したPACE方式の部分SOIウェーハ、および、(5) 活性層とバルク層との間に、イオン注入および熱処理により埋め込み酸化膜を形成したSIMOX方式の部分ウェーハなどを採用することができる。
活性層および支持基板用ウェーハの素材としては、単結晶シリコンを採用することができる。
埋め込み酸化膜(埋め込み絶縁膜)としては、例えばシリコン酸化膜、窒化シリコンなどを採用することができる。埋め込み酸化膜の厚さは、例えば0.01〜2.0μmである。
窓部の形成方法としては、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、保護膜を部分的に溶失させる方法を採用することができる。エッチング液は、保護膜の素材に応じて適宜変更される。
不活性ガスとしては、例えばヘリウム(He)ガス、ネオン(Ne)ガス、アルゴン(Ar)ガス、クリプトン(Kr)ガス、キセノン(Xe)ガス、ラドン(Rn)ガスが挙げられる。還元ガスとしては、例えば水素ガスを採用することができる。
アニール時間は1〜5時間である。雰囲気ガスには水素ガスやアルゴンガスを採用することができる。
保護膜を除去する方法は、保護膜の素材に応じて適宜選択される。例えば、保護膜がシリコン酸化膜の場合には、HF溶液などを採用することができる。
高温アニールの前または高温アニールの後において、窓部を通して露出した活性層の表面の一部にシリコンをエピタキシャル成長する。これにより、埋め込み酸化膜の一部の消滅を原因とした活性層の表面の段差を低減することができる。段差は酸化膜がSiに変化する場合に発生し、酸化膜が消滅した部分がへこむことにより起きる。
ここでのシリコンのエピタキシャル成長は、あくまでも活性層の表面の段差を低減させるためのものである。したがって、従来のように活性層とバルク層とを連続させる部分にシリコンを被着させなければ、部分SOI構造が成り立たないというものではない。
キャリアガスとしては、例えば水素ガス、不活性ガスなどを採用することができる。
エピタキシャル成長装置の反応炉の加熱手段としては、例えばハロゲンランプ、赤外線ランプなどを採用することができる。
エピタキシャル成長装置としては、半導体ウェーハを1枚ずつエピタキシャル成長処理する枚葉式でもよい。また、複数のウェーハを一度に処理するバッチ式のエピタキシャル成長装置でもよい。
高温アニールの前または高温アニールの後において、窓部を通して露出した活性層の表面の一部にシリコンをエピタキシャル成長する。これにより、埋め込み酸化膜の一部の消滅を原因とした活性層の表面の段差を低減することができる。
アニール時間は0.5〜2時間である。雰囲気ガスには、水素ガスやアルゴンガスなどが挙げられる。
このシリコンウェーハの表面から、中電流イオン注入装置を使用し、180keVの加速電圧で酸素イオンを注入する。このときのドーズ量は、4×1017atoms/cm2 である。
それから、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、SIMOX基板10の活性層11側のシリコン酸化膜14に、所定ピッチで多数の窓部14aを形成する(図1(c))。具体的には、まず活性層11側のシリコン酸化膜14にレジストを塗布する。それから、露光、現像することで、レジストに所定ピッチで多数の開口部を形成する。次いで、所定濃度のHF溶液(室温)により、各開口部を介して多数の窓部14aを形成する。その後、レジストを除去する。
次に、部分SOI構造を有するSIMOX基板10を、HF5重量%のHF洗浄液(室温)に10分間浸漬し、シリコン酸化膜14を除去する(図1(e))。
また、高温アニール後、窓部14aを通して露出した活性層11の表面の一部にシリコンをエピタキシャル成長するので、埋め込み酸化膜13の一部の消滅を原因とした活性層11の表面の段差を低減することができる。
図2に示すように、第2の実施例では、高温アニール(図2(a))後、シリコン酸化膜14を除去することなく、活性層11の各窓部14aから露出したへこみ部分を埋めるエピタキシャル成長を施す(図2(b))。この際のシリコン15の膜厚は0.2μmである。これにより、へこみが解消される。次いで、HF洗浄してシリコン酸化膜14を除去し(図2(c))、その後、再度、部分SOI基板20を水素ガスの雰囲気で高温アニールし、活性層11の表面を平坦化処理する(図2(d))。これにより、活性層11の表面の平坦性を高めることができる。2回目の高温アニールの条件は、加熱温度1150℃、加熱時間1時間である。
また、この2回目の高温アニールに代えて、活性層11の表面を研磨してもよい。具体的には、図示しない枚葉式の研磨装置の研磨ヘッドの下面に活性層11側を下方に向けて部分SOI基板20を保持する。次いで、活性層11側の面を研磨定盤の上面に展張された研磨布に押し付け、表面研磨する。研磨布には、ロデール社製の軟質不織布パッド、Suba600(Asker硬度80°)を用いる。研磨中、所定量のコロイダルシリカが研磨布上に供給される。
また、シリコン酸化膜14の除去後、再度、部分SOI基板20を水素ガスの雰囲気で高温アニールし、活性層11の表面を平坦化するようにしたので、活性層11の表面の平坦性を高めることができる。
その他の構成、作用、効果は、第1の実施例と略同じであるので、説明を省略する。
図3に示すように、第3の実施例では、まずSIMOX基板10を用意し(図3(a))、SIMOX基板10にシリコン酸化膜14を形成する(図3(b))。それから、SIMOX基板10の活性層11側のシリコン酸化膜14に、所定ピッチで多数の窓部14aを形成する(図3(c))。
次いで、SIMOX基板10の活性層11側の面にシリコン15をエピタキシャル成長させ、各窓部14aをシリコン15により埋める(図3(d))。シリコン15の厚さは、窓部14aの深さと略同じである。
その他の構成、作用、効果は第1の実施例と略同様であるので、説明を省略する。
11 活性層、
12 バルク層、
13 埋め込み酸化膜、
14 シリコン酸化膜(保護膜)、
14a 窓部、
15 シリコン、
20 部分SOI基板。
Claims (5)
- シリコン製の活性層とシリコン製のバルク層との間に埋め込み酸化膜が形成されたSOI基板の一部に、前記活性層とバルク層とが連続する部分SOI構造を有した部分SOI基板において、
前記埋め込み酸化膜の一部の領域を、不活性ガスまたは還元ガスの雰囲気で高温アニールし、この一部の領域の埋め込み酸化膜を消滅させた部分SOI基板。 - シリコン製の活性層とシリコン製のバルク層との間に埋め込み酸化膜が形成されたSOI基板の活性層側の面に保護膜を形成する保護膜形成工程と、
該保護膜を部分的に除去して活性層の一部を露出させる窓部を形成する窓部形成工程と、
該窓部の形成後、不活性ガスまたは還元ガスの雰囲気でSOI基板を高温アニールし、前記窓部を通して、前記埋め込み酸化膜の一部を消滅させ、前記活性層とバルク層とが部分的に連続した部分SOI構造を形成させる高温アニール工程と、
前記SOI基板の活性層側の面から保護膜を除去する保護膜除去工程とを備えた部分SOI基板の製造方法。 - 前記高温アニール工程後、前記窓部を通して露出した活性層の表面の一部にシリコンを被着させ、前記埋め込み酸化膜の一部の消滅を原因とした活性層の表面の段差を低減する請求項2に記載の部分SOI基板の製造方法。
- 前記高温アニール工程前、前記窓部を通して露出した活性層の表面の一部にシリコンを被着させ、前記埋め込み酸化膜の一部の消滅を原因とした活性層の表面の段差を低減する請求項2に記載の部分SOI基板の製造方法。
- 前記保護膜除去工程後、再度、前記部分SOI基板を不活性ガスまたは還元ガスの雰囲気で高温アニールし、前記活性層の表面を平坦化する請求項2〜請求項4のうち、何れか1項に記載の部分SOI基板の製造方法。
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