JP4628866B2 - Ultrasonic probe - Google Patents

Ultrasonic probe Download PDF

Info

Publication number
JP4628866B2
JP4628866B2 JP2005145604A JP2005145604A JP4628866B2 JP 4628866 B2 JP4628866 B2 JP 4628866B2 JP 2005145604 A JP2005145604 A JP 2005145604A JP 2005145604 A JP2005145604 A JP 2005145604A JP 4628866 B2 JP4628866 B2 JP 4628866B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
masking member
vibrator
ultrasonic probe
ultrasonic
wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2005145604A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006324889A (en
Inventor
規泰 小熊
雅博 貴治
裕己 戸田
頼信 村田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JTEKT Corp
Original Assignee
JTEKT Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JTEKT Corp filed Critical JTEKT Corp
Priority to JP2005145604A priority Critical patent/JP4628866B2/en
Publication of JP2006324889A publication Critical patent/JP2006324889A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4628866B2 publication Critical patent/JP4628866B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

本発明は、超音波探触子に関する。   The present invention relates to an ultrasonic probe.

従来、超音波探触子としては、特開２０００−１３１２９７号公報（特許文献１）に記載されている表面波測定用探触子がある。   Conventionally, as an ultrasonic probe, there is a probe for surface wave measurement described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-1312297 (Patent Document 1).

この表面波測定用探触子は、基台と、基台の断面円弧状凹部上に略等間隔に貼り付けられた三つの板状の振動子とを備える。   The surface wave measuring probe includes a base and three plate-like vibrators attached to the base in a circular arc-shaped concave section at substantially equal intervals.

この表面波測定用探触子は、上記三つの振動子のうちの一の振動子の超音波送受信面から被疲労度測定部材に向けて超音波を発振して、その発振された超音波を上記被疲労度測定部材の表層部（表面を含む）を伝播させた後、上記一の振動子以外の振動子で受信することにより、上記超音波が上記被疲労度測定部材を伝播するときの伝播速度を測定するようになっている。そして、この伝播速度に基づいて上記被疲労度測定部材の金属疲労の程度を測定するようになっている。   This surface wave measuring probe oscillates an ultrasonic wave from the ultrasonic wave transmitting / receiving surface of one of the three vibrators toward the member to be measured for fatigue, and the oscillated ultrasonic wave is After the surface layer portion (including the surface) of the fatigue measurement member is propagated, the ultrasonic wave is propagated through the fatigue measurement member by being received by a vibrator other than the one vibrator. The propagation speed is measured. And based on this propagation speed, the degree of metal fatigue of the above-mentioned fatigue degree measuring member is measured.

しかしながら、上記従来の表面波測定用探触子では、上記表層部を伝播した後上記一の振動子以外の振動子の方に向かう超音波が、上記一の振動子の縁（エッジ）から発振されて上記被疲労度測定部材の表面で反射した反射波と干渉して、上記超音波が上記被疲労度測定部材を伝播するときの伝播速度を正確に測定できないという問題がある。また、上記従来の超音波探触子は、所定の形状を有する複数の振動子を必要とし、振動子の形状および数が限定されるという問題がある。
特開２０００−１３１２９７号公報（第３図） However, in the above conventional surface wave measurement probe, ultrasonic waves that propagate toward the transducer other than the one transducer after propagating through the surface layer oscillate from the edge of the one transducer. Then, there is a problem that the propagation speed when the ultrasonic wave propagates through the fatigue level measuring member cannot be accurately measured due to interference with the reflected wave reflected on the surface of the fatigue level measuring member. Further, the conventional ultrasonic probe requires a plurality of transducers having a predetermined shape, and there is a problem that the shape and number of transducers are limited.
Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-131297 (FIG. 3)

そこで、本発明の課題は、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を正確に測定できると共に、振動子の形状の自由度を大きくできる超音波探触子を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe that can accurately measure the propagation speed of ultrasonic waves propagating through a member to be measured for fatigue, and can increase the degree of freedom of the shape of a vibrator.

上記課題を解決するため、この発明の超音波探触子は、
振動子と、
上記振動子からの音波を遮断する本体部に、上記振動子からの音波が通過する少なくとも一つの穴を設けてなるマスキング部材と
を備え、
上記本体部に、上記穴を二つ設け、
少なくとも、一方の上記穴の他方の上記穴側の縁に波目が形成されていることを特徴としている。 In order to solve the above problems, an ultrasonic probe of the present invention is
A vibrator,
A masking member provided with at least one hole through which the sound wave from the vibrator passes is provided in the main body portion that blocks the sound wave from the vibrator ,
Two holes are provided in the main body,
At least, is characterized that you have been corrugations are formed on the other of said holes side edge of one of said holes.

尚、本発明は、一つの振動子のみを有していても良く、互いに独立な複数の振動子を有していても良い。また、本発明は、一つのマスキング部材のみを有していても良く、異なる複数のマスキング部材を有していても良い。   The present invention may have only one vibrator, or may have a plurality of vibrators independent of each other. Moreover, this invention may have only one masking member and may have a several different masking member.

本発明によれば、上記本体部に上記振動子からの音波が通過する少なくとも一つの穴を設けてなるマスキング部材を備えるので、上記マスキング部材に、形状および大きさが適切に設定された上記穴を形成することにより、振動子の数や形状をどのように設定しても、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を測定できる。すなわち、振動子の形状の自由度を大きくすることができる。   According to the present invention, since the main body is provided with a masking member provided with at least one hole through which the sound wave from the vibrator passes, the hole whose shape and size are appropriately set in the masking member In this way, it is possible to measure the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the member to be measured for fatigue, regardless of how the number and shape of the vibrators are set. That is, the degree of freedom of the shape of the vibrator can be increased.

また、本発明によれば、上記振動子から発振された超音波のうちで必要な部分だけを上記穴を通過させることによって容易に取り出すことができると共に、上記マスキング部材における上記穴が形成されていない部分で、上記振動子から発振された超音波のうちで不必要でノイズとなる部分を容易に遮断することができる。したがって、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を正確に測定できる。   Further, according to the present invention, only a necessary portion of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator can be easily taken out by passing through the hole, and the hole in the masking member is formed. It is possible to easily block unnecessary and noisy portions of the ultrasonic waves oscillated from the vibrator at the portions that are not present. Therefore, it is possible to accurately measure the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the fatigue level measuring member.

また、一実施形態の超音波探触子は、上記波目は、のこぎり波状の波目である。   In the ultrasonic probe of one embodiment, the wave is a sawtooth wave.

上記実施形態によれば、上記波目がのこぎり波状の波目であるので、波目形状を簡単安価に形成できて、超音波探触子の製造コストを小さくすることができる。 According to the embodiment, since the wave is a sawtooth wave , the wave shape can be formed easily and inexpensively, and the manufacturing cost of the ultrasonic probe can be reduced.

また、本発明によれば、上記本体部に上記穴を二つ設け、少なくとも、一方の上記穴の他方の上記穴側の縁に波目が形成されているので、上記振動子から発振されて上記一方の穴を通過した後、被疲労度測定部材を伝播して、さらに、上記他方の穴を通過して上記振動子に到達した超音波に基づいて、超音波の被疲労度測定部材の伝播速度を測定できる。また、一方の上記穴の他方の上記穴側の縁に波目が形成されているので、一方の上記穴の他方の上記穴側の縁で発生する回折波（ノイズ超音波）を抑制できて、超音波の被疲労度測定部材の伝播速度を精密に測定できる。 Further , according to the present invention , the body portion is provided with two holes, and at least at the edge of the other hole side of the one hole, a wave is formed. After passing through the one hole, it propagates through the fatigue measurement member, and further, based on the ultrasonic wave that passes through the other hole and reaches the vibrator, the ultrasonic fatigue test member Propagation speed can be measured. In addition, since the wave eye is formed at the other hole side edge of the one hole, the diffracted wave (noise ultrasonic wave) generated at the other hole side edge of the one hole can be suppressed. The propagation speed of the ultrasonic fatigue resistance measuring member can be accurately measured.

また、一実施形態の超音波探触子は、上記振動子が、超音波の送信機能と超音波の受信機能の両方を有する一つの超音波受信面を有している。   In the ultrasonic probe according to an embodiment, the transducer has one ultrasonic reception surface having both an ultrasonic transmission function and an ultrasonic reception function.

上記実施形態によれば、振動子を容易に製造できる。   According to the embodiment, the vibrator can be easily manufactured.

また、一実施形態の超音波探触子は、上記マスキング部材が、略矩形の表面形状を有する板部材であり、上記マスキング部材の互いに対向する一対の縁部を収容するスリットを有すると共に、上記マスキング部材を上記振動子に対して位置決めする位置決め部材を備えている。   In the ultrasonic probe according to an embodiment, the masking member is a plate member having a substantially rectangular surface shape, and has a slit that accommodates a pair of opposite edges of the masking member. A positioning member for positioning the masking member with respect to the vibrator is provided.

上記実施形態によれば、上記マスキング部材を上記振動子に対して位置決めする位置決め部材を備えるので、上記振動子が超音波を発振している最中に上記振動子に対する上記マスキング部材の相対位置が変化することがない。したがって、上記被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を更に正確に測定できる。また、上記位置決め部材は、上記マスキング部材を上記振動子に対して位置決めするのに、スリットを用いているので、上記マスキング部材を上記振動子に対して簡単安価に位置決めできる。   According to the embodiment, since the positioning member for positioning the masking member with respect to the vibrator is provided, the relative position of the masking member with respect to the vibrator is changed while the vibrator is oscillating ultrasonic waves. There is no change. Therefore, the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the fatigue level measuring member can be measured more accurately. In addition, since the positioning member uses a slit to position the masking member with respect to the vibrator, the masking member can be easily and inexpensively positioned with respect to the vibrator.

また、一実施形態の超音波探触子は、上記マスキング部材を上記振動子に対して移動させる移動装置を備えている。   The ultrasonic probe according to an embodiment includes a moving device that moves the masking member relative to the vibrator.

上記実施形態によれば、上記マスキング部材を上記振動子に対して移動させる移動装置を備えているので、上記マスキング部材を上記振動子に近づけるように移動させることができると共に、上記マスキング部材を上記振動子から遠ざけるように移動させることができる。   According to the embodiment, since the moving device that moves the masking member relative to the vibrator is provided, the masking member can be moved closer to the vibrator and the masking member is moved to the vibrator. It can be moved away from the transducer.

本発明の超音波探触子によれば、本体部に振動子からの音波が通過する少なくとも一つの穴を設けてなるマスキング部材を備えるので、マスキング部材に、形状および大きさが適切に設定された穴を形成することにより、振動子の数や形状をどのように設定しても、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を測定できる。すなわち、振動子の形状の自由度を大きくすることができる。   According to the ultrasonic probe of the present invention, since the main body portion includes the masking member provided with at least one hole through which the sound wave from the vibrator passes, the shape and size of the masking member are appropriately set. By forming the holes, it is possible to measure the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the fatigue-measurement member, regardless of how the number and shape of the vibrators are set. That is, the degree of freedom of the shape of the vibrator can be increased.

また、本発明によれば、上記振動子から発振された超音波のうちで必要な部分だけを上記穴を通過させることによって容易に取り出すことができると共に、上記マスキング部材における上記穴が形成されていない部分で、上記振動子から発振された超音波のうちで不必要でノイズとなる部分を容易に遮断することができる。したがって、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を正確に測定できる。   Further, according to the present invention, only a necessary portion of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator can be easily taken out by passing through the hole, and the hole in the masking member is formed. It is possible to easily block unnecessary and noisy portions of the ultrasonic waves oscillated from the vibrator at the portions that are not present. Therefore, it is possible to accurately measure the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the fatigue level measuring member.

以下、本発明を図示の形態により詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１〜図３は、マスキング部材４を取り付ける前の第１実施形態の超音波探触子を示す図である。具体的には、図１は、第１実施形態の超音波探触子の下面図であり、図２は、第１実施形態の超音波探触子の側面図であり、図３は、図１のα−α線断面図である。尚、図１において、振動子２およびガイド部材３は、断面ではないが、部材の違いをはっきりさせるためにハッシングを施している。   1-3 is a figure which shows the ultrasonic probe of 1st Embodiment before attaching the masking member 4. FIG. Specifically, FIG. 1 is a bottom view of the ultrasonic probe of the first embodiment, FIG. 2 is a side view of the ultrasonic probe of the first embodiment, and FIG. 1 is a cross-sectional view taken along line α-α. In FIG. 1, the vibrator 2 and the guide member 3 are not cross sections, but are subjected to hashing in order to clarify the difference between the members.

図１および図３に示すように、この超音波探触子は、バッキング部材１と、振動子２と、位置決め部材の一例としてのガイド部材３と、板状のマスキング部材４とを備える。   As shown in FIGS. 1 and 3, the ultrasonic probe includes a backing member 1, a vibrator 2, a guide member 3 as an example of a positioning member, and a plate-like masking member 4.

上記バッキング部材１は、樹脂から成り、球面形状の凹面５を有している。上記振動子２は、一体の超音波送受信面８を有している。上記振動子２は、湾曲した長板形状を有している。上記振動子２は、振動子２が球面形状の凹面５の大円上を延在するように、バッキング部材１の凹面５に固定されている。上記超音波送受信面８は、超音波の送信機能と超音波の受信機能の両方を有している。上記超音波送受信面８は、仮想球面の大円上を延在している。   The backing member 1 is made of resin and has a spherical concave surface 5. The vibrator 2 has an integral ultrasonic transmission / reception surface 8. The vibrator 2 has a curved long plate shape. The vibrator 2 is fixed to the concave surface 5 of the backing member 1 so that the vibrator 2 extends on the great circle of the spherical concave surface 5. The ultrasonic transmission / reception surface 8 has both an ultrasonic transmission function and an ultrasonic reception function. The ultrasonic transmission / reception surface 8 extends on the great circle of the virtual spherical surface.

図１に示すように、上記ガイド部材３は、振動子２を挟むように上記大円上に対向配置される第１側方部１０および第２側方部１１と、第１側方部１０と第２側方部１１とを連結するストッパ部１３とを有する。図２に示すように、上記第１側方部１０（第２側方部１１も同様）は、バッキング部材１の厚さ方向に延在している。上記第１側方部１０（第２側方部１１も同様）は、バッキング部材１の側面に当接している。上記第１側方部１０および第２側方部１１のバッキング部材１に対する当接面は、バッキング部材１に接着されている。   As shown in FIG. 1, the guide member 3 includes a first side portion 10 and a second side portion 11 that are disposed opposite to each other on the great circle so as to sandwich the vibrator 2, and a first side portion 10. And a stopper portion 13 that connects the second side portion 11 to each other. As shown in FIG. 2, the first side portion 10 (the same applies to the second side portion 11) extends in the thickness direction of the backing member 1. The first side portion 10 (the same applies to the second side portion 11) is in contact with the side surface of the backing member 1. The contact surfaces of the first side portion 10 and the second side portion 11 with respect to the backing member 1 are bonded to the backing member 1.

また、図２に示すように、上記第１側方部１０（第２側方部１１も同様）におけるバッキング部材から突出している部分には、マスキング部材４の長手方向の端部を収容するためのスリット１５が形成されている。   In addition, as shown in FIG. 2, a portion protruding from the backing member in the first side portion 10 (the same applies to the second side portion 11) accommodates an end portion in the longitudinal direction of the masking member 4. The slit 15 is formed.

第１側方部１０のスリット１５の底１７（図１参照）と、第２側方部１１のスリットの底１８との間の寸法は、マスキング部材４の長手方向の寸法と略等しくなっている。すなわち、マスキング部材４を、手動で図１に矢印ａに示す方向に移動させて、第１および第２側方部１０,１１をスリット１５に挿入したとき、マスキング部材４は、ガイド部材３および振動子２に対する相対位置がマスキング部材４の長手方向に移動不可になっている。   The dimension between the bottom 17 of the slit 15 of the first side part 10 (see FIG. 1) and the bottom 18 of the slit of the second side part 11 is substantially equal to the longitudinal dimension of the masking member 4. Yes. That is, when the masking member 4 is manually moved in the direction indicated by the arrow a in FIG. 1 and the first and second side portions 10 and 11 are inserted into the slits 15, the masking member 4 The relative position with respect to the vibrator 2 is not movable in the longitudinal direction of the masking member 4.

また、上記ストッパ部１３は、図１に示す底面図において、上記大円と略平行に延在している。上記ストッパ部１３は、バッキング部材１の凹面５に当接している。上記ストッパ部１３は、マスキング部材４を、第１および第２側方部１０,１１のスリット１５に挿入したとき、マスキング部材４の長手方向の一方の縁と接触することによって、マスキング部材４のガイド部材３および振動子２に対する相対位置を、マスキング部材４の幅方向に移動不可にしている。   The stopper portion 13 extends substantially parallel to the great circle in the bottom view shown in FIG. The stopper portion 13 is in contact with the concave surface 5 of the backing member 1. When the masking member 4 is inserted into the slit 15 of the first and second side portions 10 and 11, the stopper portion 13 comes into contact with one edge in the longitudinal direction of the masking member 4, thereby The relative position with respect to the guide member 3 and the vibrator 2 is not movable in the width direction of the masking member 4.

上記マスキング部材４の長手方向の一方の縁を、ストッパ部１３と当接させることにより、マスキング部材４を固定位置に配置するようになっている。すなわち、上記マスキング部材４の長手方向の一方の縁が、ストッパ部１３と当接する位置は、マスキング部材４の固定位置になっている。上記ガイド部材３は、マスキング部材４の振動子２に対する相対位置が変化しないように、マスキング部材４を振動子２に対して位置決めするようになっている。   The masking member 4 is arranged at a fixed position by bringing one edge in the longitudinal direction of the masking member 4 into contact with the stopper portion 13. That is, the position at which one edge in the longitudinal direction of the masking member 4 contacts the stopper portion 13 is a fixed position of the masking member 4. The guide member 3 positions the masking member 4 with respect to the vibrator 2 so that the relative position of the masking member 4 with respect to the vibrator 2 does not change.

上記マスキング部材４は、図１に示すように、長方形の表面を有している。また、上記マスキング部材４は、マスキング部材４の表面およびマスキング部材４の長手方向の縁に垂直で、かつ、マスキング部材４の中心を通る平面に対して、面対称な二つの同一の略長方形形状の長穴２０,２１を有している。上記マスキング部材４の長穴２０,２１以外の部分は、超音波の通過を遮断する本体部になっている。上記長穴２０,２１の長手方向の縁２２,２３,２４,２５は、マスキング部材４の幅方向の縁と略平行になっている。図１に示すように、上記長穴２０の長穴２１側の縁２３、長穴２０の長穴２１側と反対側の縁２２、長穴２１の長穴２０側の縁２４、および、長穴２１の長穴２０側と反対側の縁２５には、マスキング部材４の幅方向に山と谷とが交互に形成されたのこぎり波状の波目が形成されている。詳しくは、上記山はマスキング部材４の長手方向に延びている。   As shown in FIG. 1, the masking member 4 has a rectangular surface. The masking member 4 has two identical substantially rectangular shapes that are plane-symmetric with respect to a plane perpendicular to the surface of the masking member 4 and the longitudinal edge of the masking member 4 and passing through the center of the masking member 4. The long holes 20 and 21 are provided. Portions other than the long holes 20 and 21 of the masking member 4 are main body portions that block the passage of ultrasonic waves. The longitudinal edges 22, 23, 24, 25 of the long holes 20, 21 are substantially parallel to the widthwise edges of the masking member 4. As shown in FIG. 1, an edge 23 of the slot 20 on the slot 21 side, an edge 22 of the slot 20 opposite to the slot 21 side, an edge 24 of the slot 21 on the slot 20 side, On the edge 25 opposite to the long hole 20 side of the hole 21, a saw-tooth wave shape in which peaks and valleys are alternately formed in the width direction of the masking member 4 is formed. Specifically, the mountain extends in the longitudinal direction of the masking member 4.

以下に、この超音波探触子を用いる被疲労測定部材の一例としての玉軸受の内輪の軌道溝の軌道底の疲労度の測定方法を簡単に説明する。   Hereinafter, a method for measuring the fatigue level of the track bottom of the raceway groove of the inner ring of the ball bearing as an example of a fatigued measurement member using this ultrasonic probe will be briefly described.

先ず、図４および図５に示すマスキング部材４が取り付けられていない超音波探触子に対して、バッキング部材１の凹面５の上記大円に内輪の軌道溝の軌道底が対向するように内輪を配置する。   First, with respect to the ultrasonic probe to which the masking member 4 shown in FIGS. 4 and 5 is not attached, the inner ring so that the track bottom of the track groove of the inner ring faces the great circle of the concave surface 5 of the backing member 1. Place.

次に、超音波探触子と上記内輪との間に水を充填する。これは、超音波探触子と内輪とを収容している透明の水槽に水を充填する等の方法によって実現される。   Next, water is filled between the ultrasonic probe and the inner ring. This is realized by a method such as filling a transparent water tank containing the ultrasonic probe and the inner ring with water.

次に、振動子２から超音波を発振して、振動子２から発振されて上記軌道底で反射して振動子２に到達した超音波を振動子２で検出し、振動子２が超音波を発振した時刻から超音波が最初に振動子２に到着した時刻までの時間を測定する。そして、この時間に基づいて振動子２と上記軌道溝との距離を測定し、振動子２と上記軌道溝との距離を、振動子２と凹部５の大円の中心Ｐ（図４参照）との距離よりも短い所定距離に設定する。   Next, an ultrasonic wave is oscillated from the vibrator 2, the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 2, reflected by the bottom of the orbit and reaching the vibrator 2 is detected by the vibrator 2, and the vibrator 2 The time from the time when the oscillates until the time when the ultrasonic wave first arrives at the vibrator 2 is measured. Based on this time, the distance between the vibrator 2 and the track groove is measured, and the distance between the vibrator 2 and the track groove is determined as the center P of the great circle of the vibrator 2 and the recess 5 (see FIG. 4). Is set to a predetermined distance shorter than the distance between and.

次に、マスキング部材４を手動でガイド部材３に挿入し、マスキング部材４を固定位置に固定する。そして、振動子２から超音波を発振して、振動子２から発振されてマスキング部材４の一方の穴２０を通過して、上記軌道底を周方向にそって所定距離伝播し、その後、マスキング部材４の他方の穴２１を通過して振動子２に到達する超音波を検出する。   Next, the masking member 4 is manually inserted into the guide member 3, and the masking member 4 is fixed at a fixed position. Then, an ultrasonic wave is oscillated from the vibrator 2, is oscillated from the vibrator 2, passes through one hole 20 of the masking member 4, propagates along the orbit bottom along the circumferential direction, and then masks. Ultrasonic waves that pass through the other hole 21 of the member 4 and reach the vibrator 2 are detected.

最後に、この超音波の検出に基づいて、上記超音波の上記軌道底の伝播速度を算出し、上記超音波の上記軌道底の伝播速度に基づいて、上記超音波の伝播速度と対応関係がある上記軌道底の疲労の度合を測定する。   Finally, based on the detection of the ultrasonic wave, the propagation speed of the ultrasonic wave at the bottom of the orbit is calculated, and based on the propagation speed of the ultrasonic wave at the bottom of the orbit, there is a correspondence relationship with the propagation speed of the ultrasonic wave. Measure the degree of fatigue at a certain track bottom.

上記第１実施形態の超音波探触子によれば、穴２０,２１を有するマスキング部材４を有し、このマスキング部材４で超音波の通過を制限することができる。したがって、穴の大きさ、形状および数を適切に設定することにより、どのような形状の振動子においても被疲労測定部材の疲労度の測定を行うことができる。したがって、振動子の形状の自由度を格段に大きくすることができる。   According to the ultrasonic probe of the first embodiment, the masking member 4 having the holes 20 and 21 is provided, and the passage of ultrasonic waves can be restricted by the masking member 4. Therefore, by appropriately setting the size, shape, and number of holes, the fatigue level of the fatigued measurement member can be measured in any shape of the vibrator. Therefore, the degree of freedom of the shape of the vibrator can be greatly increased.

また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材４を有し、かつ、そのマスキング部材４が振動子２から発振された超音波の一部が通過する穴２０,２１を有するので、マスキング部材４で振動子２から発振された超音波のうちで必要な部分だけを容易に取り出すことができると共に、振動子２から発振された超音波のうちの不必要でノイズとなる部分を容易に遮断することができる。したがって、被疲労度測定部材を伝播する超音波の伝播速度を正確に測定できる。   Further, according to the ultrasonic probe of the first embodiment, the holes 20 and 21 have the masking member 4 and through which part of the ultrasonic waves oscillated from the vibrator 2 passes. Therefore, only the necessary portion of the ultrasonic waves oscillated from the vibrator 2 by the masking member 4 can be easily taken out, and unnecessary and noise of the ultrasonic waves oscillated from the vibrator 2 can be removed. Can be easily cut off. Therefore, it is possible to accurately measure the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the fatigue level measuring member.

また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材４の穴２０,２１の縁の一部２２,２３,２４,２５に、波目が形成されているので、穴２０,２１の縁の一部２２,２３,２４,２５を通過する複数の超音波が互いに重なることにより弱め合って、穴２２,２３の縁の一部２２,２３,２４,２５から発生する回折波（ノイズ超音波）を格段に抑制できる。したがって、上記軌道底を伝播する超音波の伝播速度を更に正確に測定できる。   In addition, according to the ultrasonic probe of the first embodiment, the corrugation is formed in the portions 22, 23, 24, 25 of the edges of the holes 20, 21 of the masking member 4. , 21 are generated by the ultrasonic waves passing through the edge portions 22, 23, 24, 25 of each other, being weakened by overlapping each other and being generated from the edge portions 22, 23, 24, 25 of the holes 22, 23. Waves (noise ultrasonic waves) can be significantly suppressed. Therefore, the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the orbital bottom can be measured more accurately.

また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材４の穴２０,２１の縁の一部２２,２３,２４,２５に形成されている波目が、のこぎり波状の波目であるので、穴２０,２１の縁の一部２２,２３,２４,２５の波目形状を簡単安価に形成できて、超音波探触子の製造コストを小さくできる。   Further, according to the ultrasonic probe of the first embodiment, the wave eyes formed in the portions 22, 23, 24, 25 of the edges of the holes 20, 21 of the masking member 4 are sawtooth wave waves. Since it is an eye, the wave shapes of the edge portions 22, 23, 24, 25 of the holes 20, 21 can be formed easily and inexpensively, and the manufacturing cost of the ultrasonic probe can be reduced.

また、上記第１実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材４が、超音波が同時に通過できる二つの穴２０,２１を有しているので、超音波送受信面８から発振されて一方の穴２０または２１を通過した後、上記軌道底を伝播して、さらに、他方の穴２１または２０を通過して超音波送受信面８で受信された超音波に基づいて、超音波の軌道底に対する伝播速度を測定できる。また、一方の穴２０または２１の他方の穴２１または２０側の縁２３,２４に波目が形成されているので、一方の穴２０または２１の他方の穴２１または２０側の縁で発生する回折波（ノイズ超音波）を格段に抑制できて、超音波の軌道底に対する伝播速度を精密に測定することができる。   Further, according to the ultrasonic probe of the first embodiment, the masking member 4 has the two holes 20 and 21 through which ultrasonic waves can pass simultaneously, so that it is oscillated from the ultrasonic transmission / reception surface 8. After passing through one hole 20 or 21, the ultrasonic wave trajectory is propagated based on the ultrasonic wave that propagates through the bottom of the trajectory and passes through the other hole 21 or 20 and is received by the ultrasonic wave transmitting / receiving surface 8. Can measure the velocity of propagation to the bottom. In addition, since the corrugation is formed in the edge 23, 24 on the other hole 21 or 20 side of the one hole 20 or 21, it occurs at the edge on the other hole 21 or 20 side of the one hole 20 or 21. Diffracted waves (noise ultrasonic waves) can be remarkably suppressed, and the propagation speed of ultrasonic waves to the orbital bottom can be accurately measured.

尚、上記第１実施形態の超音波探触子では、上記ストッパ部１３は、バッキング部材１の側面に当接していない構造であるが、この発明では、図６および図７に示すように、ストッパ部３３は、バッキング部材３０の側面に当接している構造であっても良く、この場合、ガイド部材３１をバッキング部材３０に確実に固定することができる。   In the ultrasonic probe of the first embodiment, the stopper portion 13 is not in contact with the side surface of the backing member 1, but in the present invention, as shown in FIGS. The stopper portion 33 may have a structure in contact with the side surface of the backing member 30. In this case, the guide member 31 can be reliably fixed to the backing member 30.

また、上記第１実施形態の超音波探触子では、マスキング部材４の長穴２０,２１に、のこぎり波状の波目を形成した。しかしながら、この発明では、マスキング部材の穴に例えば正弦波状の波目等のこぎり波状の波目以外の波目を形成しても良い。   Further, in the ultrasonic probe of the first embodiment, sawtooth wave-like waves are formed in the long holes 20 and 21 of the masking member 4. However, in the present invention, a wave other than a sawtooth wave such as a sine wave may be formed in the hole of the masking member.

また、上記第１実施形態の超音波探触子では、図１に示すように、マスキング部材４の長穴２０,２１の長手方向の縁２２,２３,２４,２５に、のこぎり波状の波目を形成した。   Further, in the ultrasonic probe of the first embodiment, as shown in FIG. 1, sawtooth wave-like waves are formed on the longitudinal edges 22, 23, 24, 25 of the long holes 20, 21 of the masking member 4. Formed.

しかしながら、この発明では、マスキング部材４の代わりに、図８に示すように、マスキング部材４と比較して、長穴４０の長手方向の長穴４１側と反対側の縁の波目を省略すると共に、長穴４１の長手方向の長穴４０側と反対側の縁の波目を省略したマスキング部材４５を採用しても良い。   However, in the present invention, instead of the masking member 4, as shown in FIG. 8, as compared with the masking member 4, the corrugation at the edge opposite to the long hole 41 side in the longitudinal direction of the long hole 40 is omitted. In addition, a masking member 45 that omits the wave of the edge of the long hole 41 opposite to the long hole 40 side in the longitudinal direction may be employed.

また、マスキング部材４の代わりに、図９に示すマスキング部材６４を採用しても良い。このマスキング部材６４は、丸穴６０,６１を有し、この丸穴６０,６１の縁の全てには、マスキング部材６４の長手方向に略延びる山と谷とが、マスキング部材４の幅方向に交互に形成されたのこぎり波状の波目が形成されている。   Further, a masking member 64 shown in FIG. 9 may be employed instead of the masking member 4. The masking member 64 has round holes 60 and 61, and peaks and valleys extending substantially in the longitudinal direction of the masking member 64 are formed in the width direction of the masking member 4 at all edges of the round holes 60 and 61. Alternating sawtooth wave-like waves are formed.

また、マスキング部材４の代わりに、図１０に示すマスキング部材７５を採用しても良い。このマスキング部材７５は、Ｄ字状の穴７０,７１を有し、穴７０および穴７１の円弧部分は対向配置されている。また、Ｄ字状の穴７０,７１の縁の全てには、マスキング部材７５の長手方向に略延びる山と谷とが、マスキング部材７５の幅方向に交互に形成されたのこぎり波状の波目が形成されている。   Further, instead of the masking member 4, a masking member 75 shown in FIG. The masking member 75 has D-shaped holes 70 and 71, and the circular arc portions of the hole 70 and the hole 71 are arranged to face each other. Further, on all edges of the D-shaped holes 70, 71, there are sawtooth wave-like waves in which peaks and valleys extending substantially in the longitudinal direction of the masking member 75 are alternately formed in the width direction of the masking member 75. Is formed.

また、上記第１実施形態の超音波探触子では、バッキング部材１とガイド部材３が別体であったが、バッキング部材とガイド部材は一体であっても良い。   In the ultrasonic probe of the first embodiment, the backing member 1 and the guide member 3 are separate bodies, but the backing member and the guide member may be integrated.

また、上記第１実施形態の超音波探触子では、穴２０,２１の縁に形成されたのこぎり波の波目の寸法には制限を設けなかった。しかしながら、のこぎり波の波目の互いに隣接する山の間の幅ｗを、山の高さｈよりも小さくし、山の間の幅ｗを、振動子２から発振される超音波の水中での波長の１／２よりも小さく設定すると、波目が形成された縁からの回折波（ノイズ波）の発生を確実に防止できる。例えば、振動子２から発振される超音波の周波数を、５×１０6［Ｈｚ］とすると、水温が２６.３［℃］のときの音波の水中の音速が１５００［ｍ／ｓ］であるので、水温が２６.３［℃］の場合では、振動子２から発振される超音波の水中での波長は、略３×１０-4［ｍ］となる。したがって、ｗを、（３×１０-4）／２＝１.５×１０-4［ｍ］よりも小さく設定すると、波目が形成された縁からの回折波（ノイズ波）の発生を確実に防止できる。尚、水温の変動による水中の音速の変動は非常に小さいので、水中の音速として、１５００［ｍ／ｓ］を用いることができる。 In the ultrasonic probe according to the first embodiment, there is no restriction on the size of the wave of the sawtooth wave formed at the edges of the holes 20 and 21. However, the width w between adjacent peaks of the sawtooth wave is made smaller than the height h of the peaks, and the width w between the peaks is set so that the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 2 is submerged in water. If it is set to be smaller than ½ of the wavelength, the generation of a diffracted wave (noise wave) from the edge where the wave eye is formed can be reliably prevented. For example, when the frequency of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 2 is 5 × 10 6 [Hz], the sound velocity of the sound wave in water when the water temperature is 26.3 [° C.] is 1500 [m / s]. Therefore, when the water temperature is 26.3 [° C.], the wavelength of the ultrasonic wave oscillated from the vibrator 2 in water is approximately 3 × 10 −4 [m]. Therefore, if w is set to be smaller than (3 × 10 −4 ) /2=1.5×10 −4 [m], it is possible to reliably generate a diffracted wave (noise wave) from the edge where the wave is formed. Can be prevented. In addition, since the fluctuation of the underwater sound speed due to the fluctuation of the water temperature is very small, 1500 [m / s] can be used as the underwater sound speed.

また、図１において、マスキング部材４をガイド部材３に挿入した状態で、マスキング部材４の縁２３の中心に山がきたと仮定すると共に、縁２４の中心に山がきたと仮定した場合における、縁２３の中心の山から発振されて軌道底で反射して縁２４の中心の山に到達した超音波の経路長をｙ１［ｍ］とし、マスキング部材４をガイド部材３に挿入した状態で、マスキング部材４の縁２３の中心に谷がきたと仮定すると共に、縁２４の中心に谷がきたと仮定した場合における、縁２３の中心の谷から発振されて軌道底で反射して縁２４の中心の谷に到達した超音波の経路長をｙ２［ｍ］とし、更に、上記超音波が水中を伝播するときの波長をλ［ｍ］としたとき、｜ｙ２−ｙ１｜が、｜ｙ２−ｙ１｜＝（ｎ＋１／２）λ（ここでｎは０以上の整数）の関係を満たすようにすると、縁２３および２４からのノイズ波を弱め合わせることができ、測定を正確に行うことができる。   Further, in FIG. 1, when the masking member 4 is inserted into the guide member 3, it is assumed that a mountain has come to the center of the edge 23 of the masking member 4 and a mountain has come to the center of the edge 24. With the path length of the ultrasonic wave oscillated from the peak at the center of the edge 23 and reflected at the bottom of the orbit reaching the peak at the center of the edge 24 as y1 [m], the masking member 4 is inserted into the guide member 3, It is assumed that a valley has come to the center of the edge 23 of the masking member 4 and, when it is assumed that a valley has come to the center of the edge 24, it is oscillated from the valley at the center of the edge 23 and reflected from the bottom of the orbit. When the path length of the ultrasonic wave reaching the central valley is y2 [m] and the wavelength when the ultrasonic wave propagates in water is λ [m], | y2-y1 | y1 | = (n + 1/2) λ (where n is an integer greater than or equal to 0) If the relationship of (number) is satisfied, the noise waves from the edges 23 and 24 can be weakened, and the measurement can be performed accurately.

また、上記被疲労度測定部材の疲労度の測定では、超音波探触子と被疲労度測定部材の一例としての内輪と間に溶媒としての水を充填した状態で、内輪を伝播する超音波の伝播速度を測定するようにした。しかしながら、この発明の超音波探触子と被疲労度測定部材との間に、スピンドル油（音波の伝播速度は３２℃で１３４２［ｍ／ｓ］）、エタノール（音波の伝播速度は２０℃で１１６８［ｍ／ｓ］）、または、空気（音波の伝播速度は１５℃で３４０［ｍ／ｓ］）等の水以外の溶媒を充填して、被疲労度測定部材の疲労度を測定しても良いことは勿論である。そして、この場合に、マスキング部材の穴の縁（エッジ）の形状を波目形状にし、かつ、隣接する山の幅を、山の高さ以下に設定すると共に振動子から発振される超音波の溶媒中の波長の１／２以下に設定すると、上記溶媒が水である場合と同様に、穴の縁からノイズ超音波が発振されることがなくて、被疲労度測定部材の疲労度の判定を正確に行うことができる。   In the measurement of the fatigue level of the fatigue level measuring member, the ultrasonic wave propagating through the inner ring in a state where water as a solvent is filled between the ultrasonic probe and the inner ring as an example of the fatigue level measuring member. The propagation speed of was measured. However, between the ultrasonic probe of the present invention and the fatigue measurement member, spindle oil (acoustic wave propagation speed is 1342 [m / s] at 32 ° C.) and ethanol (acoustic wave propagation speed is 20 ° C.). 1168 [m / s]) or air (the propagation speed of the sound wave is 340 [m / s] at 15 ° C.) and other solvents such as water are filled to measure the fatigue level of the member to be measured for fatigue. Of course, it is also good. In this case, the shape of the edge of the hole of the masking member is set to a wave shape, and the width of the adjacent mountain is set to be equal to or less than the height of the mountain, and the ultrasonic wave oscillated from the vibrator is set. When the wavelength is set to ½ or less of the wavelength in the solvent, as in the case where the solvent is water, noise ultrasonic waves are not oscillated from the edge of the hole, and the fatigue level of the member to be measured for fatigue is determined. Can be done accurately.

図１１〜図１４は、第２実施形態の超音波探触子を示す図である。第２実施形態の超音波探触子は、第１実施形態の超音波探触子のバッキング部材１、ガイド部材３、振動子２およびマスキング部材４に加えて、２つ目の新たな板状の第２マスキング部材８４を備える点が第１実施形態の超音波探触子と異なっている。   FIGS. 11-14 is a figure which shows the ultrasonic probe of 2nd Embodiment. The ultrasonic probe of the second embodiment is a second new plate shape in addition to the backing member 1, the guide member 3, the vibrator 2, and the masking member 4 of the ultrasonic probe of the first embodiment. The second masking member 84 is different from the ultrasonic probe of the first embodiment.

第２実施形態の超音波探触子では、第１実施形態の超音波探触子の構成部と同一構成部には同一参照番号を付して説明を省略することにする。また、第２実施形態の超音波探触子では、第１実施形態の超音波探触子と共通の作用効果および変形例については説明を省略することにし、第１実施形態の超音波探触子と異なる構成、作用効果および変形例についてのみ説明を行うことにする。   In the ultrasonic probe of the second embodiment, the same components as those of the ultrasonic probe of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. In the ultrasonic probe according to the second embodiment, the description of the operational effects and modifications common to those of the ultrasonic probe according to the first embodiment is omitted, and the ultrasonic probe according to the first embodiment is omitted. Only configurations, effects, and modifications different from those of the child will be described.

上記第２マスキング部材８４は、図１１の断面図および図１２の下面図に示すように、長方形の表面形状を有している。上記第２マスキング部材８４は、長手方向の略中央に幅方向に延びる略長方形状の一つの穴８６を有している。上記第２マスキング部材８４の穴８６以外の部分は、超音波の通過を遮断する本体部になっている。上記第２マスキング部材８４は、板厚等の穴の形状以外の構造がマスキング部材４と同一になっている。   As shown in the sectional view of FIG. 11 and the bottom view of FIG. 12, the second masking member 84 has a rectangular surface shape. The second masking member 84 has one hole 86 having a substantially rectangular shape extending in the width direction substantially at the center in the longitudinal direction. The portion other than the hole 86 of the second masking member 84 is a main body that blocks the passage of ultrasonic waves. The second masking member 84 has the same structure as the masking member 4 except for the shape of the hole such as the plate thickness.

また、上記穴８６の長手方向の縁は、マスキング部材８４の幅方向の縁に略平行になっている。図１３に示すように、上記穴８６の長手方向の縁には、のこぎり波の波目が形成されている。   The longitudinal edge of the hole 86 is substantially parallel to the widthwise edge of the masking member 84. As shown in FIG. 13, a sawtooth wave is formed at the edge of the hole 86 in the longitudinal direction.

この第２マスキング部材８４は、振動子２と被疲労度測定部材（例えば、玉軸受の内輪の軌道底）との距離の測定を行うときに、使用されるようになっている。すなわち、第２マスキング部材８４を、ガイド部材３のストッパ部１３に当接するまで挿入して、第２マスキング部材８４を固定位置に配置した後、振動子２から超音波を発振するようになっている。このようにして、被疲労度測定部材に到達できる超音波を、振動子２から発振された全超音波のうちで穴８６を通過した部分に制限するようになっている。   The second masking member 84 is used when measuring the distance between the vibrator 2 and a fatigue level measuring member (for example, the raceway bottom of the inner ring of the ball bearing). That is, the second masking member 84 is inserted until it comes into contact with the stopper portion 13 of the guide member 3, and the second masking member 84 is arranged at the fixed position, and then the ultrasonic wave is oscillated from the vibrator 2. Yes. In this way, the ultrasonic waves that can reach the member to be measured for fatigue are limited to the portion of the total ultrasonic waves oscillated from the vibrator 2 that has passed through the hole 86.

以下に、第２実施形態の超音波探触子を用いた被疲労度測定部材（例えば、玉軸受の内輪の軌道底）の疲労度の測定法を、簡単に説明する。   Hereinafter, a method for measuring the fatigue level of a member for measuring fatigue level using the ultrasonic probe of the second embodiment (for example, the raceway bottom of the inner ring of the ball bearing) will be briefly described.

先ず、図１１,１２に示すように、ガイド部材３のスリットに第２マスキング部材８４を挿入して、第２マスキング部材８４を固定位置に配置すると共に、バッキング部材１の凹面５の上記大円に内輪の軌道溝の底が対向するように内輪を配置する。   First, as shown in FIGS. 11 and 12, the second masking member 84 is inserted into the slit of the guide member 3 to place the second masking member 84 at a fixed position, and the above-mentioned great circle of the concave surface 5 of the backing member 1. The inner ring is arranged so that the bottom of the raceway groove of the inner ring faces.

次に、前と同様に、超音波探触子と上記内輪との間に水を充填する。   Next, as before, water is filled between the ultrasonic probe and the inner ring.

次に、振動子２から超音波を発振して、振動子２から発振されて第２マスキング部材８４の穴８６を通過して上記軌道底で反射して再び穴８６を通過して振動子２に到達した超音波を、振動子２で検出し、振動子２が超音波を発振した時刻から超音波が最初に振動子２に到着した時刻までの時間を測定する。そして、この時間に基づいて振動子２と上記軌道底との距離を測定し、振動子２と上記軌道底との距離を、振動子２と上記大円の中心Ｐとの距離よりも短い所定距離に設定して、バッキング部材１を適当な固定器具で固定する。   Next, an ultrasonic wave is oscillated from the vibrator 2, is oscillated from the vibrator 2, passes through the hole 86 of the second masking member 84, is reflected at the bottom of the orbit, passes through the hole 86 again, and passes through the hole 2. Is detected by the vibrator 2, and the time from the time when the vibrator 2 oscillates the ultrasonic wave until the time when the ultrasonic wave first arrives at the vibrator 2 is measured. Based on this time, the distance between the vibrator 2 and the orbital bottom is measured, and the distance between the vibrator 2 and the orbital bottom is set to a predetermined value shorter than the distance between the vibrator 2 and the center P of the great circle. The backing member 1 is set to a distance and fixed with an appropriate fixing device.

次に、第２マスキング部材８４を手動で取り外した後、マスキング部材４を手動でガイド部材３に挿入して、図１３および図１４に示すように、マスキング部材４を固定位置に固定する。そして、前と同様に、振動子２から超音波を発振して、振動子２から発振されてマスキング部材４の一方の穴２０を通過して、上記軌道底を周方向にそって所定距離伝播し、その後、マスキング部材４の他方の穴２１を通過して振動子２に到達する超音波を検出して、上記軌道底の疲労の度合を測定する。   Next, after manually removing the second masking member 84, the masking member 4 is manually inserted into the guide member 3, and the masking member 4 is fixed at a fixed position as shown in FIGS. Then, as before, an ultrasonic wave is oscillated from the vibrator 2, oscillated from the vibrator 2, passes through one hole 20 of the masking member 4, and propagates a predetermined distance along the circumference of the orbit along the circumferential direction. Thereafter, ultrasonic waves that pass through the other hole 21 of the masking member 4 and reach the vibrator 2 are detected, and the degree of fatigue of the track bottom is measured.

上記第２実施形態の超音波探触子によれば、振動子２と、被疲労測定部材である上記内輪の軌道底との距離の測定を、第２マスキング部材８４を用いて行い、測定を行う超音波を、振動子２が発振する全超音波のうちの第２マスキング部材８４の穴８６を通過する部分に制限している。したがって、軌道底に対して振動子２が傾いていない状態、すなわち、穴８６に対向している軌道底の部分の法線が、振動子２の超音波送受信面の中心の法線と一致している状態で、上記距離の測定をできて、上記距離の測定を精密に行うことができる。   According to the ultrasonic probe of the second embodiment, the measurement of the distance between the vibrator 2 and the bottom of the track of the inner ring, which is a fatigue measurement member, is performed using the second masking member 84, and the measurement is performed. The ultrasonic wave to be performed is limited to a portion passing through the hole 86 of the second masking member 84 among all the ultrasonic waves oscillated by the vibrator 2. Therefore, the normal line of the state where the vibrator 2 is not inclined with respect to the bottom of the orbit, that is, the normal line of the bottom part of the orbit facing the hole 86 coincides with the normal line of the ultrasonic transmission / reception surface of the vibrator 2. In this state, the distance can be measured and the distance can be measured accurately.

尚、上記第２実施形態の超音波探触子では、図１２に示すように、第２マスキング部材８４の長穴８６の長手方向の縁に、のこぎり波の波目を形成した。   In the ultrasonic probe of the second embodiment, as shown in FIG. 12, a sawtooth wave is formed at the longitudinal edge of the long hole 86 of the second masking member 84.

しかしながら、この発明では、第２マスキング部材８４の代わりに、図１５に示す第２マスキング部材１０４を採用しても良い。この第２マスキング部材１０４は、略中心に丸穴１０６を有し、この丸穴１０６の縁の全てには、第２マスキング部材１０４の長手方向に略延びる山と谷とが、第２マスキング部材１０４の幅方向に交互に形成されたのこぎり波状の波目が形成されている。   However, in the present invention, the second masking member 104 shown in FIG. 15 may be employed instead of the second masking member 84. The second masking member 104 has a round hole 106 at substantially the center, and peaks and valleys extending substantially in the longitudinal direction of the second masking member 104 are formed on the edges of the round hole 106. A sawtooth wave pattern alternately formed in the width direction 104 is formed.

図１６〜図１８は、本発明の第３実施形態の超音波探触子を示す図である。第３実施形態の超音波探触子は、マスキング部材を手動で移動させるのではなくて、マスキング部材を移動装置で移動させる点が、第１実施形態の超音波探触子と異なる。   FIGS. 16-18 is a figure which shows the ultrasonic probe of 3rd Embodiment of this invention. The ultrasonic probe of the third embodiment is different from the ultrasonic probe of the first embodiment in that the masking member is not moved manually but moved by a moving device.

第３実施形態の超音波探触子では、第１実施形態の超音波探触子と共通の作用効果および変形例については説明を省略することにし、第１実施形態の超音波探触子と異なる構成、作用効果および変形例についてのみ説明を行うことにする。   In the ultrasonic probe of the third embodiment, the description of the operational effects and modifications common to those of the ultrasonic probe of the first embodiment will be omitted, and the ultrasonic probe of the first embodiment will be omitted. Only different configurations, operational effects, and modifications will be described.

この超音波探触子は、振動子１１２の超音波送受信面を示す図１６に示すように、バッキング部材１１１と、振動子１１２と、ガイド部材１１３と、移動装置の一例としてのモータ１１４と、マスキング部材１１５とを備える。   This ultrasonic probe includes a backing member 111, a vibrator 112, a guide member 113, a motor 114 as an example of a moving device, as shown in FIG. And a masking member 115.

上記振動子１１２は、バッキング部材１１１の球面状の凹面１１７の大円上に延在するように、バッキング部材１１１に取り付けられている。また、上記ガイド部材１１３は、図１６に示すように、大円方向において、一方の側方部１１８の肉厚が、他方の側方部１１９の肉厚よりも厚くなっている。   The vibrator 112 is attached to the backing member 111 so as to extend on the great circle of the spherical concave surface 117 of the backing member 111. Further, as shown in FIG. 16, the guide member 113 has a thickness of one side portion 118 larger than a thickness of the other side portion 119 in the great circle direction.

上記モータ１１４は、本体１１７とギヤ１２０とを有する。図１６に示すように、上記本体１１７は、上記一方の側方部１１８における上記大円方向と略垂直な方向の端面に、固定されている。   The motor 114 has a main body 117 and a gear 120. As shown in FIG. 16, the main body 117 is fixed to an end surface of the one side portion 118 in a direction substantially perpendicular to the great circle direction.

また、図１６に示すように、マスキング部材１１５は、表面長方形の板状の部材である。マスキング部材１１５は、第１実施形態のマスキング部材４と同一の長穴１３０,１３１を有している。また、長方形の表面形状を有する板状のマスク部材１１５の一方の側の長手方向の端部には、幅方向に延びるギヤ１２１が形成されている。   As shown in FIG. 16, the masking member 115 is a plate-shaped member having a rectangular surface. The masking member 115 has the same long holes 130 and 131 as the masking member 4 of the first embodiment. Further, a gear 121 extending in the width direction is formed at one end of the plate-like mask member 115 having a rectangular surface shape in the longitudinal direction.

モータ１１４のギヤ１２０は、マスキング部材１１５のギヤ１２１と噛合している。側面図である図１７に示すように、モータ１１４のギヤ１２０を矢印α方向に回転させることによって、マスキング部材１１５をスリット１３３中に挿入するようになっている。また、モータ１１４のギヤ１２０を矢印β方向に回転させることによって、マスキング部材１１５をスリット１３３中から取り出すようになっている。   The gear 120 of the motor 114 is engaged with the gear 121 of the masking member 115. As shown in FIG. 17 which is a side view, the masking member 115 is inserted into the slit 133 by rotating the gear 120 of the motor 114 in the direction of the arrow α. Further, the masking member 115 is taken out from the slit 133 by rotating the gear 120 of the motor 114 in the arrow β direction.

第３実施形態の超音波探触子は、振動子１１２と、被疲労測定部材との間の距離を測定するときには、モータ１１４のギヤ１２０を矢印β方向に回転させることによって、図１６に示すように、マスキング部材１１５をスリット１３３中から完全に取り出すようになっている。   The ultrasonic probe of the third embodiment is shown in FIG. 16 by rotating the gear 120 of the motor 114 in the direction of arrow β when measuring the distance between the transducer 112 and the member to be fatigued. As described above, the masking member 115 is completely removed from the slit 133.

一方、超音波が被疲労測定部材を伝播するときの伝播速度を測定するときには、モータ１１４のギヤ１２０を矢印α方向に回転させることによって、図１８に示すように、マスキング部材１１５がガイド部材１１３のストッパ部１１６に接触するまでマスキング部材１１５をスリット１３３中に移動させ、マスキング部材１１５を固定位置に配置するようになっている。   On the other hand, when measuring the propagation speed when the ultrasonic wave propagates through the member to be measured for fatigue, the masking member 115 is guided by the guide member 113 as shown in FIG. The masking member 115 is moved into the slit 133 until it comes into contact with the stopper portion 116, and the masking member 115 is arranged at a fixed position.

上記第３実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材１１５を振動子１１２に対して移動させるモータ１１４を備えているので、マスキング部材１１５を固定位置に移動させることができると共に、マスキング部材１１５を固定位置から移動させることができる。   According to the ultrasonic probe of the third embodiment, since the motor 114 that moves the masking member 115 relative to the vibrator 112 is provided, the masking member 115 can be moved to a fixed position and masking is performed. The member 115 can be moved from the fixed position.

図１９〜図２２は、第４実施形態の超音波探触子を示す図である。   19 to 22 are diagrams showing an ultrasonic probe according to the fourth embodiment.

第４実施形態の超音波探触子は、ガイド部材１４３にストッパが存在しない点と、マスキング部材１４５が、第１実施形態のマスキング部材４の長手方向の縁と、第２マスキング部材８４の長手方向の縁とをくっつけたような形状をしている点とが、第３実施形態の超音波探触子と異なる。また、マスキング部材１４５が第１固定位置および第２固定位置に配置される点、すなわち、固定位置が二つ存在する点も第３実施形態の超音波探触子と異なる。   In the ultrasonic probe of the fourth embodiment, the guide member 143 has no stopper, the masking member 145 has the longitudinal edge of the masking member 4 of the first embodiment, and the longitudinal length of the second masking member 84. The ultrasonic probe according to the third embodiment is different from the ultrasonic probe according to the third embodiment in that it has a shape in which the edges of the directions are attached. The masking member 145 is also different from the ultrasonic probe of the third embodiment in that the masking member 145 is disposed at the first fixed position and the second fixed position, that is, there are two fixed positions.

第４実施形態の超音波探触子では、第１〜３実施形態の超音波探触子と共通の作用効果および変形例については説明を省略することにし、第１〜３実施形態の超音波探触子と異なる構成、作用効果および変形例についてのみ説明を行うことにする。   In the ultrasonic probe of the fourth embodiment, the description of the operational effects and modifications common to those of the ultrasonic probe of the first to third embodiments will be omitted, and the ultrasonic waves of the first to third embodiments will be omitted. Only configurations, operational effects, and modifications different from those of the probe will be described.

第４実施形態の超音波探触子は、上記のように、マスキング部材１４５が、第１実施形態のマスキング部材４の長手方向の縁と、第２マスキング部材８４の長手方向の縁とをくっつけたような形状をしている。詳細には、マスキング部材１４５は、矩形の表面形状を有し、マスキング部材１４５の一方の表面の一つの辺の縁部には、ギヤ１５０が形成されている。   In the ultrasonic probe of the fourth embodiment, as described above, the masking member 145 attaches the longitudinal edge of the masking member 4 of the first embodiment to the longitudinal edge of the second masking member 84. It has a shape like Specifically, the masking member 145 has a rectangular surface shape, and a gear 150 is formed at the edge of one side of one surface of the masking member 145.

また、図１９に示すように、移動装置の一例としてのモータ１４７は、ガイド部材１４３のバッキング部材側と反対側の表面に固定されている。上記モータ１４７のギヤ１４８は、マスキング部材１４５のギヤ１５０と噛合している。   Further, as shown in FIG. 19, the motor 147 as an example of the moving device is fixed to the surface of the guide member 143 opposite to the backing member side. The gear 148 of the motor 147 meshes with the gear 150 of the masking member 145.

振動子１５１と、被疲労測定部材との間の距離を測定するとき、すなわち、鏡面反射波を測定するときには、モータ１４７のギヤ１４８を、図２０に示す矢印δに回転させて、図１９および図２０に示すように、マスキング部材１４５における、マスキング部材１４５の移動方向に垂直な方向の中央に長穴１５６が一つ存在する部分を、振動子１５１に対向させるようにする。詳しくは、長穴１５６の中央を、振動子１５１に対向させるようにして、マスキング部材１４５を第１固定位置に配置する。この状態において、上記一つの長穴１５６の長手方向の縁、すなわち、長穴１５６におけるマスキング部材１４５のギヤ１５０と平行な縁には、波目が形成されている。   When measuring the distance between the vibrator 151 and the member to be fatigued, that is, when measuring the specular reflection wave, the gear 148 of the motor 147 is rotated to the arrow δ shown in FIG. As shown in FIG. 20, a portion of the masking member 145 where one long hole 156 exists at the center in the direction perpendicular to the moving direction of the masking member 145 is made to face the vibrator 151. Specifically, the masking member 145 is arranged at the first fixed position so that the center of the long hole 156 faces the vibrator 151. In this state, undulations are formed on the edge in the longitudinal direction of the one long hole 156, that is, the edge parallel to the gear 150 of the masking member 145 in the long hole 156.

一方、被疲労測定部材を伝播する超音波の伝播速度を測定するとき、すなわち、漏洩レイリー波を検出するときには、モータ１４７のギヤ１４８を、図２０に示す矢印γに回転させて、図２１および図２２に示すように、マスキング部材１４５の移動方向に垂直な方向の垂直２等分面に対して、面対称な二つの長穴１５４および１５５が存在するマスキング部材１４５の部分を、振動子１５１に対向させるようにする。詳しくは、長穴１５４および１５５の中央を、振動子１５１に対向させるようにして、マスキング部材１４５を第２固定位置に配置する。この状態において、上記長穴１５４,１５５の長手方向の縁、すなわち、長穴１５４,１５５におけるマスキング部材１４５のギヤ１５０と平行な縁には、波目が形成されている。上記マスキング部材１４５における長穴１５４,１５５,１５６以外の部分は、超音波の通過を遮断する本体部になっている。   On the other hand, when measuring the propagation speed of the ultrasonic wave propagating through the member to be fatigued, that is, when detecting a leaky Rayleigh wave, the gear 148 of the motor 147 is rotated in the direction of the arrow γ shown in FIG. As shown in FIG. 22, the portion of the masking member 145 in which the two elongated holes 154 and 155 that are plane-symmetric with respect to the perpendicular bisector in the direction perpendicular to the moving direction of the masking member 145 is designated as the vibrator 151. So that it is opposite. Specifically, the masking member 145 is arranged at the second fixed position so that the center of the long holes 154 and 155 is opposed to the vibrator 151. In this state, corrugations are formed at the longitudinal edges of the long holes 154, 155, that is, the edges parallel to the gear 150 of the masking member 145 in the long holes 154, 155. Portions other than the long holes 154, 155, and 156 in the masking member 145 are main body portions that block the passage of ultrasonic waves.

図１９に示すように、上記マスキング部材１４５は、ガイド部材１４３に固定されているモータ１４７のギヤ１４８と、ガイド部材１４３の振動子１５１のモータ側と反対側の側面部１５７のスリット１５８とで支持されている。   As shown in FIG. 19, the masking member 145 includes a gear 148 of the motor 147 fixed to the guide member 143 and a slit 158 of the side surface portion 157 opposite to the motor side of the vibrator 151 of the guide member 143. It is supported.

上記第４実施形態の超音波探触子によれば、マスキング部材１４５が、移動方向において、振動子１５１との対向配置において、被疲労測定部材との距離を測定する長穴１５６が一つの部分と、超音波の被疲労測定部材の伝播速度を測定する長穴１５４,１５５が二つの部分とからなる。したがって、モータ１４７の回転方向を変化させるだけで、振動子１５１との対向配置で、マスキング部材１４５における長穴１５６が一つの部分と、マスキング部材１４５における長穴１５４,１５５が二つの部分とを容易に移動させることができて、被疲労測定部材の疲労度の測定を容易に行うことができる。   According to the ultrasonic probe of the fourth embodiment, the long hole 156 for measuring the distance from the fatigued measurement member is one part when the masking member 145 is disposed opposite to the transducer 151 in the moving direction. In addition, the long holes 154 and 155 for measuring the propagation speed of the ultrasonic fatigued measuring member are composed of two parts. Therefore, only by changing the rotation direction of the motor 147, the elongated hole 156 in the masking member 145 has one part and the elongated holes 154 and 155 in the masking member 145 have two parts in an arrangement facing the vibrator 151. It can be moved easily, and the degree of fatigue of the fatigued measurement member can be easily measured.

尚、上記第４実施形態の超音波探触子では、上記マスキング部材１４５を第１または第２固定位置に配置するのに、センサを用いなかったが、この発明では、例えば、長穴の長手方向の縁の中央付近に塗料を塗布して、この塗料を塗布した部分にマーカを作成し、このマーカを光センサ等で検出することにより、超音波探触子を、第１または第２固定位置に正確に配置するようにしても良い。   In the ultrasonic probe of the fourth embodiment, no sensor is used to place the masking member 145 at the first or second fixed position. However, in the present invention, for example, the length of the long hole is long. Applying paint near the center of the edge of the direction, creating a marker on the part where the paint is applied, and detecting the marker with an optical sensor or the like, the ultrasonic probe is fixed in the first or second direction. You may make it arrange | position correctly in a position.

図２３〜図２６は、本発明の第５実施形態の超音波探触子を示す図である。   23 to 26 are views showing an ultrasonic probe according to a fifth embodiment of the present invention.

第５実施形態の超音波探触子は、振動子の超音波の発信機能（発振機能）と超音波の受信機能の両方を有する超音波送受信面が一体（一つのみ）ではなくて、振動子の超音波送受信面が三つの互いに独立な部分からなること、言い換えれば、振動子が、第１振動子１６１、第２振動子１６２および第３振動子１６３からなることが、第１実施形態の超音波探触子と異なっている。   In the ultrasonic probe according to the fifth embodiment, the ultrasonic transmission / reception surface having both the ultrasonic transmission function (oscillation function) and the ultrasonic reception function of the vibrator is not integrated (only one), but is vibrated. The first embodiment is that the ultrasonic transmission / reception surface of the child is composed of three mutually independent portions, in other words, the vibrator is composed of the first vibrator 161, the second vibrator 162, and the third vibrator 163. Different from the ultrasound probe.

第５実施形態の超音波探触子では、第１〜４実施形態の超音波探触子と共通の作用効果および変形例については説明を省略することにし、第１実施形態の超音波探触子と異なる構成、作用効果および変形例についてのみ説明を行うことにする。   In the ultrasonic probe of the fifth embodiment, the description of the operational effects and modifications common to those of the ultrasonic probe of the first to fourth embodiments will be omitted, and the ultrasonic probe of the first embodiment will be omitted. Only configurations, effects, and modifications different from those of the child will be described.

この超音波探触子は、上記のように、第１振動子１６１、第２振動子１６２および第３振動子１６３を備える。図２３および図２４に示すように、上記第１、第２および第３振動子１６１,１６２,１６３は、略同一の形状を有し、バッキング部材１６４の球面状の凹面１６５の大円上に、間隔をおいて略等間隔に配置されている。図２４に示すように、上記第１、第２および第３振動子１６１,１６２,１６３は、略正方形の超音波送受信面を有している。   As described above, the ultrasonic probe includes the first transducer 161, the second transducer 162, and the third transducer 163. As shown in FIGS. 23 and 24, the first, second, and third vibrators 161, 162, 163 have substantially the same shape and are arranged on the great circle of the spherical concave surface 165 of the backing member 164. Are arranged at substantially equal intervals at intervals. As shown in FIG. 24, the first, second, and third transducers 161, 162, 163 have substantially square ultrasonic wave transmitting / receiving surfaces.

この超音波探触子は、被疲労測定部材との距離を測定するときには、図２４に示すように、マスキング部材１７０（図２５,図２６参照）を取り外した状態で、第２振動子１６２から発振されて被疲労測定部材（図示しない）で反射して第２振動子１６２に到達した超音波の伝播時間と、第１振動子１６１から発振されて被疲労測定部材で反射して第３振動子１６３に到達した超音波の伝播時間とが同一であることを検出することによって、超音波探触子が被疲労測定部材に対して傾いた状態でないことを確認するようになっている。そして、この状態から、超音波探触子と被疲労測定部材との距離を所定距離短くして、超音波が伝播する被疲労測定部材の部分の距離を設定するようになっている。   When measuring the distance from the member to be fatigued, the ultrasonic probe is removed from the second vibrator 162 with the masking member 170 (see FIGS. 25 and 26) removed, as shown in FIG. The propagation time of the ultrasonic wave that is oscillated and reflected by the fatigued measurement member (not shown) and reaches the second vibrator 162, and the third vibration that is oscillated from the first vibrator 161 and reflected by the fatigued measurement member. By detecting that the propagation time of the ultrasonic wave reaching the child 163 is the same, it is confirmed that the ultrasonic probe is not inclined with respect to the fatigued measurement member. From this state, the distance between the ultrasonic probe and the fatigued measurement member is shortened by a predetermined distance, and the distance of the portion of the fatigued measurement member through which the ultrasonic wave propagates is set.

また、超音波が被疲労測定部材を伝播する伝播速度を測定するとき、すなわち、漏洩レイリー波の伝播時間を測定するときには、図２５および図２６に示すように、マスキング部材１７０をガイド部材１７４に取り付ける。そして、第１振動子１６１から発振されて、マスキング部材１７０の第１の穴１７６を通過して被疲労測定部材に到達して被疲労測定部材を所定距離伝播した後、マスキング部材１７０の第２の穴１７７を通過して第３振動子１６３に到達した超音波に基づいて、超音波の被疲労測定部材の伝播速度を測定する。   Further, when measuring the propagation speed at which the ultrasonic wave propagates through the fatigued measurement member, that is, when measuring the propagation time of the leaky Rayleigh wave, the masking member 170 is attached to the guide member 174 as shown in FIGS. Install. Then, after being oscillated from the first vibrator 161 and passing through the first hole 176 of the masking member 170 to reach the fatigued measurement member and propagating through the fatigued measurement member for a predetermined distance, Based on the ultrasonic wave that has passed through the hole 177 and reached the third vibrator 163, the propagation speed of the ultrasonic fatigued measurement member is measured.

上記第５実施形態の超音波探触子によれば、漏洩レイリー波の伝播時間を測定するときに、マスキング部材１７０を取り付けた状態で測定を行うので、第１の穴１７６および第２の穴１７７を通過した超音波を測定できて、所望の経路の超音波を測定できる。したがって、超音波の被疲労測定部材の伝播速度を精密に測定できる。   According to the ultrasonic probe of the fifth embodiment, when measuring the propagation time of the leaky Rayleigh wave, since the measurement is performed with the masking member 170 attached, the first hole 176 and the second hole The ultrasonic wave that has passed through 177 can be measured, and the ultrasonic wave of a desired path can be measured. Therefore, it is possible to accurately measure the propagation speed of the ultrasonic fatigued measurement member.

第１実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of the first embodiment. 第１実施形態の超音波探触子の側面図である。It is a side view of the ultrasonic probe of a 1st embodiment. 図１のα−α線断面図である。It is the alpha-alpha sectional view taken on the line of FIG. マスキング部材が取り付けられていない超音波探触子を示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic probe to which the masking member is not attached. マスキング部材が取り付けられていない超音波探触子を示す図である。It is a figure which shows the ultrasonic probe to which the masking member is not attached. 第１実施形態の超音波探触子の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the ultrasonic probe of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波探触子の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the ultrasonic probe of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波探触子のマスキング部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the masking member of the ultrasonic probe of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波探触子のマスキング部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the masking member of the ultrasonic probe of 1st Embodiment. 第１実施形態の超音波探触子のマスキング部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the masking member of the ultrasonic probe of 1st Embodiment. 第２マスキング部材を装着した第２実施形態の超音波探触子の断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic probe of 2nd Embodiment equipped with the 2nd masking member. 第２マスキング部材を装着した第２実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 2nd Embodiment equipped with the 2nd masking member. マスキング部材を装着した第２実施形態の超音波探触子の断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic probe of 2nd Embodiment equipped with the masking member. マスキング部材を装着した第２実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 2nd Embodiment equipped with the masking member. 第２実施形態の超音波探触子の第２マスキング部材の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the 2nd masking member of the ultrasonic probe of 2nd Embodiment. マスキング部材を装着していない第３実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 3rd Embodiment which is not mounting | wearing with the masking member. マスキング部材を装着していない第３実施形態の超音波探触子の側面図である。It is a side view of the ultrasonic probe of a 3rd embodiment which is not wearing a masking member. マスキング部材を装着している第３実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 3rd Embodiment equipped with the masking member. マスキング部材を第１固定位置に配置している第４実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of an ultrasonic probe of a 4th embodiment which has arranged a masking member in the 1st fixed position. マスキング部材を第１固定位置に配置している第４実施形態の超音波探触子の側面図である。It is a side view of the ultrasonic probe of a 4th embodiment which has arranged a masking member in the 1st fixed position. マスキング部材を第２固定位置に配置している第４実施形態の超音波探触子の下面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 4th Embodiment which has arrange | positioned the masking member in the 2nd fixed position. マスキング部材を第２固定位置に配置している第４実施形態の超音波探触子の側面図である。It is a side view of the ultrasonic probe of a 4th embodiment which has arranged a masking member in the 2nd fixed position. マスキング部材を装着していない第５実施形態の超音波探触子の断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic probe of 5th Embodiment which is not mounting | wearing with the masking member. マスキング部材を装着していない第５実施形態の超音波探触子の底面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 5th Embodiment which is not mounting | wearing with the masking member. マスキング部材を装着している第５実施形態の超音波探触子の断面図である。It is sectional drawing of the ultrasonic probe of 5th Embodiment equipped with the masking member. マスキング部材を装着している第５実施形態の超音波探触子の底面図である。It is a bottom view of the ultrasonic probe of 5th Embodiment equipped with the masking member.

１,１１１,１６４ バッキング部材
２,１１２,１５１ 振動子
３,３１,１１３,１４３,１７５ ガイド部材
４,４５,６４,７５,１１５,１４５,１７０ マスキング部材
８４,１０４ 第２マスキング部材
１１４,１４７ モータ
１６１ 第１振動子
１６２ 第２振動子
１６３ 第３振動子 1,111,164 backing member 2,112,151 vibrator 3,31,113,143,175 guide member 4,45,64,75,115,145,170 masking member 84,104 second masking member 114,147 Motor 161 First vibrator 162 Second vibrator 163 Third vibrator

Claims (5)

振動子と、
上記振動子からの音波を遮断する本体部に、上記振動子からの音波が通過する少なくとも一つの穴を設けてなるマスキング部材と
を備え、
上記本体部に、上記穴を二つ設け、
少なくとも、一方の上記穴の他方の上記穴側の縁に波目が形成されていることを特徴とする超音波探触子。 A vibrator,
A masking member provided with at least one hole through which the sound wave from the vibrator passes is provided in the main body portion that blocks the sound wave from the vibrator ,
Two holes are provided in the main body,
At least, the ultrasonic probe is characterized that you have other corrugations the edge of the hole side of one of the holes are formed. 請求項１に記載の超音波探触子において、
上記波目は、のこぎり波状の波目であることを特徴とする超音波探触子。 The ultrasonic probe according to claim 1,
The wave th ultrasonic probe and said corrugations der Rukoto of sawtooth. 請求項１または２に記載の超音波探触子において、
上記振動子は、超音波の送信機能と超音波の受信機能の両方を有する一つの超音波送受信面を有することを特徴とする超音波探触子。 The ultrasonic probe according to claim 1 or 2 ,
The transducer has one ultrasonic transmission / reception surface having both an ultrasonic transmission function and an ultrasonic reception function. 請求項１乃至３のいずれか１つに記載の超音波探触子において、
上記マスキング部材は、略矩形の表面形状を有する板部材であり、
上記マスキング部材の互いに対向する一対の縁部を収容するスリットを有すると共に、上記マスキング部材を上記振動子に対して位置決めする位置決め部材を備えることを特徴とする超音波探触子。 The ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 3 ,
The masking member is a plate member having a substantially rectangular surface shape,
An ultrasonic probe, comprising: a slit that accommodates a pair of opposing edges of the masking member; and a positioning member that positions the masking member with respect to the transducer. 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の超音波探触子において、
上記マスキング部材を上記振動子に対して移動させる移動装置を備えることを特徴とする超音波探触子。 The ultrasonic probe according to any one of claims 1 to 4 ,
An ultrasonic probe comprising: a moving device that moves the masking member relative to the vibrator.
JP2005145604A 2005-05-18 2005-05-18 Ultrasonic probe Active JP4628866B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005145604A JP4628866B2 (en) 2005-05-18 2005-05-18 Ultrasonic probe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005145604A JP4628866B2 (en) 2005-05-18 2005-05-18 Ultrasonic probe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006324889A JP2006324889A (en) 2006-11-30
JP4628866B2 true JP4628866B2 (en) 2011-02-09

Family

ID=37544243

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005145604A Active JP4628866B2 (en) 2005-05-18 2005-05-18 Ultrasonic probe

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4628866B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7626692B2 (en) * 2006-12-18 2009-12-01 The Boeing Company Automated imaging of part inconsistencies
FR3098302B1 (en) * 2019-07-01 2022-02-04 Commissariat Energie Atomique Surface wave imaging device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03205557A (en) * 1989-05-12 1991-09-09 Hitachi Constr Mach Co Ltd Probe of ultrasonic microscope
JPH10318995A (en) * 1997-05-14 1998-12-04 Non Destructive Inspection Co Ltd Method of evaluating degree of deterioration in test object by surface wave
JP2000131297A (en) * 1998-10-28 2000-05-12 Non-Destructive Inspection Co Ltd Leakage elastic surface wave measuring probe

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03205557A (en) * 1989-05-12 1991-09-09 Hitachi Constr Mach Co Ltd Probe of ultrasonic microscope
JPH10318995A (en) * 1997-05-14 1998-12-04 Non Destructive Inspection Co Ltd Method of evaluating degree of deterioration in test object by surface wave
JP2000131297A (en) * 1998-10-28 2000-05-12 Non-Destructive Inspection Co Ltd Leakage elastic surface wave measuring probe

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006324889A (en) 2006-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2944206B2 (en) Ultrasonic flow meter
EP2310810B1 (en) Fluid flow meter apparatus for attenuating ultrasonic waves propagating within a pipe wall
US20110132102A1 (en) Measuring System for Determining and/or Monitoring Flow of a Measured Medium Through a Measuring Tube
JP2003075219A (en) Clamp-on ultrasonic flowmeter
US20050166684A1 (en) Wedge and wedge unit for use in ultrasonic doppler flow meter
JP5755993B2 (en) Ultrasonic sensor
JP4628866B2 (en) Ultrasonic probe
KR20120107940A (en) Ultrasonic flow sensor for use in a fluid medium
JP2008051557A (en) Ultrasonic probe and ultrasonic flaw detector
JP4945092B2 (en) Ultrasonic probe
JP2008089569A (en) Ultrasonic sensor and obstacle detector
US20210364477A1 (en) Method for Installing Probes, and Method for Driving Transmission Probe
JP2011127996A (en) Ultrasonic probe and ultrasonic flaw detector
JP4913480B2 (en) Thickness measuring device
JP4368591B2 (en) Ultrasonic flow meter
JP4496258B2 (en) Ultrasonic flow meter
JPH09229748A (en) Ultrasonic liquid-surface level sensor
JP2693000B2 (en) Ultrasonic transducer
JP3831292B2 (en) Fatigue measurement method for inner ring of cylindrical roller bearing
JP6393074B2 (en) Ultrasonic absorber pasting method and ultrasonic flow meter
US20070101804A1 (en) Ultrasonic liquid viscosity sensor using mode conversion
JP7461247B2 (en) ultrasonic probe
JP4179896B2 (en) Ultrasonic flow meter
JP2505647Y2 (en) Ultrasonic flow meter
JP4060751B2 (en) Ultrasonic propagation velocity measuring method and bearing inner ring raceway surface inspection method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080318

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20091225

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20091225

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100712

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100720

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100916

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20101102

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101110

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4628866

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150