JP4628496B1

JP4628496B1 - Thin plate conveyor

Info

Publication number: JP4628496B1
Application number: JP2010170032A
Authority: JP
Inventors: 智雄松下
Original assignee: 智雄松下
Priority date: 2010-02-10
Filing date: 2010-07-29
Publication date: 2011-02-09
Anticipated expiration: 2030-07-29
Also published as: JP2011184196A

Abstract

【課題】反りを有する薄板であっても簡易な構成により確実に高速搬送することができる薄板搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送体１１６と、搬送体１１６に設けられた一対の突状体１２１と、搬送体１１６の駆動により一対の突状体１２１を水平搬送する駆動手段とを備え、一対の突状体１２１間に平板状の薄板が保持される薄板搬送装置であって、一対の突状体１２１は、搬送方向に沿って互いに対向する傾斜面１２４をそれぞれ備え、傾斜面１２４には、複数の係止微細突起が傾斜方向に鋸歯状に連設されており、一対の突状体１２１の係止微細突起が薄板の搬送方向両側端面にそれぞれ当接して薄板を保持するように構成されている。
【選択図】図３
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thin plate transport device capable of reliably transporting at high speed with a simple structure even if it is a thin plate having warpage.
SOLUTION: A transport body 116, a pair of projecting bodies 121 provided on the transport body 116, and a driving means for horizontally transporting the pair of projecting bodies 121 by driving the transport body 116, are provided. A thin plate conveying apparatus in which a flat thin plate is held between the bodies 121, and each of the pair of projecting bodies 121 includes inclined surfaces 124 facing each other along the conveying direction. The engaging fine protrusions are connected in a sawtooth shape in the inclined direction, and the engaging fine protrusions of the pair of protrusions 121 are configured to hold the thin plate by coming into contact with both end surfaces of the thin plate in the conveying direction. .
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、薄板搬送装置に関し、より詳しくは、太陽電池用ウエハ等の薄板を搬送するのに好適な薄板搬送装置に関する。 The present invention relates to a thin plate transport device, and more particularly to a thin plate transport device suitable for transporting a thin plate such as a wafer for solar cells.

半導体ウエハや太陽電池セルなどの薄板を搬送する装置として、例えば特許文献１に開示された構成が知られている。この搬送装置は、太陽電池セルを搬送する搬送ベルトに多数の貫通孔が形成されており、搬送ベルトを支持する真空ボックスの内部を負圧にすることで、搬送ベルト上の太陽電池セルが貫通孔を介して吸引される。 As an apparatus for transporting a thin plate such as a semiconductor wafer or a solar battery cell, for example, a configuration disclosed in Patent Document 1 is known. In this transfer device, a large number of through holes are formed in the transfer belt for transferring the solar cells, and the solar cells on the transfer belt pass through the interior of the vacuum box that supports the transfer belt by applying a negative pressure. Suction through the hole.

ところで、太陽電池用のセルやウエハは、最近では非常に薄型化される一方で高速搬送の必要性が高まっていることから、搬送装置に対しては、ウエハやセルを損傷することなく確実に保持できるように、所定の負圧で吸着することが要求される。このため、特許文献１の搬送装置は、真空ボックスの内部を始端側移載部、作業部および終端側移載部に区画して、搬送方向両側の始端側移載部および終端側移載部を負圧状態と大気圧状態に切り替え可能に構成されており、作業部における吸引力の維持を図っている。 By the way, the cells and wafers for solar cells have recently been made very thin, while the need for high-speed conveyance has increased. Therefore, the conveyance device can be surely damaged without damaging the wafer or cell. It is required to adsorb at a predetermined negative pressure so that it can be held. For this reason, the conveyance apparatus of patent document 1 divides the inside of a vacuum box into the start end side transfer part, a work part, and a termination | terminus transfer part, and the start end transfer part and termination | terminus side transfer part of a conveyance direction both sides Can be switched between a negative pressure state and an atmospheric pressure state to maintain the suction force in the working unit.

また、搬送ベルトの表面に配置された複数の突状体により薄板を保持する構成として、特許文献２から４に開示された構成が知られている。 Moreover, the structure disclosed by patent document 2 to 4 is known as a structure which hold | maintains a thin plate with the some protrusion body arrange | positioned on the surface of a conveyance belt.

特開２００６−１６０３９７号公報JP 2006-160397 A 特開２００１−１３３１６０号公報JP 2001-133160 A 特開２００５−１６９０６号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-16906 特開２００２−２０３８８８号公報JP 2002-203888 A

ところが、上記特許文献１の発明によれば、真空ボックスを区画して吸引を個別に入切するための仕切りやバルブが必要になるため、装置構成が複雑なものとなる。 However, according to the invention of the above-mentioned Patent Document 1, a partition and a valve for partitioning the vacuum box and individually turning on and off the suction are necessary, so that the apparatus configuration becomes complicated.

また、搬送されるセルやウエハ等の薄板は完全に平坦ではなく反りを有することがあるため、ウエハを真空吸引して搬送する従来の方式では、反りの大きさに拘わらず確実に吸着するために高い吸引力が必要になる結果、反りの矯正力が過大になった薄板にクラックやワレが発生するおそれがあった。更に、高い真空吸引力によってウエハだけでなく搬送ベルトも吸引されるため、搬送ベルトの駆動に大きな動力が必要になるだけでなく、搬送ベルトに摩耗が生じ易く耐久性の面でも問題があった。 In addition, since a thin plate such as a cell or wafer to be transported is not completely flat and may have warpage, the conventional method of transporting the wafer by vacuum suction reliably attracts the wafer regardless of the size of the warp. As a result, a high suction force is required. As a result, cracks and cracks may occur in a thin plate with excessive warping correction force. Furthermore, since not only the wafer but also the conveyor belt is attracted by the high vacuum suction force, not only a large power is required to drive the conveyor belt, but also the conveyor belt is likely to be worn and there is a problem in terms of durability. .

一方、特許文献２から４の発明は、突状体により薄板を保持する構成であるため吸引による弊害は生じないが、いずれも焼成炉内での低速搬送に使用されるものであり、薄板を高速搬送する際の問題については十分検討されていない。すなわち、特許文献２および３の発明については、突状体が薄板の搬送方向両側を保持する構成であるため、加速または減速により薄板に対して搬送方向に大きな力が作用した場合に、薄板が突状体から脱落するおそれがある。また、特許文献４の発明は突状体がワイヤ等から構成されているため、やはり薄板の保持力が十分でなく、高速搬送には適さないという問題があった。 On the other hand, since the inventions of Patent Documents 2 to 4 are configured to hold a thin plate by a projecting body, no adverse effects due to suction occur, but both are used for low-speed conveyance in a firing furnace. The problem of high-speed transport has not been fully studied. That is, in the inventions of Patent Documents 2 and 3, since the projecting body is configured to hold both sides of the thin plate in the conveyance direction, the thin plate is removed when a large force acts on the thin plate in the conveyance direction by acceleration or deceleration. There is a risk of falling off the protrusion. In addition, the invention of Patent Document 4 has a problem in that the projecting body is composed of a wire or the like, so that the holding force of the thin plate is not sufficient and is not suitable for high-speed conveyance.

そこで、本発明は、反りを有する薄板であっても簡易な構成により確実に高速搬送することができる薄板搬送装置を提供することを目的とする。 In view of the above, an object of the present invention is to provide a thin plate transport device that can reliably transport at high speed even with a thin plate having a warp.

本発明の前記目的は、搬送体と、前記搬送体に設けられた一対の突状体と、前記搬送体の駆動により一対の前記突状体を水平搬送する駆動手段とを備え、一対の前記突状体間に平板状の薄板が保持される薄板搬送装置であって、一対の前記突状体は、搬送方向に沿って互いに対向するように傾斜する傾斜面をそれぞれ備え、前記傾斜面には、複数の係止微細突起が傾斜方向に連設されており、前記係止微細突起は、前記傾斜面から立ち上がる当接面と、前記当接面の上縁から前記傾斜面に向けて延びる受け面とを備える側面視三角形状に形成され、一対の前記突状体の前記係止微細突起の前記当接面が、薄板の搬送方向両側端面にそれぞれ当接して薄板を保持するように構成されており、前記当接面は、鉛直面に対して外方に拡がるように形成されている薄板搬送装置により達成される。 The object of the present invention includes a transport body, a pair of projecting bodies provided on the transport body, and a driving means for horizontally transporting the pair of projecting bodies by driving the transport body. A thin plate conveying apparatus in which a flat thin plate is held between projecting bodies, each of the pair of projecting bodies having inclined surfaces that are inclined so as to face each other along a conveying direction, Has a plurality of locking microprojections arranged in an inclined direction, and the locking microprojections extend from the contact surface rising from the inclined surface and from the upper edge of the contact surface toward the inclined surface. The contact surfaces of the locking fine protrusions of the pair of protrusions are in contact with both end surfaces in the conveyance direction of the thin plate to hold the thin plate. are, the abutment surface is shaped to spread outward with respect to a vertical plane It is achieved by a thin plate conveying device being.

本発明によれば、反りを有する薄板であっても簡易な構成により確実に高速搬送することができる薄板搬送装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a thin plate which has curvature, the thin plate conveying apparatus which can be reliably conveyed at high speed with a simple structure can be provided.

本発明の一実施形態に係る薄板搬送装置の側面図である。It is a side view of the thin plate conveying apparatus concerning one embodiment of the present invention. 図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG. 図１の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of FIG. 突状体による薄板の保持状態を示す側面図である。It is a side view which shows the holding state of the thin plate by a protruding body. 突状体による薄板の他の保持状態を示す側面図である。It is a side view which shows the other holding state of the thin plate by a protruding body. 突状体の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of a protruding body. 突状体の要部を拡大して示す側面図である。It is a side view which expands and shows the principal part of a protruding body. 図７の突状体による薄板の保持状態を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows the holding | maintenance state of the thin plate by the protrusion of FIG. 図７の突状体の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the protruding body of FIG. 図９の突状体を矢示Ａ方向に見た図である。It is the figure which looked at the protruding body of FIG. 9 in the arrow A direction. 本発明の他の実施形態に係る薄板搬送装置を搬送方向後方側から見た図である。It is the figure which looked at the thin plate conveying apparatus which concerns on other embodiment of this invention from the conveyance direction back side. 図１１に示す薄板搬送装置の要部を示す側面図である。It is a side view which shows the principal part of the thin plate conveying apparatus shown in FIG. 図１１に示す薄板搬送装置の他の要部を示す側面図である。It is a side view which shows the other principal part of the thin plate conveying apparatus shown in FIG. 図１１に示す薄板搬送装置の更に他の要部を示す側面図である。It is a side view which shows the other principal part of the thin plate conveying apparatus shown in FIG. 図１１に示す薄板搬送装置の動作を説明するためのタイミングチャートである。It is a timing chart for demonstrating operation | movement of the thin plate conveying apparatus shown in FIG.

以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る薄板搬送装置の側面図であり、図２は、図１の平面図である。図１に示すように、薄板搬送装置１００は、駆動プーリ１１２および従動プーリ１１４に無端状の搬送ベルト１１６が巻き掛けられたベルトコンベア１１０と、搬送ベルト１１６の表面に複数設けられた薄板保持部１２０とを備えている。薄板保持部１２０は、搬送ベルト１１６の全周にわたって、長手方向に沿って等間隔に配置されている。薄板搬送装置１００の搬送方向両側には、搬送ベルト１１６の直上に位置するように、薄板搬入装置１５１および薄板搬出装置１５２が設けられている。薄板搬入装置１５１および薄板搬出装置１５２は、吸盤やベルヌーイチャック等の薄板吸着部１５１ａ，１５２ａを備えており、薄板吸着部１５１ａ，１５２ａの上下動により、薄板搬送装置１００に対して薄板の搬入および搬出を行うことができる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a side view of a thin plate conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of FIG. As shown in FIG. 1, the thin plate conveying apparatus 100 includes a belt conveyor 110 in which an endless conveying belt 116 is wound around a driving pulley 112 and a driven pulley 114, and a plurality of thin plate holding portions provided on the surface of the conveying belt 116. 120. The thin plate holders 120 are arranged at equal intervals along the longitudinal direction over the entire circumference of the conveyor belt 116. A thin plate carrying-in device 151 and a thin plate carrying-out device 152 are provided on both sides of the thin plate carrying device 100 in the carrying direction so as to be located immediately above the carrying belt 116. The thin plate carry-in device 151 and the thin plate carry-out device 152 include thin plate suction portions 151a and 152a such as suction cups and Bernoulli chucks, and by moving the thin plate suction portions 151a and 152a up and down, a thin plate is carried into and out of the thin plate transport device 100. Can be carried out.

薄板保持部１２０は、搬送ベルト１１６の搬送方向（矢示Ａ方向）に間隔をあけて配置された一対の突状体１２１，１２１を備えている。突状体１２１，１２１は、図２に示すように、薄板Ｔの搬送方向前後の縁部中央を保持する。駆動プーリ１１２は、搬送ベルト１１６を駆動して一対の突状体１２１，１２１を水平搬送する。 The thin plate holding unit 120 includes a pair of projecting bodies 121 and 121 that are arranged at intervals in the transport direction (arrow A direction) of the transport belt 116. As shown in FIG. 2, the protrusions 121 and 121 hold the center of the edge portion of the thin plate T before and after the conveyance direction. The driving pulley 112 drives the conveying belt 116 to horizontally convey the pair of protruding bodies 121 and 121.

図３は、図１の要部拡大図であり、薄板保持部１２０の一つを示している。突状体１２１は、本体部１２２の上面にシート体１２３が着脱可能に貼着されて構成されており、本体部１２２の傾斜する上面に沿ってシート体１２３が貼着されることで、シート体１２３の表面が傾斜面１２４を構成している。図３においては明記していないが、傾斜面１２４には、段差が０．１ｍｍ程度の微細な階段状となるように複数の係止微細突起が形成されている。この係止微細突起については、後に詳述する。 FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 1 and shows one of the thin plate holding parts 120. The projecting body 121 is configured such that the sheet body 123 is detachably attached to the upper surface of the main body portion 122, and the sheet body 123 is attached along the inclined upper surface of the main body portion 122. The surface of the body 123 forms an inclined surface 124. Although not clearly shown in FIG. 3, a plurality of locking fine protrusions are formed on the inclined surface 124 so as to form a fine step having a step of about 0.1 mm. This locking fine protrusion will be described in detail later.

本体部１２２は、歯付きベルトからなる搬送ベルト１１６の歯部１１６ａと略同じ幅を有する取付部１２２ａを下面側に備えており、取付部１２２ａが搬送ベルト１１６の表面に溶着等により固定されている。搬送ベルト１１６が例えばウレタンベルトである場合、本体部１２２も同じ材料であることが好ましく、溶着により本体部１２２を搬送ベルト１１６に確実に固定することができる。一方、シート体１２３は、ウエハを確実に保持できるようにウエハとの間に適度な摩擦力が生じる材料が好ましく、例えばエチレンプロピレンゴム（ＥＰＭ、ＥＰＤＭ）を好適に使用することができる。シート体１２３は、摩擦力の低下や摩耗などが生じた場合に交換できるように本体部１２２に着脱自在としているが、本体部１２２に分離不能に設けてもよい。また、シート体１２３は必須のものではなく、本体部１２２にウエハが直接載置されるように、本体部１２２の上面を傾斜面１２４としてもよい。この場合、本体部１２２自体が、耐振ゴム等のゴム材や樹脂のように薄板Ｔとの摩擦抵抗が大きい材質からなることが好ましい。 The main body 122 includes a mounting portion 122a having substantially the same width as the tooth portion 116a of the conveyor belt 116 formed of a toothed belt, and the mounting portion 122a is fixed to the surface of the conveyor belt 116 by welding or the like. Yes. When the conveyance belt 116 is, for example, a urethane belt, the main body 122 is preferably made of the same material, and the main body 122 can be reliably fixed to the conveyance belt 116 by welding. On the other hand, the sheet body 123 is preferably made of a material that generates an appropriate frictional force with the wafer so that the wafer can be securely held. For example, ethylene propylene rubber (EPM, EPDM) can be suitably used. The sheet body 123 is detachably attached to the main body 122 so that it can be exchanged when frictional force is reduced or worn, but it may be provided in the main body 122 so as not to be separated. Further, the sheet body 123 is not essential, and the upper surface of the main body 122 may be an inclined surface 124 so that the wafer is directly placed on the main body 122. In this case, it is preferable that the main body 122 itself is made of a material having a large frictional resistance with the thin plate T, such as a rubber material such as vibration-resistant rubber or a resin.

各傾斜面１２４，１２４は、搬送方向に沿って互いに対向するように、すなわち突状体１２１，１２１の基部側（搬送ベルト１１６側）から先端側に向けて互いの間隔が拡がるように、傾斜しており、搬送ベルト１１６の表面に対する傾斜角度が一定となるように（側面視で直線状に傾斜するように）、テーパ状に形成されている。傾斜面１２４，１２４の基部側は、本実施形態では搬送ベルト１１６の表面に対して垂直な起立部１２２ｂ，１２２ｂと連接しており、突状体１２１，１２１の側面視が台形状に形成されている。突状体１２１は、例えば側面視が三角形状に形成されていてもよく、薄板Ｔの縁部を保持する傾斜面１２４を備える構成であれば、形状は特に限定されない。 The inclined surfaces 124 and 124 are inclined so as to face each other along the conveyance direction, that is, so that the distance between the inclined surfaces 121 and 121 increases from the base side (conveying belt 116 side) to the distal end side. It is formed in a tapered shape so that the inclination angle with respect to the surface of the conveying belt 116 is constant (inclined linearly in a side view). In this embodiment, the base sides of the inclined surfaces 124 and 124 are connected to upright portions 122b and 122b perpendicular to the surface of the conveyor belt 116, and the protrusions 121 and 121 are formed in a trapezoidal shape when viewed from the side. ing. For example, the protrusion 121 may be formed in a triangular shape when viewed from the side, and the shape is not particularly limited as long as the protrusion 121 includes the inclined surface 124 that holds the edge of the thin plate T.

上記の構成を有する薄板搬送装置１００によれば、搬送対象となる太陽電池用ウエハ等の薄板Ｔを薄板保持部１２０に載置すると、薄板Ｔは、搬送方向前後の縁部がそれぞれ傾斜面１２４，１２４に位置する。このため、薄板Ｔに反りが生じていた場合でも、薄板Ｔの縁部端面を傾斜面１２４のいずれかの位置で係止微細突起に当接させることができるので、一対の突状体１２１，１２１間に薄板Ｔを確実に保持して搬送することができる。すなわち、図４（ａ）に示すように薄板Ｔが平坦である場合の水平方向長さＬ１に比べて、図４（ｂ）および（ｃ）に示すように薄板Ｔが上に凸または下に凸となる反りを有する場合の水平方向長さＬ２，Ｌ３は短くなるが、傾斜面１２４，１２４が基部側から先端側に向けて互いの間隔が拡がるように傾斜しているため、傾斜面１２４，１２４の間隔が水平方向長さＬ２，Ｌ３に等しい高さ位置に、薄板Ｔを保持することができる。また、大きさが異なる種々の薄板Ｔを搬送する場合でも、薄板Ｔの大きさに応じた高さ位置で、一対の突状体１２１，１２１間に薄板Ｔを保持することができる。したがって、薄板Ｔの大きさや搬送方向の反りの大きさに関わらず、一対の突状体１２１，１２１の係止微細突起を薄板Ｔの搬送方向両側端面に確実に当接させて、薄板Ｔを略水平な状態で搬送することができる。係止微細突起は、傾斜面１２４の全体に形成されていてもよく、或いは、傾斜面１２４において、薄板Ｔの縁部が通常配置される箇所の近傍に部分的に形成されていてもよい。 According to the thin plate transport apparatus 100 having the above-described configuration, when the thin plate T such as a solar cell wafer to be transported is placed on the thin plate holding unit 120, the thin plate T has an inclined surface 124 with front and rear edges in the transport direction. , 124. For this reason, even when the thin plate T is warped, the edge end surface of the thin plate T can be brought into contact with the locking fine protrusion at any position of the inclined surface 124. Therefore, the pair of protrusions 121, The thin plate T can be reliably held between the 121 and conveyed. That is, as shown in FIGS. 4A and 4C, compared to the horizontal length L1 when the thin plate T is flat, as shown in FIGS. 4B and 4C, the thin plate T protrudes upward or downward. The horizontal lengths L2 and L3 in the case of having a convex warp are shortened, but the inclined surfaces 124 and 124 are inclined so that the distance from each other increases from the base side toward the distal end side. , 124 can be held at a height position where the distance between them is equal to the horizontal length L2, L3. Further, even when various thin plates T having different sizes are conveyed, the thin plate T can be held between the pair of projecting bodies 121 and 121 at a height position corresponding to the size of the thin plate T. Therefore, regardless of the size of the thin plate T and the warp in the transport direction, the locking fine projections of the pair of protrusions 121 and 121 are securely brought into contact with both end surfaces in the transport direction of the thin plate T, so that the thin plate T is It can be transported in a substantially horizontal state. The locking fine protrusions may be formed on the entire inclined surface 124 or may be partially formed on the inclined surface 124 in the vicinity of the portion where the edge of the thin plate T is normally disposed.

また、本実施形態のように、傾斜面１２４，１２４の傾斜角度を一定にすることで、傾斜面１２４，１２４の基部側から先端側への間隔の拡がりも一定になるので、薄板Ｔの保持をより確実にすることができる。搬送ベルト１１６の表面に対する傾斜面１２４の傾斜角度（図３のα）は、大きくなるほど、薄板Ｔの縁部端面を傾斜面１２４の係止微細突起に当接させ易くなる一方で、薄板Ｔの搭載位置が前後にずれた時の薄板Ｔの傾きが大きくなり（例えば図５に示す状態）、図1に示す吸着面が水平な薄板吸着部１５２ａによる薄板Ｔの搬出が困難になる。これに対し、傾斜角度αが小さくなるほど、薄板Ｔを水平な状態に保持し易く搬出が容易になる一方で、薄板Ｔの縁部端面が傾斜面１２４の係止微細突起に当接し難くなり、搬送ベルト１１６の加減速時に薄板Ｔの位置ずれが生じ易くなる。傾斜角度αは、５°以上であることが好ましく、傾斜角度αを１０°以上に設定することで、従来の真空吸着方式の搬送装置と比較した場合に、同等の搬送時間で太陽電池用のウエハを確実に搬送することが可能である。一方、薄板Ｔの搬出にベルヌーイチャックを使用する場合には、負圧を生じさせるための空気流量をなるべく少なくして、薄板Ｔに発生する吸着時の衝撃や吸着中の応力を低減することが好ましいことから、傾斜角度αは１５°以下が好ましく、１０°以下がより好ましい。傾斜角度αを小さくすることは、薄板吸着部１５１ａ，１５２ａの上下動ストロークを小さくして搬送効率を高める上でも好ましい。以上より、傾斜角度αは１０°程度に設定することが好適である。 Further, as in this embodiment, by making the inclination angles of the inclined surfaces 124 and 124 constant, the spread of the interval from the base side to the distal end side of the inclined surfaces 124 and 124 becomes constant, so that the thin plate T is held. Can be made more reliable. As the inclination angle (α in FIG. 3) of the inclined surface 124 with respect to the surface of the conveyor belt 116 increases, the edge end surface of the thin plate T is more likely to come into contact with the locking fine protrusions of the inclined surface 124. The inclination of the thin plate T when the mounting position is shifted back and forth becomes large (for example, the state shown in FIG. 5), and it becomes difficult to carry out the thin plate T by the thin plate adsorbing portion 152a having the horizontal suction surface shown in FIG. On the other hand, the smaller the inclination angle α, the easier it is to hold the thin plate T in a horizontal state, and the easier it is to carry out, while the edge end surface of the thin plate T becomes less likely to come into contact with the locking fine protrusions of the inclined surface 124, The positional deviation of the thin plate T is likely to occur during acceleration / deceleration of the conveyance belt 116. The inclination angle α is preferably 5 ° or more, and by setting the inclination angle α to 10 ° or more, when compared with a conventional vacuum suction type transfer device, it can be used for solar cells with an equivalent transfer time. The wafer can be reliably transferred. On the other hand, when the Bernoulli chuck is used to carry out the thin plate T, the air flow rate for generating the negative pressure is reduced as much as possible to reduce the shock at the time of suction generated on the thin plate T and the stress during the suction. Since it is preferable, the inclination angle α is preferably 15 ° or less, and more preferably 10 ° or less. Decreasing the inclination angle α is also preferable in order to increase the conveyance efficiency by reducing the vertical movement stroke of the thin plate adsorption portions 151a and 152a. From the above, it is preferable to set the inclination angle α to about 10 °.

但し、傾斜角度αは必ずしも一定である必要はなく、例えば、図６に示すように、傾斜面１２４を下に凸となるように円弧状に形成することで、薄板Ｔの反りの向きに関わらず、薄板Ｔの縁部を傾斜面１２４の係止微細突起に当接させ易くして、所定位置に確実に保持することもできる。 However, the inclination angle α does not necessarily have to be constant. For example, as shown in FIG. 6, the inclined surface 124 is formed in an arc shape so as to protrude downward, so that the inclination of the thin plate T is related to the warping direction. Instead, the edge of the thin plate T can be easily brought into contact with the locking fine protrusions of the inclined surface 124 and can be securely held at a predetermined position.

図７は、一方の突状体１２１の要部を示す側面図であり、傾斜面１２４の搬送方向両端部の近傍を拡大して示している。図７に示す突状体１２１は、図３に示すシート体１２３を備えておらず、本体部１２２の上面が傾斜面１２４とされている。傾斜面１２４には、複数の係止微細突起１２８が設けられており、各係止微細突起１２８は、傾斜面１２４の傾斜方向に沿って鋸歯状に連設されている。各係止微細突起１２８の形状や大きさは、薄板の端面と当接可能であれば特に限定されず、複数の係止微細突起１２８間で互いに相違してもよいが、本実施形態の係止微細突起１２８のように、いずれも略同じ形状・大きさの側面視三角形状として、各頂部１２８ｃが傾斜面１２４に沿って等間隔に並ぶように形成することが好ましい。各係止微細突起１２８は、本実施形態のように連続して連なることが好ましいが、隣接する係止微細突起１２８の間に若干の隙間が形成されていてもよい。各係止微細突起１２８の大きさは特に限定されないが、薄板を確実に保持すると共に、薄板が保持される係止微細突起１２８が搬送中に万一ずれた場合にも薄板を略水平状態に維持できるように、搬送方向に沿った水平長さを０．５〜１ｍｍ程度に設定することが好ましい。 FIG. 7 is a side view showing the main part of one projecting body 121, and shows the vicinity of both end portions of the inclined surface 124 in the transport direction. The protruding body 121 shown in FIG. 7 does not include the sheet body 123 shown in FIG. 3, and the upper surface of the main body 122 is an inclined surface 124. The inclined surface 124 is provided with a plurality of locking fine protrusions 128, and each locking fine protrusion 128 is connected in a sawtooth shape along the inclination direction of the inclined surface 124. The shape and size of each locking microprojection 128 are not particularly limited as long as they can contact the end surface of the thin plate, and may be different among the plurality of locking microprojections 128. It is preferable that each of the top portions 128c is formed in a triangular shape in a side view having substantially the same shape and size as the fine stopping protrusions 128 so that the top portions 128c are arranged at equal intervals along the inclined surface 124. Each of the locking microprotrusions 128 is preferably continuous as in the present embodiment, but a slight gap may be formed between the adjacent locking microprotrusions 128. The size of each locking microprojection 128 is not particularly limited, but the thin plate is securely held, and even if the locking microprojection 128 that holds the thin plate is displaced during transportation, the thin plate is brought into a substantially horizontal state. It is preferable to set the horizontal length along the transport direction to about 0.5 to 1 mm so that it can be maintained.

係止微細突起１２８は、傾斜面１２４から立ち上がる当接面１２８ａと、当接面１２８ａの上縁から傾斜面１２４に向けて延びる受け面１２８ｂとを備えている。当接面１２８ａおよび受け面１２８ｂは、本実施形態では平面状としているが、湾曲面であってもよい。 The locking fine protrusion 128 includes a contact surface 128 a rising from the inclined surface 124 and a receiving surface 128 b extending from the upper edge of the contact surface 128 a toward the inclined surface 124. The contact surface 128a and the receiving surface 128b are planar in this embodiment, but may be curved surfaces.

当接面１２８ａは、薄板の端面と当接して薄板を保持する。当接面１２８ａは鉛直面Ｖと平行であってもよいが、図７に示すように、鉛直面Ｖに対して若干外方に拡がるように形成されることが好ましく、これによって当接面１２８ａが薄板の端面に密着し過ぎることを防止して、薄板吸着部１５２ａ（図１参照）による搬出時に薄板をスムーズに引き上げることができる。すなわち、傾斜面１２４，１２４が互いに対向する一対の突状体１２１，１２１間で、それぞれの当接面１２８ａが、傾斜面１２４に近い基部側から先端側に向けて互いの間隔が拡がるように形成されていることが好ましい。図７に示す鉛直面Ｖと当接面１２８ａとのなす角度βは、小さすぎると、当接面１２８ａと薄板端面との密着を抑制しにくくなる一方、大きすぎると、当接面１２８ａによる薄板の保持力が弱まることから、０〜２０°の範囲が好ましく、本実施形態では角度βを１０°としている。 The contact surface 128a contacts the end surface of the thin plate and holds the thin plate. Although the abutting surface 128a may be parallel to the vertical surface V, as shown in FIG. 7, it is preferable that the abutting surface 128a is formed so as to extend slightly outward with respect to the vertical surface V. Can be prevented from being too close to the end face of the thin plate, and the thin plate can be pulled up smoothly during unloading by the thin plate adsorption portion 152a (see FIG. 1). That is, between the pair of projecting bodies 121, 121 with the inclined surfaces 124, 124 facing each other, the respective contact surfaces 128a are spaced from each other toward the distal end side from the base side close to the inclined surface 124. Preferably it is formed. If the angle β formed by the vertical surface V and the contact surface 128a shown in FIG. 7 is too small, it is difficult to suppress the contact between the contact surface 128a and the end surface of the thin plate. In the present embodiment, the angle β is set to 10 °.

受け面１２８ｂは、水平面Ｈと平行であってもよく、あるいは図７に示すように、外方に向けて斜め下方に傾斜するように形成してもよい。このような構成によれば、図８に示すように、水平な薄板Ｔの端面Ｔ１が、一の係止微細突起１２８の当接面１２８ａに当接した状態で、この係止微細突起１２８と内方側（薄板側）に隣接する他の係止微細突起１２８により薄板Ｔの下面を支持することができる。したがって、突状体１２１による薄板Ｔの保持をより確実に行うことができる。 The receiving surface 128b may be parallel to the horizontal plane H, or may be formed so as to be inclined obliquely downward toward the outside as shown in FIG. According to such a configuration, as shown in FIG. 8, in the state where the end surface T1 of the horizontal thin plate T is in contact with the contact surface 128a of one locking microprojection 128, The lower surface of the thin plate T can be supported by another locking fine protrusion 128 adjacent to the inner side (thin plate side). Therefore, the thin plate T can be more reliably held by the protruding body 121.

また、図７に示すように、受け面１２８ｂを、外方に向けて斜め下方に傾斜するように形成することで、係止微細突起１２８の頂部１２８ｃが薄板Ｔの下面に当接し、薄板Ｔの下面と受け面１２８ｂとの間に空間ｓが形成される。したがって、薄板Ｔに付着していた微細な異物や薄板Ｔの欠け等により生じた粉状物等が傾斜面１２４に落下しても、これらの異物等を上記空間ｓ内に確実に収容して薄板Ｔの保持の妨げとなるのを防止することができる。 Further, as shown in FIG. 7, by forming the receiving surface 128b so as to be inclined obliquely downward toward the outside, the top portion 128c of the locking fine protrusion 128 abuts the lower surface of the thin plate T, and the thin plate T A space s is formed between the lower surface of the substrate and the receiving surface 128b. Therefore, even if a fine foreign matter adhering to the thin plate T or a powdery material generated by chipping of the thin plate T falls on the inclined surface 124, the foreign matter is reliably accommodated in the space s. It is possible to prevent the thin plate T from being hindered.

図７に示す水平面Ｈと受け面１２８ｂとのなす角度γは、小さすぎると、上記空間ｓの収容量が不十分になり易い一方、大きすぎると、薄板の端面を当接面１２８ａに当接させ難くなることから、３〜２０°の範囲が好ましく、本実施形態では角度βを１０°としている。 If the angle γ formed between the horizontal plane H and the receiving surface 128b shown in FIG. 7 is too small, the capacity of the space s tends to be insufficient. On the other hand, if the angle γ is too large, the end surface of the thin plate abuts against the abutting surface 128a. In this embodiment, the angle β is set to 10 °.

以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明の具体的な態様は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、図２に示す一対の突状体１２１，１２１は、薄板Ｔの搬送方向両側端面の中央部を保持するように構成しているが、薄板Ｔの搬送方向両側端面の幅方向両側を保持するように構成することもできる。 As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail, the specific aspect of this invention is not limited to the said embodiment. For example, the pair of projecting bodies 121 and 121 shown in FIG. 2 are configured to hold the center of both end faces in the transport direction of the thin plate T, but hold both sides in the width direction of both end faces in the transport direction of the thin plate T. It can also be configured to.

図９および図１０は、このような構成を備える突状体１２１の一例を示しており、図９は矢示Ａ方向に搬送される突状体１２１の平面図、図１０は図９の突状体１２１を矢示Ａ方向に見た図である。図９および図１０に示すように、突状体１２１の上面には、搬送方向に向けて斜め上方に傾斜する傾斜面１２４が形成されており、複数の係止微細突起１２８が傾斜面１２４の傾斜方向に連設されている。突状体１２１の幅方向中央部には、搬送方向の全体にわたって切欠部１２９が形成されている。このように構成された突状体１２１は、図１０に示すように、破線で示す薄板Ｔの搬送方向両側端面における幅方向両側を係止微細突起１２８に当接させることができるので、薄板Ｔに幅方向の反りが生じていた場合でも、薄板Ｔの幅方向両側を確実に保持して搬送することができる。 9 and 10 show an example of the projecting body 121 having such a configuration. FIG. 9 is a plan view of the projecting body 121 conveyed in the direction of arrow A, and FIG. 10 shows the projecting body of FIG. It is the figure which looked at the shape body 121 in the arrow A direction. As shown in FIGS. 9 and 10, an inclined surface 124 is formed on the upper surface of the protruding body 121, which is inclined obliquely upward in the transport direction, and a plurality of locking fine protrusions 128 are formed on the inclined surface 124. It is connected in a tilt direction. A notch 129 is formed at the center in the width direction of the protruding body 121 over the entire conveyance direction. As shown in FIG. 10, the projecting body 121 configured in this manner can abut both sides of the thin plate T in the conveyance direction on both sides in the width direction on the both sides in the conveyance direction with the locking fine protrusions 128. Even if the warp in the width direction occurs, the both sides of the thin plate T in the width direction can be reliably held and transported.

また、上記各実施形態においては、搬送ベルト１１６に一対の突状体１２１，１２１を設けて、搬送ベルト１１６の駆動により一対の突状体１２１，１２１に保持された薄板Ｔを水平搬送するように構成しているが、一対の突状体１２１，１２１が設けられる搬送体としては、搬送ベルト１１６に限定されるものではなく、一対の突状体１２１，１２１を水平搬送可能な構成であれば、他の搬送体であってもよい。 In each of the above embodiments, the pair of protrusions 121 and 121 are provided on the conveyance belt 116 so that the thin plate T held by the pair of protrusions 121 and 121 is horizontally conveyed by driving the conveyance belt 116. However, the transport body provided with the pair of projecting bodies 121 and 121 is not limited to the transport belt 116, and may be configured to horizontally transport the pair of projecting bodies 121 and 121. For example, another conveyance body may be used.

図１１は、本発明の他の実施形態に係る薄板搬送装置を搬送方向後方側から見た図であり、所定のストロークで水平方向に往復動可能な搬送ビームを搬送体として用いた場合の一例を示すものである。また、図１２、図１３および図１４は、図１１における矢示Ｘ方向の要部側面図である。なお、図１１においては、理解を容易にするために、一部の構成要素を省略して記載している。 FIG. 11 is a view of a thin plate transport device according to another embodiment of the present invention as seen from the rear side in the transport direction, and an example in which a transport beam that can reciprocate in a horizontal direction with a predetermined stroke is used as a transport body. Is shown. 12, 13 and 14 are side views of the main part in the direction indicated by the arrow X in FIG. In FIG. 11, some components are omitted for easy understanding.

図１１に示すように、薄板搬送装置１は、床面Ｆに設置されたフレーム２の上部に、太陽電池基板などの薄板Ｔを搬送方向（図面を貫通する方向）に移動させる搬送ビーム１０と、この搬送ビーム１０との間で薄板Ｔの受け渡しを行う受け台２０とが、支持されている。搬送ビーム１０は、搬送方向に沿って延びる上下動ビーム１１と、上下動ビーム１１に支持された往復動ビーム１２とを備えている。 As shown in FIG. 11, the thin plate transport device 1 includes a transport beam 10 that moves a thin plate T such as a solar cell substrate in a transport direction (a direction penetrating the drawing) on an upper part of a frame 2 installed on a floor surface F. A receiving table 20 for transferring the thin plate T to and from the carrier beam 10 is supported. The carrier beam 10 includes a vertical motion beam 11 extending along the transport direction and a reciprocating beam 12 supported by the vertical motion beam 11.

上下動ビーム１１は、上方に突出するガイド部１１ａを備えている。また、往復動ビーム１２は、ガイド部１１ａを収容する溝１２ａを備えており、上下動ビーム１１の長手方向に沿って摺動可能とされている。往復動ビーム１２の上面には、一対の突状体１２１，１２１を備える薄板保持部１２０が、長手方向に沿って所定の間隔で設けられている。一対の突状体１２１，１２１の構成については、上記各実施形態で示したように、搬送ベルト１１６に設ける場合と同様の構成を採用することができる。 The vertically moving beam 11 includes a guide portion 11a protruding upward. The reciprocating beam 12 is provided with a groove 12 a that accommodates the guide portion 11 a, and is slidable along the longitudinal direction of the vertical moving beam 11. On the upper surface of the reciprocating beam 12, a thin plate holder 120 including a pair of projecting bodies 121, 121 is provided at predetermined intervals along the longitudinal direction. About the structure of a pair of protrusion body 121,121, as shown in each said embodiment, the structure similar to the case where it provides in the conveyance belt 116 is employable.

受け台２０は、搬送ビーム１０の両側に沿って延びる一対のビーム台２１，２１と、これらビーム台２１，２１を支持する上向きコ字状のブラケット２２とを備えている。ビーム台２１には、上方に突出する支持突起２１ａが複数設けられており、一対のビーム台２１，２１により薄板Ｔの周縁部を４点で支持できるように構成されている。 The cradle 20 includes a pair of beam pedestals 21 and 21 extending along both sides of the carrier beam 10, and an upward U-shaped bracket 22 that supports the beam pedestals 21 and 21. A plurality of support protrusions 21 a projecting upward are provided on the beam base 21, and the peripheral portion of the thin plate T can be supported at four points by the pair of beam bases 21 and 21.

上下動ビーム１１、往復動ビーム１２および受け台２０は、一端側にタイミングプーリ３が設けられたカム軸４の回転によって駆動される。 The vertically moving beam 11, the reciprocating beam 12, and the cradle 20 are driven by the rotation of the cam shaft 4 provided with the timing pulley 3 on one end side.

図１１および図１２に示すように、カム軸４には、上下動カム４１（図１２では基礎円を２点鎖線で示す）が取り付けられており、主レバー４１１に設けられたカムフォロア４１２が上下動カム４１に外接するように構成されている。 As shown in FIGS. 11 and 12, the camshaft 4 is provided with a vertically moving cam 41 (in FIG. 12, the basic circle is indicated by a two-dot chain line), and the cam follower 412 provided on the main lever 411 is vertically moved. The moving cam 41 is circumscribed.

主レバー４１１は、カム軸４の上方に配置された上側レバー軸４１３に対してベアリング（図示せず）を介して空転するように取り付けられており、上側レバー軸４１３を中心として図１２の矢示方向に揺動し、垂直バー４１４を介して上下動ビーム１１を上下動させる。また、主レバー４１１は、水平バー４１５を介して副レバー４１６（図１１では不図示）に連結されており、副レバー４１６は、主レバー４１１の揺動に伴い固定支点４１７を中心として揺動し、垂直バー４１８を介して上下動ビーム１１を上下動させる。こうして、上下動カム４１の回転により、上下動ビーム１１の長手方向全体が上下動する。 The main lever 411 is attached to the upper lever shaft 413 disposed above the cam shaft 4 so as to idle through a bearing (not shown), and the arrow in FIG. The vertical movement beam 11 is moved up and down through the vertical bar 414. The main lever 411 is connected to a sub lever 416 (not shown in FIG. 11) via a horizontal bar 415, and the sub lever 416 swings around a fixed fulcrum 417 as the main lever 411 swings. Then, the vertical movement beam 11 is moved up and down via the vertical bar 418. Thus, the entire longitudinal direction of the vertical motion beam 11 moves up and down by the rotation of the vertical motion cam 41.

図１２に示すように、タイミングプーリ３には、タイミングベルト５を介して駆動モータ６に連結されており、駆動モータ６の作動によりカム軸４が回転駆動される。 As shown in FIG. 12, the timing pulley 3 is connected to a drive motor 6 via a timing belt 5, and the cam shaft 4 is rotationally driven by the operation of the drive motor 6.

また、図１１および図１３に示すように、カム軸４には、第１往復動カム４２および第２往復動カム４３（図１３ではそれぞれの基礎円を２点鎖線で示す）が取り付けられており、第１往復動カム４２には第１レバー４２１のカムフォロア４２２が外接し、第２往復動カム４３には第２レバー４２３のカムフォロア４２４が外接するように構成されている。第１レバー４２１および第２レバー４２３は、カム軸４の下方に配置された下側レバー軸４２５に一体的に取り付けられており、第１レバー４２１と第２レバー４２３との間が側面視において一定の角度を維持したまま、下側レバー軸４２５を回転中心として図１３の矢示方向に揺動する。 Further, as shown in FIGS. 11 and 13, the camshaft 4 is provided with a first reciprocating cam 42 and a second reciprocating cam 43 (in FIG. 13, the respective basic circles are indicated by two-dot chain lines). The first reciprocating cam 42 is configured to circumscribe the cam follower 422 of the first lever 421, and the second reciprocating cam 43 is configured to circumscribe the cam follower 424 of the second lever 423. The first lever 421 and the second lever 423 are integrally attached to a lower lever shaft 425 disposed below the cam shaft 4, and the space between the first lever 421 and the second lever 423 is seen in a side view. With the constant angle maintained, the lower lever shaft 425 is swung in the direction indicated by the arrow in FIG.

下側レバー軸４２５には、長尺レバー４２６の一端側が取り付けられており、長尺レバー４２６の他端側には係合突部４２６ａが設けられている。係合突部４２６ａは、往復動ビーム１２から垂下するブラケット１２ｃの長孔１２ｄに係合する。これにより、第１レバー４２１と第２レバー４２３の揺動に伴い長尺レバー４２６も揺動し、往復動ビーム１２が上下動ビーム１１に沿って図１３の矢示方向に往復動する。 One end of a long lever 426 is attached to the lower lever shaft 425, and an engaging protrusion 426 a is provided on the other end of the long lever 426. The engaging protrusion 426 a engages with the long hole 12 d of the bracket 12 c that hangs down from the reciprocating beam 12. As a result, the long lever 426 is also swung as the first lever 421 and the second lever 423 are swung, so that the reciprocating beam 12 reciprocates in the direction of the arrow in FIG.

また、図１１および図１４に示すように、カム軸４には、受け台カム４４（図１４では基礎円を２点鎖線で示す）が取り付けられており、主レバー４４１に設けられたカムフォロア４４２が受け台カム４４に外接するように構成されている。 Further, as shown in FIGS. 11 and 14, a cradle cam 44 (a basic circle is indicated by a two-dot chain line in FIG. 14) is attached to the cam shaft 4, and a cam follower 442 provided on the main lever 441. Is configured to circumscribe the cradle cam 44.

主レバー４４１は、上側レバー軸４１３に取り付けられており、同じく上側レバー軸４１３に取り付けられた副レバー４４３と一体的に回転する。副レバー４４３は、上側レバー軸４１３を中心として揺動し、垂直バー４４４を介して支持バー４４５を上下動させる。支持バー４４５の上面には、フレーム２に支持されたガイド筒２ａ，２ａを貫通する複数の上下動ロッド４４６，４４６が設けられており、上下動ロッド４４６の先端は、受け台２０のブラケット２２の下面に連結されている。また、主レバー４４１は、水平バー４４７を介して他の副レバー４４８（図１１では不図示）に連結されており、副レバー４４８は、固定支点４４９を中心として揺動し、垂直バー４５０を介して支持テーブル４４５に連結されている。こうして、受け台カム４４の回転により、受け台２０が図１４の矢示方向に上下動する。 The main lever 441 is attached to the upper lever shaft 413 and rotates integrally with the sub lever 443 similarly attached to the upper lever shaft 413. The auxiliary lever 443 swings about the upper lever shaft 413 and moves the support bar 445 up and down via the vertical bar 444. On the upper surface of the support bar 445, a plurality of vertical movement rods 446 and 446 that pass through the guide cylinders 2 a and 2 a supported by the frame 2 are provided, and the tip of the vertical movement rod 446 is the bracket 22 of the cradle 20. It is connected to the lower surface of. The main lever 441 is connected to another sub-lever 448 (not shown in FIG. 11) via a horizontal bar 447, and the sub-lever 448 swings around a fixed fulcrum 449 to move the vertical bar 450. Via the support table 445. Thus, the cradle 20 moves up and down in the direction of the arrow in FIG.

本実施形態の搬送装置１によれば、共通するカム軸４に取り付けられた上下動カム４１、第１往復動カム４２および第２往復動カム４３、および、受け台カム４４によって、上下動ビーム１１の上下動、往復動ビーム１２の往復動、および、受け台２０の上下動が、一定のタイミングで行われる。この動作を、図１５に示すタイミングチャートに基づき説明する。なお、図１５の横軸は、カム軸４が一回転する間の角度位置を表している。 According to the transport device 1 of the present embodiment, the vertical motion beam is provided by the vertical motion cam 41, the first reciprocation cam 42 and the second reciprocation cam 43, and the cradle cam 44 attached to the common cam shaft 4. 11, the reciprocating motion of the reciprocating beam 12 and the vertical motion of the cradle 20 are performed at a constant timing. This operation will be described based on the timing chart shown in FIG. The horizontal axis in FIG. 15 represents the angular position during one rotation of the cam shaft 4.

往復動ビーム１２と受け台２０との間における薄板Ｔの受け渡しは、上下動ビーム１１および受け台２０がいずれも上方位置にあるときに行われる。このとき、受け台２０は、図１１に示す位置から上昇して支持突起２１ａが薄板Ｔの下面に当接しており、薄板Ｔが、一対の突状体１２１，１２１および支持突起２１ａにより支持された状態になる（状態ａ）。状態ａでは、往復動ビーム１２は後方位置にある。 The thin plate T is transferred between the reciprocating beam 12 and the cradle 20 when both the vertical motion beam 11 and the cradle 20 are in the upper position. At this time, the cradle 20 is lifted from the position shown in FIG. 11 and the support protrusion 21a is in contact with the lower surface of the thin plate T. The thin plate T is supported by the pair of protrusions 121 and 121 and the support protrusion 21a. (State a). In state a, the reciprocating beam 12 is in the rear position.

カム軸４が状態ａから角度θ１だけ回転すると、受け台２０が下降を開始する。受け台２０が下方位置に到達した状態（状態ｂ）では、図１１に示すように、薄板Ｔが一対の突状体１２１，１２１のみに保持される。 When the cam shaft 4 rotates from the state a by an angle θ1, the cradle 20 starts to descend. In a state where the cradle 20 reaches the lower position (state b), the thin plate T is held only by the pair of projecting bodies 121 and 121 as shown in FIG.

状態ｂからカム軸４が角度θ２だけ回転すると、往復動ビーム１２は前方へ移動し、薄板Ｔが１ストローク分搬送される。薄板Ｔが前方位置まで移動すると（状態ｃ）、受け台２０が上昇を開始する。こうして、受け台２０が上方位置に到達すると（状態ｄ）、薄板Ｔが、一対の突状体１２１，１２１および支持突起２１ａにより再び支持され、薄板Ｔの受け渡しが可能になる。 When the cam shaft 4 rotates by an angle θ2 from the state b, the reciprocating beam 12 moves forward, and the thin plate T is conveyed by one stroke. When the thin plate T moves to the front position (state c), the cradle 20 starts to rise. Thus, when the cradle 20 reaches the upper position (state d), the thin plate T is supported again by the pair of protrusions 121 and 121 and the support protrusion 21a, and the thin plate T can be transferred.

カム軸４が状態ｄから角度θ３だけ回転すると、上下動ビーム１１が下降を開始し、薄板Ｔが受け台２０のみにより支持された状態になる。上下動ビーム１１が下方位置に到達すると（状態ｅ）、往復動ビーム１２は後方へ移動する。そして、往復動ビーム１２が後方位置まで移動すると（状態ｆ）、上下動ビーム１１が上昇して再び状態ａになる。 When the cam shaft 4 rotates from the state d by an angle θ3, the vertical motion beam 11 starts to descend, and the thin plate T is supported only by the cradle 20. When the vertically moving beam 11 reaches the lower position (state e), the reciprocating beam 12 moves backward. When the reciprocating beam 12 moves to the rear position (state f), the vertically moving beam 11 rises and enters state a again.

このように、本実施形態の薄板搬送装置１によれば、一対の突状体１２１，１２１と受け台２０との間における薄板Ｔの受け渡しを、それぞれが静止した状態（図１５の状態ａおよび状態ｄ）で行うことができるので、受け渡し時に薄板Ｔが衝撃を受けるおそれがなく、薄板Ｔの損傷を防止することができる。 Thus, according to the thin plate conveying apparatus 1 of the present embodiment, the transfer of the thin plate T between the pair of projecting bodies 121, 121 and the cradle 20 is in a stationary state (state a and FIG. 15). Since it can be performed in the state d), there is no possibility that the thin plate T receives an impact at the time of delivery, and damage to the thin plate T can be prevented.

また、一対の突状体１２１，１２１は、薄板Ｔを確実に保持して水平搬送することができるので、従来のように薄板Ｔを吸引保持するための真空ポンプやバルブ等の構成が不要であり、構成を簡素化しつつ薄板Ｔを高速搬送することができる。 Further, since the pair of protrusions 121 and 121 can securely hold the thin plate T and can be transported horizontally, a configuration such as a vacuum pump or a valve for sucking and holding the thin plate T as in the prior art is unnecessary. Yes, the thin plate T can be conveyed at high speed while simplifying the configuration.

一対の突状体１２１，１２１が設けられる搬送ビームは、上述した構成のものに限られず、固定ビームと搬送ビームとの間で薄板の受け渡しを行いながら水平搬送を行う公知のウォーキングビーム式搬送装置において、水平方向に往復動可能な搬送ビームに一対の突状体１２１，１２１を設けることもできる。 The carrier beam on which the pair of protrusions 121 and 121 are provided is not limited to the one having the above-described configuration, and is a known walking beam type carrier device that performs horizontal conveyance while transferring a thin plate between the fixed beam and the carrier beam. The pair of protrusions 121 and 121 may be provided on the carrier beam that can reciprocate in the horizontal direction.

１，１００薄板搬送装置
１０搬送ビーム
１１０ベルトコンベア
１１２駆動プーリ
１１４従動プーリ
１１６搬送ベルト
１２０薄板保持部
１２１突状体
１２４傾斜部
１２８係止微細突起 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,100 Thin plate conveying apparatus 10 Conveying beam 110 Belt conveyor 112 Drive pulley 114 Driven pulley 116 Conveying belt 120 Thin plate holding part 121 Projection body 124 Inclined part 128 Locking fine protrusion

Claims

搬送体と、前記搬送体に設けられた一対の突状体と、前記搬送体の駆動により一対の前記突状体を水平搬送する駆動手段とを備え、一対の前記突状体間に平板状の薄板が保持される薄板搬送装置であって、
一対の前記突状体は、搬送方向に沿って互いに対向するように傾斜する傾斜面をそれぞれ備え、
前記傾斜面には、複数の係止微細突起が傾斜方向に連設されており、
前記係止微細突起は、前記傾斜面から立ち上がる当接面と、前記当接面の上縁から前記傾斜面に向けて延びる受け面とを備える側面視三角形状に形成され、一対の前記突状体の前記係止微細突起の前記当接面が、薄板の搬送方向両側端面にそれぞれ当接して薄板を保持するように構成されており、
前記当接面は、鉛直面に対して外方に拡がるように形成されている薄板搬送装置。 A transport body, a pair of projecting bodies provided on the transport body, and driving means for horizontally transporting the pair of projecting bodies by driving the transport body, and having a flat plate shape between the pair of projecting bodies A thin plate transport device for holding a thin plate of
Each of the pair of protrusions includes inclined surfaces that are inclined so as to face each other along the conveyance direction,
On the inclined surface, a plurality of locking fine protrusions are continuously provided in the inclined direction,
The locking fine protrusion is formed in a triangular shape in a side view including a contact surface rising from the inclined surface and a receiving surface extending from an upper edge of the contact surface toward the inclined surface, and the pair of protrusions The contact surface of the locking fine projection of the body is configured to hold the thin plate in contact with both end surfaces of the thin plate in the transport direction ,
The abutting surface is a thin plate conveying device formed so as to expand outward with respect to a vertical surface.

前記受け面は、外方に向けて斜め下方に傾斜するように形成されており、
複数の前記係止微細突起は、一の前記係止微細突起の前記当接面が薄板の端面と当接した状態で、一の前記係止微細突起と内方側に隣接する他の前記係止微細突起が薄板の下面を支持することにより、薄板の下面と前記受け面との間に空間が形成されるように配置されている請求項１に記載の薄板搬送装置。 The receiving surface is formed to be inclined obliquely downward toward the outside,
A plurality of the locking microprotrusions are in the state where the contact surface of one locking microprotrusion is in contact with the end surface of the thin plate, and the other engaging microprojections adjacent to the one locking microprotrusion inward. The thin plate conveying apparatus according to claim 1 , wherein the stop fine protrusion supports the lower surface of the thin plate so that a space is formed between the lower surface of the thin plate and the receiving surface .

前記搬送体は、駆動プーリおよび従動プーリに巻き掛けられた無端状の搬送ベルトである請求項１または２に記載の薄板搬送装置。 The thin plate transport device according to claim 1 or 2 , wherein the transport body is an endless transport belt wound around a driving pulley and a driven pulley.

前記搬送体は、所定のストロークで水平方向に往復動可能な搬送ビームである請求項１または２に記載の薄板搬送装置。
The thin plate transport device according to claim 1 , wherein the transport body is a transport beam that can reciprocate in a horizontal direction with a predetermined stroke.