JP4627731B2 - 荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 - Google Patents
荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4627731B2 JP4627731B2 JP2006026744A JP2006026744A JP4627731B2 JP 4627731 B2 JP4627731 B2 JP 4627731B2 JP 2006026744 A JP2006026744 A JP 2006026744A JP 2006026744 A JP2006026744 A JP 2006026744A JP 4627731 B2 JP4627731 B2 JP 4627731B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- height
- height detection
- sample
- sample surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
2 第一陽極
3 第二陽極
4 電子ビーム
5 集束レンズ
7 対物レンズ
8 絞り板
9 試料
10 二次電子
11 偏向器
12 二次電子検出器
13 二次電子検出器出力信号アンプ
20 制御演算装置
21 高電圧制御電源
22 収束レンズ制御電源
23 対物レンズ制御電源
24 偏向コイル制御電源
25 ステージ制御
26 試料像表示装置
27 入力装置
28 描画像置
29 高さ検出用投光側部位
30 高さ検出用検出側部位
31 高さ検出器信号アンプZ
41 試料ステージ
51 光源
52 コリメートレンズ
53 シリンドリカルレンズ
54 2段スリット(2開口スリット)
55 第1結像レンズ
56 試料面
57 アパーチャ
58 第2結像レンズ
59 検出センサ
Claims (6)
- 荷電粒子線装置に用いる試料の高さ検出装置であって、
光源と、
前記光源から投光された光束を平行光に整えるコリメートレンズと、
前記平行光を複数の光束に集光する複数段のシリンドリカルレンズと、
前記集光された複数の光束の各々を成形するための複数の開口を有するスリットと、
前記スリットにより成形された各光束を試料面上に結像させる第1結像レンズと、
前記試料面から反射した反射光の光束を結像させる第2結像レンズと、
前記反射光の結像を取得して前記試料面の高さを検出する検出器とを備えた高さ検出装置。 - 前記複数の光束の各々の高さ検出範囲が異なるように前記コリメートレンズが構成されていることを特徴とする請求項1に記載の高さ検出装置。
- 前記試料面から反射した複数の反射光の光束のうち1つを選択的に前記第2結像レンズに入射させる手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の高さ検出装置。
- 荷電粒子線装置において試料の高さを検出する方法であって、
光源から投光された光束をコリメートレンズにより平行光に整え、
前記平行光を複数段のシリンドリカルレンズにより複数の光束に集光し、
前記集光された複数の光束の各々を複数の開口を有するスリットにより成形し、
前記スリットにより成形された各光束を第1結像レンズにより試料面上に結像し、
前記試料面から反射した反射光の光束を第2結像レンズにより結像し、
前記反射光の結像を取得して前記試料面の高さを検出する高さ検出方法。 - 前記複数の光束の各々の高さ検出範囲が異なるように前記コリメートレンズが構成されていることを特徴とする請求項4に記載の高さ検出方法。
- 前記試料面から反射した複数の反射光の光束のうち1つを選択的に前記第2結像レンズに入射させることを特徴とする請求項4又は5に記載の高さ検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006026744A JP4627731B2 (ja) | 2006-02-03 | 2006-02-03 | 荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006026744A JP4627731B2 (ja) | 2006-02-03 | 2006-02-03 | 荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007205965A JP2007205965A (ja) | 2007-08-16 |
JP4627731B2 true JP4627731B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=38485547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006026744A Expired - Fee Related JP4627731B2 (ja) | 2006-02-03 | 2006-02-03 | 荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4627731B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63298105A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Sharp Corp | スリット光源装置 |
JPH07120237A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-12 | Nichiden Mach Ltd | 画像認識装置 |
JPH1164784A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Sony Corp | 照明装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH077653B2 (ja) * | 1987-04-11 | 1995-01-30 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡による観察装置 |
-
2006
- 2006-02-03 JP JP2006026744A patent/JP4627731B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63298105A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Sharp Corp | スリット光源装置 |
JPH07120237A (ja) * | 1993-10-22 | 1995-05-12 | Nichiden Mach Ltd | 画像認識装置 |
JPH1164784A (ja) * | 1997-08-20 | 1999-03-05 | Sony Corp | 照明装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007205965A (ja) | 2007-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9400176B2 (en) | Dynamic focus adjustment with optical height detection apparatus in electron beam system | |
JP5164317B2 (ja) | 電子線による検査・計測方法および検査・計測装置 | |
US6853143B2 (en) | Electron beam system and method of manufacturing devices using the system | |
JP5202071B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡装置及びそれを用いた画像処理方法 | |
US9324540B2 (en) | Charged particle beam device | |
US20140353498A1 (en) | System and Method of SEM Overlay Metrology | |
JP2006332296A (ja) | 電子ビーム応用回路パターン検査における焦点補正方法 | |
US20090039258A1 (en) | Scanning Electron Microscope And Method For Detecting An Image Using The Same | |
US9224574B2 (en) | Charged particle optical equipment and method for measuring lens aberration | |
JP5164598B2 (ja) | レビュー方法、およびレビュー装置 | |
JP2007187538A (ja) | 荷電粒子線装置及びそれを用いた画像取得方法 | |
US8080790B2 (en) | Scanning electron microscope | |
JP4359232B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
WO2015050201A1 (ja) | 荷電粒子線の傾斜補正方法および荷電粒子線装置 | |
US7705298B2 (en) | System and method to determine focus parameters during an electron beam inspection | |
JP4194526B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
KR20210086500A (ko) | 자동 결정띠축 정렬을 위한 방법 및 시스템 | |
JP4548432B2 (ja) | 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置 | |
JP6632863B2 (ja) | 電子ビーム検査・測長装置用の電子ビーム径制御方法及び電子ビーム径制御装置、並びに電子ビーム検査・測長装置 | |
JPH11250847A (ja) | 収束荷電粒子線装置およびそれを用いた検査方法 | |
JP2000286310A (ja) | パターン欠陥検査方法および検査装置 | |
JP4627731B2 (ja) | 荷電粒子線装置に用いる高さ検出装置及び高さ検出方法 | |
JP5103253B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP5372445B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡装置およびその焦点あわせ方法 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100810 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101108 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |