JP4619282B2 - エックス線分析装置 - Google Patents
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Description
2 発生装置(エックス線発生手段)
23 駆動モータ
23a ピニオン
3 検出装置(エックス線検出装置)
33 駆動モータ
33a ピニオン
4 ガイドレール(案内手段)
5 ラック
6 ベースプレート(支持台)
61 径方向駆動モータ
G67 直動ガイド装置
7 支持プレート
71 径直角方向駆動モータ
G78 直動ガイド装置
8 架台プレート
9 測距装置
91 レーザー光源
92 受光部
O 測定対象物
Claims (3)
- 測定対象の被測定位置に対して白色エックス線を照射するエックス線発生手段と、前記被測定位置から放出されたエックス線のエネルギと強度を検出するエックス線検出手段とを有し、照射角度と検出角度を所定の関係に保って前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とをそれぞれ移動させ、前記エックス線検出手段により取得されたエックス線のエネルギと強度とに基づいて回折エックス線分析と蛍光エックス線分析を行うエックス線分析装置において、
前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とを、同一の円弧に沿って移動させると共に、エックス線発生手段の照射方向とエックス線検出手段の検出方向をこの円弧の中心で交差させるよう案内する案内手段と、
前記エックス線発生手段とエックス線検出手段とを、それぞれ前記案内手段に沿って移動させる発生手段移動装置と検出手段移動装置と、
前記案内手段を支持し、水平面内で該案内手段の円弧の径方向に移動可能な支持台と、
前記支持台を支持し、水平面内で前記径方向と直交する径直角方向に移動可能な支持プレートと、
前記支持台上の基準点と前記案内手段の円弧の中心とを結ぶ直線を測距方向として、該測距方向内にある測定対象の、前記基準点からの距離を測定する測距手段と、
前記支持台を前記径方向に移動させる支持台移動手段と、
前記支持プレートを前記径直角方向に移動させる支持プレート移動手段とを有し、
前記支持プレート移動手段で前記支持プレートを径直角方向に移動させて、前記測距手段の測距方向を前記被測定位置に指向させ、
前記測距手段で取得させた距離情報に基づいて、前記測定対象の被測定位置が前記円弧の中心である測定予定位置に一致するよう前記支持台移動手段により前記支持台を前記径方向に移動させることを特徴とするエックス線分析装置。 - 前記案内手段を円弧状のガイドレールで形成したことを特徴とする請求項1に記載のエックス線分析装置。
- 前記測距手段に、レーザー式測距器を用いたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエックス線分析装置。
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