JP4614584B2 - 混成集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、混成集積回路装置の製造方法に関し、混成集積回路基板にトランスファーモールドにより樹脂封止体を形成する混成集積回路装置のおよびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、混成集積回路装置に採用される封止方法は、主に2種類の方法がある。
【0003】
第1の方法は、半導体素子等の回路素子が実装された混成集積回路基板の上に蓋をかぶせるような形状の手段、一般にはケース材と呼ばれているものを採用して封止しているものがある。この構造は、中空構造やこの中に別途樹脂が注入されているものがある。
【0004】
第2の方法は、半導体ICのモールド方法としてインジェクションモールドである。例えば、特開平11−330317号公報に示してある。このインジェクションモールドは、一般的に熱可塑性樹脂を採用し、例えば、300℃に熱した樹脂を高射出圧力で注入し一度に金型内に樹脂を充填することで樹脂を封止するものである。また、トランスファーモールドと比較すると、金型内に樹脂を充填した後の樹脂の重合時間を必要としないため作業時間が短縮できるメリットがある。
【0005】
以下に、インジェクションモールドを用いた従来の混成集積回路装置およびその製造方法について、図10から図13を参照して説明する。
【0006】
先ず、図10に示すように、金属基板としては、ここではアルミニウム(以下、Alという)基板1を採用して説明してゆく。
【0007】
このAl基板1は、表面が陽極酸化され、その上に更に絶縁性の優れた樹脂2が全面に形成されている。但し、耐圧を考慮しなければ、この酸化物は省略しても良い。
【0008】
そして、樹脂封止体10は、支持部材10aと熱可塑性樹脂により形成されている。つまり、支持部材10aに載置された基板1をインジェクションモールドにより熱可塑性樹脂で被覆している。そして、支持部材10aと熱可塑性樹脂との当接部は、注入された高熱の熱可塑性樹脂により支持部材10aの当接部が溶けフルモールド構造を実現している。
【0009】
ここで、熱可塑性樹脂として採用したものは、PPS(ポリフェニルサルファイド)と呼ばれるものである。
【0010】
そして、熱可塑性樹脂の注入温度が約300℃と非常に高く、高温の樹脂により半田12が溶けて半田不良が発生する問題がある。そのため、予め半田の接合部、金属細線7、能動素子5および受動素子6を覆う様に熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)でポッティングし、オーバーコート9を形成している。このことで、熱可塑性樹脂の成型時、注入樹脂圧により、特に細線(約30〜80μm)が倒れるのを防止したり、断線を防止している。
【0011】
そして、樹脂封止体10としては、2段階形成により形成されている。1段階目としては、基板1裏面と金型の間に隙間を設けその間に高射出圧力に樹脂を充填する際の基板1裏面の厚みの確保することを考慮して、基板1裏面には支持部材10aを載置している。2段階目としては、支持部材10aに載置された基板1をインジェクションモールドにより熱可塑性樹脂で被覆している。そして、支持部材10aと熱可塑性樹脂との当接部は、注入された高熱の熱可塑性樹脂により支持部材10aの当接部が溶けフルモールド構造を実現している。ここで、支持部材10aの熱可塑性樹脂としては、基板1の熱膨張係数と同等のものが好ましい。
【0012】
次に、インジェクションモールドを用いた従来の混成集積回路装置の製造方法について、図11から図13を参照して説明する。
【0013】
図11は工程フロー図であり、金属基板を準備する工程、絶縁層形成工程、Cu箔圧着工程、部分Niメッキ工程、Cu箔エッチング工程、ダイボンディング工程、ワイヤーボンディング工程、ポッティング工程、リード接続工程、支持部材取り付け工程、インジェクションモールド工程、リードカット工程の各工程から構成されている。
【0014】
図12および図13に、各工程の断面図を示す。なお、図示しなくても明確な工程は図面を省略している。
【0015】
先ず、図12(A)および(B)では、金属基板を準備する工程、絶縁層形成工程、Cu箔圧着工程、部分Niメッキ工程、Cu箔エッチング工程について示す。
【0016】
金属基板を準備する工程では、基板の役割として熱放散性、基板強度性、基板シールド性等考慮して準備する。そして、本実施例では、熱放散性に優れた、例えば、厚さ1.5mm程度のAl基板1を用いる。
【0017】
次に、アルミ基板1上に更に絶縁性の優れた樹脂2を全面に形成する。そして、絶縁性樹脂2上には、混成集積回路を構成するCuの導電箔3を圧着する。Cu箔3上には、例えば、取り出し電極となるCu箔3と能動素子5とを電気的に接続する金属細線7との接着性を考慮し、Niメッキ4を全面に施す。
【0018】
その後、公知のスクリーン印刷等を用いNiメッキ4aおよび導電路3aを形成する。
【0019】
次に、図12(C)では、ダイボンディング工程、ワイヤボンディング工程について示す。
【0020】
前工程において形成された導電路3a上には、半田ペースト12等の導電性ペーストを介して能動素子5、受動素子6を実装し、所定の回路を実現する。
【0021】
次に、図13(A)、(B)では、ポッティング工程、リード接続工程および支持部材取り付け工程について示す。
【0022】
図13(A)に示すように、ポッティング工程では、後のインジェクションモールド工程の前に、予め、半田の接合部、金属細線7、能動素子5および受動素子6を熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)でポッティングし、オーバーコート9を形成する。
【0023】
次に、上記した混成集積回路からの信号を出力及び入力するための外部リード8を準備する。その後、外部リード8を基板1の外周部に形成された外部接続端子11と半田12を介して接続する。
【0024】
次に、図13(B)に示すように、外部リード8等を接続した混成集積回路基板1に支持部材10aを載置する。基板1を支持部材10a上に載置することで、次工程で説明するインジェクションモールドの際における基板1裏面の樹脂封止体10の厚みを確保することができる。
【0025】
次に、図13(C)では、インジェクションモールド工程およびリードカット工程について示す。
【0026】
図示したように、基板1上を熱硬化性樹脂でポッティングし、オーバーコート9を形成した後インジェクションモールドにより樹脂封止体10を形成する。このとき、支持部材10aと熱可塑性樹脂との当接部は、注入された高熱の熱可塑性樹脂により支持部材10aの当接部が溶けフルモールド構造の樹脂封止体10となる。
【0027】
最後に、外部リード8を使用目的に応じてカットし、外部リード8の長さの調整する。
【0028】
上記した工程により、図10に示した混成集積回路装置が完成する。
【0029】
一方、半導体産業においては、トランスファーモールド法が一般に行われている。従来のトランスファーモールドによる混成集積回路装置では、例えば、Cuから成るリードフレーム上に半導体素子が固着される。そして、半導体素子とリードとは金(以下、Auという)線を介して電気的に接続されている。これは、Al細線が弾性で劣り折れ曲がり易い点、ボンディング時間が超音波を必要とするため時間を要する点で採用できないためである。そのため、従来において、一枚の金属板から成り、金属板上に回路が形成され、更に、Al細線によりワイヤーボンディングされた金属基板を直接トランスファーモールドする混成集積回路装置は存在しなかった。
【0030】
【発明が解決しようとする課題】
インジェクションモールド型の混成集積回路装置では、モールド時の注入圧力により、金属細線7が折れ曲がったり、断線するのを防ぎ、また、インジェクションモールド時の温度により半田12が流れるのを防ぐ必要があった。そのため、図10に示した従来構造においては、ポッティングによるオーバーコート9を採用して上記した問題に対処していた。
【0031】
しかし、熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)でポッティングしオーバーコート9を形成した後インジェクションモールドを行っていたため、熱硬化性樹脂分の材料コストおよび作業コストが掛かるという問題があった。
【0032】
また、従来のトランスファーモールドによる混成集積回路装置では、アイランド上に半導体素子等固着していたため、半導体素子等から発生した熱は固着領域から発散するが、熱発散領域に限りがあり熱放散性が悪いという問題があった。
【0033】
更に、上記したように、樹脂封止体のワイヤーボンディングには樹脂注入圧に強いAu線が用いられるため、Al細線を採用したトランスファーモールドは現在でも行われていない。そして、Al細線は超音波ボンディングで行われネックの部分が弱いこと、更には、弾性率が低く樹脂の注入圧力に耐えられない等のことが原因ですぐに曲がってしまう。
【0034】
更に、トランスファーモールドにより混成集積回路基板を一括して封止する場合、金型内で混成集積回路基板の水平および厚み方向の位置固定を行う必要があるが、モールドの注入圧に耐えうるような固定手段が開発されていない問題があった。
【0035】
本発明では、トランスファーモールドの工程に於いて、混成集積回路基板を金型内で所定の位置に固定する手段を提供するのが課題である。
【0036】
【課題を解決するための手段】
上記した課題を解決するために、本発明である混成集積回路装置では、
表面に絶縁樹脂が設けられた基板および前記絶縁樹脂上に設けられた導電路からなる混成集積回路基板と、
前記導電路と電気的に接続された素子と、
前記素子を覆って前記混成集積回路基板をトランスファーモールドによって封止された熱硬化性樹脂とを有する混成集積回路装置に於いて、
押さえピンにより、前記熱硬化性樹脂には前記基板上の回路が形成されていない外周部にホールが形成され、
前記ホールの底部には、前記熱硬化性樹脂と前記混成集積回路基板とが露出していることで解決するものである。
【0037】
第2に、製造方法としては、
基板表面の絶縁樹脂上に設けられた導電路に素子が実装され、外部接続用端子に外部リードが接続された混成集積回路基板を用意し、
モールドの金型で前記外部リードを挟持し、前記金型に設けられた押さえピンを前記基板上の回路が形成されていない外周部に当接して、前記混成集積回路基板の位置を固定し、
熱硬化性樹脂を用いたトランスファーモールドにより前記混成集積回路基板をモールドする混成集積回路装置の製造方法に於いて、
前記押さえピンにより、モールドされた前記熱硬化性樹脂に形成されたホールの底部は、前記熱硬化性樹脂と前記混成集積回路基板とが露出していることで解決するものである。
【0042】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の第1の実施形態に係る混成集積回路装置を図1および図2を参照しながら説明する。
【0043】
先ず、本混成集積回路装置の構造を図1を参照して説明する。図1(A)に示したように、混成集積回路基板31は、基板31上に固着される半導体素子等から発生する熱が考慮され、放熱性の優れた基板が採用される。本実施例では、アルミニウム基板31を用いた場合について説明する。尚、本実施例では、基板31としてアルミニウム(以下、Alという)基板を用いたが、特に限定する必要はない。例えば、基板31としては、プリント基板、セラミック基板、金属基板等を用いても本実施例を実現することができる。そして、金属基板としては、Cu基板、Fe基板、Fe−Ni基板またはAlN(窒化アルミニウム)基板等を用いても良い。
【0044】
Al基板31は、表面が陽極酸化され、その上に更に絶縁性の優れた、例えば、エポキシ樹脂からなる絶縁樹脂32が全面に形成されている。但し、耐圧を考慮しなければ、この金属酸化物は省略しても問題はない。
【0045】
そして、この樹脂32上には、Cu箔33(図5参照)より成る導電路33aが形成され、導電路33aを保護するようにAl基板31上には、例えば、エポキシ系樹脂が電気的接続箇所を除いてオーバーコートされている。そして、導電路33a上にはパワートランジスタ、小信号トランジスタやIC等の能動素子35、チップ抵抗、チップコンデンサ等の受動素子36が半田40を介して実装され、所定の回路が実現されている。ここで一部半田を採用せず、Agペースト等で電気的に接続されても良い。また、半導体素子等の能動素子8がフェイスアップで実装される場合は、金属細線37を介して接続されている。金属細線37としては、パワー系の半導体素子の場合は、例えば、約150〜500μmφのAl線が用いられる。一般にはこれを太線と呼んでいる。また、セミパワー系や小信号系の半導体素子の場合は、例えば、約30〜80μmφのAl線が用いられている。一般にこれを細線と呼んでいる。そして、Al基板31の外周部に設けられている外部接続用端子38には、CuやFe−Ni等の導電性部材からなる外部リード39が半田40を介して接続されている。
【0046】
本発明の特徴は、混成集積回路基板31上の能動素子35、受動素子36、Al細線37等に、樹脂封止体が直接形成されている。
【0047】
つまり、樹脂封止体41において、トランスファーモールドに用いられる熱硬化性樹脂は、粘性が低く、かつ、硬化温度が上記した接続手段に用いられた半田40等の融点、例えば、183℃よりも低いことに特徴がある。そのことにより、図10に示したように、従来の混成集積回路装置における熱硬化性樹脂(例えば、エポキシ樹脂)のポッティングによるオーバーコート9を除去することができる。
【0048】
その結果、特に、小信号系のIC等を導電路33aと電気的に接続する、例えば、約40μm程度の径の金属細線等にトランスファーモールド時の熱硬化性樹脂を直接充填しても倒れたり、断線したり、折れ曲がったりすることは無くなる。
特にAl細線において折れ曲がりを防止できたことがポイントとなる。
【0049】
次に、図1(B)に示すように、樹脂封止体41の外部には、外部リード39が導出されており、外部リード39は、使用目的に応じて長さが調整されている。そして、樹脂封止体41には、外部リード39が導出している側辺と対向する側に2箇所押さえピンの跡としてホール42が形成されている。ホール42は、上記したトランスファーモールド時に押さえピン47(図6参照)が基板31を固定しているため発生するものであり、樹脂封止体41形成後も存在する。
【0050】
しかし、図2(A)に示したように、基板31の外周部43、つまり、基板31上の回路等が形成されていない部分にホール42は形成されている。そして、ホール42は基板31の外周部43で、かつ、絶縁樹脂32上に形成されているので、品質性、耐湿性の面でも問題のない構造となっている。ここで、外周部43は基板31を個々にプレスする際、回路領域との距離の確保をする為に設けられているマージンである。
【0051】
次に、図2(A)、(B)に示したように、Al基板31上には導電路33aが入り組んで形成されており、その導電路33a上にはパワートランジスタ、小信号トランジスタやIC等の能動素子35、チップ抵抗、チップコンデンサ等の受動素子36が半田40等を介して実装されており、また、外部接続用端子38を介して外部リード39が接続されており所定の回路が実現されている。
【0052】
図示したように、基板31上には小さいスペースで複雑な回路が形成されている。本発明の混成集積回路装置の特徴は、Al基板31全面に絶縁樹脂32を形成した後樹脂32上に複雑な回路を形成し、その後、基板31に外部リード39を接着しトランスファーモールドにより直接樹脂封止体41を一体に形成していることである。
【0053】
従来において、トランスファーモールドにより混成集積回路装置を形成する場合は、例えば、Cuからなるリードフレームは、エッチング、パンチングまたはプレス等で加工をし、配線、ランド等を形成していたため、混成集積回路の導電路の如き複雑な回路を形成できなかった。また、トランスファーモールドによるリードフレームでは、図2(A)のような配線を形成する場合、リードの反りを防止するためにいろいろな場所に吊りリードによる固定が必要となる。このように、一般のリードフレームを使った混成集積回路では、せいぜい能動部品が数個実装されるのみであり、図2(A)のような導電路を持つ混成集積回路を形成するには限界があった。
【0054】
つまり、本発明の混成集積回路装置の構造をとることで、複雑な回路を有した基板31をトランスファーモールドにより形成することができる。更に、本発明では、基板31として熱伝導率の良い基板を使用してトランスファーモールドしているので基板31全体で発生する熱を発散することができる。よって、トランスファーモールドされた従来のリードフレームによる混成集積回路装置に比べ、金属基板31が直接モールドされているため、この基板が大きなヒートシンクとして働き、放熱性が優れ、回路特性の改善を実現することができる。
【0055】
更に、本発明の混成集積回路装置は、図1(B)に示す如く、モールド工程において形成される2つのホール42の底部から、熱硬化性樹脂と混成集積回路基板が露出することに特徴を有する。
【0056】
モールド工程に於いて、混成集積回路基板31が正しい位置で固定された場合には、例えば、ホール42の底部に熱硬化性樹脂と基板が半分ずつ露出するような設定が施してある。また、2つのホール42の両方の底部に於いて、基板が全く露出しなかった場合は、モールド工程において、混成集積回路基板31が厚み方向に移動してしまったことになる。
【0057】
従って、モールド工程の後に、ホール42の底部を確認することによって、熱硬化性樹脂内部における混成集積回路基板の位置を確認することができる。
【0058】
次に、本発明の混成集積回路装置の製造方法を図3から図9を参照して説明する。
【0059】
図3は工程フロー図であり、金属基板を準備する工程、絶縁層形成工程、Cu箔圧着工程、部分Niメッキ工程、Cu箔エッチング工程、ダイボンディング工程、ワイヤーボンディング工程、リード接続工程、トランスファーモールド工程、リードカット工程の各工程から構成されている。このフローから明確なように、従来は、インジェクションモールドにより樹脂封止体を形成していたが、トランスファーモールドによる樹脂封止体を形成する工程を実現している。
【0060】
図4から図9に、各工程の断面図を示す。なお、図示しなくても明確な工程は図面を省略している。
【0061】
本発明の第1の工程は、図4(A)に示す如く、金属基板の準備、絶縁層形成、Cu箔圧着、Niメッキを行うことにある。
【0062】
金属基板を準備する工程では、基板の役割として熱放散性、基板強度性、基板シールド性等考慮して準備する。このとき、特に、パワートランジスタ、大規模化されるLSI、デジタル信号処理回路等を高密度実装により1つの小型ハイブリットICに集積すると、高密度化することにより熱が集中するので熱放散性が重要視される。そして、本実施例では、熱放散性に優れた、例えば、厚さ1.5mm程度のAl基板31を用いる場合について説明する。また、本実施例では、基板31としてAl基板を用いた場合について説明するが、特に限定する必要はない。
【0063】
例えば、基板31としては、プリント基板、セラミック基板、金属基板等を用いても本実施例を実現することができる。そして、金属基板としては、Cu基板、Fe−Ni基板または導電性の優れた金属より成る化学物等が考えられる。
【0064】
次に、アルミ基板31は、表面が陽極酸化され酸化物が生成し、その上に更に絶縁性の優れた、例えば、エポキシ樹脂からなる樹脂32を全面に形成する。但し、耐圧を考慮しなければ、この金属酸化物は省略しても問題はない。そして、絶縁樹脂32上には、混成集積回路を構成するCuの導電箔33を圧着する。Cu箔33上には、例えば、取り出し電極となるCu箔33と能動素子35とを電気的に接続する金属細線37との接着性を考慮し、Niメッキ34を全面に施す。
【0065】
本発明の第2の工程は、図4(B)に示す如く、部分Niメッキ形成、Cu箔エッチングを行うことにある。
【0066】
Niメッキ34上には、公知のスクリーン印刷等によりNiメッキ34を必要とする部分にのみレジストを残存させ、選択マスクとして形成する。そして、エッチングによりCu箔33上には、例えば、取り出し電極となる箇所にNiメッキ34aを形成する。その後、レジストを除去し、再度、公知のスクリーン印刷等によりCu箔33による導電路33aとして必要とする部分にのみレジストを残存させ、選択マスクとして形成する。そして、エッチングにより、絶縁性樹脂32上にはCu箔33による導電路33aを形成する。その後、導電路上には、例えば、スクリーン印刷によりエポキシ系樹脂によりオーバコートをする。
【0067】
本発明の第3の工程は、図4(C)に示す如く、ダイボンディング、ワイヤボンディングを行うことにある。
【0068】
前工程において形成された導電路33a上には、半田ペースト40等の導電性ペーストを介してパワートランジスタ、小信号トランジスタやIC等の能動素子35、チップ抵抗、チップコンデンサ等の受動素子36を実装し、所定の回路を実現する。ここで一部半田を採用せず、Agペースト等で電気的に接続しても良い。また、パワートランジスタ、セミパワートランジスタ等の能動素子35を実装する際は、能動素子35と導電路33aとの間には熱放散性を考慮してヒートシンクを設置する。
【0069】
次に、半導体素子等の能動素子35フェイスアップで実装する場合は、ボンディングにより金属細線37を介して電気的に接続する。そして、上記したように、能動素子35と導電路33aとを電気的に接着する金属細線37は、Cu箔33からなる導電路33aとの接着性を考慮して、導電路33a上のNiメッキ34aを介してワイヤボンディングされる。
【0070】
ここで、金属細線37としては、特に、Al細線37が使用されるが、Al細線37は空気中で真球状にボールアップすることが困難でステッチボンディング法が使用される。しかし、ステッチボンディング法では、ステッチ部が樹脂の応力により破壊されやすく、また、Au細線と比較すると弾性係数が小さく樹脂圧により押し倒されやすいという特徴がある。そこで、Al細線37を使用する際は、特に、樹脂封止体41形成時に注意を要する。
【0071】
本発明の第4の工程は、図5(A)、(B)に示す如く、リード接続を行うことにある。
【0072】
図5(A)に示すように、上記した混成集積回路からの信号を出力および入力するための外部リード39を準備する。外部リード39としては、出力および入力端子として用いるために導電性であるCu、Fe−Ni等の材質からなり、更に、電流容量等考慮して外部リード39の幅や厚さを決定する。そして、本発明の実施例では、次工程であるトランスファーモールド工程において詳細は説明するが、外部リード39の強度、バネ性が必要とされるので、例えば、0.4〜0.5mm程度の厚さの外部リード39を準備する。その後、外部リード39を基板31の外周部に形成された外部接続用端子38と半田40を介して接続する。このとき、接続手段としては半田に限定する必要はなく、スポット溶接などによっても接続することができる。
【0073】
ここで、図5(B)に示すように、本発明の特徴としては外部リード39を基板31の実装面に対してやや角度、例えば、約10度をもって接続することにある。また、外部リード39と外部接続用の電極38とを接続する半田40の融点より、次工程であるトランスファーモールド工程で用いる熱硬化性樹脂の硬化温度が低いことにもある。
【0074】
本発明の第5の工程は、本発明の特徴とする工程であり、図6、図7及び図8に示す如く、混成集積回路基板31をトランスファーモールドにより一括して熱硬化性樹脂で封止することにある。
【0075】
トランスファーモールドで混成集積回路基板31を封止するためには、混成集積回路基板31が、図6(B)に示す如く、金型のキャビティ70内で位置固定されなければならない。しかし、混成集積回路基板31を一括してトランスファーモールドする場合、混成集積回路基板31を直接的に固定するのは難しい。更に、樹脂の注入圧により混成集積回路基板31が金型内で移動してしまう問題もある。
【0076】
そこで、本工程では上金型45に設けられた少なくとも1つの押さえピン47で混成集積回路基板31の外周部を押圧することにより、金型のキャビティ70内における混成集積回路基板31の位置固定を行った後、樹脂封入を行う。
【0077】
具体的にいうと、最初に、図6(A)に示す如く、リードフレーム39が半田付けされた混成集積回路基板31を金型キャビティ70内に搬送する。
【0078】
次に、図6(B)に示す如く、上下金型45および44によりリードフレーム39を固定し、押さえピン47により混成集積回路基板31の外周部を押圧することにより、金型のキャビティ70内における混成集積回路基板31の位置を固定する。
【0079】
リードフレーム39は、図5(A)に示す如く、複数のリードを第1の連結部39dおよび第2の連結部39cで連結したものであり、図5(B)に示す如く、混成集積回路基板31に対して平行ではなく上方向に傾斜を付けて半田で接合されている。従って、図6(A)に示す如く、リードフレーム39を平行に載置すると、混成集積回路基板31が金型のキャビティ66内で上方向に傾く形になる。
【0080】
押さえピン47は、図6(A)に示す如く、上金型45に少なくとも1つ設けられた突起物であり、上金型45と下金型44が嵌合した際に混成集積回路基板31の外周部を押圧する働きを有する。また押さえピン47は、混成集積回路基板31を押圧した際に、混成集積回路基板31を金型キャビティ70内で平行にする長さを有する。
【0081】
従って、図6(A)、図6(B)に示す如く、金型でリードフレーム39が固定される事により傾斜が生じた混成集積回路基板31の外周部を、押さえピン47で押圧することにより、押さえピン47の下方向への押圧力とリードフレーム39の上方向への応力で、混成集積回路基板31の垂直方向の位置を固定することができる。
【0082】
また、図8に示す如く、混成集積回路基板70に接続しているリードフレーム39の特定の部分を、金型に設けられたガイドピン46に当接させることにより、混成集積回路基板31の水平方向の位置固定が行える。
【0083】
尚、上述の説明では図6(A)、図6(B)に示す如く、上金型に固定された押さえピン47を用いて混成集積回路基板31の位置固定を行ったが、図7(A)、(B)に示すような可動式の押さえピン80を用いる方法もある。可動式の押さえピン80を用いると、樹脂封入が終了後、ピン80を引き、その後硬化するので、混成集積回路基板31の露出部が無くなり、混成集積回路装置の耐湿性は更に向上される。
【0084】
次に、図8(B)に示す如く、本発明の混成集積回路装置の製造方法では、ゲート48から金型キャビティ70内に注入する熱硬化性樹脂を、最初に基板31の側面にあたるように注入する。そして、矢印49に示すように注入される熱硬化性樹脂は、基板31により矢印49aに示すように基板31の上部方向および下部方向に分岐して流れる。このとき、基板31の上部への流入幅56と基板31の下部への流入幅55とがほぼ同等の幅で形成されているので、基板31下部への熱硬化性樹脂の流入も円滑に行うことができる。更に、熱硬化性樹脂の注入速度および注入圧力も1度基板31側面にあてることで低減され、Al細線37の折れ曲がり、断線等の影響を抑止することができる。
【0085】
以上のことにより本工程では、混成集積回路基板31を一括して熱硬化性樹脂によりトランスファーモールドが行える。
【0086】
また、図6に示す如く、固定式の押さえピン47で混成集積回路基板31を押圧した場合、混成集積回路基板31の外周部の一部分は、図9(A)に示す如く、モールドの工程が終了すると押さえピン用のホール42の底部から露出する。しかし、混成集積回路基板31の外周部は混成集積回路基板31を打ち抜く際に必要なマージンであるので導電路等は設けられていない。よって、混成集積回路基板31上にオーバーコートが設けられており金属基板は外部に露出しないので、ホール42による混成集積回路装置の耐湿性の低下は無い。しかも、マージン領域を、ピンの当接部とするので、回路領域を当接部とするよりも基板表面を有効に活用できる。
【0087】
更に、図9(B)に示す如く、ホール42の底部に露出した金属基板42bと樹脂42aの面積の割合を確認することにより、モールド工程に於いて、混成集積回路基板31の移動の有無を確認することができる。基板31が所望の位置でモールドされた場合は、例えば、ホール42の底部の半分が混成集積回路基板31で占められるように設計されている。従って、ホール42の底部に所望の面積の金属基板が露出しなかった場合は、モールド工程に於いて混成集積回路基板31が水平方向に移動したことになる。また、2つのホール42のどちらの底部にも混成集積回路基板31が露出しなかった場合は、モールド工程に於いて、混成集積回路基板31が厚み方向に移動したことになる。以上のことにより、ホール42の底部を確認することによってモールド工程が良好に行われたか否かを判断することが可能となる。
【0088】
本発明の第6の工程は、図9に示す如く、リードカットを行うことにある。
【0089】
前工程であるトランスファーモールド工程で金型44、45から漏れた樹脂は外部リード39に形成された第2の連結部39cで堰き止められ、そのまま硬化する。その結果、外部リード39の第2の連結部39cより樹脂封止体41側のリード間は流出樹脂50で充填され、外部リード39の第2の連結部より先端側のリード間には樹脂が充填されない。
【0090】
そして、第2の連結部39cを打ち抜くことで外部リード39の個々のリードを独立させ、そして、使用目的に応じて外部リード39の長さの調整するが、例えば、点線51の位置で外部リード39をカットする。この時同時に、流出樹脂50も除去する。
【0091】
上記した工程により、図1に示した混成集積回路装置が完成する。
【0092】
上記したように、本発明の混成集積回路装置の製造方法としては、トランスファーモールド工程では、押さえピンにより混成集積回路基板の外周部を押圧することにより混成集積回路装置の金型内での位置固定を行うことに特徴がある。そのことにより、本発明の混成集積回路装置の製造方法では、従来の混成集積回路装置の製造方法における支持部材の載置を省略することができ、更に、完成した混成集積回路装置の熱放散性を大幅に向上させることができる。
【0093】
本発明の混成集積回路装置およびその製造方法は、フルモールド型の混成集積回路装置について説明してきたが上記の実施の形態には限定されない。例えば、混成集積回路基板の裏面が全面露出した形態の混成集積回路装置も形成することができる。この場合は、上記した効果の他に、更に、熱放散性の効果を得ることができる。
【0094】
更に、本実施例では、外部リードが基板の1側面から導出される片側リードの場合について説明したがこの構造に限定されることはなく、両側リードや4方向リードにおいても上記の効果の他に、更に、基板を安定させた状態でトランスファーモールド工程を実現できる。その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
【0095】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の混成集積回路装置およびその製造方法によれば、以下に示すような優れた効果を奏し得る。
【0096】
モールドの工程において金型に設けられた押さえピンを用いて混成集積回路基板の外周部を押圧することにより、金型のキャビティ内における混成集積回路基板の位置を固定することができる。更に、混成集積回路基板を一括してトランスファーモールドすることができるので、混成集積回路基板の裏面を一定の厚さで熱伝導性に優れた熱硬化性樹脂で封止することができ、熱放散性に優れた混成集積回路装置を作成することができる。尚、押さえピンを用いる事により混成集積回路基板の導電路を設けていない外周部の一部は露出する形になるが、混成集積回路基板は金属基板上に絶縁層が形成されているので、このことによる混成集積回路装置の耐湿性の低下は無い。
【0097】
更にまた本発明では、押さえピンによって形成されたホールの底部を確認することによって、混成集積回路装置内部における混成集積回路基板の位置を確認することができる。具体的には、ホールの底部に露出する混成集積回路基板と熱硬化性樹脂の面積の割合を確認することにより、混成集積回路基板の水平方向の位置を確認することができる。また、ホールの底部に於いて、混成集積回路基板の露出の有無を確認することにより、混成集積回路基板の厚み方向の位置を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の混成集積回路装置の(A)断面図、(B)平面図を説明する図である。
【図2】本発明の混成集積回路装置の(A)平面図、(B)断面図を説明する図である。
【図3】本発明の混成集積回路装置の製造方法のフロー図である。
【図4】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図5】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図6】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図7】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図8】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図9】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図10】従来の混成集積回路装置の断面図である。
【図11】従来の混成集積回路装置の製造方法のフロー図である。
【図12】従来の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
【図13】従来の混成集積回路装置の製造方法を説明する図である。
Claims (13)
- 表面に絶縁樹脂が設けられた基板および前記絶縁樹脂上に設けられた導電路からなる混成集積回路基板と、
前記導電路と電気的に接続された素子と、
前記素子を覆って前記混成集積回路基板をトランスファーモールドによって封止された熱硬化性樹脂とを有する混成集積回路装置に於いて、
押さえピンにより、前記熱硬化性樹脂には前記基板上の回路が形成されていない外周部にホールが形成され、
前記ホールの底部には、前記熱硬化性樹脂と前記混成集積回路基板とが露出していることを特徴とした混成集積回路装置。 - 前記混成集積回路基板は、前記導電路の電気的接続箇所を除いて、前記基板の前記絶縁樹脂上には、オーバーコートが設けられ、
前記ホールの底部は、前記熱硬化性樹脂と前記オーバーコートとが露出していることを特徴とした請求項1に記載の混成集積回路装置。 - 前記熱硬化性樹脂は、前記基板の裏面も含めフルモールドでなるか、または前記基板の裏面が露出されることを特徴とした請求項1に記載の混成集積回路装置。
- 前記基板に設けられた外部接続用端子と接続された外部リードは、前記混成集積回路基板の第1の側辺に設けられ、前記ホールは、前記第1の側辺と対向する第2の側辺側に2箇所設けられることを特徴とした請求項1〜請求項3のいずれかに記載の混成集積回路装置。
- 前記外部リードは、対向する側辺に設けられることを特徴とした請求項4に記載の混成集積回路装置。
- 前記基板は、プリント基板、セラミック基板または金属基板であることを特徴とした請求項1〜請求項5のいずれかに記載の混成集積回路装置。
- 基板表面の絶縁樹脂上に設けられた導電路に素子が実装され、外部接続用端子に外部リードが接続された混成集積回路基板を用意し、
モールドの金型で前記外部リードを挟持し、前記金型に設けられた押さえピンを前記基板上の回路が形成されていない外周部に当接して、前記混成集積回路基板の位置を固定し、
熱硬化性樹脂を用いたトランスファーモールドにより前記混成集積回路基板をモールドする混成集積回路装置の製造方法に於いて、
前記押さえピンにより、モールドされた前記熱硬化性樹脂に形成されたホールの底部は、前記熱硬化性樹脂と前記混成集積回路基板とが露出していることを特徴とした混成集積回路装置の製造方法。 - 前記混成集積回路基板は、前記導電路の電気的接続箇所を除いて、前記基板の前記絶縁樹脂上には、オーバーコートが設けられ、
前記ホールの底部は、前記熱硬化性樹脂と前記オーバーコートとが露出していることを特徴とした請求項7に記載の混成集積回路装置の製造方法。 - 前記外部リードは外部接続用端子に接続される際に、前記混成集積回路基板に対して平行ではなく上方向に傾斜をつけて接続されることを特徴とした請求項7または請求項8に記載の混成集積回路装置の製造方法。
- ) 前記押さえピンの下方向への押圧力と前記外部リードの上方向の応力により前記混成集積回路基板の垂直方向の位置を固定することを特徴とした請求項9に記載の混成集積回路装置の製造方法。
- 前記ホールの底部に露出した前記混成集積回路基板と前記熱硬化性樹脂との面積の割合を確認することにより、前記混成集積回路基板の位置を確認することを特徴とした請求項7〜請求項10のいずれかに記載の混成集積回路装置の製造方法。
- 前記基板に設けられた外部接続用端子と接続された外部リードは、前記混成集積回路基板の第1の側辺に設けられ、前記ホールは、前記第1の側辺と対向する第2の側辺側に2箇所設けられることを特徴とした請求項7〜請求項11のいずれかに記載の混成集積回路装置の製造方法。
- 前記外部リードは、対向する側辺に設けられることを特徴とした請求項7〜請求項12のいずれかに記載の混成集積回路装置の製造方法。
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