JP4606115B2 - 多層基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
記第1及び第2のグリーンシートを積層し、積層体を作製する積層工程と、該積層体を焼成して、前記第1及び第2の結晶化ガラスの結晶化度を80%以上にするとともに、前記第1及び第2の結晶化ガラスの熱膨張係数の差を2×10 −6 /℃以下とする焼成工程を具備することを特徴とする。
2・・・表面導体層
3・・・内部導体層
4・・・ビアホール導体
10・・・多層基板
Claims (7)
- 第1の結晶化ガラスを含む第1の絶縁層と、前記第1の結晶化ガラスとは結晶化温度が異なる第2の結晶化ガラスを含む第2の絶縁層とを積層してなるセラミック積層基板の表面及び内部に電極を配設してなり、前記結晶化ガラスの結晶化度がそれぞれ80%以上であり、前記第1の結晶化ガラスの結晶化温度が、前記第2の結晶化ガラスの軟化点よりも低く、前記第1の結晶化ガラスの熱膨張係数と、第2の結晶化ガラスの熱膨張係数との差が2×10−6/℃以下であることを特徴とする多層基板。
- さらに前記第1及び第2とは異なる結晶化ガラスを含む第3の絶縁層を含むことを特徴とする請求項1記載の多層基板。
- 前記絶縁層が、それぞれ結晶化ガラスを30質量%以上含むことを特徴とする請求項1又は2記載の多層基板。
- 前記結晶化ガラスが、ディオプサイド、ハーディストナイト、セルシアン、コージェライト、アノーサイト、ガーナイト、ウィレマイト、スピネル、ムライト、フォルステライト及びスーアナイトのうち少なくとも1種を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多層基板。
- 第1の結晶化ガラスからなる第1のガラス粉末を含む第1のグリーンシート及び前記第1の結晶化ガラスの結晶化温度よりも結晶化温度及び軟化点が高い第2の結晶化ガラスからなる第2のガラス粉末を含み、前記第1グリーンシートよりも焼成収縮開始温度が高い第2のグリーンシートを作製する成形工程と、前記第1及び第2のグリーンシートの少なくとも一部の表面及び内部に導体パターンを形成する導体形成工程と、前記導体パターンが形成されたものを含む前記第1及び第2のグリーンシートを積層し、積層体を作製する積層工程と、該積層体を焼成して、前記第1及び第2の結晶化ガラスの結晶化度を80%以上にするとともに、前記第1及び第2の結晶化ガラスの熱膨張係数の差を2×10−6/℃以下とする焼成工程を具備することを特徴とする多層基板の製造方法。
- 前記第1及び第2のグリーンシートとして、それぞれ前記第1及び第2のガラス粉末を30質量%以上含むものを用いることを特徴とする請求項5記載の多層基板の製造方法。
- 前記焼成工程後により、前記第1及び第2の結晶化ガラスが、ディオプサイド、ハーディ
ストナイト、セルシアン、コージェライト、アノーサイト、ガーナイト、ウィレマイト、スピネル、ムライト、フォルステライト及びスーアナイトのうち少なくとも1種の結晶を形成するものであることを特徴とする請求項5又は6記載の多層基板の製造方法。
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